JP2860697B2 - Probe pin support mechanism of XY unit for in-circuit tester - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は実装基板の良否の判定に使用するインサーキ
ットテスタのＸ−Ｙユニットに備えるプローブピンの支
持機構に関する。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a probe pin support mechanism provided in an XY unit of an in-circuit tester used for determining the quality of a mounting board.

従来の技術 従来、実装基板即ち多数の電気部品を半田付けしたプ
リント基板はその良否を判定して使用しなければならな
い。そこで、インサーキットテスタを用い、その基板の
必要な検査ポイントに適宜プローブピンを接触させ、そ
れ等の各部品の電気的測定によって基板の良否の判定を
行っている。特に、被検査基板を載せる測定台上にＸ−
Ｙユニットを設置したものは、そのＸ軸方向に可動する
アームの上に、Ｙ軸方向に可動するピン支持部を備え、
そのピン支持部でプローブピンをＺ軸方向に可動可能に
支持しているので、そのＸ−Ｙユニットを制御すると、
プローブピンを基板の上方からＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向に
それぞれ適宜移動して、予め設定された各検査ポイント
に順次接触できる。その際、アームのＸ軸方向への往復
動とピン支持部のＹ軸方向への往復動にはそれぞれサー
ボモータを用い、ピン支持部におけるプローブピンのＺ
軸方向への往復動にはエアシリンダやソレノイド等を採
用している。2. Description of the Related Art Conventionally, a mounting board, that is, a printed board on which a large number of electrical components are soldered, must be used after judging its quality. Therefore, using an in-circuit tester, probe pins are appropriately brought into contact with necessary inspection points on the board, and the quality of the board is determined by electrical measurement of these components. In particular, X-
The one in which the Y unit is installed is provided with a pin support that is movable in the Y-axis direction on the arm that is movable in the X-axis direction,
Since the probe pin is movably supported in the Z-axis direction by the pin support portion, when the XY unit is controlled,
The probe pins are appropriately moved in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions from above the substrate, respectively, so that the probe pins can sequentially come into contact with preset inspection points. At this time, a servomotor is used for the reciprocation of the arm in the X-axis direction and the reciprocation of the pin support in the Y-axis direction.
An air cylinder and solenoid are used for reciprocation in the axial direction.

発明が解決しようとする課題 しかしながら、このようにプローブピンをＺ軸方向へ
往復動させる駆動軸源としてエアシリンダ等を採用する
と、プローブピンは単に所定距離を往復動できるだけで
あり、被検査基板に実装した各部品の突出状態等に対応
した適切な距離の往復動を行なうことができない。従っ
て、無駄な動きが多くなり、プローブピンの移動距離が
長く、移動時間も多くなって、検査をスピード化できな
くなる。However, if an air cylinder or the like is used as a drive shaft source for reciprocating the probe pins in the Z-axis direction, the probe pins can simply reciprocate a predetermined distance, and the probe board cannot be moved. The reciprocating movement of an appropriate distance corresponding to the protruding state of each mounted component cannot be performed. Therefore, useless movement increases, the moving distance of the probe pin increases, and the moving time increases, so that the inspection cannot be speeded up.

本発明はこのような従来の問題点に着目してなされた
ものであり、プローブピンに被検査基板の実装状態に対
応した適切な距離の往復動を行なわせることにより、無
駄な動きをなくし、移動距離を短く、移動時間を少なく
して、検査のスピード化を達成できるインサーキットテ
スタ用Ｘ−Ｙユニットのプローブピン支持機構をを提供
することを目的とする。The present invention has been made in view of such conventional problems, and eliminates useless movement by causing the probe pins to reciprocate at an appropriate distance corresponding to the mounting state of the board to be inspected, It is an object of the present invention to provide a probe pin support mechanism of an XY unit for an in-circuit tester that can shorten the moving distance and reduce the moving time to achieve a higher inspection speed.

課題を解決するための手段 上記目的を達成するための手段を、以下実施例に対応
する第１図を用いて説明する。Means for Solving the Problems Means for achieving the above object will be described below with reference to FIG. 1 corresponding to the embodiment.

