JP2884583B2 - X線集光器 - Google Patents
X線集光器Info
- Publication number
- JP2884583B2 JP2884583B2 JP1037140A JP3714089A JP2884583B2 JP 2884583 B2 JP2884583 B2 JP 2884583B2 JP 1037140 A JP1037140 A JP 1037140A JP 3714089 A JP3714089 A JP 3714089A JP 2884583 B2 JP2884583 B2 JP 2884583B2
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- JP
- Japan
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- ray
- rays
- zone
- point
- zone plate
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- X-Ray Techniques (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、X線を微小領域に集光させるにX線集光器
関する。
関する。
(従来の技術) 微小領域X線光電子分光分析装置やX線顕微鏡やX線
露光装置等においては、X線を微小領域に集中させ、X
線によって励起されて試料から放射する電子等を検出し
て分析したり、或は微細パターンの焼付けを行ったりし
ているが、X線を微小領域に照射する方法としては、X
線を簡単に集光する手段がないために、絞りやマスクで
制限をしているのが普通である。しかし、絞りやマスク
は集光能力を持たないので、X線の強度を強めることが
できない。数少ないX線の集光素子として、ゾーンプレ
ートやX線ミラー,凹面分光素子等があるが、X線を反
射させるには、表面に平行に近い入射角でX線を入射さ
せる必要があり、X線ミラーに入射するX線の立体角を
大きくするのは困難である。ゾーンプレートは理論上優
れたX線集光能力を有するが、直径の大きいゾーンプレ
ートを製作することは技術的に難しく、小径ゾーンプレ
ートでは、入射するX線の立体角が小さくなり、X線の
強度を上げることが難しい。また、凹面結晶格子をX線
集光素子として用いる場合、集光性を持たせるために、
結晶格子面を球面に形成させる必要があるが、結晶格子
は通常平面の板であり、結晶格子面を球面に形成させる
ことは難しく、そのために円筒状に形成した短冊型の結
晶格子を球面状に並べることにより、球面状の結晶格子
を製作している。そのために非常に高価になると云う問
題があった。
露光装置等においては、X線を微小領域に集中させ、X
線によって励起されて試料から放射する電子等を検出し
て分析したり、或は微細パターンの焼付けを行ったりし
ているが、X線を微小領域に照射する方法としては、X
線を簡単に集光する手段がないために、絞りやマスクで
制限をしているのが普通である。しかし、絞りやマスク
は集光能力を持たないので、X線の強度を強めることが
できない。数少ないX線の集光素子として、ゾーンプレ
ートやX線ミラー,凹面分光素子等があるが、X線を反
射させるには、表面に平行に近い入射角でX線を入射さ
せる必要があり、X線ミラーに入射するX線の立体角を
大きくするのは困難である。ゾーンプレートは理論上優
れたX線集光能力を有するが、直径の大きいゾーンプレ
ートを製作することは技術的に難しく、小径ゾーンプレ
ートでは、入射するX線の立体角が小さくなり、X線の
強度を上げることが難しい。また、凹面結晶格子をX線
集光素子として用いる場合、集光性を持たせるために、
結晶格子面を球面に形成させる必要があるが、結晶格子
は通常平面の板であり、結晶格子面を球面に形成させる
ことは難しく、そのために円筒状に形成した短冊型の結
晶格子を球面状に並べることにより、球面状の結晶格子
を製作している。そのために非常に高価になると云う問
題があった。
(発明が解決しようとする課題) 本発明は、より大きい立体角のX線を一点に集光させ
る方法を提供することを目的とする。
る方法を提供することを目的とする。
(課題を解決するための手段) 複数のゾーンプレートを焦点がX線照射点に一致する
ように球面状に配置し、上記夫々のゾーンプレートの外
側にX線ファイバーの一端を対向させ、上記夫々のX線
ファイバーの他端がX線源に対向するように配置し、更
に、集光性及び透過率を向上させるために、上記とは別
の複数のゾーンプレートを焦点がX線源に一致するよう
に球面状に配置し、上記X線ファイバーの他端がこのゾ
ーンプレートの外側に対向するように配置した。
ように球面状に配置し、上記夫々のゾーンプレートの外
側にX線ファイバーの一端を対向させ、上記夫々のX線
ファイバーの他端がX線源に対向するように配置し、更
に、集光性及び透過率を向上させるために、上記とは別
