JP2743184B2 - Magneto-optical recording medium and magneto-optical recording method - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は、レーザー光等の熱および光を用いて情報の
記録、再生を行なう光磁気記録ディスク等の光磁気記録
媒体および光磁気記録媒体に光磁気記録を行なう光磁気
記録方法に関する。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magneto-optical recording medium such as a magneto-optical recording disk for recording and reproducing information using heat and light such as a laser beam, and a magneto-optical recording medium. And a magneto-optical recording method for performing magneto-optical recording.

＜従来の技術＞ 光磁気記録媒体の記録層には、希土類元素−遷移金属
の非晶質磁性薄膜が用いられている。<Related Art> A rare earth element-transition metal amorphous magnetic thin film is used for a recording layer of a magneto-optical recording medium.

希土類元素としては、Gd、Tb、Dy、Sm等、遷移金属と
しては、Fe、Co等が好ましく用いられ、特に、C/N比が
高いことから、Tb−Sm−Fe−Co系の記録層が提案されて
いる。As the rare earth element, Gd, Tb, Dy, Sm, etc., and as the transition metal, Fe, Co, etc. are preferably used.In particular, since the C / N ratio is high, a Tb-Sm-Fe-Co-based recording layer is used. Has been proposed.

例えば、特開昭62−47090号公報には、軽希土類金属
（Sm,Nd,Pr,Ce）の１種以上をLR、重希土類元素金属（T
b,Gd,Dy）の１種以上をHR、遷移金属（Fe,Ni,Co）の１
種以上をTMとしたとき、 （LR_1-xHR_x）_yTM_1-y で表わされ、 0.1≦ｘ≦0.6、 0.2≦ｙ≦0.5 である組成を有するホログラム媒体が開示されている。For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-47090 discloses that at least one kind of light rare earth metal (Sm, Nd, Pr, Ce) is LR and heavy rare earth metal (T
b, Gd, Dy), one or more of HR, one of transition metals (Fe, Ni, Co)
A hologram medium having a composition represented by (LR _1−x HR _x ) _y TM _1−y where TM is the kind or more and 0.1 ≦ x ≦ 0.6 and 0.2 ≦ y ≦ 0.5 is disclosed.

しかし、このホログラム媒体の組成を、LRがSm、HRが
Tbとして考えると、 20at％≦Sm＋Tb≦50at％、 １−9Sm≦Tb≦3/2Sm であって、本発明の光磁気記録媒体の記録層組成とは異
なるものであり、この組成では本発明の効果は実現しな
い。However, the composition of this hologram medium is determined by LR being Sm and HR being
When considered as Tb, 20 at% ≦ Sm + Tb ≦ 50 at% and 1−9 Sm ≦ Tb ≦ 3 / 2Sm, which are different from the recording layer composition of the magneto-optical recording medium of the present invention. No effect is realized.

また、特開昭62−222609号公報には、（LR_xHR_1-x）_yT
M_100-yにおいて、 0.01＜ｘ≦0.60、 10≦ｙ≦50 である組成の記録膜を有する光磁気記録媒体が開示され
ている。JP-A-62-222609 discloses (LR _x HR _1-x ) _y T
A magneto-optical recording medium having a recording film having a composition of 0.01 <x ≦ 0.60 and 10 ≦ y ≦ 50 in M _100-y is disclosed.

この記録膜の組成を、LRがSm、HRがTbとして考える
と、 10at％≦Sm＋Tb≦50at％、 2/3Sm≦Tb＜99Sm であり、この光磁気記録媒体は、このような組成の記録
膜を有することにより、高記録感度で高い再生C/Nが得
られるというものである。Assuming that the composition of the recording film is LR as Sm and HR as Tb, 10 at% ≦ Sm + Tb ≦ 50 at%, 2 / 3Sm ≦ Tb <99 Sm, and the magneto-optical recording medium has a recording film having such a composition. , A high reproduction C / N with high recording sensitivity can be obtained.

この記録膜の組成は、下記の本発明の光磁気記録媒体
の記録層組成範囲を含むものであるが、同公報の実施例
に示される組成は、Tb＝22.5at％、Sm＝2.5at％のもの
だけであり、しかも、遷移金属としてNiを含有するもの
である。そして、本発明者等の研究によれば、この実施
例の組成では、耐食性が不十分である。The composition of this recording film includes the following composition range of the recording layer of the magneto-optical recording medium of the present invention, and the composition shown in the examples of the publication has Tb = 22.5 at% and Sm = 2.5 at%. And also contains Ni as a transition metal. According to the study by the present inventors, the composition of this example has insufficient corrosion resistance.

ところで、光磁気記録媒体は、情報記録時および消去
時に外部から磁界が印加されるが、記録および消去に必
要な磁界強度の絶対値（以下、Hextという）が小さけれ
ば、磁界発生装置の小型化がはかれ、結果として光磁気
記録媒体の記録・再生装置の小型化が実現する。By the way, in a magneto-optical recording medium, a magnetic field is externally applied at the time of recording and erasing information. However, if the absolute value of the magnetic field strength required for recording and erasing (hereinafter referred to as Hext) is small, the size of the magnetic field generator can be reduced. As a result, downsizing of the recording / reproducing apparatus for the magneto-optical recording medium is realized.