このインサーキットテスタ用Ｘ−Ｙユニットのプロー
ブピン支持機構はＸ−ＹユニットのＺ軸方向にプローブ
ピン30を往復動する駆動源を備えるものである。そし
て、上記駆動源としてステッピングモータ28を備え、そ
のモータ取付部材32にスライドユニット36の案内レール
38を固定し、その案内レール38に沿って往復動するスラ
イダー40でプローブピン30を保持する。又、そのスライ
ダー40とステッピングモータ28の回動軸34とをクランク
44で連結し、そのスライダー40に案内レール38の長手方
向に沿って複数のスリット46、48を配設した部材を固定
する。更に、そのスリット部材50の移動領域近傍にスリ
ット46、48を検出するフォトインタラプタ52を設置す
る。The probe pin support mechanism of the XY unit for the in-circuit tester includes a drive source that reciprocates the probe pins 30 in the Z-axis direction of the XY unit. A stepping motor 28 is provided as the driving source, and the guide rail of the slide unit 36 is attached to the motor mounting member 32.
The probe pin 30 is held by a slider 40 which fixes the 38 and reciprocates along the guide rail 38. Also, the slider 40 and the rotating shaft 34 of the stepping motor 28 are cranked.
The members are connected by 44, and a member provided with a plurality of slits 46, 48 is fixed to the slider 40 along the longitudinal direction of the guide rail 38. Further, a photo-interrupter 52 for detecting the slits 46 and 48 is provided near the moving area of the slit member 50.

作用 上記のように構成し、ステッピングモータ28に制御信
号を与えると、そのモータ28は正或いは逆方向に回転す
る。これ等の正、逆の回転運動はステッピングモータ28
の回動軸34に結合したクランク44を介し、スライドユニ
ット36のスライダー40に伝えられ、案内レール38に沿っ
た往復の直線運動となる。すると、スライダー40と共
に、そこに保持されたプローブピン30とスリット部材50
も同様の直線運動をする。そこで、スリット部材50の移
動領域近傍に設置したフォトインタラプタ52により各ス
リット46、48の検出が行なえる。一旦、スリット46、48
の数や各スリット46、48間のステップ数を選択し、各ス
リット46、48とプローブピン30の先端との距離をそれぞ
れ決定すると、それ等の各距離を一定に保てるので、ク
ランク44に遊びがあってがたついても、各スリット46、
48の位置でプローブピン30の移動の原点を複数箇所正確
に設定できる。それ故、検査時には被検査基板の実装状
態に対応させて、プローブピン30のＺ軸方向への移動原
点を選んだ上、ステッピングモータ28に加える制御信号
のパルス数を選択して、プローブピン30を各検査ポイン
トに順次移動して接触できる。Operation When a control signal is given to the stepping motor 28 with the above-described configuration, the motor 28 rotates in the forward or reverse direction. These forward and reverse rotational motions are
The rotation is transmitted to the slider 40 of the slide unit 36 through the crank 44 coupled to the rotation shaft 34, and the reciprocating linear motion along the guide rail 38 is performed. Then, together with the slider 40, the probe pin 30 and the slit member 50 held there are held.
Also performs a similar linear motion. Thus, the slits 46 and 48 can be detected by the photo interrupter 52 installed near the moving area of the slit member 50. Once slits 46, 48
When the number of steps and the number of steps between the slits 46 and 48 are selected and the distance between each slit 46 and 48 and the tip of the probe pin 30 is determined, the distance between them can be kept constant. Even if there is a backlash, each slit 46,
The origin of the movement of the probe pin 30 can be accurately set at a plurality of 48 positions. Therefore, at the time of inspection, the origin of movement of the probe pin 30 in the Z-axis direction is selected according to the mounting state of the substrate to be inspected, and the number of control signal pulses to be applied to the stepping motor 28 is selected. Can be sequentially moved to each inspection point to make contact.

実施例 以下、添付図面に基づいて、本発明の実施例を説明す
る。Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

第１図は本発明を適用したインサーキットテスタ用Ｘ
−Ｙユニットのプローブピン支持機構を詳細に示す正面
図、第２図はその右側面図である。又、第３図は同イン
サーキットテスタの被検査基板を設置する測定台上の配
置関係を示す平面図である。第３図中、10はインサーキ
ットテスタの測定台、12はその中央に設置した被検査基
板、14（14a、14b）はその周辺部の対称位置に設置した
２組のＸ−Ｙユニットである。FIG. 1 shows an X for an in-circuit tester to which the present invention is applied.
FIG. 2 is a front view showing the probe pin support mechanism of the −Y unit in detail, and FIG. 2 is a right side view thereof. FIG. 3 is a plan view showing an arrangement relationship on a measuring table on which a substrate to be inspected of the in-circuit tester is installed. In FIG. 3, reference numeral 10 denotes a measuring table of an in-circuit tester, 12 denotes a substrate to be inspected installed at the center thereof, and 14 (14a and 14b) denote two sets of XY units installed at symmetrical positions around the periphery. .

