JP3075423B2 - In-circuit tester with two or three sets of XY unit arm movement controllers - Google Patents
In-circuit tester with two or three sets of XY unit arm movement controllersInfo
- Publication number
- JP3075423B2 JP3075423B2 JP03057919A JP5791991A JP3075423B2 JP 3075423 B2 JP3075423 B2 JP 3075423B2 JP 03057919 A JP03057919 A JP 03057919A JP 5791991 A JP5791991 A JP 5791991A JP 3075423 B2 JP3075423 B2 JP 3075423B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- movement
- order
- unit
- arms
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は実装基板の良否の判定に
使用する2組又は3組のX−Yユニットを設置したイン
サーキットテスタ、特にその各アーム移動制御装置に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an in-circuit tester provided with two or three sets of XY units for use in judging the quality of a mounting board, and more particularly to an arm movement control device for each.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、実装基板即ち多数の電気部品を半
田付けしたプリント基板はインサーキットテスタを用い
て、その基板の必要な各測定点に適宜プローブピンを接
触させ、それ等の各部品の電気的測定によって基板の良
否の判定を行っている。特に、被検査基板を載せる測定
台上にX−Yユニットを設置したものは、そのX軸方向
に可動するアームの上に、Y軸方向に可動するZ軸ユニ
ットを備え、そのZ軸ユニットでプローブピンをZ軸方
向に可動可能に支持しているので、そのX−Yユニット
を制御すると、プローブピンを基板の上方からX軸、Y
軸、Z軸方向にそれぞれ適宜移動して、予め設定した各
測定点に順次接触できる。なお、アームのX軸方向への
往復動とZ軸ユニットのY軸方向への往復動にはそれぞ
れサーボモータを用い、Z軸ユニットにおけるプローブ
ピンのZ軸方向への往復動にはエアシリンダ、ソレノイ
ド、サーボモータ等を採用している。2. Description of the Related Art Conventionally, a mounting board, that is, a printed board on which a large number of electric components are soldered, uses an in-circuit tester to appropriately contact probe pins to required measuring points on the board, and The quality of the substrate is determined by electrical measurement. In particular, the one in which the XY unit is installed on the measuring table on which the substrate to be inspected is mounted is provided with a Z-axis unit movable in the Y-axis direction on the arm movable in the X-axis direction, and the Z-axis unit is Since the probe pins are movably supported in the Z-axis direction, when the XY unit is controlled, the probe pins are moved from above the substrate to the X-axis and Y-axis.
By appropriately moving in the axis and Z-axis directions, it is possible to sequentially make contact with preset measurement points. A servomotor is used for the reciprocation of the arm in the X-axis direction and the reciprocation of the Z-axis unit in the Y-axis direction. An air cylinder is used for the reciprocation of the probe pin in the Z-axis unit in the Z-axis direction. Uses solenoids, servomotors, etc.
【0003】尤も、そのためには前もって被検査基板の
各測定点のX−Y座標データをそれぞれ検知しておかな
ければならない。そこで、一般にはX−Yユニットのプ
ローブピンをマニュアル操作するティーチングにより、
又は座標読み取り装置であるデジタイザを用い或いはC
ADデータを用いて各測定点のX−Y座標データを得て
いる。又、被検査基板1枚当たりの検査時間を短縮する
ように、プローブピンを接触させる各測定点の検査順番
を設定し、更にその順番に従った各測定点間の移動速
度、加速度を設定しなければならない。何故なら、1枚
当たりの部品数が多くなり1000個程になると、検査
時間の大半がプローブピンの移動に費やされるからであ
る。However, for that purpose, the XY coordinate data of each measurement point on the substrate to be inspected must be detected in advance. Therefore, in general, by manually teaching the probe pins of the XY unit,
Or using a digitizer that is a coordinate reading device or C
The XY coordinate data of each measurement point is obtained using the AD data. In order to shorten the inspection time per one substrate to be inspected, the inspection order of each measurement point to be brought into contact with the probe pin is set, and the moving speed and acceleration between each measurement point according to the order are set. There must be. This is because when the number of parts per sheet increases to about 1000, most of the inspection time is spent for moving the probe pins.
【0004】そして、測定時には1部品毎に複数個の測
定点を同時に測定しなければならない。例えば、抵抗の
測定を行う場合には高電位側測定点、アース側測定点と
共に、必要に応じてガーディング用測定点を指定する。
それ故、インサーキットテスタには複数のX−Yユニッ
トを備える必要がある。At the time of measurement, a plurality of measurement points must be measured simultaneously for each part. For example, when the resistance is measured, a guarding measurement point is specified as necessary together with a high-potential-side measurement point and an earth-side measurement point.
Therefore, the in-circuit tester needs to include a plurality of XY units.