また、近年、独立した消去過程を設けず情報の重ね書
きにより消去を行なういわゆるオーバーライト法に対す
る要求から、一定の強度の光を照射しながら変調された
磁界により記録を行なう磁界変調記録が注目されている
が、この場合、磁界反転時間を短くして高速記録を行な
うために、インダクタンスの小さなコイルを用いること
が好ましい。しかし、インダクタンスの小さなコイルを
用いて記録を行なう場合、上記のHextが低い記録層を用
いるか、コイルを記録層に近接させて記録を行なう必要
がある。In recent years, due to a demand for a so-called overwrite method in which erasing is performed by overwriting information without providing an independent erasing process, magnetic field modulation recording in which recording is performed with a magnetic field modulated while irradiating light of a constant intensity has attracted attention. However, in this case, it is preferable to use a coil having a small inductance in order to shorten the magnetic field reversal time and perform high-speed recording. However, when recording is performed using a coil having a small inductance, it is necessary to use a recording layer having a low Hext or to perform recording by bringing the coil close to the recording layer.

しかし、記録層を有する一対の基板を、記録層を内側
にして張り合せて構成される両面記録型の光磁気記録媒
体、あるいは、片面記録型であっても基板の記録層上に
基板と同程度の厚さの保護板を有する光磁気記録媒体で
は、基板あるいは保護板の厚さのために、コイルと記録
層とを近接させることが困難である。このため、インダ
クタンスの小さなコイルを用いる場合は、記録層上に、
例えば、有機系物質から構成される厚さ１〜100μｍの
保護コートを設けた片面記録型の光磁気記録媒体として
用いることが好ましい。しかし、このような保護コート
では耐食性が十分とはいえない。However, a double-sided recording type magneto-optical recording medium composed of a pair of substrates having a recording layer bonded together with the recording layer inside, or a single-sided recording type, the same as the substrate on the recording layer of the substrate. In the case of a magneto-optical recording medium having a protective plate of a moderate thickness, it is difficult to bring the coil and the recording layer close to each other because of the thickness of the substrate or the protective plate. For this reason, when using a coil with a small inductance,
For example, it is preferable to use it as a single-sided recording type magneto-optical recording medium provided with a protective coating made of an organic material and having a thickness of 1 to 100 μm. However, such a protective coat does not have sufficient corrosion resistance.

したがって、磁界変調記録を行なう場合、記録層の耐
食性の高さはより一層重要となる。Therefore, when performing the magnetic field modulation recording, the corrosion resistance of the recording layer becomes even more important.

さらに、耐食性の高い記録層であって、上記のHextが
小さい記録層であれば、より一層インダクタンスの小さ
なコイルを用いることができ、さらに高速な磁界変調記
録を行なうことができる。Further, if the recording layer has a high corrosion resistance and the Hext is small, a coil having a smaller inductance can be used, and magnetic field modulation recording at a higher speed can be performed.

＜発明が解決しようとする課題＞ 本発明は、情報記録時および消去時に外部から印加さ
れる磁界の強度を低く押えることができ、しかも、片面
記録型の構成としても十分な耐食性を有する光磁気記録
媒体およびこの光磁気記録媒体を用いた高速記録可能な
磁界変調型光磁気記録方法を提供することを目的とす
る。<Problems to be Solved by the Invention> The present invention can reduce the intensity of a magnetic field externally applied at the time of recording and erasing information, and has a sufficient magneto-resistance even in a single-sided recording type configuration. It is an object of the present invention to provide a recording medium and a magnetic field modulation type magneto-optical recording method capable of high-speed recording using the magneto-optical recording medium.

＜課題を解決するための手段＞ このような目的は、下記（１）〜（７）の本発明によ
り達成される。<Means for Solving the Problems> Such an object is achieved by the present invention of the following (1) to (7).

（１）Tb、SmおよびCoの原子％で表わされる含有量が、 26.0≦Tb＋Sm≦37.0、 8.0≦Sm、 Tb≧1.6Sm、 4.0≦Co≦10.0であり、残部が実質的にFeである記録層
を基板上に有することを特徴とする光磁気記録媒体。(1) Recording in which the contents expressed by atomic% of Tb, Sm and Co are 26.0 ≦ Tb + Sm ≦ 37.0, 8.0 ≦ Sm, Tb ≧ 1.6Sm, 4.0 ≦ Co ≦ 10.0 and the balance substantially Fe. A magneto-optical recording medium comprising a layer on a substrate.

（２）上記（１）に記載の光磁気記録媒体の記録層に対
し、4A族元素、5A族元素、6A族元素、８族元素、3B族元
素、Ｃ、SiおよびＰのうちから選ばれる少なくとも１種
以上の元素を、添加元素として添加したことを特徴とす
る光磁気記録媒体。(2) For the recording layer of the magneto-optical recording medium according to (1), the recording layer is selected from the group consisting of a group 4A element, a group 5A element, a group 6A element, a group 8 element, a group 3B element, C, Si and P. A magneto-optical recording medium, wherein at least one element is added as an additional element.

（３）前記4A族元素がTi、ZrおよびHfであり、前記5A族
元素がＶ、NbおよびTaであり、前記6A族元素がCr、Moお
よびＷであり、前記８族元素がNiおよびPtであり、前記
3B族元素がＢおよびAlである上記（２）に記載の光磁気
記録媒体。(3) The group 4A element is Ti, Zr and Hf, the group 5A element is V, Nb and Ta, the group 6A element is Cr, Mo and W, and the group 8 element is Ni and Pt. And said
The magneto-optical recording medium according to the above (2), wherein the 3B group element is B and Al.

（４）上記（１）ないし（３）のいずれかに記載の光磁
気記録媒体の記録層に対し、Geおよび／またはSrを添加
元素として添加したことを特徴とする光磁気記録媒体。(4) A magneto-optical recording medium characterized by adding Ge and / or Sr as an additional element to the recording layer of the magneto-optical recording medium according to any one of (1) to (3).

