JP2921487B2 - 真空ポンプ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ターボ分子ポンプ
等の真空ポンプに関し、特に回転系の共振点を上げて高
速化を図る対策に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば特開平４−１６４１８７号公報や
特開平４−１６４１８８号公報等で知られているよう
に、ターボ分子ポンプは、超高真空排気が可能であるこ
とから、半導体装置製造時のエッチング工程において、
例えばアルミニウムの金属膜を真空雰囲気で塩素系ガス
によりエッチングするときに、その反応生成物としての
塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ3 ）のガス分子を排気する
際に用いられる。

【０００３】従来のターボ分子ポンプについて説明する
と、図２に例示するように、上下方向に延びるように設
けられたケーシング（１）の内部に、回転軸（４）と該
回転軸（４）に回転一体に設けられたポンプロータ
（３）とが配置されている。この例では、上記回転軸
（４）は、スラスト磁気軸受（１１）及びラジアル磁気
軸受（１２），（１２）により回転可能に支持されてい
る。

【０００４】そして、図５（ａ）に拡大して示すよう
に、回転軸（ａ）の下端部には、該回転軸（ａ）のスラ
スト方向の位置を検出するためのアキシャルターゲット
（ｂ）が螺着されており、このアキシャルターゲット
（ｂ）により上記スラスト磁気軸受のディスク（ｃ）は
回転軸（ａ）に回転一体に連結されている。

【０００５】具体的には、上記回転軸（ａ）は、外周に
雄ねじが形成されたねじ軸（ｄ）を有し、一方、アキシ
ャルターゲット（ｂ）は、内周に上記雄ねじに螺合する
雌ねじが形成されたねじ穴（ｅ）を有する。その際に、
アキシャルターゲット（ｂ）の直径方向に対向する２箇
所の側部には、図５（ｂ）にも示すように、このアキシ
ャルターゲット（ｂ）を回転軸（ａ）に螺着させる際に
使用されるスパナの口が係合可能な切欠部（ｆ），
（ｆ）が設けられている。さらに、アキシャルターゲッ
ト（ｂ）の底面には、回転軸（ａ）の回転数を検出する
ための凹部（ｇ），（ｇ）が設けられている。尚、図５
（ａ）において、（ｈ）はアキシャルターゲット（ｂ）
との間のギャップを検出する位置センサであり、（ｉ）
は上記凹部（ｇ）の通過回数を検出する回転数センサで
ある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記ターボ
分子ポンプにおいて、超高真空が得られるようにするに
は回転系を高速回転させる必要があり、そのためには、
回転系の共振点を上げる必要がある。しかしながら、上
記従来のターボ分子ポンプでは、回転系の軸長を短くし
たり、その端部を軽量化することに制約があり、十分に
共振点を上げることは困難である。

【０００７】具体的には、上記アキシャルターゲット
（ｂ）の厚さ（Ｔ）を薄くすることに制約があるため
に、そのような薄肉化により回転系の軸長を短くしたり
回転系の端部を軽量化することは困難である。また、ア
キシャルターゲット（ｂ）の外径（Ｄ）を小さくするこ
とにも制約があり、したがって、そのような小径化によ
り回転系の端部を軽量化することも困難である。

【０００８】すなわち、上記アキシャルターゲット
（ｂ）の厚さ（Ｔ）は、螺着作業時に使用されるスパナ
の頭部の厚さよりも大きくなければならない。また、ア
キシャルターゲット（ｂ）のねじ穴（ｅ）の深さ（Ｌ）
は、必要なねじ深さ（Ｌ１）に下穴分（Ｌ２）を加えた
ものであるが、このねじ穴（ｅ）の深さ（Ｌ）よりも厚
さ（Ｔ）の方が大きくなければならない。