【0005】これ等のX−Yユニットを制御して、各プ
ローブピンをそれぞれ測定済みの測定点から同時に次の
各測定点に移動する場合、各アームのX軸方向への速
度、加速度と各Z軸ユニットのY軸方向への速度、加速
度を等しい一定値に設定して移動させ、各アームの移動
終了後に各Z軸ユニットのみ更に移動させる方法(各プ
ローブピンは直線的に移動しない)、各プローブピン
が直線的に移動するように各アームのX軸方向への速
度、加速度と各Z軸ユニットのY軸方向への速度、加速
度を設定する方法(2次元直線補間方式)、各プロー
ブピンが直線的に移動し、各アームの移動時間が同一と
なるように各アームのX軸方向への速度、加速度と各Z
軸ユニットのY軸方向への速度、加速度を設定する方法
(n次元直線補間方式)等がある。When these XY units are controlled to move each probe pin simultaneously from the measured measurement point to the next measurement point, the speed and acceleration of each arm in the X-axis direction and each A method in which the velocity and acceleration of the Z-axis unit in the Y-axis direction are set to the same constant value and moved, and after the movement of each arm is completed, only each Z-axis unit is further moved (each probe pin does not move linearly); A method of setting the speed and acceleration in the X-axis direction of each arm and the speed and acceleration in the Y-axis direction of each Z-axis unit so that each probe pin moves linearly (two-dimensional linear interpolation method), each probe The speed and acceleration in the X-axis direction of each arm and each Z are set so that the pin moves linearly and the movement time of each arm becomes the same.
There is a method (n-dimensional linear interpolation method) for setting the speed and acceleration of the axis unit in the Y-axis direction.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これ等
の移動方法により、例えば移動開始時の各測定点のX座
標が同一で、移動終了時の各測定点のX座標が同一の平
行移動を考えると、各プローブピンの移動速度、加速度
を大きくすれば、アーム間の追い付きによる衝突が問題
となる。何故なら、各X軸用モータ、モータドライバに
は応答時定数のばらつきがあり、各アームには重量、摩
擦係数のばらつきによる応答変化や設定した速度、加速
度を算出する際の誤差等がある。このため、速度、加速
度が小さい場合、各アームは上記、の方法では通常
理論通りに移動して追突しないが、の方法ではX軸方
向の速度が変わるので追突の恐れがある。なお、同時に
各アームの移動を開始すると、それ等の力が加わってフ
レームに大きな振動が発生するため、装置の各部材に悪
影響を与える等の問題もある。However, with these moving methods, for example, a parallel movement in which the X coordinate of each measurement point at the start of movement is the same and the X coordinate of each measurement point at the end of movement is the same is considered. If the moving speed and acceleration of each probe pin are increased, a collision due to catch-up between the arms becomes a problem. This is because each X-axis motor and motor driver have a variation in response time constant, and each arm has a response change due to variation in weight and friction coefficient, an error in calculating a set speed and acceleration, and the like. For this reason, when the speed and the acceleration are small, the respective arms normally move according to the theory and do not collide with each other in the above method, but in the method, the velocity in the X-axis direction changes, and there is a risk of collision. When the movement of each arm is started at the same time, such a force is applied to generate a large vibration in the frame, which has a problem that each member of the apparatus is adversely affected.
【0007】本発明はこのような従来の問題点に着目し
てなされたものであり、検査時間を短縮化するために、
各アームの移動速度、加速度を大きく設定しても、アー
ム間に追い付きによる衝突が発生せず、耐久性に優れた
2組又は3組のX−Yユニット用アーム移動制御装置を
備えたインサーキットテスタを提供することを目的とす
る。The present invention has been made in view of such a conventional problem, and in order to shorten the inspection time,
Even if the moving speed and acceleration of each arm are set to be large, no collision occurs between the arms due to catch-up, and two or three sets of durable in-circuit units having XY unit arm movement control devices. The purpose is to provide a tester.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の手段を、以下本発明を明示する図1、2を用いて説明
する。この2組のX−Yユニット用アーム移動制御装置
を備えたインサーキットテスタはレフトアーム24を備
えたX−Yユニット12とライトアーム46を備えたX
−Yユニット16を設置し、レフトアーム24のライト
アーム46を越える移動を防止するアーム移動制限器6
8、74を備えた上で、上記レフト、ライトの両アーム
24、46の移動開始時における先行アームに対する後
行アームの待ち時間を設定するアーム移動開始遅延時間
設定手段96と、X軸に沿うレフト、ライトの各アーム
24、46の移動方向を判定するアーム移動方向判定手
段98と、レフト、ライトの両アーム24、46が共に
左方に移動する場合には移動順をレフトアーム24、ラ
イトアーム46の順に決定し、レフト、ライトの両アー
ム24、46が互いに反対方向に移動する場合には移動
順を任意の順或いは同時に決定し、レフト、ライトの両
アーム24、46が共に右方に移動する場合には移動順
をライトアーム46、レフトアーム24の順に決定する
アーム移動順決定手段100と、設定した待ち時間と決
定したレフト、ライトの各アーム24、46の移動順に
従ってそれぞれ対応するX軸用モータ20、38を制御
するモータ制御手段102とからなるアーム移動制御装
置104を備えるものである。Means for achieving the above object will be described below with reference to FIGS. The in-circuit tester provided with the two sets of XY unit arm movement control devices includes an XY unit 12 having a left arm 24 and an X circuit having a right arm 46.
Arm movement limiter 6 for installing Y unit 16 and preventing left arm 24 from moving beyond right arm 46;
8 and 74, arm movement start delay time setting means 96 for setting the waiting time of the following arm with respect to the preceding arm when the movement of both the left and right arms 24 and 46 starts, and along the X-axis. The arm moving direction determining means 98 for determining the moving direction of each of the left and right arms 24 and 46, and when both the left and right arms 24 and 46 move to the left, the moving order is set to the left arm 24, right When the left and right arms 24 and 46 move in opposite directions, the moving order is determined arbitrarily or simultaneously, and both the left and right arms 24 and 46 are moved to the right. When moving to the left arm, the arm moving order determining means 100 for determining the moving order in the order of the right arm 46 and the left arm 24; Those comprising an arm movement controller 104 of the motor control unit 102 which controls the X-axis motor 20, 38 which correspond in accordance with the movement order of the arms 24, 46 bets.