このＸ−Ｙユニット14aは測定台10に据え付けたＸ軸
駆動用サーボモータ16、そのモータ16により回動するボ
ールねじ18、そのボールねじ18の回動によりＸ軸方向に
動くアーム20、そのアーム20に据え付けたＹ軸駆動用サ
ーボモータ22、そのモータ22により回動するボールねじ
24、そのボールねじ24の回動によりＹ軸方向に動くピン
支持部26等から成り、そのピン支持部26にはステッピン
グモータ28によってＺ軸方向に動くプローブピン30を備
える。なお、電源投入時等におけるアーム20やピン支持
部26の位置を知るため、フォトスイッチや近傍スイッチ
等の位置検出スイッチ31（31a、31b）も備えている。The XY unit 14a includes an X-axis driving servomotor 16 mounted on the measuring table 10, a ball screw 18 rotated by the motor 16, an arm 20 that moves in the X-axis direction by the rotation of the ball screw 18, and an arm 20 A Y-axis driving servomotor 22 mounted on 20, a ball screw rotated by the motor 22
24, a pin support 26 which moves in the Y-axis direction by rotation of the ball screw 24, and the like. The pin support 26 has a probe pin 30 which moves in the Z-axis direction by a stepping motor 28. Note that a position detection switch 31 (31a, 31b) such as a photo switch or a proximity switch is also provided to know the positions of the arm 20 and the pin support 26 when the power is turned on.

このピン支持部26に第１図及び第２図に示すようなプ
ローブピン支持機構を備えると、ステッピングモータ28
の矢印で示したＡ（逆）方向又はＢ（正）方向への回転
運動がプローブピン30の矢印で示したＺ軸方向への直線
運動に変換できる。このため、プローブピン支持機構の
支えとして強固な方形板32を垂直に立てて用い、その一
面側の中央部にステッピングモータ28の本体を取り付
け、他面側にはモータ28の回動軸34を突出し、プローブ
ピン30を備えたスライドユニット36等を下側の左隅部付
近に取り付ける。このスライドユニット36は案内レール
38とスライダー40から構成し、そのスライダー40の正面
右側部分にプローブピン30を装着する保持具42を固定し
て用いる。取り付けの際、支持板32の左隅部寄りに案内
レール38の上端部を固定してＺ軸方向に配置し、スライ
ダー40等を釣り下げる。そして、スライダー40の先端よ
り案内レール38の長手方向に沿って平行に配置したプロ
ーブピン30の先端を下方に突出させる。又、スライダー
40のプローブピン保持具42とステッピングモータ28の回
動軸34とをクランク44で連結し、そのスライダー40の正
面左側部分に案内レール38の長手方向に沿って複数例え
ば第１、第２スリット46、48を所要の間隔を置いて配設
した細長い板50を固定する。なお、クランク44のリンク
51の中央部に設けた穴は重量軽減用である。更に、その
スリット板50の移動領域中央の近傍にある支持板32の一
部に、第１、第２スリット46、48を検出する発光器と受
光器を備えたフォトインタラプタ52を設置する。なお、
支持板32にはスリット46、48の誤検出を防止するため、
ステッピングモータ28のＡ方向への一定以上の回転を防
止するストッパー54を固着し、回動軸34にはクランク44
と一体となった対応する突出片56を設ける。しかも、突
出片56がＡ方向に移動してストッパー54に当る直前に、
フォトインタラプタ52が第２スリット48を検出できるよ
うにする。If the pin support section 26 is provided with a probe pin support mechanism as shown in FIGS.
Rotational movement in the A (reverse) direction or B (forward) direction indicated by the arrow can be converted to linear movement in the Z-axis direction of the probe pin 30 indicated by the arrow. For this reason, a strong rectangular plate 32 is used as a vertical support as a support for the probe pin support mechanism, the main body of the stepping motor 28 is mounted on the central part on one side, and the rotating shaft 34 of the motor 28 is mounted on the other side. The slide unit 36 having the protruding and probe pins 30 and the like is attached near the lower left corner. This slide unit 36 is a guide rail
38 and a slider 40, and a holder 42 for mounting the probe pin 30 is fixed and used on the right front portion of the slider 40. At the time of attachment, the upper end of the guide rail 38 is fixed near the left corner of the support plate 32 and is arranged in the Z-axis direction, and the slider 40 and the like are hung down. Then, the tip of the probe pin 30 arranged in parallel along the longitudinal direction of the guide rail 38 from the tip of the slider 40 is projected downward. Also a slider
The probe pin holder 42 and the rotating shaft 34 of the stepping motor 28 are connected by a crank 44, and a plurality of, for example, first and second slits 46 are provided along the longitudinal direction of the guide rail 38 on the front left side of the slider 40. , 48 are fixed at an elongate plate 50 at a required interval. The link of crank 44
The hole provided at the center of 51 is for weight reduction. Further, a photo interrupter 52 having a light emitting device and a light receiving device for detecting the first and second slits 46 and 48 is provided on a part of the support plate 32 near the center of the movement area of the slit plate 50. In addition,
In order to prevent erroneous detection of the slits 46 and 48 in the support plate 32,
A stopper 54 for preventing the stepping motor 28 from rotating more than a predetermined amount in the direction A is fixed.
A corresponding protruding piece 56 is provided which is integrated therewith. Moreover, immediately before the projecting piece 56 moves in the direction A and hits the stopper 54,
The photo interrupter 52 enables the second slit 48 to be detected.

