JP2918889B2 - Magneto-optical recording medium and magneto-optical recording method - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は、レーザー光等の熱および光を用いて情報の
記録、再生を行なう光磁気記録ディスク等の光磁気記録
媒体および光磁気記録媒体に光磁気記録を行なう光磁気
記録方法に関する。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magneto-optical recording medium such as a magneto-optical recording disk for recording and reproducing information using heat and light such as a laser beam, and a magneto-optical recording medium. And a magneto-optical recording method for performing magneto-optical recording.

＜従来の技術＞ 光磁気記録媒体の記録層には、希土類元素−遷移金属
の非晶質磁性薄膜が用いられている。<Related Art> A rare earth element-transition metal amorphous magnetic thin film is used for a recording layer of a magneto-optical recording medium.

希土類元素としては、Gd、Tb、Dy等、遷移金属として
は、Fe、Co等が好ましく用いられ、特に、C/N比が高い
ことから、GdDyFeCo、TbDyFeCoからなる記録層が提案さ
れている。Gd, Tb, Dy, etc. are preferably used as rare earth elements, and Fe, Co, etc. are preferably used as transition metals. In particular, a recording layer made of GdDyFeCo, TbDyFeCo has been proposed because of its high C / N ratio.

例えば、特開昭60−83305号公報では、Fe−Co−Dy系
においてDyの一部をTbまたはGdで置換しており、その実
施例には、（Fe_1-bCo_b）₇₅Tb₆Gd₁₉（ただし、０＜ｂ≦
0.4）が記載されている。そして、その効果は、カー回
転角の増大によるC/N比の向上である。For example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-83305, a part of Dy is replaced with Tb or Gd in the Fe-Co-Dy system, and examples thereof include (Fe _1-b Co _b ) ₇₅ Tb ₆ Gd ₁₉ (However, 0 <b ≦
0.4) is described. The effect is an improvement in the C / N ratio due to an increase in the car rotation angle.

また、特開昭60−9855号公報には、TbDyFeCoが開示さ
れており、その実施例には、Co_38.5Fe_38.5Dy_13.8T
b_9.2、Co_17.0Fe_62.5Dy_5.7Tb_10.2が記載されている。そ
して、その効果は、磁歪値の減少とカー回転角の増大と
の相乗効果によるS/N比の向上である。Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-9855 discloses TbDyFeCo, and its examples include Co _38.5 Fe _38.5 Dy _13.8 T
b _9.2 and Co _17.0 Fe _62.5 Dy _5.7 Tb _10.2 . The effect is an improvement in the S / N ratio due to a synergistic effect of a decrease in the magnetostriction value and an increase in the Kerr rotation angle.

さらに、特開昭60−107751号公報の実施例には、（Dy
_0.3Tb_0.7）_0.2（Fe_0.7Co_0.3）_0.8、すなわち、Dy₆Tb₁₄F
e₅₆Co₂₄が記載されている。Further, examples of JP-A-60-107751 include (Dy
_0.3 Tb _0.7 ) _0.2 (Fe _0.7 Co _0.3 ) _0.8 , ie Dy ₆ Tb ₁₄ F
e ₅₆ Co ₂₄ is described.

そして、その効果は、キューリー温度の低下とカー回
転角の増大によるS/N比の向上である。The effect is an improvement in the S / N ratio due to a decrease in the Curie temperature and an increase in the Kerr rotation angle.

さらにまた、特開昭60−233810号公報には、比較例と
して（Fe_0.9Co_0.1）_0.8（Tb_0.5Dy_0.5）_0.2および（Fe
_0.9Co_0.1）_0.79（Tb_0.5Dy_0.5）_0.21、すなわち、それぞ
れFe₇₂Co₈Tb₁₀Dy₁₀およびFe₇₁CO₈Tb_10.5Dy_10.5が記載さ
れている。Furthermore, Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-233810 discloses (Fe _0.9 Co _0.1 ) _0.8 (Tb _0.5 Dy _0.5 ) _0.2 and (Fe
_0.9 Co _0.1 ) _0.79 (Tb _0.5 Dy _0.5 ) _0.21 , that is, Fe ₇₂ Co ₈ Tb ₁₀ Dy ₁₀ and Fe ₇₁ CO ₈ Tb _10.5 Dy _10.5, respectively.

これらの他にも、特開昭60−98611号公報、同59−217
249号公報にもTbDyFeCoは開示されているが、その効果
としては、カー回転角の増大、飽和磁化の向上、キュリ
ー温度の低下等である。In addition to these, JP-A-60-98611 and JP-A-59-217
No. 249 also discloses TbDyFeCo, but its effects include an increase in Kerr rotation angle, an increase in saturation magnetization, a decrease in Curie temperature, and the like.

しかし、上記公報に記載されている組成範囲では、C/
N比の向上が不十分であったり、情報記録・消去時に必
要とされる磁界強度が大きなものとなる。However, in the composition range described in the above publication, C /
The improvement of the N ratio is insufficient, and the magnetic field strength required for information recording / erasing becomes large.

すなわち、光磁気記録媒体は、情報記録時および消去
時に外部から磁界が印加されるが、これらに必要な磁界
強度（以下、Hextという）は、上記の各公報に記載され
ているような組成のものでは、比較的大きな磁界、例え
ば300Oe以上必要であるため磁界発生装置が大型化し、
従って、光磁気記録媒体の記録・再生装置も大型化して
しまう。また、上記組成の記録層では、情報消去時に必
要な磁界強度も当然高いものとなる。That is, a magnetic field is applied to the magneto-optical recording medium from the outside during information recording and erasing, and the magnetic field strength (hereinafter, referred to as Hext) required for these components has the composition described in each of the above publications. In such a case, a relatively large magnetic field, for example, 300 Oe or more is required, so the magnetic field generator becomes large,
Therefore, the size of the recording / reproducing apparatus for the magneto-optical recording medium also increases. Further, in the recording layer having the above composition, the magnetic field strength required at the time of erasing information is naturally high.

また、近年、独立した消去過程を設けず情報の重ね書
きにより消去を行なういわゆるオーバーライト法に対す
る要求から、一定の強度の光を照射しながら変調された
磁界により記録を行なう磁界変調記録が注目されている
が、この場合、上記の各公報に記載の記録層では大きな
印加磁界強度を必要とするためにインダクタンスの大き
なコイルを用いる必要がある。インダクタンスの大きな
コイルでは磁界反転時間を短くできないため、高速記録
が困難である。In recent years, due to a demand for a so-called overwrite method in which erasing is performed by overwriting information without providing an independent erasing process, magnetic field modulation recording in which recording is performed with a magnetic field modulated while irradiating light of a constant intensity has attracted attention. However, in this case, the recording layer described in each of the above publications requires a large applied magnetic field strength, so that a coil having a large inductance must be used. Since a magnetic field reversal time cannot be shortened with a coil having a large inductance, high-speed recording is difficult.

このため、本発明者等は、Tb、DyおよびCoの原子％で
表わされる含有量が 20.5≦Tb＋Dy≦31.0 0.088≦Tb/（Tb＋Dy）≦0.22 6.0≦Co≦15.0 であり、残部が実質的にFeである記録層を有する光磁気
記録媒体およびこの光磁気記録媒体を用いた高速記録可
能な磁界変調型光磁気記録方法を提案している（特願昭
63−77394号）。この光磁気記録媒体は、C/N比が高く、
しかも、Hextを低く押えることができるものである。Therefore, the present inventors have found that the content represented by atomic% of Tb, Dy and Co is 20.5 ≦ Tb + Dy ≦ 31.0 0.088 ≦ Tb / (Tb + Dy) ≦ 0.22 6.0 ≦ Co ≦ 15.0, and the balance is substantially the same. A magneto-optical recording medium having a recording layer of Fe and a magnetic field modulation type magneto-optical recording method capable of high-speed recording using the magneto-optical recording medium have been proposed.
63-77394). This magneto-optical recording medium has a high C / N ratio,
Moreover, Hext can be kept low.