【0009】又、3組のX−Yユニット用アーム移動制
御装置を備えたインサーキットテスタは更にミドルアー
ム44を備えたX−Yユニット14を設置し、レフトア
ーム24のミドルアーム44を越える移動を防止すると
共に、ライトアーム46のミドルアーム44を越える移
動を防止するアーム移動制限器68、74を備えた上
で、上記レフト、ミドル、ライトの各アーム24、4
4、46の移動開始時における先行アームに対する直後
行アームの待ち時間を設定するアーム移動開始遅延時間
設定手段106と、X軸に沿うレフト、ライトの各アー
ム24、46の移動方向を判定するアーム移動方向判定
手段108と、レフト、ライトの両アーム24、46が
共に左方に移動する場合には移動順をレフトアーム2
4、ミドルアーム44、ライトアーム46の順に決定
し、レフトアームが24が左方に移動し、ライトアーム
46が右方に移動する場合には移動順の最後にミドルア
ーム44を決定し、レフトアーム24が右方に移動し、
ライトアーム46が左方に移動する場合には移動順の最
初にミドルアーム44を決定し、レフト、ライトの両ア
ーム24、46が共に右方に移動する場合には移動順を
ライトアーム46、レフトアーム24の順に決定するア
ーム移動順決定手段110と、設定した待ち時間と決定
したレフト、ミドル、ライトの各アーム24、44、4
6の移動順に従ってそれぞれ対応するX軸用モータ2
0、36、38を制御するモータ制御手段112とから
なるアーム移動制御装置114を備えるものである。Further, the in-circuit tester provided with three sets of XY unit arm movement control devices further installs the XY unit 14 provided with the middle arm 44, and moves the left arm 24 beyond the middle arm 44. Arm movement restrictors 68 and 74 for preventing the right arm 46 from moving beyond the middle arm 44, and the left, middle and right arms 24, 4
Arm movement start delay time setting means 106 for setting the waiting time of the immediately succeeding arm with respect to the preceding arm at the time of starting movement of the arms 4 and 46, and an arm for determining the movement direction of the left and right arms 24 and 46 along the X axis When both the moving direction determining means 108 and the left and right arms 24 and 46 move to the left, the moving order is determined by the left arm 2
4, the middle arm 44 and the right arm 46 are determined in this order. When the left arm 24 moves to the left and the right arm 46 moves to the right, the middle arm 44 is determined at the end of the moving order, The arm 24 moves to the right,
When the right arm 46 moves to the left, the middle arm 44 is determined first in the moving order. When both the left and right arms 24 and 46 move to the right, the moving order is set to the right arm 46, Arm movement order determining means 110 for determining the order of the left arm 24, and the set waiting time and the determined left, middle and right arms 24, 44, 4
6 correspond to the X-axis motors 2 in accordance with the movement order.
An arm movement control device 114 including a motor control means 112 for controlling 0, 36 and 38 is provided.
【0010】[0010]
【作用】上記のように構成し、レフト、ライトの各アー
ム24、46の速度、加速度を大きく設定する。そし
て、両アーム24、46が共に左方に移動する場合には
前側になるべきレフトアーム24の移動を先に開始し、
待ち時間経過後にライトアーム46の移動を開始するの
で、先行アーム24に後行アーム46が追い付いて衝突
することがない。又、両アーム24、46が共に右方に
移動する場合も移動順が反対になるだけで、待ち時間を
介在するので追突が発生しない。その際、両アーム2
4、46の移動開始時間がずれるため、それ等の力があ
る程度相殺し合ってフレームに加わるので、発生する振
動が小さくなる。なお、両フレーム24、46が互いに
反対方向に移動する場合には移動順を任意の順或いは同
時にしても、当然追突は発生しない。The speed and acceleration of each of the left and right arms 24 and 46 are set to be large as described above. Then, when both the arms 24 and 46 move to the left, the movement of the left arm 24 that should be on the front side starts first,
Since the movement of the light arm 46 is started after the elapse of the waiting time, the following arm 46 does not catch up with the preceding arm 24 and collide. Also, when both arms 24 and 46 move to the right, only the movement order is reversed, and a rear-end collision does not occur because a waiting time is interposed. At that time, both arms 2
Since the movement start times of the movements 4 and 46 are shifted, these forces cancel each other to some extent and are applied to the frame, so that the generated vibration is reduced. When the frames 24 and 46 move in opposite directions, the rear-end collision does not occur even if the moving order is arbitrary or simultaneous.