第４図はピン支持部に関する信号回路を示すブロック
図である。この図のようにコントローラ58からステッピ
ングモータ28に制御信号を与え、ドライバ60からパルス
を発生させると、そのパルス数に応じてモータ28は正又
は逆方向に回転する。この回転運動はモータ28の回動軸
34に結合したクランク44を介し、スライダー40に伝えら
れ、Ｚ軸方向に配設した案内レール38に沿って往復の直
線運動となる。すると、スライダー40と共に、そこに保
持されたプローブピン30とスリット板50も同様にＺ軸方
向の直線運動をする。それ故、スリット板50の移動領域
近傍にフォトインタラプタ52を設置しておくと、第１、
第２スリット46、48を検出でき、その信号をコントロー
ラ58に送れる。FIG. 4 is a block diagram showing a signal circuit relating to the pin support. As shown in this figure, when a control signal is provided from the controller 58 to the stepping motor 28 and a pulse is generated from the driver 60, the motor 28 rotates in the forward or reverse direction according to the number of pulses. This rotational movement is the rotation axis of the motor 28.
The signal is transmitted to the slider 40 via the crank 44 connected to 34, and reciprocates linearly along the guide rail 38 disposed in the Z-axis direction. Then, together with the slider 40, the probe pin 30 and the slit plate 50 held thereon also make a linear motion in the Z-axis direction. Therefore, if the photo interrupter 52 is installed near the moving area of the slit plate 50, the first,
The second slits 46 and 48 can be detected, and the signal can be sent to the controller 58.