【０００９】尚、ねじ穴（ｅ）については、図６に示す
ように、ねじ穴（ｅ）を貫通孔にすれば、ねじ深さ
（Ｌ）を考慮しなくても済むようになり、このことで、
アキシャルターゲット（ｂ）の薄肉化は可能となるが、
その代わりに、位置センサ（ｈ）との間のギャップ調整
ができなくなり、その上、回転軸（ａ）を加工する際に
必要なセンタ穴（図５（ａ）の（ｊ））がとれなくなる
ことから、より高度の加工が回転軸（ａ）に要求される
こととなり、したがって、採用することは難しい。

【００１０】また、上記アキシャルターゲット（ｂ）の
径（Ｄ）について説明すると、アキシャルターゲット
（ｂ）の凹部（ｇ）を回転数センサ（ｉ）で検出する際
に、アキシャルターゲット（ｂ）の切欠部（ｆ），
（ｆ）が影響するのを回避するためには、アキシャルタ
ーゲット（ｂ）の径（Ｄ）はスパナの二面幅、つまり両
切欠部（ｆ），（ｆ）間の間隔（Ｗ）よりも大きくなけ
ればならない。よって、アキシャルターゲット（ｂ）の
小径化にも制約がある。

【００１１】本発明は斯かる諸点に鑑みてなされたもの
であり、その主な目的は、回転系を高速回転させるター
ボ分子ポンプ等の真空ポンプにおいて、回転軸にアキシ
ャルターゲット等の螺着部材を螺着させる構造に改良を
加えることで、上記螺着部材の薄肉化及び小径化を図る
ことができるようにし、もって、回転系の軸長を短くす
るとともにその端部を軽量化することにより回転系の共
振点を上げて高速化が図れるようにすることにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明では、アキシャルターゲットに設けられて
いるねじ穴を、回転軸の側に設けることとし、上記ねじ
穴を有することに起因するアキシャルターゲットの薄肉
化の制約をなくするようにした。

【００１３】具体的には、請求項１の発明では、図２に
示すように、吸気口（１）及び排気口（２）を有するケ
ーシング（３）と、 上記ケーシング（３）内に回転可
能に設けられた回転軸（４）と、記回転軸（４）に回転
一体に設けられたポンプロータ（５）と、上記ケーシン
グ（３）と回転軸（４）の間に設けられたスラスト磁気
軸受（１１）及びラジアル磁気軸受（１２）と、上記回
転軸（４）の一端部に回転一体に螺着されて該回転軸
（４）のスラスト方向の位置を検出するためのアキシャ
ルターゲット（１５）とを備えた真空ポンプが前提であ
る。

【００１４】そして、図１、図３及び図４にそれぞれ示
すように、上記回転軸（４）は、上記端部の軸心位置に
該回転軸（４）の軸心方向に延びるように設けられかつ
内周に雌ねじが形成されてなるねじ穴（４ａ）を有する
一方、上記アキシャルターゲット（１５）は、外周に上
記雌ねじに螺合して回転軸（４）にアキシャルターゲッ
ト（１５）を螺着させる雄ねじが形成されてなるねじ軸
（１５ａ）を有すると共に、上記アキシャルターゲット
（１５）は、該アキシャルターゲット（１５）の軸心か
ら偏心した位置に回転軸（４）の回転数検出用の凹部
（１５ｂ）を有し、上記凹部（１５ｂ）は、アキシャル
ターゲット（１５）を回転軸（４）に螺着させるための
工具が係合可能とされている。

【００１５】上記の構成において、真空ポンプの回転軸
（４）の一端部には、アキシャルターゲット（１５）が
螺着されている。このとき、回転軸（４）の上記端部に
は、雌ねじを有するねじ穴（４ａ）が設けられている一
方、アキシャルターゲット（１５）には、上記雌ねじに
螺合する雄ねじを有するねじ軸（１５ａ）が設けられて
おり、これらのことで、従来ではアキシャルターゲット
（１５）の側に設けられているねじ穴は不要となる。よ
って、そのようなねじ穴を有することに起因するアキシ
ャルターゲット（１５）の薄肉化の制約はなくなり、ア
キシャルターゲット（１５）の厚さ（Ｔ）を薄くするこ
とができるようになる。