特願昭63−77394号に記載の光磁気記録媒体の記録層
はHextが小さいため、インダクタンスの小さなコイルを
用いることができ、高速記録が可能であるが、さらに高
速記録を行なうために、よりインダクタンスの小さなコ
イルを用いる場合、コイルと記録層との距離を近接させ
なければならない。Since the recording layer of the magneto-optical recording medium described in Japanese Patent Application No. 63-77394 has a small Hext, a coil with a small inductance can be used, and high-speed recording is possible. When a coil having a small inductance is used, the distance between the coil and the recording layer must be reduced.

しかし、記録層を有する一対の基板を、記録層を内側
にして張り合せて構成される両面記録型の光磁気記録媒
体、あるいは、片面記録型であっても基板の記録層上に
基板と同程度の厚さの保護板を有する光磁気記録媒体で
は、基板あるいは保護板の厚さのために、コイルと記録
層とを近接させることが困難である。このため、よりイ
ンダクタンスの小さなコイルを用いる場合は、記録層上
に、例えば、有機系物質から構成される厚さ１〜100μ
ｍの保護コートを設けた片面記録型の光磁気記録媒体と
して用いることが好ましい。しかし、このような保護コ
ートでは耐食性が十分とはいえない。However, a double-sided recording type magneto-optical recording medium composed of a pair of substrates having a recording layer bonded together with the recording layer inside, or a single-sided recording type, the same as the substrate on the recording layer of the substrate. In the case of a magneto-optical recording medium having a protective plate of a moderate thickness, it is difficult to bring the coil and the recording layer close to each other because of the thickness of the substrate or the protective plate. Therefore, when a coil having a smaller inductance is used, for example, a thickness of 1 to 100 μm made of an organic substance is formed on the recording layer.
It is preferably used as a single-sided recording type magneto-optical recording medium provided with a protective coat of m. However, such a protective coat does not have sufficient corrosion resistance.

このため、本発明者等は、特願昭63−77394号に記載
の光磁気記録媒体の記録層に、4A族元素、5A族元素、6A
族元素、８族元素、3B族元素、Ｃ、SiおよびＰのうちか
ら選ばれる少なくとも１種以上の元素を、添加元素とし
て添加した光磁気記録媒体を提案している（特願昭63−
140764号）。この光磁気記録媒体は、上記添加元素の添
加により記録層の耐食性を向上させたものである。For this reason, the present inventors have proposed that a recording layer of a magneto-optical recording medium described in Japanese Patent Application No. 63-77394, a 4A group element, a 5A group element, and a 6A group.
A magneto-optical recording medium has been proposed in which at least one element selected from Group III elements, Group VIII elements, Group 3B elements, C, Si, and P is added as an additional element (Japanese Patent Application No. 63-163).
No. 140764). In this magneto-optical recording medium, the corrosion resistance of the recording layer is improved by adding the above-mentioned additional element.

また、本発明者等は、特願昭63−77394号および特願
昭63−140764号に記載の光磁気記録媒体の記録層に、Ge
および／またはSrを添加元素として添加した光磁気記録
媒体を提案している（特願昭63−142462号）。この光磁
気記録媒体は、高温・高湿下での保存後あるいは繰り返
し再生後においても、記録層の感度変化がきわめて小さ
いものである。Further, the present inventors have reported that the recording layer of the magneto-optical recording medium described in Japanese Patent Application No. 63-77394 and Japanese Patent Application No.
And / or a magneto-optical recording medium to which Sr is added as an additional element has been proposed (Japanese Patent Application No. 63-142462). This magneto-optical recording medium has a very small change in sensitivity of the recording layer even after storage under high temperature and high humidity or after repeated reproduction.

さらに、本発明者等は、特願昭63−77394号、特願昭6
3−140764号および特願昭63−142462号に記載の光磁気
記録媒体の記録層に、Bi、Cu、SnおよびPbから選択され
る元素の１種以上を添加元素として添加した光磁気記録
媒体を提案している（特願昭63−143335号）。この光磁
気記録媒体は、C/N比がさらに向上している。Further, the present inventors have disclosed Japanese Patent Application Nos. 63-77394 and 6
Magneto-optical recording medium in which at least one element selected from the group consisting of Bi, Cu, Sn and Pb is added as an additional element to the recording layer of the magneto-optical recording medium described in JP-A-3-140764 and Japanese Patent Application No. 63-142462. (Japanese Patent Application No. 63-143335). This magneto-optical recording medium has a further improved C / N ratio.

＜発明が解決しようとする課題＞ しかし、光磁気記録媒体の耐食性向上に関する要求は
厳しく、特に、磁界変調記録を行なうために片面記録型
として用いる場合、一層高い耐食性が要求される。<Problems to be Solved by the Invention> However, there is a severe demand for improvement in the corrosion resistance of a magneto-optical recording medium, and particularly when used as a single-sided recording type for performing magnetic field modulation recording, higher corrosion resistance is required.

本発明は、情報記録時および消去時に外部から印加さ
れる磁界の強度を低く押えることができる光磁気記録媒
体に、高い耐食性を付与することにより、片面記録型の
構成としても十分な耐食性を有する光磁気記録媒体およ
びこの光磁気記録媒体を用いた高速記録可能な磁界変調
型光磁気記録方法を提供することを目的とする。The present invention provides a magneto-optical recording medium capable of suppressing the intensity of a magnetic field applied from the outside during information recording and erasing to a low level, and by imparting high corrosion resistance, has a sufficient corrosion resistance even as a single-sided recording type configuration. It is an object of the present invention to provide a magneto-optical recording medium and a magnetic field modulation type magneto-optical recording method capable of high-speed recording using the magneto-optical recording medium.

＜課題を解決するための手段＞ このような目的は、下記の本発明により達成される。<Means for Solving the Problems> Such an object is achieved by the following present invention.

すなわち、本発明は、下記（１）〜（８）である。 That is, the present invention includes the following (1) to (8).

（１）Tb、DyおよびCoの原子％で表わされる含有量が 20.5≦Tb＋Dy≦31.0 0.088≦Tb/（Tb＋Dy）≦0.22 6.0≦Co≦15.0 であり、残部が実質的にFeである記録層を基板上に有
し、前記記録層上および／または前記基板と前記記録層
との間に保護層を有する光磁気記録媒体であって、 前記保護層が、酸化ケイ素と、アルカリ金属酸化物
と、酸化アルミニウムおよび／または酸化ホウ素とを含
有し、酸化ケイ素含有量が40〜60wt％、アルカリ金属酸
化物含有量が0.5〜10wt％であることを特徴とする光磁
気記録媒体。(1) A recording layer in which the content represented by atomic% of Tb, Dy and Co is 20.5 ≦ Tb + Dy ≦ 31.0 0.088 ≦ Tb / (Tb + Dy) ≦ 0.226.0 ≦ Co ≦ 15.0, and the balance is substantially Fe. A magneto-optical recording medium having a protective layer on a substrate and / or on the recording layer and / or between the substrate and the recording layer, wherein the protective layer comprises silicon oxide, an alkali metal oxide, A magneto-optical recording medium containing aluminum oxide and / or boron oxide, having a silicon oxide content of 40 to 60% by weight and an alkali metal oxide content of 0.5 to 10% by weight.

