JP2916217B2 - ブロー洗浄装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は被洗浄物に気体を吹き付けてダストを除去
するブロー洗浄装置に関する。

（従来の技術） たとえば、半導体のうちで、とくにダストをきらう撮
像素子を製造する場合、組立て工程においては、不良品
の発生を防止するために上記撮像素子のチップや外囲器
などの被洗浄物に付着したダストを除去するようにして
おり、その手段としては上記被洗浄物に向けて窒素など
の気体を吹き付けるということが行われている。

第10図は従来用いられているブロー洗浄装置を示す。
すなわち、同図中１は図示しない搬送機構によって矢印
方向に搬送される搬送治具である。この搬送治具１の上
面には被洗浄物である撮像素子の複数の外囲器２が搬送
方向に沿って所定間隔で載置されている。上記搬送治具
１の上方にはノズル体３が配設されている。このノズル
体３には供給管４の一端が接続されている。この供給管
４の他端は図示しない窒素の供給源に接続されている。

上記供給管４の中途部にはフィルタ５、ストップバル
ブ６、圧力計７、レギュレータ８などが下流側から上流
側に向かって順次設けられている。

このような構成において、上記ノズル体３から窒素を
噴出させた状態で上記搬送治具１を搬送駆動すれば、ノ
ズル体３から噴出する窒素によって上記外囲器２に付着
したダストをブロー洗浄することができるようになって
いる。

しかしながら、このようにノズル体３から気体を単に
噴出させるだけでは、気体が一定の状態（とくに圧力）
で外囲器２に作用するだけであり、しかも外囲器２の全
体にわたって確実に吹き付けることが難しいなどのこと
があるから、十分な洗浄効果を期待することができなか
った。また、気体によって吹き飛ばされたダストがブロ
ー洗浄されている外囲器２の近傍に位置する他の外囲器
２に付着する可能性が高いということもあった。

（発明が解決しようとする課題） このように、従来は、単にノズル体から気体を噴出さ
せて被洗浄物に吹き付けているだけであったので、十分
な洗浄効果が得られないばかりか、吹き飛ばされたダス
トが他の被洗浄物に付着するなどのことがあった。

この発明は上記事情にもとずきなされたもので、その
目的とするところは、被洗浄物に付着したダストを確実
に除去することができるとともに、除去されたダストが
他の被洗浄物に付着することがないようにしたブロー洗
浄装置を提供することにある。

［発明の構成］ （発明が解決しようとする課題） 上記課題を解決するためにこの発明は、ブローチャン
バーと、このブローチャンバー内に被洗浄物を搬送する
搬送機構と、前記ブローチャンバー内に清浄な気体を導
入するクリーニングユニットと、前記ブローチャンバー
内の気体の排気を行う排気口と、上記ブローチャンバー
内に設けられ上記搬送機構によって搬送された被洗浄物
に向けて清浄な気体を噴出するノズル体と、このノズル
体によって気体が吹き付けられる被洗浄物以外の被洗浄
物を覆い隠すシャッタ部材と、上記ブローチャンバーの
外部に設けられ上記ノズル体を上記被洗浄物に対して変
位駆動する駆動機構とを具備する。

また、上記変位駆動は、上記被洗浄物に対して接離方
向に駆動する。

さらには、ブローチャンバーと、このブローチャンバ
ー内に被洗浄物を搬送する搬送機構と、前記ブローチャ
ンバー内に清浄な気体を導入するクリーニングユニット
と、前記ブローチャンバー内の気体の排気を行う排気口
と、上記ブローチャンバー内に設けられ上記搬送機構に
よって搬送された被洗浄物に向けて清浄な気体を噴出す
るノズル体と、このノズル体によって気体が吹き付けら
れる被洗浄物以外の被洗浄物を覆い隠すシャッタ部材
と、上記ブローチャンバーの外部に設けられ上記ノズル
体をスライド自在に支持した支持機構を具備する。

このような構成によれば、ノズル体が駆動機構によっ
て駆動されることで、このノズル体から噴出する気体が
被洗浄物に対して変動しながら吹き付けられるから、洗
浄効果を向上させることができ、また洗浄されな被洗浄
物はシャッタ部材によって覆われることで洗浄中の他の
被洗浄物から吹き飛ばされたダストが付着するのが防止
される。