【００１６】また、真空ポンプでの回転軸（４）の回転
数は、アキシャルターゲット（１５）の凹部（１５ｂ）
を用いることで検出される。このとき、上記凹部（１５
ｂ）は、回転軸（４）にアキシャルターゲット（１５）
を螺着させる際に、その螺着作業に使用される工具が係
合可能である。つまり、上記凹部（１５ｂ）は、本来の
回転数検出に用いられることに加え、回転軸（４）にア
キシャルターゲット（１５）を螺着させる際には、工具
の係合部としても利用される。よって、螺着工具を係合
させるために従来のアキシャルターゲットに設けられて
いる切欠部（図 ５の（ｆ）参照）が不要となるので、そ
のような切欠部を有することに起因するアキシャルター
ゲット（１５）の小径化の制約はなくなり、アキシャル
ターゲット（１５）の外径を小さくすることができるよ
うになる。

【００１７】請求項２の発明では、上記請求項１の発明
において、ねじ穴（４ａ）の開口端側内周に、回転軸
（４）にアキシャルターゲット（１５）を螺着させると
きにねじ軸（１５ａ）の基部外周に周接して回転軸
（４）に対しアキシャルターゲット（１５）を同軸状に
位置決めするガイド部（４ｂ）が形成されているものと
する。

【００１８】上記の構成において、回転軸（４）の雌ね
じにアキシャルターゲット（１５）の雄ねじが螺合して
いくと、ねじ穴（４ａ）の開口端側内周のガイド部（４
ｂ）にねじ軸（１５ａ）の基部外周が周接するようにな
り、このことで、回転軸（４）に対しアキシャルターゲ
ット（１５）は同軸状に位置決めされた状態で螺着され
る。よって、上記雌ねじ及び雄ねじ間の螺合のみによっ
ては不十分とならざるを得ないアキシャルターゲット
（１５）の同軸管理が、十分に行えるようになる。

【００１９】請求項３の発明では、上記請求項１又は２
の発明において、アキシャルターゲット（１５）に、ス
ラスト磁気軸受（１１）のディスク（１１ａ）が一体に
設けられているものとする。

【００２０】上記の構成において、真空ポンプ内でのス
ラスト磁気軸受（１１）のディスク（１１ａ）は、アキ
シャルターゲット（１５）に一体に設けられている。し
たがって、上記回転軸（４）に対するディスク（１１
ａ）の組付作業は、アキシャルターゲット（１５）が回
転軸（４）に螺着されることで同時に行われることにな
り、このために、回転軸の端部にディスクを外嵌合させ
た状態でアキシャルターゲットを螺着させるようにする
従来の場合よりも、部品の組付作業は容易化される。さ
らに、請求項４の発明の場合には、アキシャルターゲッ
ト（１５）に凹部（１５ｂ）を設ける際に、アキシャル
ターゲット（１５）の部分に止どまらず、ディスク（１
１ａ）の部分に亘って設けることができるので、そのア
キシャルターゲット（１５）の厚さ（Ｔ）よりも軸心方
向の長さの大きい凹部（１５ｂ）が得られ、よって、ア
キシャルターゲット（１５）の薄肉化に拘らず、凹部
（１５ｂ）に対する螺着工具のより確実な係合は確保さ
れる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。 （実施形態１） 図２は、本発明の実施形態１に係る真空ポンプとしての
ターボ分子ポンプの全体構成を示している。このターボ
分子ポンプは、半導体装置製造時のドライエッチング工
程において、その基板表面に形成されたアルミニウムの
金属膜を真空雰囲気で塩素系ガスを用いてエッチングす
る際に、その反応生成物である塩化アルミニウム（Ａｌ
Ｃｌ3 ）のガス分子を排気するために用いられる。

