JP2796906B2 - 異物検査装置 - Google Patents
異物検査装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体電子部品の製造
におけるガラス基板又はペリクル膜を形成したペリクル
面などの検査対象物の表面の異物（ゴミ、傷など）を検
出する異物検査装置に関し、特に検査対象物に対する後
方散乱光受光部の受光範囲を拡大すると共に光の入射効
率を向上させて異物の検出率を高めることができる異物
検査装置に関する。
におけるガラス基板又はペリクル膜を形成したペリクル
面などの検査対象物の表面の異物（ゴミ、傷など）を検
出する異物検査装置に関し、特に検査対象物に対する後
方散乱光受光部の受光範囲を拡大すると共に光の入射効
率を向上させて異物の検出率を高めることができる異物
検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の異物検査装置は、図３に
示すように、検査対象物１を位置決めして保持すると共
に所定方向へ移動する保持テーブル２と、上記検査対象
物１の表面に光ビーム３を照射する投光部４と、上記検
査対象物１に対して光ビーム３の照射側にあって該検査
対象物１上の異物からの後方散乱光を入射する光ファイ
バを備えた後方散乱光受光部５と、上記光ビーム３の透
過側にあって該検査対象物１上の異物からの前方散乱光
を入射する光ファイバを備えた前方散乱光受光部６とを
有して成っていた。上記投光部４は、例えばＨe-Ｎeレ
ーザ発振器から成り、このレーザ発振器より矢印Ｐのよ
うに発射されたレーザ光は、その後第一のダイクロイッ
クミラー７→ビームエキスパンダー８→第二のダイクロ
イックミラー９→ポリゴンミラー１０→スキャンレンズ
１１→第三のダイクロイックミラー１２を介して、上記
検査対象物１の表面に特定方向に走査して照射される。
そして、上記検査対象物１の表面の異物からの散乱光を
上記後方散乱光受光部５及び前方散乱光受光部６で受光
して検出することにより異物の検査を行うようになって
いた。
示すように、検査対象物１を位置決めして保持すると共
に所定方向へ移動する保持テーブル２と、上記検査対象
物１の表面に光ビーム３を照射する投光部４と、上記検
査対象物１に対して光ビーム３の照射側にあって該検査
対象物１上の異物からの後方散乱光を入射する光ファイ
バを備えた後方散乱光受光部５と、上記光ビーム３の透
過側にあって該検査対象物１上の異物からの前方散乱光
を入射する光ファイバを備えた前方散乱光受光部６とを
有して成っていた。上記投光部４は、例えばＨe-Ｎeレ
ーザ発振器から成り、このレーザ発振器より矢印Ｐのよ
うに発射されたレーザ光は、その後第一のダイクロイッ
クミラー７→ビームエキスパンダー８→第二のダイクロ
イックミラー９→ポリゴンミラー１０→スキャンレンズ
１１→第三のダイクロイックミラー１２を介して、上記
検査対象物１の表面に特定方向に走査して照射される。
そして、上記検査対象物１の表面の異物からの散乱光を
上記後方散乱光受光部５及び前方散乱光受光部６で受光
して検出することにより異物の検査を行うようになって
いた。
【０００３】ここで、上記後方散乱光受光部５及び前方
散乱光受光部６は、図４に示すように配置されていた。
すなわち、後方散乱光受光部５は、検査対象物１に対し
て光ビーム３の照射側にあって該検査対象物１の表面に
対して、その光軸１３が例えば約６０度の角度で傾斜し
て配置されている。また、前方散乱光受光部６は、上記
検査対象物１に対して光ビーム３の透過側にあって該検
査対象物１の裏面に対して、その光軸１４が例えば約６
０度の角度で傾斜して配置されている。なお、図４にお
いて、符号１５，１６は、それぞれ後方散乱光受光部５
又は前方散乱光受光部６に受光端部が挿入され、検査対
象物１上の異物からの散乱光を入射して図示外の光電変
換手段に導く光ファイバを示している。
散乱光受光部６は、図４に示すように配置されていた。
すなわち、後方散乱光受光部５は、検査対象物１に対し
て光ビーム３の照射側にあって該検査対象物１の表面に
対して、その光軸１３が例えば約６０度の角度で傾斜し
て配置されている。また、前方散乱光受光部６は、上記
検査対象物１に対して光ビーム３の透過側にあって該検
査対象物１の裏面に対して、その光軸１４が例えば約６
０度の角度で傾斜して配置されている。なお、図４にお
いて、符号１５，１６は、それぞれ後方散乱光受光部５