（２）Tb、DyおよびCoの原子％で表わされる含有量が 20.5≦Tb＋Dy≦31.0 0.088≦Tb/（Tb＋Dy）≦0.22 6.0≦Co≦15.0 であり、残部が実質的にFeである記録層を基板上に有
し、前記記録層上および／または前記基板と前記記録層
との間に保護層を有する光磁気記録媒体であって、 前記保護層が、酸化ケイ素と、アルカリ金属酸化物
と、ROで示される金属酸化物（Ｒは２価の金属元素）
と、酸化アルミニウムおよび／または酸化ホウ素とを含
有し、酸化ケイ素含有量が40〜60wt％、アルカリ金属酸
化物含有量が0.5〜10wt％であることを特徴とする光磁
気記録媒体。(2) A recording layer in which the content represented by atomic% of Tb, Dy and Co is 20.5 ≦ Tb + Dy ≦ 31.0 0.088 ≦ Tb / (Tb + Dy) ≦ 0.226.0 ≦ Co ≦ 15.0, and the balance is substantially Fe. A magneto-optical recording medium having a protective layer on a substrate and / or on the recording layer and / or between the substrate and the recording layer, wherein the protective layer comprises silicon oxide, an alkali metal oxide, Metal oxide represented by RO (R is a divalent metal element)
And aluminum oxide and / or boron oxide, wherein the content of silicon oxide is 40 to 60% by weight and the content of alkali metal oxide is 0.5 to 10% by weight.

（３）上記（１）または（２）に記載の光磁気記録媒体
の記録層に対し、4A族元素、5A族元素、6A族元素、８族
元素、3B族元素、Ｃ、SiおよびＰのうちから選ばれる少
なくとも１種以上の元素を、添加元素として添加したこ
とを特徴とする光磁気記録媒体。(3) With respect to the recording layer of the magneto-optical recording medium according to (1) or (2), a group 4A element, a group 5A element, a group 6A element, a group 8 element, a group 3B element, C, Si and P A magneto-optical recording medium, wherein at least one element selected from the group is added as an additional element.

（４）前記4A族元素がTi、ZrおよびHfであり、前記5A族
元素がＶ、NbおよびTaであり、前記6A族元素がCr、Moお
よびＷであり、前記８族元素がNiおよびPtであり、前記
3B族元素がＢおよびAlである上記（３）に記載の光磁気
記録媒体。(4) The group 4A element is Ti, Zr and Hf, the group 5A element is V, Nb and Ta, the group 6A element is Cr, Mo and W, and the group 8 element is Ni and Pt. And said
The magneto-optical recording medium according to the above (3), wherein the group 3B element is B and Al.

（５）上記（１）ないし（４）のいずれかに記載の光磁
気記録媒体の記録層に対し、Geおよび／またはSrを添加
元素として添加したことを特徴とする光磁気記録媒体。(5) A magneto-optical recording medium characterized by adding Ge and / or Sr as an additional element to the recording layer of the magneto-optical recording medium according to any one of (1) to (4).

（６）上記（１）ないし（５）のいずれかに記載の光磁
気記録媒体の記録層に対し、Bi、Cu、SnおよびPbから選
択される元素の１種以上を添加元素として添加したこと
を特徴とする光磁気記録媒体。(6) At least one element selected from the group consisting of Bi, Cu, Sn and Pb is added to the recording layer of the magneto-optical recording medium according to any one of the above (1) to (5). A magneto-optical recording medium characterized by the following.

（７）記録層中の前記添加元素の含有量の合計が、１〜
20at％である上記（３）ないし（６）のいずれかに記載
の光磁気記録媒体。(7) The total content of the additional elements in the recording layer is 1 to
The magneto-optical recording medium according to any one of the above (3) to (6), wherein the content is 20 at%.

（８）上記（１）ないし（７）のいずれかに記載の光磁
気記録媒体に光磁気記録を行なう方法であって、光を照
射しながら、変調された磁界を印加することにより光磁
気記録を行なうことを特徴とする光磁気記録方法。(8) A method for performing magneto-optical recording on the magneto-optical recording medium according to any one of the above (1) to (7), wherein magneto-optical recording is performed by applying a modulated magnetic field while irradiating light. And a magneto-optical recording method.

以下、本発明の具体的構成を詳細に説明する。 Hereinafter, a specific configuration of the present invention will be described in detail.

第１図に、本発明の光磁気記録媒体の好適実施例を示
す。FIG. 1 shows a preferred embodiment of the magneto-optical recording medium of the present invention.

第１図に示される光磁気記録媒体１は、基板２上に保
護層３、中間層４、記録層５、保護層６、保護コート７
を順次有する。The magneto-optical recording medium 1 shown in FIG. 1 has a protective layer 3, an intermediate layer 4, a recording layer 5, a protective layer 6, and a protective coat 7 on a substrate 2.
Are sequentially provided.

保護層３および保護層６は、記録層５の耐食性向上の
ために設けられるものであり、これらは少なくとも一
方、好ましくは両方が設けられることが好ましい。The protective layer 3 and the protective layer 6 are provided for improving the corrosion resistance of the recording layer 5, and it is preferable that at least one of them, and preferably both of them are provided.

本発明では、保護層３および保護層６のいずれか一
方、好ましくは保護層６、さらに好ましくは両方が、下
記（Ｉ）〜（IV）のいずれかの組成を有することが好ま
しい。In the present invention, it is preferable that one of the protective layer 3 and the protective layer 6, preferably the protective layer 6, and more preferably both have a composition of any of the following (I) to (IV).

（Ｉ）酸化ケイ素と、酸化アルミニウムまたは酸化ホウ
素と、アルカリ金属酸化物とを含有するガラス質のもの
であり、特に酸化ケイ素含有量が40〜60wt％、アルカリ
金属酸化物含有量が0.5〜10wt％、特に、1.0〜10wt％で
あるもの。(I) A vitreous material containing silicon oxide, aluminum oxide or boron oxide, and an alkali metal oxide, particularly having a silicon oxide content of 40 to 60 wt% and an alkali metal oxide content of 0.5 to 10 wt% %, Especially 1.0 to 10 wt%.

（II）酸化ケイ素と、酸化アルミニウムまたは酸化ホウ
素と、アルカリ金属酸化物と、ROで示される金属酸化物
（Ｒは２価の金属元素）とを含有するガラス質のもので
あり、特に酸化ケイ素含有量が40〜60wt％、アルカリ金
属酸化物含有量が0.5〜10wt％、特に、1.0〜10wt％のも
の。(II) a vitreous material containing silicon oxide, aluminum oxide or boron oxide, an alkali metal oxide, and a metal oxide represented by RO (R is a divalent metal element); Those having a content of 40 to 60 wt% and an alkali metal oxide content of 0.5 to 10 wt%, particularly 1.0 to 10 wt%.

（III）酸化ケイ素と、酸化ホウ素と、酸化アルミニウ
ムと、アルカリ金属酸化物とを含有するガラス質のもの
であり、特に酸化ケイ素含有量が40〜60wt％、アルカリ
金属酸化物含有量が0.5〜10wt％、特に、1.0〜10wt％で
あるもの。(III) glassy material containing silicon oxide, boron oxide, aluminum oxide, and alkali metal oxide, particularly having a silicon oxide content of 40 to 60 wt% and an alkali metal oxide content of 0.5 to 10wt%, especially 1.0-10wt%.

（IV）酸化ケイ素と、酸化ホウ素と、酸化アルミニウム
と、アルカリ金属酸化物と、ROで示される金属酸化物
（Ｒは２価の金属元素）とを含有するガラス質のもので
あり、特に酸化ケイ素含有量が40〜60wt％、アルカリ金
属酸化物含有量が0.5〜10wt％、特に1.0〜10wt％である
もの。(IV) a vitreous material containing silicon oxide, boron oxide, aluminum oxide, an alkali metal oxide, and a metal oxide represented by RO (R is a divalent metal element); Those having a silicon content of 40 to 60 wt% and an alkali metal oxide content of 0.5 to 10 wt%, particularly 1.0 to 10 wt%.

上記材質（Ｉ）〜（IV）を用い、しかも含有量を所定
の範囲内とした場合には、光磁気記録媒体の耐食性は格
段と向上する。When the above materials (I) to (IV) are used and the content is within a predetermined range, the corrosion resistance of the magneto-optical recording medium is significantly improved.

なお、（Ｉ）〜（IV）において、酸化ケイ素は通常Si
O₂の形で存在する。In (I) to (IV), silicon oxide is usually Si
Exists in the form of O ₂ .