（実施例） 以下、この発明の第１の実施例を第１図乃至第７図を
参照して説明する。第１図はブロー洗浄装置の概略を示
し、同図中11は一方から常時清浄な気体（たとえば空
気）が流されて他方から排気されるブローチャンバーで
ある。このブローチャンバー11は矩形箱形状をなしてい
て、その前端面にはクリーニングユニット12が設けら
れ、底面の後端側には排気口13が形成されている。上記
クリーニングユニット12はフィルタや集塵機などを内蔵
し、ブローチャンバー11内に導入される外気から塵埃を
除去することができるようになっている。上記排気口13
には図示しない排気ダクトが接続されている。したがっ
て、ブローチャンバー11内には、上記クリーニングユニ
ット12から排気口13に向かう流れが生じるようになって
いる。

上記ブローチャンバー11の前側の内底部には搬送機構
14を構成するガイド板15が幅方向両側壁を貫通して設け
られている。このガイド板15の両側には第５図あるいは
第７図に示されるように軸線を水平にした水平ローラ16
と、軸線を垂直にした垂直ローラ17とが所定間隔で設け
られている。そして、ガイド15には水平ローラ16に下面
を接合させるとともに、垂直ローラ17に両側面を接合さ
せて搬送治具18が設けられ、それによって搬送治具18は
上記ガイド15にそって駆動されるようになっている。

上記搬送治具18の上面には被洗浄物として固体撮像素
子の外囲器19が搬送方向に沿って所定間隔で載置されて
いる。ブローチャンバー11内に搬送された搬送治具18上
の複数の外囲器19のうち、たとえば２つは一対のノズル
体21から噴出される気体によってそれぞれブロー洗浄さ
れるようになっている。上記一対のノズル体21は、第２
図と第３図とに示されるように上記ブローチャンバー11
の上壁11aを貫通して設けられた一対の気体導管22の下
端に取着され、また各ノズル体21にはそれぞれ２つの噴
出孔21aが穿設されている。

上記ブローチャンバー11の上面の上記気体導管22が突
出した部分には架台24が設けられている。この架台24は
上下方向に離間した下部プレート25と上部プレート26の
四隅部がそれぞれ第１の連結ロッド27によって連結され
てなる。上部プレート26からは一対のガイド軸28が垂設
されている。このガイド軸28には上部スライド体29と下
部スライド体31とがスライド自在に設けられている。上
記上部スライド体29には上記気体導管22の上端部が取付
け固定され、下部スライド体31は上記ガイド軸28の下端
から抜出することのない状態になっている。上記気体導
管22の上端はたとえば窒素などの図示しない気体の供給
源に接続され、この供給源から清浄な気体が供給され、
ノズル体21の噴出孔21aから噴出されるようになってい
る。

なお、ブローチャンバー11内はノズル体21から気体が
噴出されている状態において、その内部圧力が常にプラ
スになるよう上記排気口13からの排気量が制御されてい
る。

上記下部スライド体31には駆動モータ32が駆動軸33を
水平にして設けられている。この駆動モータ32の駆動軸
33には偏心カム34が取着されている。この偏心カム34は
上記上部スライド体29の下面に接触している。したがっ
て、偏心カム34が回転駆動されれば、その偏心量に応じ
て上記上部スライド体29が上下方向にスライドするか
ら、そのスライドに上記一対のノズル体21が気体導管22
を介して連動するようになっている。

上記下部スライド体21の幅方向両端部にはそれぞれ第
２の連結ロッド35の下端が連結固定されている。これら
第２の連結ロッド35の上端には第１の連結プレート36が
連結固定されている。この第１の連結プレート36には上
記架台24の上部プレート26に取付けらた第１のシリンダ
27のロッド38が連結されている。この第１のシリンダ37
のロッド38が没入方向に駆動されれば、第２の連結ロッ
ド35および一対のスライド体29、31を介して気体導管22
とともにノズル体21を上記偏心カム34による上下動に比
べて大きなストロークで上昇させることができる。つま
り、一対のノズル体21を搬送治具18に対して大きく離間
させることができるようになっている。

一方、上記ブローチャンバー11内の幅方向両側部に
は、上記搬送治具18の上方に一対のシャッタ部材41が配
設されている。このシャッタ部材41は第４図乃至第６図
に示されるように搬送治具18の幅寸法よりも長く、下面
が開放した中空状に形成され、その長手方向両端の下面
には各々一対の第３の連結ロッド42が上端を連結固定し
て垂設されている。これら第３の連結ロッド42はブロー
チャンバー11の底壁を貫通し、下端は第２の連結プレー
ト43に連結固定されている。この第２の連結プレート43
には第２のシリンダ44のロッド45が連結固定されてい
る。この第２のシリンダ44は取付板45に軸線を垂直にし
て取付けられている。