【００２２】上記ターボ分子ポンプは、吸気口（１）及
び排気口（２）を有するケーシング（３）と、このケー
シング（３）内に回転可能に設けられかつ上下方向に延
びるように配置された回転軸（４）と、この回転軸
（４）に回転一体に設けられたポンプロータ（５）と、
上記回転軸（４）を回転駆動する電動モータ（６）とを
備えている。

【００２３】上記ケーシング（３）は、上下方向に延び
かつ上下両端が開口された略円筒状の内部ケーシング
（３ａ）と、この内部ケーシング（３ａ）の下端開口縁
に外向きフランジ状に一体に設けられた排気口ケーシン
グ（３ｂ）と、この排気口ケーシング（３ｂ）の下面に
内部ケーシング（３ａ）の下端開口を覆うように設けら
れた底部ケーシング（３ｃ）と、上記排気口ケーシング
（３ｂ）上に上下に重なるように設けられた略円筒状の
下部ポンプケーシング（３ｄ）及び上部ポンプケーシン
グ（３ｅ）と、この上部ポンプケーシング（３ｅ）の上
端開口縁に設けられた吸気口ケーシング（３ｆ）とから
なっている。そして、上記吸気口（１）は吸気口ケーシ
ング（３ｆ）により形成されている一方、排気口（２）
は、排気口ケーシング（３ｂ）に側方（図２の左方）に
向かって開口した状態に形成されている。

【００２４】上記排気口ケーシング（３ｂ）と底部ケー
シング（３ｃ）との間には、回転軸（４）をスラスト方
向（図２の上下方向）において回転可能に支持するスラ
スト磁気軸受（１１）が配置されている。この磁気軸受
（１１）は、回転軸（４）の下端部に同心状にかつ回転
一体に設けられた磁性体からなるディスク（１１ａ）
と、このディスク（１１ａ）の上下に近接配置された電
磁石（１１ｂ），（１１ｂ）とからなっている。一方、
内部ケーシング（３ａ）内の上下２箇所には、各々、回
転軸（４）をラジアル方向において回転可能に支持する
ラジアル磁気軸受（１２）が配置されている。各ラジア
ル磁気軸受（１２）は、回転軸（４）に回転一体に外嵌
合された磁性体からなる円筒部（１２ａ）と、この円筒
部（１２ａ）の外周側に近接配置された電磁石（１２
ｂ）とからなっている。そして、これら両ラジアル磁気
軸受（１２），（１２）間に上記電動モータ（６）が配
置されている。この電動モータ（６）は、回転軸（４）
に回転一体に外嵌合されたモータロータ（６ａ）と、こ
のモータロータ（６ａ）の外周側に配置されたモータス
テータ（６ｂ）とからなっている。

【００２５】上記回転軸（４）の下端部下方には、該回
転軸（４）のスラスト方向の位置を検出するスラスト位
置センサ（１３）と、回転軸（４）の回転速度を検出す
る回転センサ（１４）とが設けられている。具体的に
は、上記回転軸（２）の下端部には、螺着部材としての
アキシャルターゲット（１５）が回転一体に設けられて
おり、一方、底部ケーシング（３ｃ）の回転軸（４）の
軸心に対向する位置には上記位置センサ（１３）が、ま
た軸心から偏心した位置には上記回転センサ（１４）が
それぞれ配置されている。そして、上記アキシャルター
ゲット（１５）の底面は回転軸（４）の軸心と直交する
平面とされており、この底面とのギャップをスラスト位
置センサ（１３）により検出するようになっている。ま
た、アキシャルターゲット（１５）の底面における周縁
部の互いに１８０°だけずれた２箇所の位置には、断面
円形状をなす回転速度検出用の凹部（１５ｂ）がそれぞ
れ設けられており、これら凹部（１５ｂ），（１５ｂ）
が回転センサ（１４）上を通過する回数に基づいて回転
軸（４）の回転速度を検出するようになっている。