（５）上記（１）ないし（４）いずれかに記載の光磁気
記録媒体の記録層に対し、Bi、Cu、SnおよびPbから選択
される元素の１種以上を添加元素として添加したことを
特徴とする光磁気記録媒体。(5) The recording layer of the magneto-optical recording medium according to any one of (1) to (4), wherein at least one element selected from the group consisting of Bi, Cu, Sn and Pb is added as an additional element. Characteristic magneto-optical recording medium.

（６）記録層中の前記添加元素の含有量の合計が、１〜
20at％である上記（２）ないし（５）のいずれかに記載
の光磁気記録媒体。(6) The total content of the additional elements in the recording layer is 1 to
The magneto-optical recording medium according to any one of the above (2) to (5), wherein the content is 20 at%.

（７）上記（１）ないし（６）いずれかに記載の光磁気
記録媒体に光磁気記録を行なう方法であって、光を照射
しながら、変調された磁界を印加することにより光磁気
記録を行なうことを特徴とする光磁気記録方法。(7) A method for performing magneto-optical recording on the magneto-optical recording medium according to any of (1) to (6) above, wherein the magneto-optical recording is performed by applying a modulated magnetic field while irradiating light. A magneto-optical recording method characterized by performing.

＜作用＞ 光磁気記録媒体は、レーザー光等の照射により、所定
の組成を有する記録層の温度をキュリー点付近まで上昇
させ、このとき外部から磁界を印加することにより情報
の記録を行なう。<Operation> The magneto-optical recording medium raises the temperature of the recording layer having a predetermined composition to near the Curie point by irradiation with laser light or the like, and at this time, records information by applying a magnetic field from the outside.

情報の記録は、一定強度の磁界を印加しながら、変調
された光により記録を行なう光変調記録、あるいは一定
の強度の光を照射しながら、変調された磁界により記録
を行なう磁界変調記録によりなされる。Information recording is performed by optical modulation recording in which recording is performed with modulated light while applying a magnetic field of a constant intensity, or magnetic field modulation recording in which recording is performed with a modulated magnetic field while irradiating light of a constant intensity. You.

光磁気記録媒体の情報の消去は、外部から記録層のHc
以上の一様な磁界を印加して消去を行なう全面消去（バ
ルクイレーズ）法によるか、レーザー光等の照射により
記録層の温度を上昇させ、記録層の磁化反転に必要な強
度の外部磁界を印加して行なう。Erasure of information on a magneto-optical recording medium is performed by externally
An external magnetic field having a strength necessary for reversing the magnetization of the recording layer is obtained by increasing the temperature of the recording layer by applying a uniform magnetic field to perform the erasing (bulk erase) method or by irradiating a laser beam or the like. The application is performed.

また、磁界変調により記録を行なう場合、独立した消
去過程を設けず、情報の重ね書きにより消去を行なうい
わゆるオーバーライト法により記録・消去を行なうこと
ができる。When recording is performed by magnetic field modulation, recording and erasing can be performed by a so-called overwrite method in which erasing is performed by overwriting information without providing an independent erasing process.

＜具体的構成＞ 以下、本発明の具体的構成を詳細に説明する。<Specific Configuration> Hereinafter, a specific configuration of the present invention will be described in detail.

第１図に、本発明の光磁気記録媒体の好適実施例を示
す。FIG. 1 shows a preferred embodiment of the magneto-optical recording medium of the present invention.

第１図に示される光磁気記録媒体１は、基板２上に保
護層３、中間層４、記録層５、保護層６、保護コート７
を順次有する。The magneto-optical recording medium 1 shown in FIG. 1 has a protective layer 3, an intermediate layer 4, a recording layer 5, a protective layer 6, and a protective coat 7 on a substrate 2.
Are sequentially provided.

本発明において、記録層５は、上記組成を有する。 In the present invention, the recording layer 5 has the above composition.

Tb、SmおよびCoの組成範囲を上記のように限定した理
由は、以下のとおりである。The reasons for limiting the composition ranges of Tb, Sm and Co as described above are as follows.

Tb＋Smが上記範囲未満であると、保磁力が低くなりす
ぎて記録信号の安定性が低下する。さらにC/N比も若干
低下し、記録感度も低下してしまう。If Tb + Sm is less than the above range, the coercive force becomes too low, and the stability of the recording signal decreases. Further, the C / N ratio slightly decreases, and the recording sensitivity also decreases.

Tb＋Smが上記範囲を超えると、C/N比が低下してしま
う。If Tb + Sm exceeds the above range, the C / N ratio will decrease.

なお、27≦Tb＋Sm≦36であると、より良好な結果を得
る。If 27 ≦ Tb + Sm ≦ 36, better results are obtained.

26.0≦Tb＋Sm≦37.0であってかつ8.0≦Smであると、H
extが250Oe以下となる。この範囲以外では、Hextが250O
eを超え、通常、300Oe以上なってしまう。When 26.0 ≦ Tb + Sm ≦ 37.0 and 8.0 ≦ Sm, H
ext becomes 250Oe or less. Outside this range, Hext is 250O
Exceeds e and usually exceeds 300 Oe.

なお、8.6≦Smであると、より良好な結果を得る。 If 8.6 ≦ Sm, better results are obtained.

Tb＜1.6Smであると、キュリー温度が低下して熱安定
性が悪くなる。When Tb <1.6 Sm, the Curie temperature is lowered and the thermal stability is deteriorated.