又は前方散乱光受光部６に受光端部が挿入され、検査対
象物１上の異物からの散乱光を入射して図示外の光電変
換手段に導く光ファイバを示している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来の異物検査装置においては、後方散乱光受光部５は、
検査対象物１の光ビーム３の照射側にて予めセットされ
た所定の角度だけ傾斜して１系統しか配置されていなか
ったので、製造工程内で発生する異物で特定の指向性を
有するものが上記検査対象物１上に付着した場合は、上
記異物からの後方散乱光を受光できないことがあった。
例えば、１系統の後方散乱光受光部５が約６０度の方向
にセットされており、上記異物からの後方散乱光が約４
５度の方向に指向性を持って発生したとすると、上記１
系統の後方散乱光受光部５だけでは受光できないことと
なる。すなわち、１系統の後方散乱光受光部５が予めセ
ットされた所定の角度方向以外に発生する異物からの散
乱光については、それらを受光できないものであった。
来の異物検査装置においては、後方散乱光受光部５は、
検査対象物１の光ビーム３の照射側にて予めセットされ
た所定の角度だけ傾斜して１系統しか配置されていなか
ったので、製造工程内で発生する異物で特定の指向性を
有するものが上記検査対象物１上に付着した場合は、上
記異物からの後方散乱光を受光できないことがあった。
例えば、１系統の後方散乱光受光部５が約６０度の方向
にセットされており、上記異物からの後方散乱光が約４
５度の方向に指向性を持って発生したとすると、上記１
系統の後方散乱光受光部５だけでは受光できないことと
なる。すなわち、１系統の後方散乱光受光部５が予めセ
ットされた所定の角度方向以外に発生する異物からの散
乱光については、それらを受光できないものであった。
【０００５】また、上記検査対象物１上の異物からの散
乱光は、図４に示すように、後方散乱光受光部５の光フ
ァイバ１５の受光端部に直接入射するようになっている
ので、その受光範囲角θは、上記光ファイバ１５の口径
と検査対象物１までの距離とで決まり、例えば15.9度と
あまり広いものではなかった。従って、このことから、
上記後方散乱光受光部５が異物からの散乱光を受光する
範囲が広いとは言えなかった。これらのことから、従来
の異物検査装置では、検査対象物１上の実異物の総ては
検出することができず、ガラス基板やペリクル面の不良
品を確実に検査できないことがあった。従って、最終的
な製品の品質が低下すると共に、歩留まりも低下するも
のであった。
乱光は、図４に示すように、後方散乱光受光部５の光フ
ァイバ１５の受光端部に直接入射するようになっている
ので、その受光範囲角θは、上記光ファイバ１５の口径
と検査対象物１までの距離とで決まり、例えば15.9度と
あまり広いものではなかった。従って、このことから、
上記後方散乱光受光部５が異物からの散乱光を受光する
範囲が広いとは言えなかった。これらのことから、従来
の異物検査装置では、検査対象物１上の実異物の総ては
検出することができず、ガラス基板やペリクル面の不良
品を確実に検査できないことがあった。従って、最終的
な製品の品質が低下すると共に、歩留まりも低下するも
のであった。
【０００６】そこで、本発明は、このような問題点に対
処し、検査対象物に対する後方散乱光受光部の受光範囲
を拡大すると共に光の入射効率を向上させて異物の検出
率を高めることができる異物検査装置を提供することを
目的とする。
処し、検査対象物に対する後方散乱光受光部の受光範囲
を拡大すると共に光の入射効率を向上させて異物の検出
率を高めることができる異物検査装置を提供することを
目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による異物検査装置は、検査対象物を位置決
めして保持すると共に所定方向へ移動する保持テーブル
と、上記検査対象物の表面に光ビームを照射する投光部
と、上記検査対象物に対して光ビームの照射側にあって
該検査対象物上の異物からの後方散乱光を入射する光フ
ァイバを備えた後方散乱光受光部と、上記光ビームの透
過側にあって該検査対象物上の異物からの前方散乱光を
入射する光ファイバを備えた前方散乱光受光部とを有
し、上記投光部からの光ビームを検査対象物の表面に走
査して照射し、その検査対象物の表面の異物からの散乱
光を上記後方散乱光受光部及び前方散乱光受光部で受光
して検出することにより異物の検査を行う異物検査装置