【００２６】上記スラスト磁気軸受（１１）と、下側の
ラジアル磁気軸受（１２）との間には、回転軸（４）の
下端側のラジアル方向の位置を検出するラジアル位置セ
ンサ（１６）が配置されている。また、上側ラジアル磁
気軸受（１２）の上方には、回転軸（４）の上端側のラ
ジアル方向の位置を検出するラジアル位置センサ（１
６）が配置されている。さらに、上記スラスト磁気軸受
（１１）と下側のラジアル位置センサ（１６）との間、
及び電動モータ（７）と上側のラジアル磁気軸受（１
２）との間には、各々、回転軸（４）の回転異常時に該
回転軸（４）を保護する軸受（１７）が配置されてい
る。

【００２７】上記ポンプロータ（５）は、下端が開口さ
れた有底筒状をなしていて、上記回転軸（４）の上端部
にボルト（１８），（１８），…により回転一体に連結
されている。その外周側の上半部には、各々、半径方向
外方に向かって延びるように設けられた複数の動翼（１
９），（１９），…が軸心方向に多段に配置されてい
る。一方、これら動翼（１９），（１９），…に対向し
て、上部ポンプケーシング（３ｅ）の内周側には、各
々、半径方向内方に向かって延びるように設けられた複
数の静翼（２０），（２０），…が、同じく軸心方向に
多段にかつ動翼（１９），（１９），…と交互に位置す
るように配置されている。上下に隣接する静翼（２
０），（２０）間にはスペーサ（２１）がそれぞれ介装
されている。そして、これら動翼（１９），（１９），
…及び静翼（２０），（２０），…により、ターボポン
プが構成されている。

【００２８】また、上記ポンプロータ（５）の外周面下
半部は円筒面とされている。一方、この円筒面に対向す
る上記下部ポンプケーシング（３ｄ）の内周には、複数
条のねじ溝（２２），（２２），…が設けられている。
そして、これら円筒面及びねじ溝（２２），（２２），
…により、ねじポンプが構成されている。

【００２９】上記内部ケーシング（３ａ）と、排気口ケ
ーシング（３ｂ）と、下部ポンプケーシング（３ｄ）と
の間には、円環状の環状路（２３）が回転軸（４）の周
りを巡るように形成されており、この環状路（２３）
は、排気口ケーシング（３ｂ）に設けられた連通路（２
４）により上記排気口（２）に連通している。尚、図２
の（２５）は、上記各磁気軸受（１１），（１２）の電
磁石（１１ｂ），（１２ｂ）、電動モータ（６）及び各
センサ（１３），（１４），（１６）等と、図外の給電
装置及び制御装置とを電気的に接続するためのコネクタ
である。

【００３０】そして、本実施形態では、図１（ａ）に示
すように、上記回転軸（４）は、下端部の軸心位置に該
回転軸（４）の軸心方向に延びるように設けられかつ内
周に雌ねじが形成されてなるねじ穴（４ａ）を有する一
方、上記アキシャルターゲット（１５）は、外周に上記
雌ねじに螺合して回転軸（４）にアキシャルターゲット
（１５）を螺着させるための雄ねじが形成されてなるね
じ軸（１５ａ）を有する。

【００３１】また、上記アキシャルターゲット（１０）
の凹部（１５ｂ），（１５ｂ）は、アキシャルターゲッ
ト（１５）を回転軸（４）に螺着させるための工具が係
合可能とされているさらに、上記ねじ軸（１５ａ）の基
部外周は、円筒面状に形成されており、一方、上記ねじ
穴（４ａ）の開口端側内周には、回転軸（４）にアキシ
ャルターゲット（１５）を螺着させるときにねじ軸（１
５ａ）の基部外周に周接して回転軸（４）に対しアキシ
ャルターゲット（１５）を同軸状に位置決めする円筒面
状のガイド部（４ｂ）が形成されている。尚、図１
（ａ）の（２６）は、スラスト位置センサ（１３）及び
アキシャルターゲット（１５）間のギャップ調整を行う
ためのスペーサである。