【0011】更に、ミドルアーム44を追加したものも
ほぼ同様に動作し、レフト、ライトの両アーム24、4
6が共に左方に移動する場合には先に最前になるべきレ
フトアーム24、次にミドルアーム44、最後にライト
アーム46の順に待ち時間を介在しながら移動を開始す
るので、先行のレフトアーム24に対しては直後行のミ
ドルアーム44が、又先行のミドルアーム44に対して
は直後行のライトアーム46がそれぞれ追い付いて衝突
することがない。又、レフト、ライトの両アーム24、
46が共に右方に移動する場合も移動順が反対になるだ
けで、待ち時間を介在するので追突が発生しない。その
際、各アーム24、44、46の移動開始時間がずれる
ため、やはり発生する振動が小さくなる。なお、レフ
ト、ライトの両アーム24、46が互いに反対方向に移
動する場合にはそれ等の両アーム24、46の間に当然
追突は発生しない。そこで、両アーム24、46の移動
方向に応じて最後にミドルアーム44の移動を開始し、
或いは最初にミドルアーム44の移動を開始すれば、待
ち時間が介在するので、やはり衝突は発生しない。Further, the one to which the middle arm 44 is added operates in substantially the same manner, and both the left and right arms 24, 4
When both move leftward, the left arm 24, which should be the foremost first, then the middle arm 44, and finally the right arm 46, start to move with a waiting time interposed therebetween. The middle arm 44 in the immediately succeeding row against the 24 and the right arm 46 in the immediately succeeding row against the preceding middle arm 44 do not collide with each other. Also, both left and right arms 24,
When both 46 move to the right, only the order of movement is reversed, and a rear-end collision does not occur because of the waiting time. At this time, since the movement start time of each of the arms 24, 44, and 46 is shifted, the generated vibration is also reduced. When the left and right arms 24 and 46 move in directions opposite to each other, no rear collision occurs between the two arms 24 and 46. Then, finally, the movement of the middle arm 44 is started in accordance with the movement direction of the arms 24, 46,
Alternatively, if the movement of the middle arm 44 is first started, a collision does not occur because the waiting time is interposed.
【0012】[0012]
【実施例】以下、添付図面に基づいて、本発明の実施例
を説明する。図3は本発明を適用した3組のX−Yユニ
ットを有するインサーキットテスタの被検査基板を設置
した測定台上の配置関係を示す平面図である。図中、1
0はインサーキットテスタの測定台、12、14、16
はその上部に設置した3組のX−Yユニット、又18は
中央に設置した被検査基板である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 3 is a plan view showing an arrangement relationship of the in-circuit tester having three sets of XY units to which the present invention is applied on a measuring table on which a substrate to be inspected is installed. In the figure, 1
0 is the measuring table of the in-circuit tester, 12, 14, 16
Is an XY unit of three sets installed on the upper part, and 18 is a board to be inspected installed in the center.
【0013】このX−Yユニット12は測定台10に据
え付けたX軸用サーボモータ20、そのモータ20によ
り回動するボールねじ22、そのボールねじ22の回動
によりX軸方向に動くアーム24、そのアーム24に据
え付けたY軸用サーボモータ26、そのモータ26によ
り回動するボールねじ28、そのボールねじ28の回動
によりY軸方向に動くZ軸ユニット30からなり、その
Z軸ユニット30にはZ軸用サーボモータ32によって
Z軸方向に動くプローブピン34を備える。他のX−Y
ユニット14、16もそれぞれ同様の構造を有し、X軸
用サーボモータ36、38、ボールねじ40、42、ア
ーム44、46、Y軸用サーボモータ48、50、ボー
ルねじ52、54、Z軸ユニット56、58、Z軸用サ
ーボモータ60、62、及びプローブピン64、66等
からなる。なお、X軸用サーボモータ20、36、38
とボールねじ22、40、42はそれぞれ別個のもので
あるが、図面上では同一のものとして表現した。The XY unit 12 includes an X-axis servomotor 20 mounted on the measuring table 10, a ball screw 22 rotated by the motor 20, an arm 24 that moves in the X-axis direction by the rotation of the ball screw 22, A servomotor 26 for Y-axis mounted on the arm 24, a ball screw 28 rotated by the motor 26, and a Z-axis unit 30 that moves in the Y-axis direction by the rotation of the ball screw 28, Is provided with a probe pin 34 that is moved in the Z-axis direction by the Z-axis servo motor 32. Other XY
The units 14 and 16 have the same structure, respectively, and include the X-axis servo motors 36 and 38, the ball screws 40 and 42, the arms 44 and 46, the Y-axis servo motors 48 and 50, the ball screws 52 and 54, and the Z-axis. Units 56 and 58, Z-axis servo motors 60 and 62, probe pins 64 and 66, and the like. The X-axis servo motors 20, 36, 38
And the ball screws 22, 40, and 42 are separate, but are represented as the same in the drawings.
【0014】そして、レフト、ミドルの各アーム24、
44には光スイッチとして1対のホトカプラ68と光遮
断片70をそれぞれ設置し、ミドル、ライトの各アーム
44、46にも同様のホトカプラ72と光遮断片74を
それぞれ設置する。このため、それ等の各光スイッチを
アーム移動制限器として用いると、レフトアーム24の
ミドルアーム44を越える移動を防止することができる
と共に、ライトアーム46のミドルアーム44を越える
移動を防止することもできる。Then, each of the left and middle arms 24,
A pair of photocouplers 68 and light blocking pieces 70 are respectively installed as optical switches at 44, and similar photocouplers 72 and light blocking pieces 74 are respectively installed at the middle and light arms 44 and 46. Therefore, when these optical switches are used as arm movement restrictors, it is possible to prevent the left arm 24 from moving beyond the middle arm 44 and to prevent the right arm 46 from moving beyond the middle arm 44. Can also.