このコントローラ58は例えばマイクロコンピュータで
あり、CPU（中央処理装置）、ROM（読み出し専用メモ
リ）、RAM（読み出し書き込み可能メモリ）、入力ポー
ト、出力ポート、バスライン等から構成されている。CP
Uはマイクロコンピュータの中心となる頭脳部に相当
し、プログラムの命令に従って、インサーキットテスタ
全体に対する制御を実行すると共に、算術、論理演算を
行ない、その結果も一時的に記憶する。又、周辺装置に
対しても制御を行なっている。ROMにはインサーキット
テスタ全体を制御するための制御プログラム、プローブ
ピン移動原点検出処理プログラム等が格納されている。
又、RAMは入力データ、演算データ、測定データ等の各
種のデータを記憶する。入力ポートにはデータ入力用キ
ー等を備える入力部が接続され、フォトインタラプタ52
から信号ラインが入るばかりでなく、各Ｘ軸、Ｙ軸駆動
用サーボモータ16、22、アームの位置検出スイッチ31等
の信号ラインも入る。又、出力ポートには各種のデータ
や実装基板の良否に関する判定結果を示すディスプレイ
が接続され、ステッピングモータ駆動用ドライバ60へ信
号ラインが出るばかりでなく、各サーボモータ駆動用ド
ライバ等へも信号ラインが出る。バスラインはそれ等を
接続するためのアドレスバスライン、データバスライ
ン、制御バスライン等を含み、周辺装置とも結合してい
る。The controller 58 is, for example, a microcomputer, and includes a CPU (central processing unit), a ROM (read only memory), a RAM (read / write memory), an input port, an output port, a bus line, and the like. CP
U corresponds to the brain part, which is the center of the microcomputer, and executes control of the entire in-circuit tester, performs arithmetic and logical operations, and temporarily stores the results in accordance with the instructions of the program. It also controls peripheral devices. The ROM stores a control program for controlling the entire in-circuit tester, a probe pin movement origin detection processing program, and the like.
The RAM stores various data such as input data, operation data, and measurement data. The input port is connected to an input unit having a data input key and the like, and a photo interrupter 52 is provided.
, And also signal lines for the X-axis and Y-axis driving servomotors 16 and 22 and the arm position detection switch 31 and the like. The output port is connected to a display that shows various data and the result of judgment on the quality of the mounting board. A signal line is output not only to the stepping motor driving driver 60 but also to each servo motor driving driver and the like. coming out. The bus lines include an address bus line, a data bus line, a control bus line, and the like for connecting them, and are also connected to peripheral devices.

次に、プローブピン位置検出処理動作について説明す
る。第５図はプローブピン移動原点検出処理プログロム
を示すフローチャートである。この処理プログラムはP1
〜P8のステップにより実行される。先ずP1で、コントロ
ーラ58から制御信号を送り、ステッピングモータ28をＡ
方向に１ステップずつ回転させる。なお、１ステップと
はステッピングモータ28の最小分解能に当る回転角であ
り、その励磁方式と極数によって決まる。次にP2へ行
く。P2ではフォトインタラプタ52がいずれかのスリット
46、48を検出したか、即ちスライダー40と共にスリット
板50が移動し、フォトインタラプタ52の位置にいずれか
のスリット46、48がきたか判定する。NOの場合にはP1、
P2を繰り返す。YESの場合にはP3へ行き、スリット46又
は48を検出した状態をの状態と呼ぶ。次にP4へ行く。
P4ではコントローラ58から制御信号を送り、ステッピン
グモータ28をＢ方向にｘステップ回転させる。なお、ｘ
ステップとは第１、第２スリット46、48の間を移動させ
るに必要なステップ数であり、ハード的或いはソフト的
に決まる。次にP5へ行く。P5ではフォトインタラプタ52
がいずれかのスリット46、48を検出したか判定する。NO
の場合はP6へ行く。P6ではの状態は第１スリット46を
検出した状態であることがわかるので、現在のプローブ
ピン30の先端位置も明らかになる。YESの場合はP7へ行
く。P7では現在第１スリット46を検出した状態にあるこ
とがわかるので、現在のプローブピン30の先端位置も明
らかになる。そして、先のP3におけるの状態は第２ス
リット48を検出した状態であることがわかる。なお、第
１スリット46の幅は狭くして検出位置の精度を上げ、第
２スリット48の幅はやや広くして読み取り易くし、フォ
トインタラプタ52の位置より第２スリット48が更に上動
するのを防止する。このようにスライダー40に結合した
スリット板50を用い、第１、第２スリット46、48とそれ
等の間のステップ数を選択し、各スリット46、48とプロ
ーブピン30の先端との距離をそれぞれ決定すると、それ
等の各距離を一定に保てるので、クランク44に遊びがあ
ってがたついても、第１、第２スリット46、48の位置で
プローブピン30の移動の原点（上死点）を２箇所正確に
設定できる。次にP8へ行く。P8ではプローブピン30の移
動の原点が明確になったので、次の処理へと進む。因み
に、クランク機構を第１図と左右対称に配置する場合に
はフローチャートのＡ方向、Ｂ方向を入れ換える。Next, the probe pin position detection processing operation will be described. FIG. 5 is a flowchart showing a probe pin movement origin detection processing program. This processing program is P1
PP8. First, at P1, a control signal is sent from the controller 58, and the stepping motor 28
Rotate one direction at a time. One step is a rotation angle corresponding to the minimum resolution of the stepping motor 28, and is determined by its excitation method and the number of poles. Then go to P2. In P2, the photo interrupter 52 has one of the slits
It is determined whether 46, 48 has been detected, that is, whether the slit plate 50 has moved together with the slider 40 and any of the slits 46, 48 has come to the position of the photo interrupter 52. P1 in case of NO,
Repeat P2. In the case of YES, the process goes to P3 and the state in which the slit 46 or 48 is detected is referred to as the state. Then go to P4.
At P4, a control signal is sent from the controller 58 to rotate the stepping motor 28 x steps in the B direction. Note that x
The step is the number of steps required to move between the first and second slits 46 and 48, and is determined by hardware or software. Then go to P5. Photo interrupter 52 for P5
Determine whether any of the slits 46, 48 has been detected. NO
If so, go to P6. Since the state at P6 is a state in which the first slit 46 is detected, the current tip position of the probe pin 30 is also clarified. If YES, go to P7. At P7, since it is known that the first slit 46 is currently detected, the current tip position of the probe pin 30 is also clarified. Then, it can be seen that the state at P3 is a state where the second slit 48 is detected. It should be noted that the width of the first slit 46 is narrowed to increase the accuracy of the detection position, the width of the second slit 48 is slightly widened to make it easier to read, and the second slit 48 moves further upward than the position of the photo interrupter 52. To prevent Using the slit plate 50 connected to the slider 40 in this manner, the first and second slits 46, 48 and the number of steps between them are selected, and the distance between each slit 46, 48 and the tip of the probe pin 30 is determined. When each is determined, the distance between them can be kept constant, so that even if there is play in the crank 44, the origin (top dead center) of the movement of the probe pin 30 at the positions of the first and second slits 46 and 48 ) Can be set accurately in two places. Then go to P8. In P8, since the origin of the movement of the probe pin 30 has been clarified, the process proceeds to the next process. Incidentally, when the crank mechanism is arranged symmetrically with respect to FIG. 1, the directions A and B in the flowchart are exchanged.