【００３２】次に、上記ターボ分子ポンプにおいて、回
転軸（４）にアキシャルターゲット（１５）を回転一体
に連結する作業について説明する。

【００３３】ここでは、先端部が二股に分かれていて、
その各先端が上記アキシャルターゲット（１５）の各々
の凹部（１５ｂ）に係入可能な工具を用いる。そして、
回転軸（４）の下端部に、スペーサ（２６）と、スラス
ト磁気軸受（１１）のディスク（１１ａ）とを順に外嵌
合させた状態で、該回転軸（４）のねじ穴（４ａ）にア
キシャルターゲット（１５）のねじ軸（１５ａ）を臨ま
せ、上記工具を用いてアキシャルターゲット（１５）の
雄ねじを回転軸（４）の雌ねじに螺合させていく。

【００３４】すると、ねじ軸（１５ａ）の基部外周がね
じ穴（４ａ）のガイド部（４ｂ）に周接するようにな
り、このことで、回転軸（４）に対し、アキシャルター
ゲット（１５）は同軸状に位置決めされた状態で螺着さ
れる。また、このことで、スラスト磁気軸受（１１）の
ディスク（１１ａ）は回転軸（４）に回転一体に連結さ
れる。

【００３５】したがって、本実施形態によれば、ターボ
分子ポンプにおける回転軸（４）及びアキシャルターゲ
ット（１５）間の螺着構造において、回転軸（４）に、
雌ねじが形成されたねじ穴（４ａ）を設ける一方、アキ
シャルターゲット（１５）には、上記雌ねじに螺合する
雄ねじが形成されたねじ軸（１５ａ）を設けるようにし
たので、従来ではアキシャルターゲット（１５）の側に
設けられているねじ穴（図５（ａ）の（ｅ）参照）を無
くすることができる。よって、そのようなねじ穴を有す
ることに起因するアキシャルターゲット（１５）の薄肉
化の制約を無くすることができ、アキシャルターゲット
（１５）の厚さ（Ｔ）を薄くできるようになる。

【００３６】また、上記アキシャルターゲット（１５）
を回転軸（４）に螺着させる際に、その凹部（１５
ｂ），（１５ｂ）に工具を係合させることができるよう
にしたので、従来のような切欠部（図５の（ｆ）を参
照）を設けることに起因するアキシャルターゲット（１
５）の薄肉化の制約を無くすることができる。さらに、
上記切欠部に起因してアキシャルターゲット（１５）の
径（Ｄ）を小さくできないという制約も無くなる。

【００３７】よって、上記アキシャルターゲット（１
５）を薄肉化することで、回転系の軸長を短くすること
ができるとともに、図１（ｂ）に示すようにアキシャル
ターゲット（１０）の小径化を図ることができることと
相俟って、回転系の端部を軽量化することができ、これ
らにより、ターボ分子ポンプにおける回転系の共振点を
上げて高速化を図ることができる。また、上記回転系の
軸長を短くすることで、ターボ分子ポンプのコンパクト
化を図ることもできる。

【００３８】尚、上記実施形態１では、螺着部材がアキ
シャルターゲット（１５）である場合について説明して
いるが、上記螺着部材は、回転軸の一方の端部に螺着さ
れるものであればよい。

【００３９】また、上記実施形態１では、半導体装置製
造時のエッチング工程における反応生成物を排気するタ
ーボ分子ポンプの場合について述べているが、その他の
超高真空ポンプにも本発明を適用することができる。