の複数のゾーンプレートを焦点がX線源に一致するよう
に球面状に配置し、上記X線ファイバーの他端がこのゾ
ーンプレートの外側に対向するように配置した。
(作用) ゾーンプレートは小径なので、1枚のゾーンプレート
で集光できるX線は少ないけれど、複数枚のゾーンプレ
ートを用いて、一点にX線を集光させることができれ
ば、大きい立体角でX線を集光でき、大径のゾーンプレ
ートと同じ効果が期待できる。本発明は、上記の発想に
て、複数枚のゾーンプレートを焦点が同一集光点に位置
するように球面状に配置し、上記ゾーンプレートに垂直
にX線を照射させる方法として、X線ファイバーの一端
側がゾーンプレートに垂直となるように配置し、他端側
がX線源を臨むように配置させたものである。X線ファ
イバーはたとえば石英ガラスで製作された管であり、管
内面に沿った小さい入射角でX線を入射させれば、X線
は管内面で反射させることができる。従って、X線ファ
イバーに入射したX線は出口ではほぼ全部がX線ファイ
バーの管内面とほゞ平行になるので、X線ファイバーか
らの出射X線は小さな発散角のX線束となり、全部がゾ
ーンプレートに入射出来て、一点に集光されるから、入
口端をX線源に対向させ、出口端をゾーンプレートに対
向させるだけでも、X線をゾーンプレートの焦点に集光
させることができる。
で集光できるX線は少ないけれど、複数枚のゾーンプレ
ートを用いて、一点にX線を集光させることができれ
ば、大きい立体角でX線を集光でき、大径のゾーンプレ
ートと同じ効果が期待できる。本発明は、上記の発想に
て、複数枚のゾーンプレートを焦点が同一集光点に位置
するように球面状に配置し、上記ゾーンプレートに垂直
にX線を照射させる方法として、X線ファイバーの一端
側がゾーンプレートに垂直となるように配置し、他端側
がX線源を臨むように配置させたものである。X線ファ
イバーはたとえば石英ガラスで製作された管であり、管
内面に沿った小さい入射角でX線を入射させれば、X線
は管内面で反射させることができる。従って、X線ファ
イバーに入射したX線は出口ではほぼ全部がX線ファイ
バーの管内面とほゞ平行になるので、X線ファイバーか
らの出射X線は小さな発散角のX線束となり、全部がゾ
ーンプレートに入射出来て、一点に集光されるから、入
口端をX線源に対向させ、出口端をゾーンプレートに対
向させるだけでも、X線をゾーンプレートの焦点に集光
させることができる。
(実施例) 第1図に本発明の一実施例を示す。第1図において、
電子ビームBがターゲット1の照射点Pに照射され、タ
ーゲット1照射点PからX線が放射される。2は石英ガ
ラス製の管であるX線ファイバーで、一端側の開口部2A
が照射点Pを中心とする球面上に配置されており、照射
点Pから放射されるX線が上記開口部2Aから管内に導入
される。他端側の開口部2Bが集光点Oに中心とする球面
上に配置されている。3は開口部2Bの前方に集光点Oが
焦点になるように配置されたゾーンプレートで、開口部
2Bからほぼ管側面と平行に出射されるX線を集光点Oに
集光させる。
電子ビームBがターゲット1の照射点Pに照射され、タ
ーゲット1照射点PからX線が放射される。2は石英ガ
ラス製の管であるX線ファイバーで、一端側の開口部2A
が照射点Pを中心とする球面上に配置されており、照射
点Pから放射されるX線が上記開口部2Aから管内に導入
される。他端側の開口部2Bが集光点Oに中心とする球面
上に配置されている。3は開口部2Bの前方に集光点Oが
焦点になるように配置されたゾーンプレートで、開口部
2Bからほぼ管側面と平行に出射されるX線を集光点Oに
集光させる。
上記実施例では、X線ファイバーを用いているが、第
2図に示すように、X線ファイバーを用いずに、夫々の
ゾーンプレートに対応するX線源を配置し、各X線源か
ら放射されるX線を対応する各ゾーンプレートで直接集
光点に集光させることも可能であるが複数のX線源が必
要になる。
2図に示すように、X線ファイバーを用いずに、夫々の
ゾーンプレートに対応するX線源を配置し、各X線源か
ら放射されるX線を対応する各ゾーンプレートで直接集
光点に集光させることも可能であるが複数のX線源が必
要になる。
また、第3図に示すように、焦点距離の異なるゾーン
プレートを、集光点が一致するように配置させることに
よっても集光能力を向上させることができる。しかし、
この場合も第2図の場合と同様複数のX線源が要る上、
焦点距離の異なるゾーンプレートを用いた場合には、方
向によって輝度が異なったら、測定結果に影響が生じる
測定には用いることができない。
プレートを、集光点が一致するように配置させることに
よっても集光能力を向上させることができる。しかし、
この場合も第2図の場合と同様複数のX線源が要る上、
焦点距離の異なるゾーンプレートを用いた場合には、方
向によって輝度が異なったら、測定結果に影響が生じる
測定には用いることができない。
(発明の効果) 本発明によれば、複数枚のゾーンプレートにより一点
