JP2866070B2 - 加熱ローラ装置 - Google Patents
加熱ローラ装置Info
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- Chemical Vapour Deposition (AREA)
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Description
ルムなどを加熱した状態で延伸するためにために使用さ
れる加熱ローラ装置に関する。
で延伸するために加熱ローラ装置が使用されるが、従来
の加熱ローラ装置としては、たとえば特開平2−333
44号公報に見られるようなものがある。この加熱ロー
ラ装置は、中心軸と、その中心軸に支持されて回転する
熱ローラと、その熱ローラの内側に設けられた加熱手段
とを備えている。そして、その熱ローラはクロムモリブ
デン鋼で円筒状に形成され、その外表面は硬質クロムメ
ッキによって形成された硬質クロム膜で被覆されてい
る。
面は、糸条やフィルムなどを加熱した状態で延伸するた
め、張力を印加して摺動する糸条やフィルムとの摺接に
よって摩耗が発生する。そのため、従来の熱ローラでは
上述のように、外表面にビッカース硬度1000程度の
硬質クロム膜を形成している。
ラを高速で回転させているため、硬質クロム膜を形成し
ても熱ローラの表面の摩耗の発生を避けられなかった。
ラの表面に摩耗が発生すると、その断面形状が溝形状に
なり、複数本のフィラメントをより合わせた糸条を延伸
する場合にそのフィラメント切れが発生する。さらに摩
耗により生ずる溝のコーナ部分が鋭角になると糸条が断
線するという問題点が生じる。また、フィルムを延伸す
る場合においても、フイルムの表面に傷が発生したり、
切断するという問題が発生する。
加熱ローラ装置の運転を止めて、その摩耗した熱ローラ
を新しい熱ローラと交換して対応している。したがっ
て、その熱ローラの交換作業に手間がかかるばかりか、
加熱ローラ装置の稼動率が低下し、糸条やフィルムなど
の延伸作業が遅れるという問題があった。
る上述のような問題を解決するためになされたものであ
り、熱ローラの外表面の耐摩耗性を飛躍的に向上させ
て、加熱ローラ装置の熱ローラを交換せずに使用できる
時間を大幅に延ばし、その稼動率を格段に高めることを
目的とする。
達成するため、上述のような加熱ローラ装置における熱
ローラの外表面に、水素化アモルファスカーボンによる
硬質カーボン膜を、熱ローラの外表面への密着性を高め
る中間層を介して形成してなり、その中間層が、金属と
周期律表第IVb族の元素との2層膜からなるものであ
る。
熱ローラの外表面に直接形成される第1の中間層と、そ
の第1の中間層上に形成される第2の中間層とによって
形成し、その第2の中間層上に前記硬質カーボン膜を形
成するようにし、その第1の中間層がチタン(Ti)又
はクロム(Cr)からなり、第2の中間層がシリコンカ
ンーバイト(SiC)又はタングステンカーバイト(W
C)からなるようにしてもよい。
外表面に硬質層を形成し、その硬質層上に密着性を高め
る中間層を介して水素化アモルファスカーボンによる硬
質カーボン膜を形成するとさらによい。
クロム(Cr)からなる第1の中間層と、シリコンカー
バイト(SiC)又はタングステンカーバイト(WC)
からなる第2の中間層によって形成するとよい。上記熱
ローラの硬質層は、硬質クロムメッキによって形成され
た硬質クロム膜,あるいは基材の浸炭層または焼き入れ
層により形成される。
熱ローラの外表面に形成する水素化アモルファスカーボ
ンによる硬質カーボン膜は、黒色を有し、ダイヤモンド
によく似た性質をもつため、DLC(diamond like carb
on) 膜とも呼ばれる。この硬質カーボン膜は、ビッカー
ス硬度4000という高い機械的硬度をもち、さらに摩
擦係数は0.1程度と、従来の熱ローラの外表面に形成
していた硬質クロム膜の1/5から1/10という低い
摩擦係数を有している。その上、この硬質カーボン膜の
表面粗さは1nm以下であり、表面平滑性に優れてい
る。
したこの発明の加熱ローラ装置における熱ローラは、耐
摩耗性に極めて優れ、従来の硬質クロム膜を設けた熱ロ