なお、Tb≧1.7Smであると、Hextが200Oe以下となり、
より良好な結果を得る。When Tb ≧ 1.7Sm, Hext becomes 200 Oe or less,
Get better results.

Coが上記範囲未満であると、記録層の耐食性が不十分
となり信頼性が低下する。また、キュリー点が低下し、
熱安定性が低くなる。When Co is less than the above range, the corrosion resistance of the recording layer becomes insufficient and the reliability is reduced. In addition, Curie point decreases,
Thermal stability decreases.

Coが上記範囲を超えると、キャリアの低下に伴いC/N
比が劣化する。If Co exceeds the above range, C / N
The ratio deteriorates.

そして、これらの元素を除いた残部が、実質的にFeと
される。And the remainder excluding these elements is substantially Fe.

本発明では、このような構成の記録層に、下記Ｘ群、
Ｙ群およびＺ群から選択される元素が、少なくとも１種
以上添加されていてもよい。In the present invention, the recording layer having such a structure includes the following X group,
At least one element selected from the group Y and the group Z may be added.

Ｘ群:4A族元素、5A族元素、6A族元素、８族元素、3B族
元素、Ｃ、SiおよびＰのうちから選ばれる少なくとも１
種以上の元素。Group X: at least one selected from group 4A, group 5A, group 6A, group VIII, group 3B, C, Si and P
More than a kind element.

なお、この場合、4A族元素としてはTi、ZrおよびHf
が、5A族元素としてはＶ、NbおよびTaが、6A族元素とし
てはCr、MoおよびＷが、８族元素としてはNiおよびPt
が、3B族元素としてはＢおよびAlが好ましい。In this case, Ti, Zr and Hf
V, Nb and Ta as Group 5A elements, Cr, Mo and W as Group 6A elements, and Ni and Pt as Group 8 elements
However, B and Al are preferable as group 3B elements.

Ｙ群:Geおよび／またはSr。Group Y: Ge and / or Sr.

Ｚ群:Bi、Cu、SnおよびPbから選択される元素の１種以
上。Group Z: one or more elements selected from Bi, Cu, Sn and Pb.

上記Ｘ群を添加することにより、記録層の耐食性が向
上する。By adding the group X, the corrosion resistance of the recording layer is improved.

上記Ｙ群を添加することにより、記録層の非晶質状態
が安定化するという効果が実現する。By adding the Y group, an effect of stabilizing the amorphous state of the recording layer is realized.

すなわち、高温・高湿状態下で保存された場合に生じ
る記録層の感度変化（アニール効果）が防止される。ま
た、繰り返し再生による記録層の感度変化も防止され
る。なお、上記Ｘ群のうち、Ｂおよび／またはSiの添加
によっても、この効果は実現する。That is, a change in the sensitivity of the recording layer (annealing effect) that occurs when the recording layer is stored in a high-temperature and high-humidity state is prevented. In addition, a change in sensitivity of the recording layer due to repeated reproduction is prevented. This effect is also realized by the addition of B and / or Si in the X group.

上記Ｚ群を添加することにより、カー回転角が増大
し、C/N比が向上する。なお、上記Ｘ群のうち、Crおよ
び／またはNiの添加によっても、この効果は実現する。By adding the Z group, the Kerr rotation angle increases, and the C / N ratio improves. This effect is also realized by the addition of Cr and / or Ni in the group X.

これら添加元素の記録層中における含有量比、すなわ
ち、Tb、Sm、Co、Feおよび添加元素の含有量の合計に対
する添加元素の含有量の比率は、１〜20at％、特に２〜
10at％であることが好ましい。含有量がこの範囲である
と、上記各効果はきわめて高いものとなる。The content ratio of these additional elements in the recording layer, that is, the ratio of the content of the additional element to the total content of Tb, Sm, Co, Fe and the additional element is 1 to 20 at%, particularly 2 to 20 at%.
It is preferably 10 at%. When the content is within this range, each of the above effects becomes extremely high.

このような記録層５は、気相成膜法、特にスパッタ法
により設層されることが好ましく、通常、非晶質状態で
ある。Such a recording layer 5 is preferably formed by a vapor deposition method, particularly a sputtering method, and is usually in an amorphous state.

また、記録層５の層厚は、通常、10〜1000nm程度であ
る。The thickness of the recording layer 5 is usually about 10 to 1000 nm.

基板２は、ガラスあるいは樹脂製、特にアクリル樹
脂、ポリカーボネート樹脂、エポキシ樹脂、ポリオレフ
ィン樹脂等から構成されることが好ましく、記録光およ
び再生光に対して透明なものである。また、その厚さは
通常0.5〜3mm程度とされ、外形形状は、ディスク状ある
いはその他目的に応じて選定される。The substrate 2 is preferably made of glass or resin, particularly, acrylic resin, polycarbonate resin, epoxy resin, polyolefin resin or the like, and is transparent to recording light and reproduction light. The thickness is usually about 0.5 to 3 mm, and the outer shape is selected according to a disc shape or other purposes.

保護層３および保護層６は、記録層５の耐食性向上の
ために設けられるものであり、これらは少なくとも一
方、好ましくは両方が設けられることが好ましい。これ
ら保護層は、各種酸化物、炭化物、窒化物、硫化物ある
いはこれらの混合物からなる無機薄膜から構成されるこ
とが好ましい。保護層の層厚は30〜300nm程度であるこ
とが耐食性向上の点から好ましい。The protective layer 3 and the protective layer 6 are provided for improving the corrosion resistance of the recording layer 5, and it is preferable that at least one of them, and preferably both of them are provided. These protective layers are preferably composed of an inorganic thin film made of various oxides, carbides, nitrides, sulfides or mixtures thereof. The thickness of the protective layer is preferably about 30 to 300 nm from the viewpoint of improving corrosion resistance.