【0015】図4はこのような3組のX−Yユニットを
有するインサーキットテスタの構成を示すブロック図で
ある。図中、76はインサーキットテスタ、78はその
操作部、80はX−Y−Z制御部、82は測定部、84
はコントローラである。この操作部78にはキーボー
ド、表示装置、プリンタ、フロッピーディスクドライバ
等の入出力機器を備える。X−Y−Z制御部80は3組
のX−Yユニット12、14、16にそれぞれ備えたサ
ーボモータ20、26、32等を駆動し、各プローブピ
ン34、64、66を測定台10上でX軸、Y軸、Z軸
方向にそれぞれ適宜移動する。測定部82は適宜の電
圧、電流信号を切換器を介して各プローブピン34、6
4、66に与えて各部品の測定を行なう。FIG. 4 is a block diagram showing the configuration of such an in-circuit tester having three sets of XY units. In the figure, 76 is an in-circuit tester, 78 is its operation unit, 80 is an XYZ control unit, 82 is a measurement unit, 84
Is a controller. The operation unit 78 includes input / output devices such as a keyboard, a display device, a printer, and a floppy disk driver. The XYZ controller 80 drives the servomotors 20, 26, 32 and the like provided in the three sets of XY units 12, 14, 16 respectively, and puts the respective probe pins 34, 64, 66 on the measuring table 10. To move as appropriate in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions. The measuring unit 82 transmits appropriate voltage and current signals to each of the probe pins 34 and 6 through the switch.
4 and 66 to measure each component.
【0016】これ等の操作部78、X−Y−Z制御部8
0、測定部82はCPUを備えたコントローラ84によ
ってそれぞれ制御する。コントローラ84は例えば図5
に示すようなマイクロコンピュータであり、CPU(中
央処理装置)86、ROM(読み出し専用メモリ)8
8、RAM(読み出し書き込み可能メモリ)90、入出
力ポート92、バスライン94等から構成されている。
CPU86はマイクロコンピュータの中心となる頭脳部
に相当し、プログラムの命令に従って全体に対する制御
を実行すると共に、算術、論理演算を行ない、その結果
も一時的に記憶する。又、周辺装置に対しても適宜制御
を行なっている。ROM88にはインサーキットテスタ
全体を制御するための制御プログラム等が格納されてい
る。又、RAM90は外部から入力したデータ、各プロ
ーブピン34、64、66を用いて測定したデータ、そ
れ等のデータからCPU86で演算したデータ等の各種
データを記憶する。その際、被検査基板18上に存在す
る各測定点のX−Y座標データは各プローブピン34、
64、66をマニュアル操作してティーチングにより直
接読み込み、或いはデジタイザを用いてフロッピーディ
スクに格納する等した後に外部から入力する。しかも、
各部品毎に対応する3測定点を1ステップとしてそれぞ
れグループ化し、それ等に順次番号を付けて記憶する。
更に、アーム移動制御処理プログラム等も外部から入力
する。入出力ポート92には操作部78、X−Y−Z制
御部80、測定部82等が接続する。バスライン94は
それ等を接続するためのアドレスバスライン、データバ
スライン、制御バスライン等を含み、周辺装置とも適宜
結合している。The operation unit 78 and the XYZ control unit 8
The measuring unit 82 is controlled by a controller 84 having a CPU. The controller 84 is shown in FIG.
And a CPU (Central Processing Unit) 86, a ROM (Read Only Memory) 8
8, a RAM (read / write memory) 90, an input / output port 92, a bus line 94, and the like.
The CPU 86 corresponds to the brain part which is the center of the microcomputer, executes control of the whole according to the instructions of the program, performs arithmetic and logical operations, and temporarily stores the results. Also, control is appropriately performed on peripheral devices. The ROM 88 stores a control program and the like for controlling the entire in-circuit tester. The RAM 90 stores various data such as data input from the outside, data measured using the probe pins 34, 64, and 66, and data calculated by the CPU 86 from the data. At that time, the XY coordinate data of each measurement point existing on the inspection target board 18 is stored in each probe pin 34,
64 and 66 are manually operated and read directly by teaching, or stored on a floppy disk using a digitizer and then input from the outside. Moreover,
The three measurement points corresponding to each part are grouped as one step, and they are sequentially numbered and stored.
Further, an arm movement control processing program and the like are also input from outside. An operation unit 78, an XYZ control unit 80, a measurement unit 82, and the like are connected to the input / output port 92. The bus line 94 includes an address bus line, a data bus line, a control bus line, and the like for connecting them, and is appropriately connected to a peripheral device.