ーラと比較すると、10倍以上の長寿命化を達成するこ
とができる。しかも、この硬質カーボン膜を熱ローラの
外表面に、上述した各種の中間層を介して形成すること
により、より一層熱ローラに対する硬質カーボン膜の密
着力が高くなり、さらに耐摩耗性が向上する。
膜の下にシリコンカーバイトまたはタングステンカーバ
イトによる第2の中間層を設けることにより耐アルカリ
性にも優れた熱ローラになる。
表面に形成した硬質カーボン膜の表面に固着した油剤や
糸屑や繊維補助剤をエッチング除去するとき、アルカリ
溶液を用いるが、このときに、硬質カーボン膜にごくま
れに発生するピンホールを介して、アルカリ溶液が侵入
しても、第2の中間層はエッチングされない。そのた
め、硬質カーボン膜の剥離などの劣化が発生する恐れが
なくなる。また、熱ローラの表面に直接形成するチタン
またはクロムによる第1の中間層は、熱ローラの基材
(クロムモリブデン鋼等)との密着性を強固にする役割
を果たす。
け、熱ローラの外表面に形成する被膜を、硬質層−中間
層−硬質カーボン膜の構造にすると、摩耗試験の結果、
その硬質カーボン膜の耐久性が、硬質層を設けないとき
と比較してより一層向上することが確かめられた。
面に基づいて説明する。まず、この発明を実施する加熱
ローラ装置の構成を図1によって説明する。この加熱ロ
ーラ装置は、図1に示すように、中空の中心軸1の外周
部に一対のフランジ2,3を介して、円筒形状の熱ロー
ラ5を支持している。
なし、中心軸1より内径が大きい円筒部2a,3aを一
体に設けた対称な形状をなし、その各円筒部2a,3a
と中心軸1との間にそれぞれ軸受6,7を設け、熱ロー
ラ5が中心軸1の回りで回転自在となるようにしてい
る。
ないネジ等による固定手段により固着される。そして、
フランジ2,3のいずれか一方を図示しないモータを回
転駆動源とする回転機構により回転させることにより、
熱ローラ5が中心軸1のまわりで回転する。そのための
ギアあるいはプーリがフランジ2,3の一方に装着され
るが、図示を省略している。
a,1bが形成されており、その間に磁性材料からなる
鉄心8を介してコイル9を装着している。そして、この
コイル9の端子は、図1には図示していないが中心軸1
の中空部1cを通して外部に導き出され、低周波の交流
電圧が印加される。このコイル9に交流電圧を印加する
と交番磁束が発生し、その交番磁束によって熱ローラ5
の内周壁に円周方向の短絡電流を誘導し、熱ローラ5を
ジュール熱による誘導発熱によって発熱させる。
空のジャケット室5aを設けており、このジャケット室
5aの内部に気体液体二相の熱媒体(例えばナフタレ
ン)を封入する。このジャケット室5a内に封入された
熱媒体は、熱ローラ5の発熱によって蒸発気化し、その
蒸発気化したものが熱ローラ5の温度が低い表面部分の
ジャケット室5aの内壁に触れたとき、凝集して潜熱を
発生する。この潜熱の発生により、温度が低い表面部分
のジャケット室5aの内壁を加熱する。
温度が高い表面部分のジャケット室5aの内壁に触れる
と、その熱によって蒸発気化する。この熱媒体の蒸発気
化による熱の吸収と凝集による潜熱の発生とを繰り返す
ことによって、熱ローラ5の表面温度は均一化されるこ
とになる。したがって、この加熱ローラ装置において
は、鉄心8とコイル9とジャケット室5a内の熱媒体と
によって、温度制御機能を有する加熱手段を構成してい
る。
ラ5の外表面に形成した被膜の構成例を、図2から図4
によって説明する。図2は図1に示した加熱ローラ装置
における熱ローラ5の第1の実施形態の外表面5b付近
の一部を拡大して示す断面図である。
なり、その外表面5bに水素化アモルファスカーボンに
よる硬質カーボン膜10を、外表面5bへの密着性を高
める中間層11を介して形成している。この硬質カーボ
ン膜10の膜厚は、用途によって変えればよいが、おお
むね1μmから5μmの範囲で均一な厚さにする。
モルファス構造で黒色をなし、ダイヤモンドによく似た
性質を備えている。すなわち、この硬質カーボン膜10
は、ビッカース硬度で4000という高い機械的硬度を
もち、摩擦係数は0.1と極めて低い。その上、表面粗
さは1nm以下であり、極めて表面平滑性に優れてい
る。そのため、外表面に硬質カーボン膜10を形成した