このような保護層は、スパッタ法等の各種気相成膜法
等によって形成されることが好ましい。Such a protective layer is preferably formed by various vapor deposition methods such as a sputtering method.

中間層４は、C/N比の向上のために設けられるもので
あり、各種誘電体物質、例えば、各種酸化物、窒化物、
硫化物、あるいはこれらの混合体から形成されることが
好ましく、その層厚は30〜150nm程度であることが好ま
しい。また、設層方法は、スパッタ法等の気相成膜法を
用いることが好ましい。The intermediate layer 4 is provided for improving the C / N ratio, and includes various dielectric materials, for example, various oxides, nitrides,
It is preferably formed from a sulfide or a mixture thereof, and the layer thickness is preferably about 30 to 150 nm. Further, it is preferable to use a vapor phase film forming method such as a sputtering method as a layering method.

保護コート７は耐食性の向上のために設けられるもの
であり、種々の有機系の物質から構成されることが好ま
しいが、特に、電子線、紫外線等の放射線により硬化可
能なアクリル系二重結合を有する放射線硬化型化合物
を、放射線硬化させた物質から構成されることが好まし
い。The protective coat 7 is provided for improving corrosion resistance, and is preferably made of various organic substances. In particular, an acrylic double bond curable by radiation such as an electron beam or an ultraviolet ray is used. The radiation-curable compound is preferably composed of a radiation-cured substance.

また、保護コート７の厚さは、通常、１〜100μｍ程
度とすることが好ましい。The thickness of the protective coat 7 is usually preferably about 1 to 100 μm.

これらの各層から構成される光磁気記録媒体１は、記
録層５を内側にして２組の光磁気記録媒体１が接着され
て両面記録型の媒体とすることができ、また、保護コー
ト７上に保護板を接着して片面記録型の媒体とすること
ができる。The magneto-optical recording medium 1 composed of these layers can be used as a double-sided recording medium by bonding two sets of magneto-optical recording media 1 with the recording layer 5 inside. A single-sided recording medium can be obtained by bonding a protective plate to the recording medium.

しかし、磁気ヘッドと媒体との距離を小さくし高速記
録を行なうために、保護板を設けない構成の片面記録型
の媒体とすることが好ましい。However, in order to reduce the distance between the magnetic head and the medium and perform high-speed recording, it is preferable to use a single-sided recording medium having no protective plate.

なお、保護板を設ける場合、保護板としては、通常、
基板２と同質のものを用いればよいが、透明である必要
はなく、その他の材質も用いることができる。また、接
着は、公知のいずれの接着剤を用いてもよく、例えばホ
ットメルト系接着剤、熱硬化性接着剤、嫌気性接着剤等
である。When a protective plate is provided, the protective plate is usually
The same material as that of the substrate 2 may be used, but it is not necessary to be transparent, and other materials can be used. In addition, any known adhesive may be used for the adhesion, for example, a hot melt adhesive, a thermosetting adhesive, an anaerobic adhesive, or the like.

次に、上記の本発明の光磁気記録媒体を用いた本発明
の光磁気記録方法について説明する。Next, the magneto-optical recording method of the present invention using the magneto-optical recording medium of the present invention will be described.

本発明の光磁気記録方法は、光を照射しながら変調さ
れた磁界を印加することにより記録を行なう磁界変調型
の記録方法である。The magneto-optical recording method of the present invention is a magnetic field modulation type recording method in which recording is performed by applying a modulated magnetic field while irradiating light.

通常、磁界は基板の記録層設層面側から印加される。
本発明では、磁界印加用の磁気ヘッドは、通常の非接触
型の磁気ヘッドあるいは空気浮上型の浮上型ヘッドのい
ずれを用いてもよいが、磁気ヘッドと媒体との距離を小
さくすることができ高速記録が可能であることから、浮
上型磁気ヘッドを用いることが好ましい。Usually, the magnetic field is applied from the side of the recording layer on the substrate.
In the present invention, as the magnetic head for applying a magnetic field, any of a normal non-contact type magnetic head and an air floating type magnetic head may be used, but the distance between the magnetic head and the medium can be reduced. It is preferable to use a floating magnetic head because high-speed recording is possible.

なお、磁気ヘッドと記録層との距離は、通常の非接触
型のヘッドで0.5mm程度、浮上型ヘッドで５〜20μｍ程
度であるため、本発明では、通常、保護板を設けない構
成の片面記録型の媒体を用いる。In addition, the distance between the magnetic head and the recording layer is about 0.5 mm for a normal non-contact type head and about 5 to 20 μm for a floating type head. Use a recordable medium.

本発明では、媒体の記録層面での磁界強度は、300Oe
以下、好ましくは250Oe以下、さらに好ましくは200Oe以
下であることが好ましい。In the present invention, the magnetic field strength on the recording layer surface of the medium is 300 Oe
Or less, preferably 250 Oe or less, more preferably 200 Oe or less.

磁界強度をこの範囲とすることにより、インダクタン
スの小さいコイルを用いることができる。そのため、磁
界反転時間を短くすることができ、例えば5MHz以上の高
速記録が可能となる。By setting the magnetic field strength in this range, a coil having a small inductance can be used. Therefore, the magnetic field reversal time can be shortened, and high-speed recording of, for example, 5 MHz or more can be performed.

光は、通常、磁界と反対側から照射される。 Light is usually emitted from the opposite side of the magnetic field.