アルカリ金属酸化物としてはLi₂O、Na₂O、K₂O、Rb
₂O、Cs₂O、Fr₂O等が挙げられるが、中でも特にLi₂O、Na
₂O、K₂Oが好ましい。これらは１種類のみならず、２種
類以上を併用してもよい。Li ₂ O, Na ₂ O, K ₂ O, Rb
₂ O, Cs ₂ O, Fr ₂ O and the like, among which Li ₂ O, Na
₂ O and K ₂ O are preferred. These may be used alone or in combination of two or more.

酸化ホウ素および酸化アルミニウムは、通常、それぞ
れB₂O₃、Al₂O₃等の形で存在する。Boron oxide and aluminum oxide usually exist in the form of B ₂ O ₃ , Al ₂ O _{3 and the} like, respectively.

ROで示される２価の金属酸化物としては、例えばBa
O、CaO、MgO、ZnO、SrO等が挙げられ、中でも特にBaO、
CaO、SrOを用いるのが好ましい。これらは２種以上併用
してもよい。Examples of the divalent metal oxide represented by RO include Ba
O, CaO, MgO, ZnO, SrO and the like, among them, especially BaO,
It is preferable to use CaO and SrO. These may be used in combination of two or more.

さらにより好ましい態様である上記（Ｉ）〜（IV）の
組成を詳述すれば、 （Ｉ）においては、用いる酸化ホウ素または酸化アルミ
ニウムを30〜59.5wtで含有させることが好ましい。The composition of the above (I) to (IV), which is an even more preferred embodiment, will be described in detail. In (I), it is preferable that boron oxide or aluminum oxide to be used is contained at 30 to 59.5 wt.

（II）においては、用いる酸化ホウ素または酸化アルミ
ニウムを30〜59.5wt％で含有させ、その含有量の一部ま
たは全部をRO金属酸化物でおきかえ、ROの含有率を層全
体で10〜50wt％、特に10〜35wt％とすることが好まし
い。In (II), boron oxide or aluminum oxide to be used is contained at 30 to 59.5 wt%, and part or all of the content is replaced with RO metal oxide, and the RO content is 10 to 50 wt% in the whole layer. In particular, it is preferably 10 to 35% by weight.

（III）においては、酸化ホウ素および酸化アルミニウ
ムを総和で30〜59.5wt％含有させることが好ましい。な
お、（III）、（IV）において、各々の含有量は、酸化
ホウ素1.0〜40wt％程度、酸化アルミニウム3.0〜45wt％
程度とすることが好ましい。In (III), it is preferable to contain boron oxide and aluminum oxide in a total amount of 30 to 59.5 wt%. In addition, in (III) and (IV), the content of each is about 1.0 to 40 wt% of boron oxide and 3.0 to 45 wt% of aluminum oxide.
It is preferable to set the degree.

（IV）においては、酸化ホウ素と酸化アルミニウムとの
総和が10〜49.5wt％、ROで示される金属酸化物の含有量
が10〜49.5wt％となるようにすることが好ましい。In (IV), it is preferable that the sum of boron oxide and aluminum oxide is 10 to 49.5 wt%, and the content of the metal oxide represented by RO is 10 to 49.5 wt%.

このような組成を有する保護層は、特願昭61−300859
号、同61−302275号、同61−303224号、同61−313614
号、同61−314949号等に開示されている。A protective layer having such a composition is disclosed in Japanese Patent Application No. 61-300859.
Nos. 61-302275, 61-303224, 61-313614
And No. 61-314949.

なお、保護層３および６の組成は、上記（Ｉ）〜（I
V）のいずれであってもよく、保護層３と保護層６との
組成は必ずしも同一である必要はない。The compositions of the protective layers 3 and 6 are as described in the above (I) to (I
V), and the compositions of the protective layer 3 and the protective layer 6 do not necessarily have to be the same.

このような保護層は、通常、非晶質状態にある。 Such a protective layer is usually in an amorphous state.

また、このような保護層は、各種気相成膜法、例え
ば、スパッタ法、蒸着法、イオンプレーティング法、プ
ラズマCVD、光CVD、特に所望の組成のターゲットを用い
るスパッタ法、２種以上の異なる組成からなるターゲッ
トを用いた多元スパッタ法あるいは酸素、窒素を用いる
反応性スパッタ法等によって形成されることが好まし
い。Further, such a protective layer is formed by various vapor deposition methods, for example, a sputtering method, an evaporation method, an ion plating method, a plasma CVD method, an optical CVD method, and particularly a sputtering method using a target having a desired composition. It is preferably formed by a multi-source sputtering method using targets having different compositions or a reactive sputtering method using oxygen and nitrogen.

そして、このような保護層の厚さは、磁性薄膜層の上
面および下面に設けられるにかかわらず、それぞれ300
〜3000Å、特に500〜2000Åとすることが好ましい。The thickness of such a protective layer is 300 irrespective of whether it is provided on the upper and lower surfaces of the magnetic thin film layer.
It is preferably set to Å3000Å, particularly preferably 500〜2000Å.

この値が300Å未満であると、耐候性が悪く、また300
0Åをこえると、感度が低下する。If this value is less than 300 mm, the weather resistance is poor and
If it exceeds 0 °, the sensitivity will decrease.

なお、このような保護層３を基板２上に設け、この上
に後述する中間層を設ける場合には、保護層３の厚さは
300〜1000Å程度、中間層を500〜1500Å程度とすること
が好ましい。When such a protective layer 3 is provided on the substrate 2 and an intermediate layer described later is provided thereon, the thickness of the protective layer 3 is
It is preferable that the thickness is about 300 to 1000 ° and the thickness of the intermediate layer is about 500 to 1500 °.

また、保護層中の不純物として、成膜雰囲気中に存在
するAr、N₂等が入ってもよい。Further, Ar, N _2, or the like existing in the film formation atmosphere may be included as an impurity in the protective layer.

その他、Fe₂O₃、CuO、Cr₂O₃、MnO_x、CoO、NiO、As₂O₃
等が全体の1.0wt％程度以下含有されてもよい。In addition, Fe ₂ O ₃ , CuO, Cr ₂ O ₃ , MnO _x , CoO, NiO, As ₂ O ₃
Etc. may be contained in an amount of about 1.0% by weight or less of the whole.

本発明において、記録層５は、上記組成を有する。 In the present invention, the recording layer 5 has the above composition.

Tb、DyおよびCoの組成範囲を上記のように限定した理
由は、以下のとおりである。The reasons for limiting the composition ranges of Tb, Dy and Co as described above are as follows.

Tb＋Dyが上記範囲未満であると、磁場感度が低下して
Hextが300Oe程度以上必要となり、また、Hcが低下し、C
/N比の低下を招く。If Tb + Dy is less than the above range, the magnetic field sensitivity decreases
Hext is required about 300 Oe or more, and Hc decreases, C
/ N ratio is reduced.

Tb＋Dyが上記範囲を超えると、磁場感度が低下してHe
xtが300Oe程度以上必要となり、また、Hcが低下し、C/N
比の低下を招く他、信頼性が低下する。If Tb + Dy exceeds the above range, the magnetic field sensitivity decreases and He
xt needs to be about 300 Oe or more, and Hc decreases, C / N
In addition to lowering the ratio, the reliability decreases.

Tb/（Tb＋Dy）が上記範囲未満であると、Hextが300Oe
程度以上となり、また、キュリー点が低下して熱安定性
が低下する。If Tb / (Tb + Dy) is less than the above range, Hext is 300 Oe
Or more, and the Curie point is lowered to lower the thermal stability.

Tb/（Tb＋Dy）が上記範囲を超えると、Hextが300Oe程
度以上となる。When Tb / (Tb + Dy) exceeds the above range, Hext becomes about 300 Oe or more.