【0017】図6は3組のX−Yユニットを有するイン
サーキットテスタのアーム移動制御処理プログラムによ
る動作を示すフローチャートであり、P1〜P9の各処
理により実行される。先ず、P1でキー操作により、レ
フト、ミドル、ライトの各アーム24、44、46の移
動開始時間の間に待ち時間を例えば1/1000秒のオ
ーダーで設定する。但し、待ち時間の上限値は移動時間
に比べて十分小さなものにする。なお、レフト、ミド
ル、ライトの各アーム24、44、46の速度、加速度
は先に大きく設定しておく。次にP2へ行き、レフトア
ーム24を左方に移動するか判定する。YESの場合に
はP3へ行く。P3ではライトアーム46を左方に移動
するか判定する。YESの場合はP4へ行く。FIG. 6 is a flowchart showing the operation of the in-circuit tester having three sets of XY units according to the arm movement control processing program, which is executed by the respective processes P1 to P9. First, a wait time is set in the order of, for example, 1/1000 second during a movement start time of each of the left, middle, and right arms 24, 44, and 46 by a key operation at P1. However, the upper limit of the waiting time is set sufficiently smaller than the traveling time. The speed, acceleration of each of the left, middle, and right arms 24, 44, and 46 is set to be large first. Next, the process proceeds to P2, and it is determined whether the left arm 24 is to be moved to the left. If YES, go to P3. At P3, it is determined whether the light arm 46 is to be moved to the left. If YES, go to P4.
【0018】P4では移動順をレフトアーム24、ミド
ルアーム44、ライトアーム46の順に決定する。この
ようにレフト、ライトの両アーム24、46が共に左方
に移動する場合には図7に示すように先に最前になるべ
きレフトアーム24、次にミドルアーム44、最後にラ
イトアーム46の順に待ち時間t0を介在しながら順次
移動を開始すると、各アーム24、44、46の同一移
動時間に対する速度、加速度関係は変わらないので、先
行のレフトアーム24に対しては直後行のミドルアーム
44が、又先行のミドルアーム44に対しては直後行の
ライトアーム46がそれぞれ追い付いて衝突することが
ない。その際、各アーム24、44、46の移動開始時
間が待ち時間t0だけ順次ずれるため、それ等の力があ
る程度相殺しあってフレームに加わるので、発生する振
動が少なくなる。At P4, the moving order is determined in the order of the left arm 24, the middle arm 44, and the right arm 46. When both the left and right arms 24, 46 move to the left in this way, as shown in FIG. 7, the left arm 24, which should be the foremost first, then the middle arm 44, and finally the right arm 46 If the movements are started sequentially while interposing the waiting time t0 in sequence, the speed and acceleration relation for the same movement time of each arm 24, 44, 46 does not change. However, the right arm 46 immediately following the middle arm 44 catches up with the preceding middle arm 44 and does not collide. At this time, the movement start times of the arms 24, 44, and 46 are sequentially shifted by the waiting time t0, so that the forces cancel each other to some extent and are applied to the frame, so that the generated vibration is reduced.
【0019】P3でNOと判定された場合にはP5へ行
く。P5では移動順をレフトアーム24、ライトアーム
46、ミドルアーム44の順に決定する。このようにレ
フトアーム24が左方に移動し、ライトアーム46が右
方に移動する場合には最後にミドルアーム44の移動を
開始すれば待ち時間が介在するので追突が発生しない。
なお、レフト、ライトの両アーム24、46は互いに反
対方向に移動するため、両アーム間には当然追突は発生
しないので、それ等の移動順を反対にし、或いは同時に
移動を開始してもよい。If the answer is NO in P3, the program goes to P5. In P5, the moving order is determined in the order of the left arm 24, the right arm 46, and the middle arm 44. In this way, when the left arm 24 moves to the left and the right arm 46 moves to the right, if the movement of the middle arm 44 is started last, a waiting time is interposed, and no rear-end collision occurs.
Since the left and right arms 24 and 46 move in opposite directions, the rear-end collision does not occur between the two arms. Therefore, the order of movement may be reversed or the movement may be started at the same time. .
【0020】P2でNOと判定された場合にはP6へ行
く。P6ではライトアーム46が左方に移動するか判定
する。YESの場合にはP7へ行く。P7では移動順を
ミドルアーム44、ライトアーム46、レフトアーム2
4の順に決定する。このようにレフトアーム24が右方
にライトアーム46が左方に移動する場合には最初にミ
ドルアーム44の移動を開始すれば、待ち時間が介在す
るので追突が発生しない。なお、レフト、ライトの両ア
ーム24、46が互いに反対方向に移動すると追突の恐
れはないので、それ等の移動順を反対にし、或いは同時
に移動を開始してもよい。If P2 is NO, the program goes to P6. In P6, it is determined whether the light arm 46 moves to the left. If YES, go to P7. In P7, the moving order is the middle arm 44, the right arm 46, the left arm 2
4 is determined in order. In this way, when the left arm 24 moves rightward and the right arm 46 moves leftward, if the movement of the middle arm 44 starts first, a rear-end collision does not occur because of the waiting time. If the left and right arms 24 and 46 move in directions opposite to each other, there is no danger of rear-end collision. Therefore, the order of movement may be reversed or movement may be started at the same time.
【0021】P6でNOと判定された場合にはP8へ行
く。P8では移動順をライトアーム46、ミドルアーム
44、レフトアーム24の順に決定する。このようにレ
フト、ライトの両アーム24、46が共に右方に移動す
る場合には先に最前になるべきライトアーム46、次に
ミドルアーム44、最後にレフトアーム24の順に待ち
時間を介在しながら順次移動を開始するので、追突が発
生しない。If the answer is NO in P6, the program goes to P8. In P8, the moving order is determined in the order of the right arm 46, the middle arm 44, and the left arm 24. When both the left and right arms 24, 46 move to the right in this way, a waiting time is interposed in the order of the right arm 46, which should be the first, the middle arm 44, and finally the left arm 24. Since the movement starts sequentially, no rear-end collision occurs.