記録パワーは、通常、１〜10mW程度、記録層面での光
のスポット径は、通常、0.5〜３μｍ程度である。The recording power is usually about 1 to 10 mW, and the spot diameter of light on the recording layer surface is usually about 0.5 to 3 μm.

＜実施例＞ 以下、本発明の具体的実施例を挙げ、本発明をさらに
詳細に説明する。<Example> Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to specific examples of the present invention.

［実施例１］ 直径130mm、厚さ1.2mmのビスフェノールＡ系の光ディ
スクグレードポリカーボネート樹脂からなる基板２上
に、ガラス製の保護層３を高周波マグネトロンスパッタ
により40nmの層厚に設層し、この保護層３上に、SiN_xか
らなる中間層４を高周波マグネトロンスパッタにより層
厚80nmに設層した。Example 1 A protective layer 3 made of glass was formed on a substrate 2 made of bisphenol A-based optical disk grade polycarbonate resin having a diameter of 130 mm and a thickness of 1.2 mm by a high-frequency magnetron sputtering to a thickness of 40 nm. On the layer 3, an intermediate layer 4 made of SiN _x was formed to a thickness of 80 nm by high-frequency magnetron sputtering.

次に、中間層４上に、下記表１に示される本発明の組
成の記録層５を、スパッタにより層厚80nmに設層した。
なお、Tb、SmおよびCoの含有量比（at％）は、Tb、Sm、
CoおよびFeの含有量の合計を100としたときの値であ
る。また、添加元素の含有量比（at％）は、Tb、Sm、C
o、Feおよび添加元素の含有量の合計を100としたときの
値である。Next, a recording layer 5 having the composition of the present invention shown in Table 1 below was formed on the intermediate layer 4 to a thickness of 80 nm by sputtering.
The content ratio (at%) of Tb, Sm and Co is Tb, Sm,
This is a value when the total content of Co and Fe is 100. In addition, the content ratio (at%) of the additive element is Tb, Sm, C
This is a value when the total of the contents of o, Fe and the additive element is 100.

さらに、記録層５上に、保護層３と同組成の保護層６
を高周波マグネトロンスパッタにより層厚100nmに設層
し、この保護層６上に、保護コート７を設層した。な
お、保護コート７は、多官能オリゴエステルアクリレー
トと光増感剤とを含む塗布組成物をスピンナーコートに
より保護層６上に塗布し、その後、紫外線を15秒間照射
して架橋硬化させることにより設層した。保護コート７
の厚さは５μｍとした。Further, a protective layer 6 having the same composition as the protective layer 3 is formed on the recording layer 5.
Was formed to a thickness of 100 nm by high-frequency magnetron sputtering, and a protective coat 7 was formed on the protective layer 6. The protective coat 7 is formed by applying a coating composition containing a polyfunctional oligoester acrylate and a photosensitizer onto the protective layer 6 by a spinner coat, and then irradiating ultraviolet rays for 15 seconds to cure by crosslinking. Layered. Protective coat 7
Was 5 μm in thickness.

このようにして、各種の記録層を有する本発明の光磁
気記録媒体サンプルを得た。Thus, magneto-optical recording medium samples of the present invention having various recording layers were obtained.

上記サンプルに対し、下記の測定を行なった。 The following measurement was performed on the sample.

（１）耐食性 初期のビットエラーレート（BER）と80℃・80％RHに
て1000時間保存した後のBERを測定し、その増加量（ΔB
ER）を求めた。表１に示す評価は、下記の通りである。(1) Corrosion resistance The initial bit error rate (BER) and the BER after storing at 80 ° C and 80% RH for 1000 hours are measured, and the increase (ΔB
ER). The evaluation shown in Table 1 is as follows.

◎：変化なし ○：増加量が２倍以下 △：増加量が２倍より大きく５倍以下 ×：増加量が５倍より大きい （２）C/N比 線速4.0m/sec 周波数1MHz 記録パワー（830nm）2.0〜6.0mWt 再生パワー（830nm）1.0mW RBW30kHz VBW100Hz にて測定した。なお、記録時の磁界強度は、300Oeとし
た。：: No change ：: Increase is 2 times or less △: Increase is more than 2 times and 5 times or less ×: Increase is more than 5 times (2) C / N ratio Linear velocity 4.0 m / sec Frequency 1 MHz Recording power (830 nm) 2.0 to 6.0 mWt Reproduction power (830 nm) 1.0 mW RBW 30 kHz Measured at VBW 100 Hz. The magnetic field strength during recording was 300 Oe.

（３）Hext 下記およびのうち、大きい方をHextとした。(3) Hext Hext is the larger of the following and the larger one.

印加する磁界強度を増加させながら記録を行ない、C/
N比が一定値に達したときの磁界強度 最適記録パワーにて印加磁界強度300Oeで記録した信
号に対し、同じく最適記録パワーにて印加磁界を変化さ
せて消去を行ない、消し残りが3dB以下となったときの
磁界強度 （４）保磁力（Hc） （５）キュリー点（Tc） 結果を表１に示す。Recording is performed while increasing the applied magnetic field strength, and C /
Magnetic field strength when the N ratio reaches a certain value For signals recorded at an applied magnetic field strength of 300 Oe at the optimum recording power, erasing is performed by changing the applied magnetic field at the same optimum recording power, and the remaining erase is 3 dB or less. (4) Coercive force (Hc) (5) Curie point (Tc) The results are shown in Table 1.