この熱ローラ5は、耐摩耗性に優れ、従来の外表面に硬
質クロム膜を設けた熱ロールと比較すると、10倍以上
の長寿命化を達成することができる。
間層11としては、金属と周期律表第IVb族の元素と
の2層膜(積層膜)で形成する。
としてチタン,クロム,アルミニウム,タンタル,モリ
ブデン,あるいはタングステンなどが適用可能であり、
周期律表第IVb族の元素としてシリコン,ゲルマニウ
ム,あるいは炭素などを適用することができる。
る各層につきそれぞれ約0.5μmで、合計1.0μm
程度とする。このように、この第1の実施形態の熱ロー
ル5は、その表面に2層膜からなる中間層11を介して
硬質カーボン膜10を形成しているので、その中間層1
1によって、硬質カーボン膜10と熱ローラ5の基材
(クロムモリブデン鋼)との密着性が高められる。
族の元素との2層膜で形成したが、その下層の金属膜は
熱ローラ5の外表面との密着力を高くする役割をもち、
周期律表第IVb族の元素は硬質カーボン膜10と共有
結合して密着力を高くする役割をもつ。したがって、こ
の中間層11を設けた実施形態によれば、熱ローラ5に
対する硬質カーボン膜10の密着力が高くなり、熱ロー
ラ5の耐摩耗性が一層高まり、加熱ローラ装置の稼動率
をより高めることができる。
用いて、この発明による加熱ローラ装置における熱ロー
ラの第2の実施形態を説明する。この第2の実施形態の
熱ローラ5は、熱ローラ5の外表面に、下層の第1の中
間層11aと上層の第2の中間層11bとからなる中間
層11を介して硬質カーボン膜10を形成している。
i)またはクロム(Cr)被膜で形成し、第2の中間層
11bはシリコンカーバイト(SiC)またはタングス
テンカーバイト(WC)で形成する。
被膜は、熱ローラ5の基材であるクロムモリブデン鋼と
の密着性を高める働きをもつ。また、第2の中間層11
bのシリコンカーバイトやタングステンカーバイトは、
耐アルカリ性に優れている。そのため、熱ローラ5に形
成した硬質カーボン膜10表面に固着する油剤あるいは
糸屑や繊維補助剤がスラッジ化したり炭化した付着物な
どをアルカリ溶液を用いてエッチング除去するとき、硬
質カーボン膜10内にアルカリ溶液が侵入しても、第2
の中間層11bはエッチングされない。したがって、硬
質カーボン膜10の剥離現象は発生しない。
リウム(NaOH)溶液を使用している。すなわち、水
酸化ナトリウム溶液を、強アルカリであるペーハ(p
H)が11〜13になるように調整して、熱ローラ5の
表面の付着物除去剤として使用する。この水酸化ナトリ
ウム溶液を用いて熱ローラ5に表面に固着した油剤,あ
るいは糸屑や繊維補助剤がスラッジ化したり炭化した付
着物を除去する処理は、綿ウエスに上述の水酸化ナトリ
ウム溶液を含ませて、熱ローラ5の表面に固着した付着
物をこすりながら除去する。あるいは前述の水酸化ナト
リウム溶液に熱ローラ5を浸漬して表面付着物をエッチ
ング除去する。
れに発生するピンホールを通して、たとえアルカリ溶液
が侵入しても、この硬質カーボン膜10下層に設けた第
2の中間層11bはアルカリ溶液に対して耐性があるた
め、エッチングされることはない。そのため、硬質カー
ボン膜10は剥離などの劣化を生じない。なお、チタン
またはクロム被膜からなる第1の中間層11aは0.5
μm程度の厚さとし、シリコンカーバイトまたはタング
ステンカーバイトからなる第2の中間層11bも0.5
μm程度の厚さとする。
よって、この発明による加熱ローラ装置における熱ロー
ラの第3の実施形態を説明する。この第3の実施形態の
熱ローラ5は、その外表面に硬質層12を形成し、その
硬質層12上に、下層の第1の中間層11aと上層の第
2の中間層11bとからなる中間層11を介して硬質カ
ーボン膜10を形成している。
層,または焼き入れ層で構成する。この硬質層12とし
て用いる硬質クロム膜の厚さは10μmから30μm程
度とし、浸炭層は0.1mmから1.0mm程度とす
る。焼き入れ層は熱ロール5の外表面だけに設けてもよ
いが、熱ロール5の全体を焼き入れ層として形成して、
その硬度を高くしてもよい。
する場合は、電解メッキ法による硬質クロムメッキを熱
ローラ5の表面に施して、上述の膜厚に硬質クロム膜を