なお、2.5≦Tb≦5.0かつ18.0≦Dy≦26.0であると、さ
らに良好な特性を得ることができ、特にHextが低下す
る。In addition, when 2.5 ≦ Tb ≦ 5.0 and 18.0 ≦ Dy ≦ 26.0, even better characteristics can be obtained, and Hext is particularly reduced.

Coが上記範囲未満であると、記録層の耐食性が不十分
となり信頼性が低下する。また、キュリー点が低下し、
熱安定性が低くなる。When Co is less than the above range, the corrosion resistance of the recording layer becomes insufficient and the reliability is reduced. In addition, Curie point decreases,
Thermal stability decreases.

Coが上記範囲を超えると、C/N比が低下し、Hextも増
大してしまう。If Co exceeds the above range, the C / N ratio decreases, and Hext also increases.

そして、それらの元素を除いた残部が、実質的にFeと
される。And the remainder excluding these elements is substantially Fe.

本発明では、このような構成の記録層に、下記Ｘ群、
Ｙ群およびＺ群から選択される元素が、少なくとも１種
以上添加されていてもよい。In the present invention, the recording layer having such a structure includes the following X group,
At least one element selected from the group Y and the group Z may be added.

Ｘ群:4A族元素、5A族元素、6A族元素、８族元素、3B
族元素、Ｃ、SiおよびＰのうちから選ばれる少なくとも
１種以上の元素。Group X: 4A group element, 5A group element, 6A group element, 8 group element, 3B
At least one element selected from group elements, C, Si and P.

なお、この場合、4A族元素としてはTi、ZrおよびHf
が、5A族元素としてはＶ、NbおよびTaが、6A族元素とし
てはCr、MoおよびＷが、８族元素としてはNiおよびPt
が、3B族元素としてはＢおよびAlが好ましい。In this case, Ti, Zr and Hf
V, Nb and Ta as Group 5A elements, Cr, Mo and W as Group 6A elements, and Ni and Pt as Group 8 elements
However, B and Al are preferable as group 3B elements.

Ｙ群:Geおよび／またはSr。 Group Y: Ge and / or Sr.

Ｚ群:Bi、Cu、SnおよびPbから選択される元素の１種
以上。Group Z: one or more elements selected from Bi, Cu, Sn and Pb.

上記Ｘ群を添加することにより、記録層の耐食性が向
上する。By adding the group X, the corrosion resistance of the recording layer is improved.

上記Ｙ群を添加することにより、記録層の非晶質状態
が安定化するという効果が実現する。By adding the Y group, an effect of stabilizing the amorphous state of the recording layer is realized.

すなわち、高温・高湿状態下で保存された場合に生じ
る記録層の感度変化（アニール効果）が防止される。ま
た、繰り返し再生による記録層の感度変化も防止され
る。なお、上記Ｘ群のうち、Ｂおよび／またはSiの添加
によっても、この効果は実現する。That is, a change in the sensitivity of the recording layer (annealing effect) that occurs when the recording layer is stored under a high temperature and high humidity state is prevented. Further, a change in the sensitivity of the recording layer due to repeated reproduction is also prevented. This effect is also realized by the addition of B and / or Si in the X group.

上記Ｚ群を添加することにより、カー回転角が増大
し、C/N比が向上する。なお、上記Ｘ群のうち、Crおよ
び／またはNiの添加によっても、この効果は実現する。By adding the Z group, the Kerr rotation angle increases, and the C / N ratio improves. This effect is also realized by the addition of Cr and / or Ni in the group X.

これら添加元素の記録層中における含有量比、すなわ
ち、Tb、Dy、Co、Feおよび添加元素の含有量の合計に対
する添加元素の含有量の比率は、１〜20at％、特に２〜
10at％であることが好ましい。含有量がこの範囲である
と、上記各効果はきわめて高いものとなる。The content ratio of these additional elements in the recording layer, that is, the ratio of the content of the additional element to the total content of Tb, Dy, Co, Fe and the additional element is 1 to 20 at%, particularly 2 to 20 at%.
It is preferably 10 at%. When the content is within this range, each of the above effects becomes extremely high.

このような記録層５は、気相成膜法、特にスパッタ法
により設層されることが好ましく、通常、非晶質状態で
ある。Such a recording layer 5 is preferably formed by a vapor deposition method, particularly a sputtering method, and is usually in an amorphous state.

また、記録層５の層厚は、通常、10〜1000nm程度であ
る。The thickness of the recording layer 5 is usually about 10 to 1000 nm.

基板２は、ガラスあるいは樹脂製、特にアクリル樹
脂、ポリカーボネート樹脂、エポキシ樹脂、ポリオレフ
ィン樹脂等から構成されることが好ましく、記録光およ
び再生光に対して透明なものである。また、その厚さは
通常0.5〜3mm程度とされ、外形形状は、ディスク状ある
いはその他目的に応じて選定される。The substrate 2 is preferably made of glass or resin, particularly, acrylic resin, polycarbonate resin, epoxy resin, polyolefin resin or the like, and is transparent to recording light and reproduction light. The thickness is usually about 0.5 to 3 mm, and the outer shape is selected according to a disc shape or other purposes.

中間層４は、C/N比の向上のために設けられるもので
あり、各種誘電体物質、例えば、各種酸化物、窒化物、
硫化物、あるいはこれらの混合体から形成されることが
好ましく、その層厚は30〜150nm程度であることが好ま
しい。また、設層方法は、スパッタ法等の気相成膜法を
用いることが好ましい。The intermediate layer 4 is provided for improving the C / N ratio, and includes various dielectric materials, for example, various oxides, nitrides,
It is preferably formed from a sulfide or a mixture thereof, and the layer thickness is preferably about 30 to 150 nm. Further, it is preferable to use a vapor phase film forming method such as a sputtering method as a layering method.

保護コート７は耐食性の向上のために設けられるもの
であり、種々の有機系の物質から構成されることが好ま
しいが、特に、電子線、紫外線等の放射線により硬化可
能なアクリル系二重結合を有する放射線硬化型化合物
を、放射線硬化させた物質から構成されることが好まし
い。The protective coat 7 is provided for improving corrosion resistance, and is preferably made of various organic substances. In particular, an acrylic double bond curable by radiation such as an electron beam or an ultraviolet ray is used. The radiation-curable compound is preferably composed of a radiation-cured substance.

また、保護コート７の厚さは、通常、１〜100μｍ程
度とすることが好ましい。The thickness of the protective coat 7 is usually preferably about 1 to 100 μm.

これらの各層から構成される光磁気記録媒体１は、記
録層５を内側にして２組の光磁気記録媒体１が接着され
て両面記録型の媒体とすることができ、また、保護コー
ト７上に保護板を接着して片面記録型の媒体とすること
ができる。The magneto-optical recording medium 1 composed of these layers can be used as a double-sided recording medium by bonding two sets of magneto-optical recording media 1 with the recording layer 5 inside. A single-sided recording medium can be obtained by bonding a protective plate to the recording medium.

しかし、磁気ヘッドと媒体との距離を小さくすること
ができ高速記録が可能であることから、保護板を設けな
い構成の片面記録型の媒体とすることが好ましい。However, since the distance between the magnetic head and the medium can be reduced and high-speed recording is possible, it is preferable to use a single-sided recording medium having no protective plate.

なお、保護板を設ける場合、保護板としては、通常、
基板２と同質のものを用いればよいが、透明である必要
はなく、その他の材質も用いることができる。また、接
着は、公知のいずれの接着剤を用いてもよく、例えばホ
ットメルト系接着剤、熱硬化性接着剤、嫌気性接着剤等
である。When a protective plate is provided, the protective plate is usually
The same material as that of the substrate 2 may be used, but it is not necessary to be transparent, and other materials can be used. In addition, any known adhesive may be used for the adhesion, for example, a hot melt adhesive, a thermosetting adhesive, an anaerobic adhesive, or the like.

次に、上記の本発明の光磁気記録媒体に用いた本発明
の光磁気記録方法について説明する。Next, the magneto-optical recording method of the present invention used for the above-described magneto-optical recording medium of the present invention will be described.