において、上記後方散乱光受光部を、検査対象物の表面
に照射する投光部からの光ビームの走査方向に直交する
面内にて、該光ビームの照射位置を中心としてその両側
方に所定の角度間隔で左右対称に複数箇所に配置すると
共に、上記各後方散乱光受光部の光ファイバの受光端部
の前方には、検査対象物上の異物からの後方散乱光を入
射して絞り込み上記光ファイバ内への光の入射効率を向
上させる複数段の集光レンズを挿入したものである。
に、本発明による異物検査装置は、検査対象物を位置決
めして保持すると共に所定方向へ移動する保持テーブル
と、上記検査対象物の表面に光ビームを照射する投光部
と、上記検査対象物に対して光ビームの照射側にあって
該検査対象物上の異物からの後方散乱光を入射する光フ
ァイバを備えた後方散乱光受光部と、上記光ビームの透
過側にあって該検査対象物上の異物からの前方散乱光を
入射する光ファイバを備えた前方散乱光受光部とを有
し、上記投光部からの光ビームを検査対象物の表面に走
査して照射し、その検査対象物の表面の異物からの散乱
光を上記後方散乱光受光部及び前方散乱光受光部で受光
して検出することにより異物の検査を行う異物検査装置
において、上記後方散乱光受光部を、検査対象物の表面
に照射する投光部からの光ビームの走査方向に直交する
面内にて、該光ビームの照射位置を中心としてその両側
方に所定の角度間隔で左右対称に複数箇所に配置すると
共に、上記各後方散乱光受光部の光ファイバの受光端部
の前方には、検査対象物上の異物からの後方散乱光を入
射して絞り込み上記光ファイバ内への光の入射効率を向
上させる複数段の集光レンズを挿入したものである。
【０００８】また、上記各後方散乱光受光部の光ファイ
バの受光端部及びこの受光端部の前方に挿入された複数
段の集光レンズを、前記投光部による光ビームの走査方
向に沿って長く形成し、検査対象物上の異物からの散乱
光の捕集領域を広くすると効果的である。
バの受光端部及びこの受光端部の前方に挿入された複数
段の集光レンズを、前記投光部による光ビームの走査方
向に沿って長く形成し、検査対象物上の異物からの散乱
光の捕集領域を広くすると効果的である。
【０００９】
【作用】このように構成された異物検査装置は、検査対
象物の表面に照射する投光部からの光ビームの走査方向
に直交する面内にて、該光ビームの照射位置を中心とし
てその両側方に所定の角度間隔で左右対称に複数箇所に
配置された後方散乱光受光部により、投光部からの光ビ
ームの照射によって上記検査対象物上の異物から発生す
る後方散乱光の受光範囲が上記光ビームの照射位置を中
心としてその両側方に格段と広くなり、異物からの散乱
光の指向性の影響を受けにくくするように動作する。ま
た、上記各後方散乱光受光部の光ファイバの受光端部の
前方に挿入された複数段の集光レンズにより、検査対象
物上の異物からの後方散乱光を入射して絞り込み上記光
ファイバ内への光の入射効率を向上させるように動作す
る。これにより、検査対象物上の異物の検出率を高める
ことができる。
象物の表面に照射する投光部からの光ビームの走査方向
に直交する面内にて、該光ビームの照射位置を中心とし
てその両側方に所定の角度間隔で左右対称に複数箇所に
配置された後方散乱光受光部により、投光部からの光ビ
ームの照射によって上記検査対象物上の異物から発生す
る後方散乱光の受光範囲が上記光ビームの照射位置を中
心としてその両側方に格段と広くなり、異物からの散乱
光の指向性の影響を受けにくくするように動作する。ま
た、上記各後方散乱光受光部の光ファイバの受光端部の
前方に挿入された複数段の集光レンズにより、検査対象
物上の異物からの後方散乱光を入射して絞り込み上記光
ファイバ内への光の入射効率を向上させるように動作す
る。これにより、検査対象物上の異物の検出率を高める
ことができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
詳細に説明する。図１は本発明による異物検査装置の実
施例を示す一部断面した要部拡大説明図である。この異
物検査装置は、半導体電子部品の製造におけるガラス基
板又はペリクル膜を形成したペリクル面などの検査対象
物の表面の異物を検出するもので、その全体の概略構成
は図３に示す従来例と同様に構成されている。
詳細に説明する。図１は本発明による異物検査装置の実
施例を示す一部断面した要部拡大説明図である。この異
物検査装置は、半導体電子部品の製造におけるガラス基