検査時には、被検査基板12に実装した各部品の突出の
程度等に応じ、プローブピン30のＺ軸方向への移動原点
となる上死点を選んだ上、ステッピングモータ28に加え
る制御信号のパルス数を選択してプローブピン30の先端
を下方に移動し、予め設定した基板面の検査ポイント
（測定ランド）に順次接触する。この結果、プローブピ
ン30の上死点は第１スリット46或いは第２スリット48に
より、又下死点はパルス数により任意に選択でき、プロ
ーブピン30は無駄な動きをしなくなる。そこで、プロー
ブピン30等を経て各部品にそれぞれ測定電流を流し、或
いは測定電圧を印加して、抵抗値、静電容量値、インダ
クタンク値等を測定すると、被検査基板12の良否が判定
できる。At the time of inspection, a top dead center, which is the origin of movement of the probe pin 30 in the Z-axis direction, is selected according to the degree of protrusion of each component mounted on the substrate 12 to be inspected, and a pulse of a control signal applied to the stepping motor 28 is selected. The number is selected, the tip of the probe pin 30 is moved downward, and sequentially contacts a predetermined inspection point (measurement land) on the substrate surface. As a result, the top dead center of the probe pin 30 can be arbitrarily selected by the first slit 46 or the second slit 48, and the bottom dead center can be arbitrarily selected by the number of pulses, so that the probe pin 30 does not move unnecessarily. Therefore, when a measurement current is applied to each component through the probe pins 30 or the like, or a measurement voltage is applied, and the resistance value, the capacitance value, the inductance value, and the like are measured, the quality of the substrate under test 12 can be determined. .