形成する。熱ローラ5の外表面付近に浸炭層を形成して
硬質層12とする場合には、メタン(CH4)やエチレ
ン(C2H4)などの炭素を含む浸炭性ガスと窒素(N2)
のキャリアガスとの混合ガス雰囲気中で、次に示すよう
な条件で浸炭処理を行なう。
ラ5の基材であるクロムモリブデン鋼として、日本工業
規格(JIS)の種類の記号で、SCM 420を使用す
る。
合には、熱ローラ5の基材であるクロムモリブデン鋼と
して、日本工業規格の種類の記号で、SCM 435 ま
たはSCM 440 を使用する。焼き入れ条件は、熱ロ
ーラ5の外表面にのみ焼き入れ層を形成するか、あるい
は全体に焼き入れ層を形成するかによって異なり、最適
な処理条件を選択して行なう。そして焼き入れ処理の
後、焼き戻し処理も行なう。
0℃に加熱した後、油冷して焼き入れ処理を行ない、そ
の後、温度530〜630℃に加熱したのち急冷して焼
き戻し処理を行なう。このとき必要があれば、熱ローラ
5の外表面の研磨加工を行なう。
形態の場合と同様に、膜厚が0.5μm程度のチタンま
たはクロム被膜で形成し、第2の中間層11bも、膜厚
が0.5μm程度のシリコンカーバイト(SiC)また
はタングステンカーバイト(WC)で形成する。
aの下層に硬質層12を設けた点だけが前述の第2の実
施形態と異なる。すなわち、この第3の実施形態におけ
る熱ローラ5の外表面の被覆は、硬質層−中間層−硬質
カーボン膜の構造となっている。そして、摩耗試験の結
果、このように構成することによって、硬質カーボン膜
10の耐久性が、硬質層12を設けないものと比較して
2倍程度高くなり、熱ローラの寿命も2倍程度延びるこ
とが判った。しかし、その理由は明らかではない。
ては、温度制御機能を有する加熱手段として、鉄心8と
コイル9とによるジュール熱と、熱ローラ5のジャケッ
ト室5aに封入する熱媒体の蒸発と凝縮を利用する実施
形態で説明したが、ヒータ線を用いる手段や、温度制御
した液体を熱ローラ5内に導入する手段なども、温度制
御機能を有する加熱手段として使用することが可能であ
る。
例で説明したが、その外形形状および内形形状を、用途
に合致するように変えることもできる。また、図1に示
した加熱ローラ装置では、熱ローラ5が中心軸1に対し
て回転自在に支持されているが、熱ローラ5を中心軸1
に固着して、中心軸1をモータによって回転させること
により、熱ローラ5を一体に回転させるようにしてもよ
い。
は、上述の各実施形態の説明では1μmから5μm程度
としたが、高い耐摩耗性が要求される熱ローラの場合に
は硬質カーボン膜を厚めに形成し、それほど高い耐摩耗
性が要求されない熱ローラの場合には硬質カーボン膜を
薄めに形成すればよい。すなわち、用途によって熱ロー
ラの表面に形成する硬質カーボン膜の膜厚を調整すれば
よい。
熱ローラの外表面に硬質カーボン膜と中間層とを形成す
る被膜形成方法について、図5から図8を用いて説明す
る。始めに、硬質カーボン膜の各種の形成方法を図5か
ら図7によって説明する。
質カーボン膜の形成方法は、ガス導入口21と排気口2
2とを有する真空槽20内に、クロムモリブデン鋼から
なる熱ローラ5を配置する。この熱ローラ5を真空槽2
0内で支持する部材は図示を省略している。この真空層
20内には、アノード30とフィラメント32も設けら
れている。
ら図示しない真空ポンプ等の排気手段により真空排気し
て、その真空度が3×10-5torr以下になるようにす
る。その後、ガス導入口21から炭素を含むガスとして
ベンゼン(C6H6)を真空槽20内に導入して、真空槽
20内の圧力を1〜5×10-3torrになるように制御す
る。
1から直流電圧を印加し、フィラメント32にはフィラ
メント電源33から交流電圧を印加する。このとき、ア
ノード電源31からアノード32に印加する直流電圧
は、プラス10Vの直流正電圧とする。また、フィラメ
ント電源33からフィラメント32に印加する電圧は、
フィラメント32に30Aの電流が流れるように、10
Vの交流電圧とする。
イナス3kVの直流負電圧を印加する。そして、真空槽
20内に配置した熱ローラ5の周囲領域にプラズマを発
生させ、熱ローラ5の表面に硬質カーボン膜を形成す
る。この硬質カーボン膜の形成膜厚は1μmから5μm