板又はペリクル膜を形成したペリクル面などの検査対象
物の表面の異物を検出するもので、その全体の概略構成
は図３に示す従来例と同様に構成されている。
【００１１】すなわち、図３において、保持テーブル２
は、検査対象物１を位置決めして保持すると共に所定方
向へ移動するもので、図示は省略したが、水平面内で互
いに直交方向に移動し得るＸテーブル（Ｘ方向に移動す
る）及びＹテーブル（Ｙ方向に移動する）を有し、さら
に、上記Ｘテーブル又はＹテーブルの上方には上下方向
（Ｚ方向）に移動し得るＺテーブルを有している。
は、検査対象物１を位置決めして保持すると共に所定方
向へ移動するもので、図示は省略したが、水平面内で互
いに直交方向に移動し得るＸテーブル（Ｘ方向に移動す
る）及びＹテーブル（Ｙ方向に移動する）を有し、さら
に、上記Ｘテーブル又はＹテーブルの上方には上下方向
（Ｚ方向）に移動し得るＺテーブルを有している。
【００１２】上記保持テーブル２に保持された検査対象
物１の表面には、投光部４から光ビーム３が照射され
る。この投光部４は、例えばＨe-Ｎeレーザ発振器から
成り、矢印Ｐのようにレーザ光を発するようになってい
る。そして、この発射されたレーザ光は、その後第一の
ダイクロイックミラー７→ビームエキスパンダー８→第
二のダイクロイックミラー９→ポリゴンミラー１０→ス
キャンレンズ１１→第三のダイクロイックミラー１２を
介して、上記検査対象物１の表面に特定方向に走査して
照射される。
物１の表面には、投光部４から光ビーム３が照射され
る。この投光部４は、例えばＨe-Ｎeレーザ発振器から
成り、矢印Ｐのようにレーザ光を発するようになってい
る。そして、この発射されたレーザ光は、その後第一の
ダイクロイックミラー７→ビームエキスパンダー８→第
二のダイクロイックミラー９→ポリゴンミラー１０→ス
キャンレンズ１１→第三のダイクロイックミラー１２を
介して、上記検査対象物１の表面に特定方向に走査して
照射される。
【００１３】上記検査対象物１の保持された上面側すな
わち光ビーム３の照射側には、後方散乱光受光部５が設
けられ、下面側すなわち光ビーム３の透過側には、前方
散乱光受光部６が設けられている。後方散乱光受光部５
は、上記検査対象物１に照射されたレーザ光が該検査対
象物１上の異物によって反射された後方散乱光を入射す
るもので、この入射光を図示外の光電変換手段に導く光
ファイバ（図３では図示省略）を備えている。また、前
方散乱光受光部６は、光透過性の検査対象物１に照射さ
れたレーザ光が該検査対象物１を透過した際の異物によ
る前方散乱光を入射するもので、同じくこの入射光を図
示外の光電変換手段に導く光ファイバ（図３では図示省
略）を備えている。
わち光ビーム３の照射側には、後方散乱光受光部５が設
けられ、下面側すなわち光ビーム３の透過側には、前方
散乱光受光部６が設けられている。後方散乱光受光部５
は、上記検査対象物１に照射されたレーザ光が該検査対
象物１上の異物によって反射された後方散乱光を入射す
るもので、この入射光を図示外の光電変換手段に導く光
ファイバ（図３では図示省略）を備えている。また、前
方散乱光受光部６は、光透過性の検査対象物１に照射さ
れたレーザ光が該検査対象物１を透過した際の異物によ
る前方散乱光を入射するもので、同じくこの入射光を図
示外の光電変換手段に導く光ファイバ（図３では図示省
略）を備えている。
【００１４】ここで、本発明においては、図１に示すよ
うに、上記の後方散乱光受光部５が、検査対象物１の表
面に照射する投光部４からの光ビーム３の走査方向に直
交する面内にて、該光ビーム３の照射位置を中心として
その両側方に所定の角度間隔で左右対称に複数箇所（例
えば５ａ〜５ｄの４個）に配置されている。すなわち、
第一の後方散乱光受光部５ａは、検査対象物１の表面に
対してその光軸１３ａが例えば約２６度の角度で傾斜し
て配置され、第二の後方散乱光受光部５ｂは、上記第一
の後方散乱光受光部５ａの光軸１３ａに対してその光軸
１３ｂが例えば３８度の角度で傾斜して配置されてい
る。そして、第三の後方散乱光受光部５ｃ及び第四の後
方散乱光受光部５ｄは、上記光ビーム３の照射軸に対し
てそれぞれ第二の後方散乱光受光部５ｂ又は第一の後方
散乱光受光部５ａと対称の位置に配置されている。な
お、図１において、符号１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５