【0022】各P4、P5、P7、P8の処理後にはP
9へ行く。P9では設定した待ち時間と決定したレフ
ト、ミドル、ライトの各アーム24、44、46の移動
順に従って、それぞれ対応するX軸用モータ20、3
6、38を制御する。なお、それ等のモータ20、3
6、38にはそれぞれ駆動用ドライバを経て信号が入
る。After the processing of each of P4, P5, P7 and P8, P
Go to 9. At P9, according to the set waiting time and the determined moving order of the left, middle, and right arms 24, 44, 46, the corresponding X-axis motors 20, 3 respectively.
6, 38 are controlled. The motors 20, 3
Signals are input to 6 and 38 via driving drivers, respectively.
【0023】又、各Y軸用モータ26、48、50をそ
れぞれ制御し、各プローブピン34、64、66をそれ
ぞれ対応する各測定点上に移動する。そして、各Z軸用
モータ32、60、62をそれぞれ制御し、各プローブ
ピン34、64、66をそれぞれ測定点に接触する。そ
こで、各プローブピン34、64、66を経て部品に測
定電流を流し或いは測定電圧を印加して、抵抗値、静電
容量値、インダクタンス値等を測定する。このようにし
て、各プローブピン34、64、66を移動しながら各
部品の測定を繰り返して行なうと、被検査基板18の良
否が判定できる。Further, each of the Y-axis motors 26, 48, 50 is controlled, and each probe pin 34, 64, 66 is moved to a corresponding measurement point. Then, the respective Z-axis motors 32, 60, 62 are controlled, respectively, and the respective probe pins 34, 64, 66 are respectively brought into contact with the measurement points. Thus, a measurement current is applied to the component or a measurement voltage is applied to the component via each of the probe pins 34, 64, and 66 to measure a resistance value, a capacitance value, an inductance value, and the like. In this way, by repeating the measurement of each component while moving each of the probe pins 34, 64, 66, the quality of the board to be inspected 18 can be determined.
【0024】図8は2組のX−Yユニットを有するイン
サーキットテスタのアーム移動制御処理プログラムによ
る動作を示すフローチャートであり、P11〜P19の
各処理により実行される。この場合は上記実施例におけ
るミドルアーム44を備えたX−Yユニット14に相当
するものがないので、レフトアーム24を備えたX−Y
ユニット12とライトアーム46を備えたX−Yユニッ
ト16の動作のみを考慮すればよい。なお、レフトアー
ム24に備えたホトカプラ68とライトアーム46に備
えた光遮断片74からなる光スイッチはレフトアーム2
4のライトアーム46を越える移動を防止するアーム移
動制限器として働く。そこで、P11ではレフト、ライ
トの両アーム24、46の移動開始時における先行アー
ムに対する後行アームの待ち時間を設定する。そして、
P12、P13、P16ではレフト、ライトの各アーム
24、46の移動方向の判定処理を同様に行なう。FIG. 8 is a flowchart showing the operation of the in-circuit tester having two sets of XY units according to the arm movement control processing program, which is executed by the respective processes P11 to P19. In this case, since there is no equivalent to the XY unit 14 having the middle arm 44 in the above embodiment, the XY unit having the left arm 24 is not provided.
Only the operation of the XY unit 16 including the unit 12 and the light arm 46 needs to be considered. The optical switch including the photocoupler 68 provided on the left arm 24 and the light blocking piece 74 provided on the right arm 46 is a left arm 2
4 acts as an arm movement limiter that prevents movement beyond the right arm 46. Therefore, at P11, the waiting time of the following arm with respect to the preceding arm at the start of the movement of both the left and right arms 24 and 46 is set. And
At P12, P13, and P16, determination processing of the moving direction of each of the left and right arms 24 and 46 is performed in the same manner.
【0025】しかし、P14では移動順をレフトアーム
24、ライトアーム46の順に決定する。このように両
アーム24、46が共に左方に移動する場合には前側に
なるべきレフトアーム24の移動を先に開始し、待ち時
間経過後にライトアーム46の移動を開始するので、先
行アーム24に後行アーム46が追い付いて衝突するこ
とがない。その際、両アーム24、46の移動開始時間
がずれるため、やはり発生する振動が小さくなる。However, in P14, the moving order is determined in the order of the left arm 24 and the right arm 46. When both the arms 24 and 46 move to the left in this way, the movement of the left arm 24 which should be on the front side starts first, and the movement of the right arm 46 starts after the elapse of the waiting time. There is no collision of the trailing arm 46 with the trailing arm 46. At that time, since the movement start time of the arms 24 and 46 is shifted, the generated vibration is also reduced.
【0026】P15では移動順をレフトアーム24、ラ
イトアーム46の順に決定する。又、P17では移動順
をライトアーム46、レフトアーム24の順に決定す
る。このように両アーム24、46が互いに反対方向に
移動する場合には移動順を任意の順或いは同時にして
も、当然追突は発生しない。At P15, the moving order is determined in the order of the left arm 24 and the right arm 46. In P17, the moving order is determined in the order of the right arm 46 and the left arm 24. When the two arms 24 and 46 move in the opposite directions as described above, the rear-end collision does not occur even if the moving order is arbitrary or simultaneous.