［実施例２］ 実施例１で作製した各光磁気記録媒体サンプルに対
し、磁界変調によりオーバーライト記録（独立した消去
過程を設けず、重ね書きにより消去すること）を行な
い、記録後の各サンプルのC/N比を測定した。[Example 2] Overwrite recording (erasing by overwriting without providing an independent erasing process) was performed on each magneto-optical recording medium sample manufactured in Example 1 by magnetic field modulation, and each sample after recording was performed. Was measured for C / N ratio.

磁界変調記録は、一定強度のレーザー光を基板の記録
層設層面の反対側から照射しながら、基板の記録層設層
面側に設けた小型コイルにより500kHzの矩形波交番磁界
を記録層面に印加することにより行なった。記録層面と
小型コイルとの距離は0.2mm、記録層面での磁界強度は2
50Oe、線速は4.0m/sとした。In magnetic field modulation recording, a 500 kHz rectangular wave alternating magnetic field is applied to the recording layer surface by a small coil provided on the recording layer surface side of the substrate while irradiating a laser beam of a constant intensity from the side opposite to the recording layer surface side of the substrate. It was done by doing. The distance between the recording layer surface and the small coil is 0.2 mm, and the magnetic field strength on the recording layer surface is 2 mm.
50 Oe, the linear velocity was 4.0 m / s.

なお、記録層面での磁界強度を上げるために記録層面
と小型コイルとの距離を0.1mmとしたところ、基板のフ
レやソリのために小型コイルが保護コート７に接触し、
記録が不可能であった。When the distance between the recording layer surface and the small coil was set to 0.1 mm in order to increase the magnetic field strength on the recording layer surface, the small coil contacted the protective coat 7 due to deflection or warpage of the substrate,
Recording was not possible.

このような磁界変調記録を、同一トラックに対し10回
行なった。Such magnetic field modulation recording was performed 10 times on the same track.

C/N比は、実施例１と同様に、再生パワー1.0mWにて再
生を行ない測定した。The C / N ratio was measured at a reproduction power of 1.0 mW in the same manner as in Example 1.

45dB以上のC/N比が得られた場合を○、C/N比が45dB未
満の場合を×として評価した。The case where a C / N ratio of 45 dB or more was obtained was evaluated as ○, and the case where the C / N ratio was less than 45 dB was evaluated as x.

結果を、表１に示す。 Table 1 shows the results.

［実施例３］ 実施例１で作製した各サンプルを用いて、再生パワー
1.5mWにて連続再生試験を行なった。 [Example 3] Using each sample prepared in Example 1, reproduction power
A continuous regeneration test was performed at 1.5 mW.

サンプルNo.101では、約500回の連続再生によりC/N比
が劣化しはじめたが、その他のサンプルでは、1000回以
上の連続再生を行なってもC/N比の劣化はみられなかっ
た。In sample No. 101, the C / N ratio started to deteriorate after approximately 500 continuous regenerations, but in other samples, the C / N ratio did not deteriorate even after 1000 or more continuous regenerations. .

［実施例４］ 上記サンプルNo.1の記録層に、前記した添加元素Ｘ
群、Ｙ群およびＺ群の１種以上を添加したサンプルを作
製し、上記と同様な耐食性測定およびC/N比の測定を行
なった。また、80℃・80％RHにて1000時間保存後の感度
の変化率および繰り返し再生後の感度の変化率も測定し
た。[Example 4] The above-mentioned additional element X
Samples to which at least one of the group, the Y group and the Z group were added were prepared, and the corrosion resistance and C / N ratio were measured in the same manner as described above. Further, the rate of change of sensitivity after storage at 80 ° C. and 80% RH for 1000 hours and the rate of change of sensitivity after repeated reproduction were also measured.

添加元素に前記Ｘ群中から選択された元素が含まれた
場合、耐食性はさらに向上した。When the added element contained an element selected from the group X, the corrosion resistance was further improved.

また、添加元素に前記Ｙ群中から選択された元素が含
まれた場合、感度の変化率は、きわめて小さいものであ
った。なお、上記Ｘ群のうち、Ｂおよび／またはSiの添
加によっても、この効果は実現した。Further, when the added element included an element selected from the Y group, the rate of change in sensitivity was extremely small. This effect was also realized by the addition of B and / or Si in the X group.

添加元素に前記Ｚ群中から選択された元素が含まれた
場合、C/N比がさらに向上した。なお、上記Ｘ群のう
ち、Crおよび／またはNiの添加によっても、この効果は
実現した。When the added element included an element selected from the Z group, the C / N ratio was further improved. This effect was also realized by the addition of Cr and / or Ni in the group X.

上記各実施例の結果から、本発明の効果が明らかであ
る。The effects of the present invention are evident from the results of the above embodiments.

すなわち、本発明サンプルは、耐食性が高い。また、
Hextが低く、Hcが高く、しかも、Tcが100℃より高いた
め、熱安定性が高い。さらに、C/N比も高いものであ
る。That is, the sample of the present invention has high corrosion resistance. Also,
Since Hext is low, Hc is high, and Tc is higher than 100 ° C., thermal stability is high. Furthermore, the C / N ratio is high.

さらに、記録層面の磁界強度250Oeにて磁界変調によ
りオーバーライト記録を行なった場合、本発明サンプル
はオーバーライト後も良好なC/N比を示し、オーバーラ
イトにより消去が良好に行なわれていることがわかる。Furthermore, when overwrite recording was performed by magnetic field modulation at a magnetic field strength of 250 Oe on the recording layer surface, the sample of the present invention showed a good C / N ratio even after overwriting, and the erasure was performed well by overwriting. I understand.