ｄは、それぞれ第一〜第四の後方散乱光受光部５ａ〜５
ｄに受光端部が挿入され、検査対象物１上の異物からの
散乱光を入射して光電変換手段としての光電子増倍管１
７ａ，１７ｂに導く光ファイバを示している。このよう
に、検査対象物１の光ビーム３の照射位置に対して、左
右対称に配置された例えば４個の後方散乱光受光部５ａ
〜５ｄで異物からの散乱光を受光するので、その受光範
囲は従来よりも格段と広くなり、異物からの散乱光の指
向性の影響を受けにくくすることができる。
うに、上記の後方散乱光受光部５が、検査対象物１の表
面に照射する投光部４からの光ビーム３の走査方向に直
交する面内にて、該光ビーム３の照射位置を中心として
その両側方に所定の角度間隔で左右対称に複数箇所（例
えば５ａ〜５ｄの４個）に配置されている。すなわち、
第一の後方散乱光受光部５ａは、検査対象物１の表面に
対してその光軸１３ａが例えば約２６度の角度で傾斜し
て配置され、第二の後方散乱光受光部５ｂは、上記第一
の後方散乱光受光部５ａの光軸１３ａに対してその光軸
１３ｂが例えば３８度の角度で傾斜して配置されてい
る。そして、第三の後方散乱光受光部５ｃ及び第四の後
方散乱光受光部５ｄは、上記光ビーム３の照射軸に対し
てそれぞれ第二の後方散乱光受光部５ｂ又は第一の後方
散乱光受光部５ａと対称の位置に配置されている。な
お、図１において、符号１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５
ｄは、それぞれ第一〜第四の後方散乱光受光部５ａ〜５
ｄに受光端部が挿入され、検査対象物１上の異物からの
散乱光を入射して光電変換手段としての光電子増倍管１
７ａ，１７ｂに導く光ファイバを示している。このよう
に、検査対象物１の光ビーム３の照射位置に対して、左
右対称に配置された例えば４個の後方散乱光受光部５ａ
〜５ｄで異物からの散乱光を受光するので、その受光範
囲は従来よりも格段と広くなり、異物からの散乱光の指
向性の影響を受けにくくすることができる。
【００１５】また、上記各後方散乱光受光部５ａ〜５ｄ
の光ファイバ１５ａ〜１５ｄの受光端部１８の前方に
は、図１及び図２に示すように、検査対象物１上の異物
からの後方散乱光を入射して絞り込む複数段の集光レン
ズとして、例えば第一のシリンドリカルレンズ１９ａと
第二のシリンドリカルレンズ１９ｂが挿入配置されてい
る。第一のシリンドリカルレンズ１９ａは、検査対象物
１上の異物から発生する後方散乱光を入射して平行光線
とするもので、例えば口径が１８mm，焦点距離が３０mm
で、受光範囲角αが約29.9度とされている。また、第二
のシリンドリカルレンズ１９ｂは、上記第一のシリンド
リカルレンズ１９ａから射出された光を入射し、光ファ
イバ１５ａの受光端部１８に結像するもので、例えば口
径が２０mm，焦点距離が４０mmで、上記受光端部１８へ
の入射角βが小さくなるようにされている。このよう
に、第一及び第二のシリンドリカルレンズ１９ａ，１９
ｂを用いることにより、個々の後方散乱光受光部５ａ〜
５ｄの受光範囲角αを従来のθよりも大きくできると共
に、光ファイバ１５ａ〜１５ｄの受光端部１８への入射
角βを小さくして上記光ファイバ１５ａ〜１５ｄ内への
光の入射効率を向上することができる。
の光ファイバ１５ａ〜１５ｄの受光端部１８の前方に
は、図１及び図２に示すように、検査対象物１上の異物
からの後方散乱光を入射して絞り込む複数段の集光レン
ズとして、例えば第一のシリンドリカルレンズ１９ａと
第二のシリンドリカルレンズ１９ｂが挿入配置されてい
る。第一のシリンドリカルレンズ１９ａは、検査対象物
１上の異物から発生する後方散乱光を入射して平行光線
とするもので、例えば口径が１８mm，焦点距離が３０mm
で、受光範囲角αが約29.9度とされている。また、第二
のシリンドリカルレンズ１９ｂは、上記第一のシリンド
リカルレンズ１９ａから射出された光を入射し、光ファ
イバ１５ａの受光端部１８に結像するもので、例えば口
径が２０mm，焦点距離が４０mmで、上記受光端部１８へ
の入射角βが小さくなるようにされている。このよう
に、第一及び第二のシリンドリカルレンズ１９ａ，１９
ｂを用いることにより、個々の後方散乱光受光部５ａ〜
５ｄの受光範囲角αを従来のθよりも大きくできると共
に、光ファイバ１５ａ〜１５ｄの受光端部１８への入射
角βを小さくして上記光ファイバ１５ａ〜１５ｄ内への
光の入射効率を向上することができる。
【００１６】さらに、図２に示すように、上記各後方散