【００４０】（実施形態２） 図３は、本発明の実施形態２に係るターボ分子ポンプの
要部を示し、上記実施形態１の場合と同じ部分には同じ
符号を付している。

【００４１】この実施形態では、アキシャルターゲット
（１５）に、スラスト磁気軸受（１１）のディスク（１
１ａ）が一体に設けられている。そして、上記ディスク
（１１ａ）がアキシャルターゲット（１５）に一体化さ
れていることで、アキシャルターゲット（１５）に凹部
（１５ｂ）を設ける際に、アキシャルターゲット（１
５）の本体部分（ディスク（１１ａ）の下面側の部分）
に止どまらず、ディスク（１１ａ）の部分に亘って設け
ることができるようになっている。尚、その他の構成は
実施形態１の場合と同じであるので説明は省略する。

【００４２】したがって、この実施形態によっても、上
記実施形態１の場合と同じ効果を奏することができる
他、部品点数を少なくしてその組付作業を容易化するこ
とができる。また、アキシャルターゲット（１５）の本
体部分の厚さ（Ｔ）を薄くしたにも拘らず、各凹部（１
５ｂ）の軸心方向の長さを長くとることができ、各凹部
（１５ｂ）に対する螺着工具のより確実な係合を確保す
ることができる。

【００４３】（実施形態３）図４は、本発明の実施形態
３に係るターボ分子ポンプの要部を示し、上記実施形態
１の場合と同じ部分には同じ符号を付している。

【００４４】この実施形態では、上記実施形態２の場合
と同じくアキシャルターゲット（１５）にスラスト磁気
軸受（１１）のディスク（１１ａ）が一体に設けられて
いるが、実施形態２と異なるのは、回転軸（４）とディ
スク（１１ａ）の部分との間に介装されていたスペーサ
（図３の（２６）参照）が省略されており、形状として
は、アキシャルターゲット（１５）に上記スペーサが一
体に設けられた状態となっている。

【００４５】したがって、この実施形態によれば、スペ
ーサを用いてのスラスト位置センサ（１３）及びアキシ
ャルターゲット（１５）間のギャップ調整ができないこ
とから、その分だけ高度の加工が要求されるようになる
他は、上記実施形態２の場合と同じ効果を奏することが
できる。

【００４６】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、吸気口及び排気口を有するケーシングと、この
ケーシング内に回転可能に設けられた回転軸と、この回
転軸に回転一体に設けられたポンプロータと、上記回転
軸の一端部に回転一体に螺着されたアキシャルターゲッ
トとを備え、上記回転軸に、内周に雌ねじが形成された
ねじ穴を設ける一方、上記アキシャルターゲットに、外
周に上記雌ねじに螺合する雄ねじが形成されたねじ軸を
設けるようにしたので、従来ではアキシャルターゲット
に設けられているねじ穴を無くすることができ、そのよ
うなねじ穴を有することに起因するアキシャルターゲッ
トの薄肉化の制約を無くすることができる結果、回転系
の軸長を短くするとともにその端部を軽量化して回転系
の共振点を上げることができ、よって、真空ポンプにお
ける回転系の高速化を図ることができる。また、上記回
転系の軸長を短くすることで、真空ポンプのコンパクト
化を図ることもできる。

【００４７】また、上記アキシャルターゲットが回転軸
の回転数検出用の凹部を有するものである場合に、上記
凹部に工具を係合させて回転軸にアキシャルターゲット
を螺着できるようにしたので、従来ではアキシャルター
ゲットの直径方向の両側に設けられている切欠部を無く
することができ、そのような切欠部を有することに起因
するアキシャルターゲットの薄肉化の制限を無くするこ
とができる結果、真空ポンプにおける回転系の高速化
と、真空ポンプのコンパクト化とをさらに図ることがで
きる。

【００４８】請求項２の発明によれば、上記ねじ穴の開
口端側内周に、回転軸にアキシャルターゲットを螺着さ
せるときにねじ軸の基部外周に周接して回転軸に対しア
キシャルターゲットを同軸状に位置決めするガイド部を
形成するようにしたので、雌ねじ及び雄ねじ間の螺合関
係のみでは不十分となる回転軸に対するアキシャルター
ゲットの同軸管理を十分に行うことができる。