とする。このとき熱ローラ5を回転させると、より均一
な膜厚で硬質カーボン膜を形成することができる。
形成方法を図6によって説明する。この図6に示す例で
は、ガス導入口21と排気口22とを有する真空槽20
内に、クロムモリブデン鋼からなる熱ローラ5を配置す
る。そして排気口22から真空槽20内を図示しない真
空ポンプ等の排気手段により真空排気し、その真空度が
3×10-5torr以下になるようにする。
スとしてメタン(CH4)を真空槽20内に導入して、
真空度が0.1torr になるように調整する。そして、熱
ローラ5には、マッチング回路35を介して発振周波数
13.56MHz のを有する高周波電源37から400
Wの高周波電力を印加する。その結果、熱ローラ5の周
囲領域にプラズマを発生させ、熱ローラ5の表面に1μ
mから5μmの膜厚の硬質カーボン膜を形成する。この
とき、熱ローラ5を回転させることにより、より均一な
膜厚で硬質カーボン膜を形成することができる。
の形成方法を、図7によって説明する。この図7に示す
例では、図6に示した例と同等な条件で、熱ローラ5に
高周波電力を印加する代わりに、直流電源39からマイ
ナス600Vの直流負電圧を印加する点だけが相違す
る。このようにしても、熱ローラ5の周囲領域にプラズ
マを発生させて、熱ローラ5の表面に1μmから5μm
の膜厚の硬質カーボン膜を形成することができる。
膜の形成方法の各例では、硬質カーボン膜を形成するた
めの炭素を含むガスとして、メタンあるいはベンゼンを
用いるように説明したが、これら以外でも炭素を含むガ
スであれば使用可能であり、例えばエチレン(C2H4)
も適用可能である。さらに、これらの炭素を含むガスに
アルゴン(Ar)やヘリウム(He)あるいは水素(H
2)を添加した混合ガスを用いても、上述の各例と同様
に熱ローラの表面に硬質カーボン膜を形成することがで
きる。
る中間層の形成方法について、図8によって説明する。
この図8に示すように、真空槽20内に、スパッタカバ
ー42によって保持された中間層材料からなるターゲッ
ト40と中間層を形成する熱ローラ5とを対向させて配
置する。
ら真空排気する。そして、ガス導入口21からスパッタ
ガスとしてアルゴン(Ar)ガスを導入する。さらにそ
の後、ターゲット40にターゲット電源41から負の直
流電圧を印加し、熱ローラ5には直流電源39からマイ
ナス50Vの直流負電圧を印加する。
生し、そのプラズマ中のイオンによって中間層材料から
なるターゲット40表面をスパッタする。それによっ
て、ターゲット40の表面からたたき出された中間層材
料が熱ローラ5の表面に付着し、中間層を形成すること
ができる。
と第2の中間層からなる2層の中間層を形成する場合に
は、その各中間層の形成方法はほとんど同じであり、異
なるのはターゲット40を各中間層を形成するための材
料変えるだけでよい。
は、ターゲット40をチタン又はクロムとし、第2の中
間層を形成する場合には、ターゲット40をシリコンカ
ーバイト又はタングステンカーバイトにする。なお、第
2の中間層としてシリコンカーバイト又はタングステン
カーバイトを用いるときは、シリコンと炭素、またはタ
ングステンと炭素との原子パーセントは50%(1:
1)とする。
に硬質カーボン膜を形成する。この中間層の上面に硬質
カーボン膜を被膜形成する方法は、図5乃至図7によっ
て前述した方法を採用すればよいので、説明を省略す
る。中間層の被膜形成方法は、このようなスパッタ法に
限るものではなく、真空蒸着法やイオンプレーティング
法などの他の物理的気相成長(PVD)法を用いること
もできる。
材がクロムモリブデン鋼であるものについて説明した
が、用途に応じて、ステンレス鋼やKS鋼、あるいはそ
の他の金属や、セラミックなどの非金属を熱ローラの基
材として用いることも可能である。セラミックのような
絶縁体で熱ローラを形成した場合には、中間層のチタン
またはクロムのような金属材料を電圧印加を必要としな
いPVD法によって形成した後、その中間層に電圧を印
加して前述のようなプラズマCVD法によって硬質カー
ボン膜を形成することができる。
る加熱ローラ装置は、その熱ローラの外表面に密着力を
める中間層を介して硬質カーボン膜を形成したため、耐