乱光受光部５ａ〜５ｄの光ファイバ１５ａ〜１５ｄの受
光端部１８及びこの受光端部１８の前方に挿入された複
数段の集光レンズとしての第一及び第二のシリンドリカ
ルレンズ１９ａ，１９ｂは、前記投光部４による光ビー
ム３の走査方向に沿って長く形成し、検査対象物１の異
物からの散乱光の捕集領域Ｅが広くされている。これに
より、上記各後方散乱光受光部５ａ〜５ｄの光入射幅Ｗ
が上記投光部４による光ビーム３の走査方向に沿って長
く（例えば155mm程度）形成され、各後方散乱光受光部
５ａ〜５ｄ上の位置による受光角度の違いを少なくする
ことができると共に、１枚の検査対象物１の全面につい
て異物検出をする時間を短縮することができる。
乱光受光部５ａ〜５ｄの光ファイバ１５ａ〜１５ｄの受
光端部１８及びこの受光端部１８の前方に挿入された複
数段の集光レンズとしての第一及び第二のシリンドリカ
ルレンズ１９ａ，１９ｂは、前記投光部４による光ビー
ム３の走査方向に沿って長く形成し、検査対象物１の異
物からの散乱光の捕集領域Ｅが広くされている。これに
より、上記各後方散乱光受光部５ａ〜５ｄの光入射幅Ｗ
が上記投光部４による光ビーム３の走査方向に沿って長
く（例えば155mm程度）形成され、各後方散乱光受光部
５ａ〜５ｄ上の位置による受光角度の違いを少なくする
ことができると共に、１枚の検査対象物１の全面につい
て異物検出をする時間を短縮することができる。
【００１７】なお、図１においては、後方散乱光受光部
５を全部で４個配置した例を示したが、本発明はこれに
限らず、２個以上ならば何個配置してもよい。また、光
電子増倍管１７ａ，１７ｂは、２個の後方散乱光受光部
５に対して１個の割合で設けたが、各後方散乱光受光部
５ａ〜５ｄについて１個ずつ光電子増倍管をそれぞれ設
けてもよい。
５を全部で４個配置した例を示したが、本発明はこれに
限らず、２個以上ならば何個配置してもよい。また、光
電子増倍管１７ａ，１７ｂは、２個の後方散乱光受光部
５に対して１個の割合で設けたが、各後方散乱光受光部
５ａ〜５ｄについて１個ずつ光電子増倍管をそれぞれ設
けてもよい。
【００１８】
【発明の効果】本発明は以上のように構成されたので、
検査対象物１の表面に照射する投光部４からの光ビーム
３の走査方向に直交する面内にて、該光ビーム３の照射
位置を中心としてその両側方に所定の角度間隔で左右対
称に複数箇所に配置された後方散乱光受光部５ａ〜５ｄ
により、投光部４からの光ビーム３の照射によって上記
検査対象物１上の異物から発生する後方散乱光の受光範
囲が上記光ビーム３の照射位置を中心としてその両側方
に格段と広くなり、異物からの散乱光の指向性の影響を
受けにくくすることができると共に、上記各後方散乱光
受光部５ａ〜５ｄの光ファイバ１５ａ〜１５ｄの受光端
部１８の前方に挿入された複数段の集光レンズ（１９
ａ，１９ｂ）により、検査対象物１上の異物からの後方
散乱光を入射して絞り込み上記光ファイバ１５ａ〜１５
ｄ内への光の入射効率を向上させることができる。従っ
て、検査対象物１上の異物の検出率を高めることができ
る。
検査対象物１の表面に照射する投光部４からの光ビーム
３の走査方向に直交する面内にて、該光ビーム３の照射
位置を中心としてその両側方に所定の角度間隔で左右対
称に複数箇所に配置された後方散乱光受光部５ａ〜５ｄ
により、投光部４からの光ビーム３の照射によって上記
検査対象物１上の異物から発生する後方散乱光の受光範
囲が上記光ビーム３の照射位置を中心としてその両側方
に格段と広くなり、異物からの散乱光の指向性の影響を
受けにくくすることができると共に、上記各後方散乱光
受光部５ａ〜５ｄの光ファイバ１５ａ〜１５ｄの受光端
部１８の前方に挿入された複数段の集光レンズ（１９
ａ，１９ｂ）により、検査対象物１上の異物からの後方
散乱光を入射して絞り込み上記光ファイバ１５ａ〜１５
ｄ内への光の入射効率を向上させることができる。従っ
て、検査対象物１上の異物の検出率を高めることができ
る。
【００１９】また、上記各後方散乱光受光部５ａ〜５ｄ
の光ファイバ１５ａ〜１５ｄの受光端部１８及びこの受
光端部１８の前方に挿入された複数段の集光レンズ（１
９ａ，１９ｂ）を、前記投光部４による光ビーム３の走
査方向に沿って長く形成したことにより、該後方散乱光
受光部５ａ〜５ｄの光入射幅Ｗを長くすることができ、
検査対象物１上の異物からの散乱光の捕集領域Ｅを広く
することができる。従って、各後方散乱光受光部５ａ〜