に集光させることにより、X線を広立体角で集光させる
ことが可能になり、集光点のX線強度を著しく強めるこ
とが可能になった。
に集光させることにより、X線を広立体角で集光させる
ことが可能になり、集光点のX線強度を著しく強めるこ
とが可能になった。
第1図は本発明の一実施例の構成図、第2図は第2実施
例の部分構成図、第3図は第3実施例の部分構成図であ
る。 B……電子ビーム、1……ターゲット、2……X線ファ
イバー、3……ゾーンプレート。
例の部分構成図、第3図は第3実施例の部分構成図であ
る。 B……電子ビーム、1……ターゲット、2……X線ファ
イバー、3……ゾーンプレート。
Claims (1)
- 【請求項1】複数のゾーンプレートを焦点が一致するよ
うに一つの球面状に配置し、上記夫々のゾーンプレート
の外側にX線ファイバーの一端を対向させ、上記各X線
ファイバーの他端を、一つのX線源を望むように配置し
たことを特徴とするX線集光器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1037140A JP2884583B2 (ja) | 1989-02-16 | 1989-02-16 | X線集光器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1037140A JP2884583B2 (ja) | 1989-02-16 | 1989-02-16 | X線集光器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02216100A JPH02216100A (ja) | 1990-08-28 |
JP2884583B2 true JP2884583B2 (ja) | 1999-04-19 |
Family
ID=12489312
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1037140A Expired - Lifetime JP2884583B2 (ja) | 1989-02-16 | 1989-02-16 | X線集光器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2884583B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6094471A (en) * | 1998-04-22 | 2000-07-25 | Smithsonian Astrophysical Observatory | X-ray diagnostic system |
JP4837964B2 (ja) * | 2005-09-28 | 2011-12-14 | 株式会社島津製作所 | X線集束装置 |
JP4492507B2 (ja) * | 2005-09-28 | 2010-06-30 | 株式会社島津製作所 | X線集束装置 |
JP5046274B2 (ja) * | 2006-12-28 | 2012-10-10 | 株式会社堀場製作所 | X線集光装置及びx線分析装置 |
JP5326987B2 (ja) * | 2009-10-20 | 2013-10-30 | 株式会社島津製作所 | X線集束装置 |
DE102012013530B3 (de) * | 2012-07-05 | 2013-08-29 | Helmholtz-Zentrum Berlin Für Materialien Und Energie Gmbh | Vorrichtung zur Messung resonanter inelastischer Röntgenstreuung einer Probe |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60233600A (ja) * | 1984-05-02 | 1985-11-20 | 株式会社島津製作所 | X線レンズ |
JPS61260200A (ja) * | 1985-05-15 | 1986-11-18 | 富士通株式会社 | 軟x線用偏向器 |
-
1989
- 1989-02-16 JP JP1037140A patent/JP2884583B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH02216100A (ja) | 1990-08-28 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080212 Year of fee payment: 9 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090212 Year of fee payment: 10 |
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