したがって、上記第２のシリンダ44が作動すれば、上
記第３の連結ロッド42を介して上記シャッタ部材41が上
下駆動される。シャッタ部材41が下降方向に駆動される
と、搬送治具18の上面に接合し、この上面に載置された
外囲器19のうち、一対のノズル体21と対向する一対の外
囲器19を除く外囲器19を覆い隠すようになっている。

なお、上記取付板45にはシャッタ部材41を下降させた
ときに上記第２の連結プレート43の上下動をガイドする
ガイド体46が設けられている。

つぎに、上記構成のブロー洗浄装置によって外囲器19
をブロー洗浄する動作について説明する。まず、搬送治
具18がブローチャンバー11内に搬送されてくる前には、
シャッタ部材41は上昇させられた状態にある。この状態
でブロー洗浄しようとする複数の外囲器19が載置された
搬送治具18がブローチャンバー11内に搬送されてきて所
定位置で停止すると、第２のシリンダ44が駆動されて上
記シャッタ部材41が下降方向に駆動される。それによっ
て、搬送治具18上に載置された外囲器19のうち、一対の
ノズル体21に対向する２つの外囲器19を除く他の外囲器
19は一対のシャッタ部材41によって覆い隠される。

このように、シャッタ部材41が下降すると、駆動モー
タ32が作動して偏心カム34が回転するから、この偏心カ
ム34によって上部スライド体29が上下方向に往復駆動さ
れ、この上部スライド体29に気体導管22を介して連結さ
れた一対のノズル体21が連動する。

上記駆動モータ32が作動すると同時に、上記ノズル体
21には図示しない供給源から清浄な窒素が供給され、そ
の一対の噴出孔21aから外囲器19に向かって噴出する。
噴出孔21aから噴出される窒素は、ノズル体21が外囲器1
9に対して接離する方向に駆動されるから、その距離の
変化に応じて外囲器19に作用する窒素の圧力が変動をと
もなって繰り返して作用する。そのため、上記外囲器19
に付着したダストが効果的に吹き飛ばされることにな
る。

外囲器19から吹き飛ばされたダストは、クリーニング
ユニット12から排気口13に向かう流れに乗ってブローチ
ャンバー11から排出されるととともに、搬送治具18上に
載置された他の外囲器19がシャッタ部材41によって覆い
隠されているから、それらの外囲器19に付着するような
ことがない。つまり、搬送治具18上に載置された洗浄ず
みあるいは洗浄前の外囲器19に付着するのが防止され
る。

さらに、ノズル体21を駆動するための駆動モータ32や
偏心カム34などからなる駆動機構およびノズル体21を上
下方向にスライド自在に支持したガイド軸28や一対のス
ライド体29、31からなる支持機構はブローチャンバー11
の外部に設けられている。そのため、上記駆動機構や支
持機構の摺動部分から発生する塵埃がブローチャンバー
11内の外囲器19に付着するようなことがない。

このようにして一対の外囲器19がブロー洗浄される
と、シャッタ部材41が上昇して搬送治具18がガイド15に
沿って所定量駆動されたのち、未洗浄の外囲器19が上述
したと同様の工程によってブロー洗浄される。

第８図と第９図はこの発明の他の実施例を示す。つま
り、この実施例はブロー洗浄される外囲器19aが細長い
場合で、その場合にはノズル体21を上記外囲器19aの長
手方向に沿う前後方向に駆動するようにした。すなわ
ち、ノズル体21は１本の気体導管51から分岐された一対
の分岐管52の先端に取着されている。上記気体導管51の
中途部にはフィルタ53が設けられているとともに、その
部分にはガイド板54が取付け固定されている。このガイ
ド板54の両端部はブローチャンバー11の内底部に前後方
向に沿って架設された一対のガイド軸55にスライド自在
に支持されている。

上記気体導管51の後端部はブローチャンバー11の後壁
を貫通し、前後駆動用シリンダ56の一対のロッド57に取
着されたブロック体58に連結されている。このブロック
体58には接続管59が接続され、この接続管59は図示しな
い窒素の供給源に接続されている、上記前後駆動用シリ
ンダ56が作動すれば、気体導管51を介してノズル体21が
搬送治具18上に載置された外囲器19aの長さ方向に沿っ
て往復駆動されるようになっている。

なお、ノズル体21によってブロー洗浄される一対の外
囲器19a以外の外囲器19aがシャッタ部材41によって覆い
隠される構造は図示しないが上記一実施例と同じであ
る。