＜発明の効果＞ 本発明の光磁気記録媒体は、所定の組成の記録層を有
するため、耐食性がきわめて高い。また、本発明の光磁
気記録媒体は、情報の記録および消去時に外部から印加
される磁界の強度（Hext）を比較的低く抑えることがで
きる。<Effect of the Invention> The magneto-optical recording medium of the present invention has a recording layer of a predetermined composition, and therefore has extremely high corrosion resistance. Further, the magneto-optical recording medium of the present invention can keep the intensity (Hext) of the magnetic field applied from the outside at the time of recording and erasing information relatively low.

従って、本発明によれば、光磁気記録媒体の記録・再
生装置を小型化できる。Therefore, according to the present invention, the size of the recording / reproducing apparatus for the magneto-optical recording medium can be reduced.

また、本発明の光磁気記録媒体を用いて磁界変調記録
を行なう本発明の光磁気記録方法によれば、Hextを低く
抑えることができるためにインダクタンスの小さなコイ
ルを用いることができ、磁界反転時間を短くして高速記
録を行なうことができる。しかも、上記記録層を有する
ことにより十分な耐食性が得られるため、記録層上に厚
い保護板を設ける必要がなく、記録層とコイルとを近接
させることができる。このため、きわめてインダクタン
スの小さなコイルを用いることができ、より一層の高速
記録が可能である。Further, according to the magneto-optical recording method of the present invention in which magnetic field modulation recording is performed using the magneto-optical recording medium of the present invention, a coil having a small inductance can be used because Hext can be kept low, and the magnetic field reversal time can be reduced. , And high-speed recording can be performed. In addition, since the recording layer has sufficient corrosion resistance, it is not necessary to provide a thick protective plate on the recording layer, and the recording layer can be brought close to the coil. For this reason, a coil having an extremely small inductance can be used, and higher-speed recording can be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第１図は、本発明の光磁気記録媒体の好適実施例を示す
断面図である。 符号の説明 １……光磁気記録媒体 ２……基板 ３……保護層 ４……中間層 ５……記録層 ６……保護層 ７……保護コートFIG. 1 is a sectional view showing a preferred embodiment of the magneto-optical recording medium of the present invention. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Magneto-optical recording medium 2 ... Substrate 3 ... Protective layer 4 ... Intermediate layer 5 ... Recording layer 6 ... Protective layer 7 ... Protective coat

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】Tb、SmおよびCoの原子％で表わされる含有
量が、 26.0≦Tb＋Sm≦37.0、 8.0≦Sm、 Tb≧1.6Sm、 4.0≦Co≦10.0であり、残部が実質的にFeである記録層
を基板上に有することを特徴とする光磁気記録媒体。(1) The content of Tb, Sm and Co expressed in atomic% is 26.0 ≦ Tb + Sm ≦ 37.0, 8.0 ≦ Sm, Tb ≧ 1.6Sm, 4.0 ≦ Co ≦ 10.0, and the balance is substantially Fe. A magneto-optical recording medium comprising a recording layer on a substrate. 【請求項２】請求項１に記載の光磁気記録媒体の記録層
に対し、4A族元素、5A族元素、6A族元素、８族元素、3B
族元素、Ｃ、SiおよびＰのうちから選ばれる少なくとも
１種以上の元素を、添加元素として添加したことを特徴
とする光磁気記録媒体。2. A recording layer of the magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the recording layer is a group 4A element, a group 5A element, a group 6A element, a group 8 element, or a 3B element.
1. A magneto-optical recording medium, characterized in that at least one element selected from the group consisting of C, Si and P is added as an additional element. 【請求項３】前記4A族元素がTi、ZrおよびHfであり、前
記5A族元素がＶ、NbおよびTaであり、前記6A族元素がC
r、MoおよびＷであり、前記８族元素がNiおよびPtであ
り、前記3B族元素がＢおよびAlである請求項２に記載の
光磁気記録媒体。3. The group 4A element is Ti, Zr and Hf, the group 5A element is V, Nb and Ta, and the group 6A element is C
3. The magneto-optical recording medium according to claim 2, wherein r, Mo, and W are used, the group 8 element is Ni and Pt, and the group 3B element is B and Al. 【請求項４】請求項１ないし３のいずれかに記載の光磁
気記録媒体の記録層に対し、Geおよび／またはSrを添加
元素として添加したことを特徴とする光磁気記録媒体。4. A magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein Ge and / or Sr is added to the recording layer of the magneto-optical recording medium according to claim 1. 【請求項５】請求項１ないし４のいずれかに記載の光磁
気記録媒体の記録層に対し、Bi、Cu、SnおよびPbから選
択される元素の１種以上を添加元素として添加したこと
を特徴とする光磁気記録媒体。5. The method according to claim 1, wherein at least one element selected from the group consisting of Bi, Cu, Sn and Pb is added to the recording layer of the magneto-optical recording medium according to claim 1. Characteristic magneto-optical recording medium. 【請求項６】記録層中の前記添加元素の含有量の合計
が、１〜20at％である請求項２ないし５のいずれかに記
載の光磁気記録媒体。6. The magneto-optical recording medium according to claim 2, wherein the total content of the additional elements in the recording layer is 1 to 20 at%. 【請求項７】請求項１ないし６のいずれかに記載の光磁
気記録媒体に光磁気記録を行なう方法であって、光を照
射しながら、変調された磁界を印加することにより光磁
気記録を行なうことを特徴とする光磁気記録方法。7. A method for performing magneto-optical recording on a magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the magneto-optical recording is performed by applying a modulated magnetic field while irradiating light. A magneto-optical recording method characterized by performing.