５ｄ上の位置による受光角度の違いを少なくすることが
できると共に、異物検出の時間を短縮することができ
る。
の光ファイバ１５ａ〜１５ｄの受光端部１８及びこの受
光端部１８の前方に挿入された複数段の集光レンズ（１
９ａ，１９ｂ）を、前記投光部４による光ビーム３の走
査方向に沿って長く形成したことにより、該後方散乱光
受光部５ａ〜５ｄの光入射幅Ｗを長くすることができ、
検査対象物１上の異物からの散乱光の捕集領域Ｅを広く
することができる。従って、各後方散乱光受光部５ａ〜
５ｄ上の位置による受光角度の違いを少なくすることが
できると共に、異物検出の時間を短縮することができ
る。
【００２０】これらのことから、本発明による異物検査
装置によれば、検査対象物１上の実異物のほとんど総て
を検出することができ、ガラス基板やペリクル面の不良
品を確実に検査することができる。従って、最終的な製
品の品質を向上することができると共に、歩留まりも向
上することができる。
装置によれば、検査対象物１上の実異物のほとんど総て
を検出することができ、ガラス基板やペリクル面の不良
品を確実に検査することができる。従って、最終的な製
品の品質を向上することができると共に、歩留まりも向
上することができる。
【図１】 本発明による異物検査装置の実施例を示す一
部断面した要部拡大説明図、
部断面した要部拡大説明図、
【図２】 本発明における後方散乱光受光部の内部構成
の概略を示す説明図、
の概略を示す説明図、
【図３】 従来の異物検査装置を示す概略構成図、
【図４】 従来例における後方散乱光受光部の配置状態
を示す要部拡大説明図。
を示す要部拡大説明図。
１…検査対象物、 ２…保持テーブル、 ３…光ビー
ム、 ４…投光部、５，５ａ〜５ｄ…後方散乱光受光
部、 ６…前方散乱光受光部、 １５ａ〜１５ｄ…光フ
ァイバ、 １７ａ，１７ｂ…光電子増倍管、 １８…受
光端部、 １９ａ，１９ｂ…シリンドリカルレンズ、
Ｗ…光入射幅、 Ｅ…捕集領域。
ム、 ４…投光部、５，５ａ〜５ｄ…後方散乱光受光
部、 ６…前方散乱光受光部、 １５ａ〜１５ｄ…光フ
ァイバ、 １７ａ，１７ｂ…光電子増倍管、 １８…受
光端部、 １９ａ，１９ｂ…シリンドリカルレンズ、
Ｗ…光入射幅、 Ｅ…捕集領域。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭57−12351（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−62543（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−934（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−122042（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−259244（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−14831（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−39681（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−59982（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−115944（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01N 21/84 - 21/90
Claims (2)
- 【請求項１】 検査対象物を位置決めして保持すると共
に所定方向へ移動する保持テーブルと、上記検査対象物
の表面に光ビームを照射する投光部と、上記検査対象物
に対して光ビームの照射側にあって該検査対象物上の異
物からの後方散乱光を入射する光ファイバを備えた後方
散乱光受光部と、上記光ビームの透過側にあって該検査
対象物上の異物からの前方散乱光を入射する光ファイバ
を備えた前方散乱光受光部とを有し、上記投光部からの
光ビームを検査対象物の表面に走査して照射し、その検
査対象物の表面の異物からの散乱光を上記後方散乱光受
光部及び前方散乱光受光部で受光して検出することによ
り異物の検査を行う異物検査装置において、上記後方散
乱光受光部を、検査対象物の表面に照射する投光部から