本発明の光磁気記録方法は、光を照射しながら変調さ
れた磁界を印加することにより記録を行なう磁界変調型
の記録方法である。The magneto-optical recording method of the present invention is a magnetic field modulation type recording method in which recording is performed by applying a modulated magnetic field while irradiating light.

通常、磁界は基板の記録層設置面側から印加される。
本発明では、磁気印加用の磁気ヘッドは、通常の非接触
型の磁気ヘッドあるいは空気浮上型の浮上型ヘッドのい
ずれを用いてもよいが、磁気ヘッドと媒体との距離を小
さくすることができ高速記録が可能であることから、浮
上型磁気ヘッドを用いることが好ましい。Usually, the magnetic field is applied from the side of the substrate on which the recording layer is provided.
In the present invention, the magnetic head for applying the magnetic force may be any of a normal non-contact type magnetic head or an air floating type magnetic head, but can reduce the distance between the magnetic head and the medium. It is preferable to use a floating magnetic head because high-speed recording is possible.

なお、磁気ヘッドと記録層との距離は、通常の非接触
型のヘッドで0.5mm程度、浮上型ヘッドで５〜20μｍ程
度であるため、本発明では、通常、保護板を設けない構
成の片面記録型の媒体を用いる。In addition, the distance between the magnetic head and the recording layer is about 0.5 mm for a normal non-contact type head and about 5 to 20 μm for a floating type head. Use a recordable medium.

本発明では、媒体の記録層面での磁界強度は、300Oe
以下、好ましくは250Oe以下、さらに好ましくは200Oe以
下であることが好ましい。In the present invention, the magnetic field strength on the recording layer surface of the medium is 300 Oe
Or less, preferably 250 Oe or less, more preferably 200 Oe or less.

磁界強度をこの範囲とすることにより、インダクタン
スの小さいコイルを用いることができる。そのため、磁
界反転時間を短くすることができ、例えば5MHz以上の高
速記録が可能となる。By setting the magnetic field strength in this range, a coil having a small inductance can be used. Therefore, the magnetic field reversal time can be shortened, and high-speed recording of, for example, 5 MHz or more becomes possible.

光は、通常、磁界と反対側から照射される。 Light is usually emitted from the opposite side of the magnetic field.

記録パワーは、通常、１〜10mW程度、記録層面での光
のスポット径は、通常、0.5〜３μｍ程度である。The recording power is usually about 1 to 10 mW, and the spot diameter of light on the recording layer surface is usually about 0.5 to 3 μm.

＜実施例＞ 以下、本発明の具体的実施例を挙げ、本発明をさらに
詳細に説明する。<Example> Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to specific examples of the present invention.

［実施例１］ 直径130mm、厚さ1.2mmのビスフェノールＡ系の光ディ
スクグレードポリカーボネート樹脂からなる基板２上
に、下記表１に示す各種組成の保護層３を高周波マグネ
トロンスパッタにより40nmの層厚に設層し、この保護層
３上に、SiN_xからなる中間層４を高周波マグネトロンス
パッタにより層厚80nmに設層した。[Example 1] On a substrate 2 made of bisphenol A-based optical disk grade polycarbonate resin having a diameter of 130 mm and a thickness of 1.2 mm, protective layers 3 having various compositions shown in the following Table 1 were provided with a layer thickness of 40 nm by high-frequency magnetron sputtering. On the protective layer 3, an intermediate layer 4 of SiN _x was formed to a thickness of 80 nm by high-frequency magnetron sputtering.

次に、中間層４上に、下記表２に示される本発明の組
成の記録層５を、スパッタにより層厚80nmに設層した。
なお、Tb、DyおよびCoの含有量比（at％）は、Tb、Dy、
CoおよびFeの含有量の合計を100としたときの値であ
る。また、添加元素の含有量比（at％）は、Tb、Dy、C
o、Feおよび添加元素の含有量の合計を100としたときの
値である。Next, the recording layer 5 having the composition of the present invention shown in Table 2 below was formed on the intermediate layer 4 to a thickness of 80 nm by sputtering.
The content ratios (at%) of Tb, Dy and Co are Tb, Dy,
This is a value when the total content of Co and Fe is 100. In addition, the content ratio (at%) of the additional element is Tb, Dy, C
This is a value when the total of the contents of o, Fe and the additive element is 100.

さらに、記録層５上に、保護層３と同組成の保護層６
を高周波マグネトロンスパッタにより層厚100nmに設層
し、この保護層６上に、保護コート７を設層した。な
お、保護コート７は、多官能オリゴエステルアクリレー
トと光増感剤とを含む塗布組成物をスピンナーコートに
より保護層６上に塗布し、その後、紫外線を15秒間照射
して架橋硬化させることにより設層した。保護コート７
の厚さは５μｍとした。Further, a protective layer 6 having the same composition as the protective layer 3 is formed on the recording layer 5.
Was formed to a thickness of 100 nm by high-frequency magnetron sputtering, and a protective coat 7 was formed on the protective layer 6. The protective coat 7 is formed by applying a coating composition containing a polyfunctional oligoester acrylate and a photosensitizer onto the protective layer 6 by a spinner coat, and then irradiating ultraviolet rays for 15 seconds to cure by crosslinking. Layered. Protective coat 7
Was 5 μm in thickness.

このようにして、各種の記録層および保護層を有する
本発明の光磁気記録媒体サンプルを得た。Thus, a magneto-optical recording medium sample of the present invention having various recording layers and protective layers was obtained.

なお、サンプルNo.8は、保護層３および６を設層しな
い比較サンプルとした。Sample No. 8 was a comparative sample in which the protective layers 3 and 6 were not provided.

上記サンプルに対し、下記の測定を行なった。 The following measurement was performed on the sample.

（１）耐食性 初期のビットエラーレート（BER）と80℃・80％RHに
て1000時間保存した後のBERを測定し、その増加量（ΔB
ER）を求めた。表２に示す評価は、下記の通りである。(1) Corrosion resistance The initial bit error rate (BER) and the BER after storing at 80 ° C and 80% RH for 1000 hours are measured, and the increase (ΔB
ER). The evaluation shown in Table 2 is as follows.

◎：変化なし ○：増加量が２倍以下 △：増加量が２倍より大きく５倍以下 ×：増加量が５倍より大きい （２）C/N比 線速4.0m/sec 周波数1MHz 記録パワー（830nm）2.0〜6.0mW 再生パワー（830nm）1.0mW RBW30kHz VBW100Hz にて測定した。なお、記録時の磁界強度は、300Oeとし
た。：: No change ：: Increase is 2 times or less △: Increase is more than 2 times and 5 times or less ×: Increase is more than 5 times (2) C / N ratio Linear velocity 4.0 m / sec Frequency 1 MHz Recording power (830 nm) 2.0 to 6.0 mW Read power (830 nm) 1.0 mW RBW 30 kHz Measured at VBW 100 Hz. The magnetic field strength during recording was 300 Oe.

（３）Hext 下記およびのうち、大きい法をHextとした。(3) Hext The following method and the larger method were designated as Hext.

印加する磁界強度を増加させながら記録を行ない、C/
N比が一定値に達したときの磁界強度 最適記録パワーにて印加磁界強度300Oeで記録した信
号に対し、同じく最適記録パワーにて印加磁界を変化さ
せて消去を行ない、消し残りが1dB以下となったときの
磁界強度 （４）保磁力（Hc） （５）キュリー点（Tc） 結果を表２に示す。Recording is performed while increasing the applied magnetic field strength, and C /
Magnetic field strength when the N ratio reaches a certain value For signals recorded at an applied magnetic field strength of 300 Oe at the optimum recording power, erasing is performed by changing the applied magnetic field at the same optimum recording power, and the remaining erase is 1 dB or less. (4) Coercive force (Hc) (5) Curie point (Tc) The results are shown in Table 2.