摩耗性に極めて優れ、従来の硬質クロム膜を設けた熱ロ
ーラと比較すると、10倍以上の長寿命化を達成するこ
とができる。したがって、加熱ローラ装置の熱ローラを
交換せずに使用できる時間を大幅に延ばし、その稼動率
を格段に高めることができる。
2層膜からなる中間層を介して硬質カーボン膜を形成す
ることにより、より一層熱ローラに対する硬質カーボン
膜の密着力が高くなり、さらに耐摩耗性が向上する。
ーボン膜の下にシリコンカーバイトまたはタングステン
カーバイトによる第2の中間層を設けることにより耐ア
ルカリ性にも優れた熱ローラになる。また、熱ローラの
表面に直接形成するチタンまたはクロムによる第1の中
間層は、熱ローラの基材(クロムモリブデン鋼等)との
密着性を強固にする役割を果たす。
け、熱ローラの外表面に形成する被膜を、硬質層−中間
層−硬質カーボン膜の構造にすると、その硬質カーボン
膜の耐久性が、硬質層を設けないときと比較してより一
層向上する。
す軸方向に沿う断面図である。
面付近の一部を拡大して示す第1の実施形態の断面図で
ある。
表面に硬質カーボン膜を形成する方法の一例を説明する
ための装置の略断面図である。
成する方法の他の例を説明するための装置の略断面図で
ある。
成する方法のさらに他の例を説明するための装置の略断
面図である。
表面に中間層を形成する方法の一例を説明するための装
置の略断面図である。
Claims (7)
- 【請求項1】 中心軸と、該中心軸に支持されて回転す
る熱ローラと、該熱ローラの内側に設けられた加熱手段
とを備えた加熱ローラ装置において、 前記熱ローラの外表面に、水素化アモルファスカーボン
による硬質カーボン膜を、前記外表面への密着性を高め
る中間層を介して形成してなり、 該中間層が、金属と周期律表第IVb族の元素との2層
膜からなる ことを特徴とする加熱ローラ装置。 - 【請求項2】 中心軸と、該中心軸に支持されて回転す
る熱ローラと、該熱ローラの内側に設けられた加熱手段
とを備えた加熱ローラ装置において、 前記熱ローラの外表面に、水素化アモルファスカーボン
による硬質カーボン膜を、前記外表面への密着性を高め
る中間層を介して形成してなり、 該 中間層が、前記熱ローラの外表面に直接形成される第
1の中間層と、その第1の中間層上に形成される第2の
中間層とからなり、その第2の中間層上に前記硬質カー
ボン膜が形成され、 前記第1の中間層がチタン(Ti)又はクロム(Cr)
からなり、前記第2の中間層がシリコンカンーバイト
(SiC)又はタングステンカーバイト(WC)からな
ることを特徴とする加熱ローラ装置。 - 【請求項3】 中心軸と、該中心軸に支持されて回転す
る熱ローラと、該熱ローラの内側に設けられた加熱手段
とを備えた加熱ローラ装置において、 前記熱ローラの外表面に硬質層を形成し、その硬質層上
に密着性を高める中間層を介して水素化アモルファスカ
ーボンによる硬質カーボン膜を形成してなることを特徴
とする加熱ローラ装置。 - 【請求項4】 前記熱ローラの中間層が、前記硬質層上
に直接形成される第1の中間層と、その第1の中間層上
に形成される第2の中間層とからなり、その第2の中間
層上に前記硬質カーボン膜が形成され、 前記第1の中間層がチタン(Ti)又はクロム(Cr)
からなり、前記第2の中間層がシリコンカンーバイト
(SiC)又はタングステンカーバイト(WC)からな
る請求項3に記載の加熱ローラ装置。 - 【請求項5】 前記熱ローラの硬質層が、硬質クロムメ
ッキによって形成された硬質クロム膜からなる請求項3
又は4に記載の加熱ローラ装置。 - 【請求項6】 前記熱ローラの硬質層が、該熱ローラの
基材の表面付近に形成した浸炭層からなる請求項3又は
4に記載の加熱ローラ装置。 - 【請求項7】 前記熱ローラの硬質層が、該熱ローラの
基材の少なくとも表面付近に形成した焼き入れ層からな
る請求項3又は4に記載の加熱ローラ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9006352A JP2866070B2 (ja) | 1996-01-19 | 1997-01-17 | 加熱ローラ装置 |