の光ビームの走査方向に直交する面内にて、該光ビーム
の照射位置を中心としてその両側方に所定の角度間隔で
左右対称に複数箇所に配置すると共に、上記各後方散乱
光受光部の光ファイバの受光端部の前方には、検査対象
物上の異物からの後方散乱光を入射して絞り込み上記光
ファイバ内への光の入射効率を向上させる複数段の集光
レンズを挿入したことを特徴とする異物検査装置。 - 【請求項２】 上記各後方散乱光受光部の光ファイバの
受光端部及びこの受光端部の前方に挿入された複数段の
集光レンズを、前記投光部による光ビームの走査方向に
沿って長く形成し、検査対象物上の異物からの散乱光の
捕集領域を広くしたことを特徴とする請求項１記載の異
物検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4641492A JP2796906B2 (ja) | 1992-02-03 | 1992-02-03 | 異物検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4641492A JP2796906B2 (ja) | 1992-02-03 | 1992-02-03 | 異物検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05215690A JPH05215690A (ja) | 1993-08-24 |
| JP2796906B2 true JP2796906B2 (ja) | 1998-09-10 |
Family
ID=12746495
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4641492A Expired - Lifetime JP2796906B2 (ja) | 1992-02-03 | 1992-02-03 | 異物検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2796906B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4708292B2 (ja) * | 2006-09-19 | 2011-06-22 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 基板検査装置及び基板検査方法 |
| JP4808162B2 (ja) * | 2007-01-17 | 2011-11-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 基板検査装置及び基板検査方法 |
| US9829380B2 (en) * | 2013-07-17 | 2017-11-28 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Spectroscopic apparatus |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5712351A (en) * | 1980-06-26 | 1982-01-22 | Hitachi Metals Ltd | Detector for surface fault |
| JPS5862543A (ja) * | 1981-10-09 | 1983-04-14 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 欠陥検査装置 |
| JPS59934A (ja) * | 1983-06-06 | 1984-01-06 | Hitachi Ltd | 欠陥検査装置 |
| JPH01259244A (ja) * | 1988-04-11 | 1989-10-16 | Hitachi Ltd | 異物検出方式 |
| JPH04122042A (ja) * | 1990-09-12 | 1992-04-22 | Nikon Corp | 異物検査装置 |
-
1992
- 1992-02-03 JP JP4641492A patent/JP2796906B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05215690A (ja) | 1993-08-24 |
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