発明の効果 以上説明した本発明によれば、プローブピンのＺ軸方
向への駆動源としてステッピングモータを用いることが
できる。しかも、ステッピングモータの回動運動をプロ
ーブピンの直線運動に変換するクランクに遊びによるが
たつきがあっても、スリット板を用いて、そこに設ける
スリットの数や各スリット間のステップ数を選択して決
定すると、各スリットとプローブピンの先端距離とを一
定に保てるので、各スリットの位置で移動の原点を複数
箇所正確に設定できる。又、プローブピンを各原点から
移動して各検査ポイントに接触させる突出距離はステッ
ピングモータに加えるパルス数より任意に選択できる。
従って、プローブピンに被検査基板の実装状態に対応し
た適切な距離の往復動を行なわせることにより、無駄な
動きをなくし、移動距離を短く、移動時間を少なくし
て、検査のスピード化を達成できる。According to the present invention described above, a stepping motor can be used as a drive source of the probe pin in the Z-axis direction. In addition, even if there is play in the crank that converts the rotation of the stepping motor into the linear movement of the probe pin, use the slit plate to select the number of slits provided and the number of steps between each slit. Then, since the distance between each slit and the tip of the probe pin can be kept constant, the origin of movement can be accurately set at a plurality of positions at the position of each slit. Further, the protruding distance of moving the probe pin from each origin and contacting each inspection point can be arbitrarily selected from the number of pulses applied to the stepping motor.
Therefore, by making the probe pins reciprocate an appropriate distance according to the mounting state of the board to be inspected, unnecessary movement is eliminated, the moving distance is shortened, the moving time is reduced, and the inspection speed is achieved. it can.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第１図は本発明を適用したインサーキットテスタ用Ｘ−
Ｙユニットのプローブピン支持機構を詳細に示す正面
図、第２図はその右側面図である。 第３図は同インサーキットテスタの被検査基板を設置す
る測定台上の配置関係を示す平面図である。 第４図は同インサーキットテスタのピン支持部に関する
信号回路を示すブロック図である。 第５図は同インサーキットテスタに格納するプローブピ
ン移動原点検出処理プログラムを示すフローチャートで
ある。 14……Ｘ−Ｙユニット、28……ステッピングモータ、30
……プローブピン、32……モータ取付部材、34……回動
軸、36……スライドユニット、38……案内レール、40…
…スライダー、44……クランク、46、48……第１、第２
スリット、50……スリット部材、52……フォトインタラ
プタFIG. 1 shows an X-type circuit for an in-circuit tester to which the present invention is applied.
FIG. 2 is a front view showing the probe pin support mechanism of the Y unit in detail, and FIG. 2 is a right side view thereof. FIG. 3 is a plan view showing an arrangement relationship on a measuring table on which a substrate to be inspected of the in-circuit tester is installed. FIG. 4 is a block diagram showing a signal circuit relating to a pin support of the in-circuit tester. FIG. 5 is a flowchart showing a probe pin movement origin detection processing program stored in the in-circuit tester. 14: XY unit, 28: Stepping motor, 30
…… Probe pin, 32 …… Motor mounting member, 34 …… Rotating shaft, 36 …… Slide unit, 38 …… Guide rail, 40…
... Slider, 44 ... Crank, 46, 48 ... First and second
Slit, 50 ... Slit member, 52 ... Photo interrupter

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G01R 31/28 G01R 1/06 H01L 21/66 G01R 31/26 G01R 31/02Continued on the front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. ⁶ , DB name) G01R 31/28 G01R 1/06 H01L 21/66 G01R 31/26 G01R 31/02

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】インサーキットテスタに設置するＸ−Ｙユ
ニットのＺ軸方向にプローブピンを往復動する駆動源を
備えたプローブピン支持機構において、上記駆動源とし
てステッピングモータを備え、そのモータ取付部材にス
ライドユニットの案内レールを固定し、その案内レール
に沿って往復動するスライダーでプローブピンを保持
し、そのスライダーとステッピングモータの回動軸とを
クランクで連結し、そのスライダーに案内レールの長手
方向に沿って複数のスリットを間隔を置いて順次配設し
た部材を固定し、そのスリット部材の移動領域近傍にス
リットを検出するフォトインタラプタを設置することを
特徴とするインサーキットテスタ用Ｘ−Ｙユニットのプ
ローブピン支持機構。1. A probe pin support mechanism having a drive source for reciprocating a probe pin in a Z-axis direction of an XY unit installed on an in-circuit tester, comprising: a stepping motor as the drive source; The guide rail of the slide unit is fixed to the slider, the probe pin is held by a slider that reciprocates along the guide rail, and the slider and the rotating shaft of the stepping motor are connected by a crank. XY for an in-circuit tester, wherein a member in which a plurality of slits are sequentially arranged at intervals along a direction is fixed, and a photo interrupter for detecting a slit is installed near a moving region of the slit member. Unit probe pin support mechanism.