【００４９】請求項３の発明によれば、上記アキシャル
ターゲットに、スラスト磁気軸受のディスクを一体に設
けるようにしたので、真空ポンプの部品点数を少なくし
てその組付作業を容易化することができる。また、アキ
シャルターゲットに凹部を設ける際には、そのアキシャ
ルターゲットの厚さよりも軸心方向の長さの大きい凹部
を得ることができ、アキシャルターゲットの薄肉化に拘
らず、凹部に対する螺着工具のより確実な係合を確保す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態１に係るターボ分子ポンプの
回転軸及びアキシャルターゲット間の螺着構造を拡大し
て示す縱断面図（ａ）及びアキシャルターゲットの底面
図（ｂ）である。

【図２】ターボ分子ポンプの全体構成を示す縱断面図で
ある。

【図３】本発明の実施形態２に係るターボ分子ポンプの
要部を拡大して示す図１（ａ）相当図である。

【図４】本発明の実施形態３に係るターボ分子ポンプの
要部を拡大して示す図１（ａ）相当図である。

【図５】従来のターボ分子ポンプの要部を拡大して示す
図１相当図である。

【図６】提案例のターボ分子ポンプの要部を拡大して示
す図１（ａ）相当図である。

【符号の説明】

（１） 吸気口 （２） 排気口 （３） ケーシング （４） 回転軸 （４ａ） ねじ穴 （４ｂ） ガイド部 （５） ポンプロータ （１５） アキシャルターゲット（螺着部材） （１５ａ） ねじ軸 （１５ｂ） 凹部

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 吸気口（１）及び排気口（２）を有する
   ケーシング（３）と、 上記ケーシング（３）内に回転可能に設けられた回転軸
   （４）と、 上記回転軸（４）に回転一体に設けられたポンプロータ
   （５）と、上記ケーシング（３）と回転軸（４）の間に設けられた
   スラスト磁気軸受（１１）及びラジアル磁気軸受（１
   ２）と、 上記回転軸（４）の一端部に回転一体に螺着されて該回
   転軸（４）のスラスト方向の位置を検出するためのアキ
   シャルターゲット（１５）とを備え、 上記回転軸（４）は、上記端部の軸心位置に該回転軸
   （４）の軸心方向に延びるように設けられかつ内周に雌
   ねじが形成されてなるねじ穴（４ａ）を有する一方、 上記アキシャルターゲット（１５）は、外周に上記雌ね
   じに螺合して回転軸（４）にアキシャルターゲット（１
   ５）を螺着させる雄ねじが形成されてなるねじ軸（１５
   ａ）を有すると共に、 上記アキシャルターゲット（１５）は、該アキシャルタ
   ーゲット（１５）の軸心から偏心した位置に回転軸
   （４）の回転数検出用の凹部（１５ｂ）を有し、 上記凹部（１５ｂ）は、アキシャルターゲット（１５）
   を回転軸（４）に螺着させるための工具が係合可能とさ
   れている ことを特徴とする真空ポンプ。
2. 【請求項２】 請求項１記載の真空ポンプにおいて、 ねじ穴（４ａ）の開口端側内周に、回転軸（４）にアキ
   シャルターゲット（１５）を螺着させるときにねじ軸
   （１５ａ）の基部外周に周接して回転軸（４）に対しア
   キシャルターゲット（１５）を同軸状に位置決めするガ
   イド部（４ｂ）が形成されていることを特徴とする真空
   ポンプ。
3. 【請求項３】 請求項１又は２記載の真空ポンプにおい
   て、 アキシャルターゲット（１５）に、スラスト磁気軸受
   （１１）のディスク（１１ａ）が一体に設けられている
   ことを特徴とする真空ポンプ。