［実施例２］ 実施例１で作製した各光磁気記録媒サンプルに対し、
磁界変調によりオーバーライト記録（独立した消去過程
を設けず、重ね書きにより消去すること）を行ない、記
録後の各サンプルのC/N比を測定した。Example 2 For each magneto-optical recording medium sample produced in Example 1,
Overwrite recording (erasing by overwriting without an independent erasing process) was performed by magnetic field modulation, and the C / N ratio of each sample after recording was measured.

磁界変調記録は、一定強度のレーザー光を基板の記録
層設層面の反対側から照射しながら、基板の記録層設層
面側に設けた小型コイルにより500kHzの矩形波交番磁界
を記録層面に印加することにより行なった。記録層面と
小型コイルとの距離は0.2mm、記録層面での磁界強度は2
50Oe、線速は4.0m/sとした。In magnetic field modulation recording, a 500 kHz rectangular wave alternating magnetic field is applied to the recording layer surface by a small coil provided on the recording layer surface side of the substrate while irradiating a laser beam of a constant intensity from the side opposite to the recording layer surface side of the substrate. It was done by doing. The distance between the recording layer surface and the small coil is 0.2 mm, and the magnetic field strength on the recording layer surface is 2 mm.
50 Oe, the linear velocity was 4.0 m / s.

なお、記録層面での磁界強度を上げるために記録層面
と小型コイルとの距離を0.1mmとしたところ、基板のフ
レやソリのために小型コイルが保護コート７に接触し、
記録が不可能であった。When the distance between the recording layer surface and the small coil was set to 0.1 mm in order to increase the magnetic field strength on the recording layer surface, the small coil contacted the protective coat 7 due to deflection or warpage of the substrate,
Recording was not possible.

このような磁界変調記録を、同一トラックに対し10回
行なった。Such magnetic field modulation recording was performed 10 times on the same track.

C/N比は、実施例１と同様に、再生パワー1.0mWにて再
生を行ない測定した。The C / N ratio was measured at a reproduction power of 1.0 mW in the same manner as in Example 1.

45dB以上のC/N比が得られた場合を○、C/N比が45dB未
満の場合を×として評価した。The case where a C / N ratio of 45 dB or more was obtained was evaluated as ○, and the case where the C / N ratio was less than 45 dB was evaluated as x.

結果を、表２に示す。なお、表２に示される各サンプ
ルが有する保護層の組成を表１に示す。Table 2 shows the results. Table 1 shows the composition of the protective layer of each sample shown in Table 2.

［実施例３］ 実施例１で作製した各サンプルを用いて、再生パワー
1.5mWにて連続再生試験を行なった。 [Example 3] Using each sample prepared in Example 1, reproduction power
A continuous regeneration test was performed at 1.5 mW.

サンプルNo.106では、約500回の連続再生によりC/Nが
劣化しはじめたが、その他のサンプルでは、1000回以上
の連続再生を行なってもC/Nの劣化はみられなかった。In sample No. 106, the C / N started to deteriorate due to the continuous reproduction of about 500 times, but in the other samples, the C / N did not deteriorate even after the continuous reproduction of 1000 times or more.

［実施例４］ 上記サンプルNo.1〜７の記録層に、前記した添加元素
Ｘ群、Ｙ群およびＺ群の１種以上を添加したサンプルを
作製し、上記と同様な耐食性測定およびC/N比の測定を
行なった。Example 4 A sample was prepared by adding one or more of the above-described additional elements X, Y, and Z to the recording layers of Samples Nos. 1 to 7, and the same measurement of corrosion resistance and C / The N ratio was measured.

また、80℃・80％RHにて1000時間保存後の感度の変化率
および繰り返し再生後の感度の変化率も測定した。Further, the rate of change of sensitivity after storage at 80 ° C. and 80% RH for 1000 hours and the rate of change of sensitivity after repeated reproduction were also measured.

添加元素に前記Ｘ群中から選択された元素が含まれた
場合、耐食性はさらに向上した。When the added element contained an element selected from the group X, the corrosion resistance was further improved.

また、添加元素に前記Ｙ群中から選択された元素が含
まれた場合、感度の変化率は、きわめて小さいものであ
った。なお、上記Ｘ群のうち、Ｂおよび／またはSiの添
加によっても、この効果は実現した。Further, when the added element included an element selected from the Y group, the rate of change in sensitivity was extremely small. This effect was also realized by the addition of B and / or Si in the X group.

添加元素に前記Ｚ群中から選択された元素が含まれた
場合、C/N比がさらに向上した。なお、上記Ｘ群のう
ち、Crおよび／またはNiの添加によっても、この効果は
実現した。When the added element included an element selected from the Z group, the C / N ratio was further improved. This effect was also realized by the addition of Cr and / or Ni in the group X.

上記各実施例の結果から、本発明の効果が明らかであ
る。The effects of the present invention are evident from the results of the above embodiments.

すなわち、本発明サンプルは、耐食性がきわめて高
い。しかも、Hextが250Oe以下と低く、Hcが高く、ま
た、Tcが100℃より高いため熱安定性が高い。That is, the sample of the present invention has extremely high corrosion resistance. Moreover, Hext is as low as 250 Oe or less, Hc is high, and Tc is higher than 100 ° C., so that thermal stability is high.

また、記録層面の磁界強度250Oeにて磁界変調により
オーバーライト記録を行なった場合、本発明サンプルは
オーバーライト後も良好なC/N比を示し、オーバーライ
トにより消去が良好に行なわれていることがわかる。Further, when overwriting recording was performed by magnetic field modulation at a magnetic field intensity of 250 Oe on the recording layer surface, the sample of the present invention showed a good C / N ratio even after overwriting, and the erasure was successfully performed by overwriting. I understand.

＜作用＞ 光磁気記録媒体は、レーザー光等の照射により、所定
の組成を有する記録層の温度をキュリー点付近まで上昇
させ、このとき外部から磁界を印加することにより情報
の記録を行なう。<Operation> The magneto-optical recording medium raises the temperature of the recording layer having a predetermined composition to near the Curie point by irradiation with laser light or the like, and at this time, records information by applying a magnetic field from the outside.

情報の記録は、一定強度の磁界を印加しながら、変調
された光により記録を行なう光変調記録、あるいは一定
の強度の光を照射しながら、変調された磁界により記録
を行なう磁界変調記録によりなされる。Information recording is performed by optical modulation recording in which recording is performed with modulated light while applying a magnetic field of a constant intensity, or magnetic field modulation recording in which recording is performed with a modulated magnetic field while irradiating light of a constant intensity. You.

光磁気記録媒体の情報の消去は、外部から記録層のHc
以上の一様な磁界を印加して消去を行なう全面消去（バ
ルクイレーズ）法によるか、レーザー光等の照射により
記録層の温度を上昇させ、記憶層の磁化反転に必要な強
度の外部磁界を印加して行なう。Erasure of information on a magneto-optical recording medium is performed by externally
The temperature of the recording layer is increased by applying a uniform magnetic field to perform the erasing, or by irradiating a laser beam or the like to increase the temperature of the recording layer to generate an external magnetic field having a strength necessary for the magnetization reversal of the storage layer. The application is performed.

また、磁界変調により記録を行なう場合、独立した消
去過程を設けず、情報の重ね書きにより消去を行なうい
わゆるオーバーライト法により記録・消去を行なうこと
ができる。When recording is performed by magnetic field modulation, recording and erasing can be performed by a so-called overwrite method in which erasing is performed by overwriting information without providing an independent erasing process.

＜発明の効果＞ 本発明の光磁気記録媒体は、所定の組成の保護層を有
するため、耐食性がきわめて高い。<Effect of the Invention> The magneto-optical recording medium of the present invention has a protective layer of a predetermined composition, and therefore has extremely high corrosion resistance.