このような構成によれば、ノズル体21は前後駆動用シ
リンダ56によって前後方向、つまり外囲器19aの長さ方
向に沿って駆動されながら窒素を噴出するから、その外
囲器19aをブロー洗浄することができるとともに、ブロ
ー洗浄によって吹き飛ばされたダストが他の外囲器19a
に付着するようなこともない。

なお、上記各実施例では、ブロー洗浄される被洗浄物
として固体撮像素子の外囲器を挙げたが、被洗浄物はそ
れ以外のものであってもよく、要は付着しているダスト
をブロー洗浄する必要があるものであれば、この発明を
適用することができる。

また、第８図と第９図に示す他の実施例において、一
対のガイド軸55をブローチャンバー11の外部に設ける構
成にしてもよい。

［発明の効果］ 以上述べたようにこの発明は、ブローチャンバー内に
おいて、クリーニングユニットから排気口に向かう清浄
な気体の流れを形成し、被洗浄物に向けて気体を噴出す
るノズル体を上記被洗浄物に対して変位させるととも
に、気体が吹き付けられる被洗浄物以外の被洗浄物をシ
ャッタ部材によって覆い隠すようにした。したがって、
気体を被洗浄物に対して圧力あるいは吹付け部位を変化
させながら噴出することができるから、洗浄効果を増大
させることができる。また、ブローチャンバー内に清浄
な気体の流れを形成することができるから、吹き飛ばさ
れたダストをブローチャンバーから効果的に排出するこ
とができる。さらに、洗浄されない被洗浄物はシャッタ
部材によって覆い隠されるから、これら被洗浄物に他の
被洗浄物から飛散するダストが付着するのを防止するこ
とができる。また、ノズル体を駆動する駆動機構はブロ
ーチャンバーの外部に設けられているから、上記駆動機
構の摺動部分で発生する塵埃か被洗浄物に付着するよう
なこともない。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第７図はこの発明の一実施例を示し、第１図
は装置全体の概略図、第２図はノズル体を上下駆動する
機構の正面図、第３図は同じく側面図、第４図はシャッ
タ部材を上下動する機構の正面図、第５図は同じく側面
図、第６図は同じく平面図、第７図は搬送治具を搬送す
る搬送機構の一部を示す平面図、第８図はこの発明の他
の実施例を示すノズル体を駆動する機構の平面図、第９
図は同じく側面図、第10図は従来のブロー洗浄装置の概
略図である。 11……ブローチャンバー、19、19a……被洗浄物、14…
…搬送機構、15……ガイド（搬送機構）、18……搬送治
具（搬送機構）、21……ノズル体、28……ガイド軸（支
持機構）、32……駆動モータ（駆動機構）、41……シャ
ッタ部材、56……前後駆動用シリンダ（駆動機構）。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) B08B 5/02 H01L 21/304 341

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ブローチャンバーと、このブローチャンバ
   ー内に被洗浄物を搬送する搬送機構と、前記ブローチャ
   ンバー内に清浄な気体を導入するクリーニングユニット
   と、前記ブローチャンバー内の気体の排気を行う排気口
   と、上記ブローチャンバー内に設けられた上記搬送機構
   によって搬送された被洗浄物に向けて清浄な気体を噴出
   するノズル体と、このノズル体によって気体が吹き付け
   られる被洗浄物以外の被洗浄物を覆い隠すシャッタ部材
   と、上記ブローチャンバーの外部に設けられ上記ノズル
   体を上記被洗浄物に対して変位駆動する駆動機構とを具
   備したことを特徴とするブロー洗浄装置。
2. 【請求項２】上記変位駆動は、上記被洗浄物に対して接
   離方向に駆動することを特徴とする請求項１記載のブロ
   ー洗浄装置。
3. 【請求項３】ブローチャンバーと、このブローチャンバ
   ー内に被洗浄物を搬送する搬送機構と、前記ブローチャ
   ンバー内に清浄な気体を導入するクリーニングユニット
   と、前記ブローチャンバー内の気体の排気を行う排気口
   と、上記ブローチャンバー内に設けられ上記搬送機構に
   よって搬送された被洗浄物に向けて清浄な気体を噴出す
   るノズル体と、このノズル体によって気体が吹き付けら
   れる被洗浄物以外の被洗浄物を覆い隠すシャッタ部材
   と、上記ブローチャンバーの外部に設けられ上記ノズル
   体をスライド自在に支持した支持機構を具備したことを
   特徴とするブロー洗浄装置。