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP693696 | 1996-01-19 | ||
JP8-6936 | 1996-05-13 | ||
JP8-117505 | 1996-05-13 | ||
JP11750596 | 1996-05-13 | ||
JP9006352A JP2866070B2 (ja) | 1996-01-19 | 1997-01-17 | 加熱ローラ装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10182643A Division JP3107541B2 (ja) | 1996-01-19 | 1998-06-29 | 加熱ローラ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1029762A JPH1029762A (ja) | 1998-02-03 |
JP2866070B2 true JP2866070B2 (ja) | 1999-03-08 |
Family
ID=27277121
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9006352A Expired - Fee Related JP2866070B2 (ja) | 1996-01-19 | 1997-01-17 | 加熱ローラ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2866070B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008081847A (ja) * | 2007-11-30 | 2008-04-10 | Nippon Itf Kk | 硬質炭素被膜部材の製造方法 |
JP2008144273A (ja) * | 2007-11-30 | 2008-06-26 | Nippon Itf Kk | 硬質炭素被膜部材の製造方法 |
JP2010189694A (ja) * | 2009-02-17 | 2010-09-02 | Miyako Roller Industry Co | Dlc常温成膜のアルミロール、カーボンロール |
EP2862956B1 (en) * | 2013-10-18 | 2022-07-20 | Applied Materials, Inc. | Roller device for vacuum deposition arrangement, vacuum deposition arrangement with roller and method for operating a roller |
JP6558207B2 (ja) * | 2015-10-22 | 2019-08-14 | 日本製鉄株式会社 | 金属板圧延用ロール |
KR102009409B1 (ko) * | 2017-12-14 | 2019-08-12 | 신재원 | 티타늄 버퍼 층을 갖는 dlc 코팅 사이징 롤러 |
HUE062965T2 (hu) * | 2019-08-06 | 2023-12-28 | Novelis Koblenz Gmbh | Kompakt alumíniumötvözet hõkezelési eljárása |
KR102188432B1 (ko) * | 2020-03-20 | 2020-12-08 | (주)제이 앤 엘 테크 | 전극시트 압연 롤러 및 그 제조 방법 |
-
1997
- 1997-01-17 JP JP9006352A patent/JP2866070B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH1029762A (ja) | 1998-02-03 |
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S533 | Written request for registration of change of name |
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