また、本発明の光磁気記録媒体は、情報の記録および消
去時に外部から印加される磁界の強度（Hext）を比較的
低く抑えることができる。Further, the magneto-optical recording medium of the present invention can keep the intensity (Hext) of the magnetic field applied from the outside at the time of recording and erasing information relatively low.

従って、本発明によれば、光磁気記録媒体の記録・再
生装置を小型化できる。Therefore, according to the present invention, the size of the recording / reproducing apparatus for the magneto-optical recording medium can be reduced.

また、本発明の光磁気記録媒体を用いて磁界変調記録
を行なう本発明の光磁気記録方法によれば、Hextを低く
抑えることができるためにインダクタンスの小さなコイ
ルを用いることができ、磁界反転時間を短くして高速記
録を行なうことができる。しかも、上記保護層を有する
ことにより十分な耐食性が得られるため、記録層上に厚
い保護板を設ける必要がなく、記録層とコイルとを近接
させることができる。このため、きわめてインダクタン
スの小さなコイルを用いることができ、より一層の高速
記録が可能である。Further, according to the magneto-optical recording method of the present invention in which magnetic field modulation recording is performed using the magneto-optical recording medium of the present invention, a coil having a small inductance can be used because Hext can be kept low, and the magnetic field reversal time can be reduced. , And high-speed recording can be performed. In addition, since sufficient corrosion resistance can be obtained by having the protective layer, there is no need to provide a thick protective plate on the recording layer, and the recording layer and the coil can be brought close to each other. For this reason, a coil having an extremely small inductance can be used, and higher-speed recording can be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第１図は、本発明の光磁気記録媒体の好適実施例を示す
断面図である。 符号の説明 １……光磁気記録媒体、 ２……基板、 ３……保護層、 ４……中間層、 ５……記録層、 ６……保護層、 ７……保護コートFIG. 1 is a sectional view showing a preferred embodiment of the magneto-optical recording medium of the present invention. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Magneto-optical recording medium 2 ... Substrate 3 ... Protective layer 4 ... Intermediate layer 5 ... Recording layer 6 ... Protective layer 7 ... Protective coat

フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−233810（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−289559（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−103859（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−289558（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−98611（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−153739（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G11B 11/10 501 G11B 11/10 521 Continuation of the front page (56) References JP-A-60-233810 (JP, A) JP-A-61-289559 (JP, A) JP-A-62-103859 (JP, A) JP-A-61-289558 (JP) , A) JP-A-60-98611 (JP, A) JP-A-63-153739 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. ⁶ , DB name) G11B 11/10 501 G11B 11/10 521

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】Tb、DyおよびCoの原子％で表わされる含有
量が 20.5≦Tb＋Dy≦31.0 0.088≦Tb/（Tb＋Dy）≦0.22 6.0≦Co≦15.0 であり、残部が実質的にFeである記録層を基板上に有
し、前記記録層上および／または前記基板と前記記録層
との間に保護層を有する光磁気記録媒体であって、 前記保護層が、酸化ケイ素と、アルカリ金属酸化物と、
酸化アルミニウムおよび／または酸化ホウ素とを含有
し、酸化ケイ素含有量が40〜60wt％、アルカリ金属酸化
物含有量が0.5〜10wt％であることを特徴とする光磁気
記録媒体。1. A record in which the contents expressed by atomic% of Tb, Dy and Co are 20.5 ≦ Tb + Dy ≦ 31.0 0.088 ≦ Tb / (Tb + Dy) ≦ 0.22 6.0 ≦ Co ≦ 15.0, and the balance is substantially Fe. A magneto-optical recording medium having a layer on a substrate and having a protective layer on the recording layer and / or between the substrate and the recording layer, wherein the protective layer comprises silicon oxide, an alkali metal oxide When,
A magneto-optical recording medium containing aluminum oxide and / or boron oxide, having a silicon oxide content of 40 to 60% by weight and an alkali metal oxide content of 0.5 to 10% by weight. 【請求項２】Tb、DyおよびCoの原子％で表わされる含有
量が 20.5≦Tb＋Dy≦31.0 0.088≦Tb/（Tb＋Dy）≦0.22 6.0≦Co≦15.0 であり、残部が実質的にFeである記録層を基板上に有
し、前記記録層上および／または前記基板と前記記録層
との間に保護層を有する光磁気記録媒体であって、 前記保護層が、酸化ケイ素と、アルカリ金属酸化物と、
ROで示される金属酸化物（Ｒは２価の金属元素）と、酸
化アルミニウムおよび／または酸化ホウ素とを含有し、
酸化ケイ素含有量が40〜60wt％、アルカリ金属酸化物含
有量が0.5〜10wt％であることを特徴とする光磁気記録
媒体。2. A record in which the contents expressed by atomic% of Tb, Dy and Co are 20.5 ≦ Tb + Dy ≦ 31.0 0.088 ≦ Tb / (Tb + Dy) ≦ 0.22 6.0 ≦ Co ≦ 15.0, and the balance is substantially Fe. A magneto-optical recording medium having a layer on a substrate and having a protective layer on the recording layer and / or between the substrate and the recording layer, wherein the protective layer is composed of silicon oxide and an alkali metal oxide. When,
A metal oxide represented by RO (R is a divalent metal element), and aluminum oxide and / or boron oxide;
A magneto-optical recording medium having a silicon oxide content of 40 to 60 wt% and an alkali metal oxide content of 0.5 to 10 wt%. 【請求項３】請求項１または２に記載の光磁気記録媒体
の記録層に対し、4A族元素、5A族元素、6A族元素、８族
元素、3B族元素、Ｃ、SiおよびＰのうちから選ばれる少
なくとも１種以上の元素を、添加元素として添加したこ
とを特徴とする光磁気記録媒体。3. A recording layer of the magneto-optical recording medium according to claim 1 or 2, wherein a group consisting of a group 4A element, a group 5A element, a group 6A element, a group 8 element, a group 3B element, C, Si and P is used. A magneto-optical recording medium, characterized by adding at least one element selected from the group consisting of: 【請求項４】前記4A族元素がTi、ZrおよびHfであり、前
記5A族元素がＶ、NbおよびTaであり、前記6A族元素がC
r、MoおよびＷであり、前記８族元素がNiおよびPtであ
り、前記3B族元素がＢおよびAlである請求項３に記載の
光磁気記録媒体。4. The group 4A element is Ti, Zr and Hf; the group 5A element is V, Nb and Ta; and the group 6A element is C
4. The magneto-optical recording medium according to claim 3, wherein r, Mo, and W, the Group 8 element is Ni and Pt, and the Group 3B element is B and Al. 【請求項５】請求項１ないし４のいずれかに記載の光磁
気記録媒体の記録層に対し、Geおよび／またはSrを添加
元素として添加したことを特徴とする光磁気記録媒体。5. A magneto-optical recording medium, wherein Ge and / or Sr is added as an additional element to the recording layer of the magneto-optical recording medium according to claim 1. 【請求項６】請求項１ないし５のいずれかに記載の光磁
気記録媒体の記録層に対し、Bi、Cu、SnおよびPbから選
択される元素の１種以上を添加元素として添加したこと
を特徴とする光磁気記録媒体。6. The recording layer of the magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein at least one element selected from the group consisting of Bi, Cu, Sn and Pb is added as an additional element. Characteristic magneto-optical recording medium. 【請求項７】記録層中の前記添加元素の含有量の合計
が、１〜20at％である請求項３ないし６のいずれかに記
載の光磁気記録媒体。7. The magneto-optical recording medium according to claim 3, wherein the total content of the additional elements in the recording layer is 1 to 20 at%. 【請求項８】請求項１ないし７のいずれかに記載の光磁
気記録媒体に光磁気記録を行なう方法であって、光を照
射しながら、変調された磁界を印加することにより光磁
気記録を行なうことを特徴とする光磁気記録方法。8. A method for performing magneto-optical recording on a magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the magneto-optical recording is performed by applying a modulated magnetic field while irradiating light. A magneto-optical recording method characterized by performing.