【0027】P18では移動順をライトアーム46、レ
フトアーム24の順に決定する。このように両アーム2
4、46が共に右方に移動する場合には前側になるべき
ライトアーム46の移動を先に開始し、待ち時間経過後
にレフトアーム24の移動を開始するので、追突は発生
しない。At P18, the moving order is determined in the order of the right arm 46 and the left arm 24. Thus, both arms 2
When both 4 and 46 move to the right, the movement of the right arm 46 that should be on the front side starts first, and the movement of the left arm 24 starts after the elapse of the waiting time, so that no rear-end collision occurs.
【0028】各P14、P15、P17、P18の処理
後にはP19へ行く。P19では設定した待ち時間と決
定したレフト、ライトの各アーム24、46の移動順に
従ってそれぞれ対応するX軸用モータ20、38を制御
する。After the processing of each of P14, P15, P17 and P18, the process goes to P19. In P19, the corresponding X-axis motors 20 and 38 are controlled in accordance with the set waiting time and the determined moving order of the left and right arms 24 and 46, respectively.
【0029】[0029]
【発明の効果】以上説明した本発明によれば、各アーム
の速度、加速度を大きく設定して検査時間を短縮するこ
とができる。そして、同一方向に移動する各アームの移
動開始時間の間に待ち時間を介在し、前側になるべきア
ームから順に移動を開始するためアーム間に追突が発生
しなくなる。又、各アームの移動開始時間をずらすと、
力が相殺しあってフレームに加わるため、発生する振動
が小さくなって装置の耐久性が向上する。According to the present invention described above, the speed and acceleration of each arm can be set large to shorten the inspection time. Then, a waiting time is interposed between the movement start times of the arms moving in the same direction, and the arms start moving in order from the arm that should be on the front side, so that no collision occurs between the arms. Also, if the movement start time of each arm is shifted,
Since the forces cancel each other and are applied to the frame, the generated vibration is reduced and the durability of the device is improved.
【図1】本発明による2組のX−Yユニット用アーム移
動制御装置を備えたインサーキットテスタを示す図であ
る。FIG. 1 is a diagram showing an in-circuit tester provided with two sets of XY unit arm movement control devices according to the present invention.
【図2】本発明による3組のX−Yユニット用アーム移
動制御装置を備えたインサーキットテスタを示す図であ
る。FIG. 2 is a view showing an in-circuit tester provided with three sets of XY unit arm movement control devices according to the present invention.
【図3】本発明を適用した3組のX−Yユニットを有す
るインサーキットテスタの被検査基板を設置する測定台
上の配置関係を示す平面図である。FIG. 3 is a plan view showing an arrangement relationship of an in-circuit tester having three sets of XY units to which the present invention is applied on a measuring table on which a substrate to be inspected is installed.
【図4】同インサーキットテスタの構成を示すブロック
図である。FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of the in-circuit tester.
【図5】同インサーキットテスタのコントローラを示す
ブロック図である。FIG. 5 is a block diagram showing a controller of the in-circuit tester.
【図6】同インサーキットテスタのアーム移動制御処理
プログラムによる動作を示すフローチャートである。FIG. 6 is a flowchart showing an operation of the in-circuit tester according to an arm movement control processing program.
【図7】同インサーキットテスタのアーム移動の速度、
加速度、時間関係を示す図である。FIG. 7 shows the speed of arm movement of the in-circuit tester,
It is a figure which shows an acceleration and time relationship.
【図8】2組のX−Yユニットを有するインサーキット
テスタのアーム移動制御処理プログラムによる動作を示
すフローチャートである。FIG. 8 is a flowchart showing an operation of an in-circuit tester having two sets of XY units according to an arm movement control processing program.
10…測定台 12、14、16…X−Yユニット 1
8…被検査基板 20、36、38…X軸用モータ 2
2、28、40、42、52、54…ボールねじ24、
44、46…レフト、ミドル、ライトアーム 26、4
8、50…Y軸用モータ 30、56、58…Z軸ユニ
ット 32、60、62…Z軸用モータ 34、64、
66…プローブピン 68、70、72、74…アーム
移動制限器76…インサーキットテスタ 78…操作部
80…X−Y−Z制御部82…測定部 84…コント
ローラ 96、106…アーム移動開始遅延時間設定手
段 98、108…アーム移動方向判定手段 100、
110…アーム移動順決定手段 102、112…モー
タ制御手段 104、114…アーム移動制御装置10 measuring table 12, 14, 16 ... XY unit 1
8 ... Substrate to be inspected 20, 36, 38 ... X axis motor 2
2, 28, 40, 42, 52, 54 ... ball screw 24,
44, 46: Left, middle, right arm 26, 4
8, 50: Y-axis motor 30, 56, 58 ... Z-axis unit 32, 60, 62 ... Z-axis motor 34, 64,
66 ... probe pins 68, 70, 72, 74 ... arm movement limiter 76 ... in-circuit tester 78 ... operation unit 80 ... XYZ control unit 82 ... measurement unit 84 ... controllers 96 and 106 ... arm movement start delay time Setting means 98, 108 ... arm moving direction determination means 100,
110: arm movement order determination means 102, 112 ... motor control means 104, 114 ... arm movement control device
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01R 31/28 G01R 1/06 G01R 31/02 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G01R 31/28 G01R 1/06 G01R 31/02
Claims (2)
ライトアームを備えたX−Yユニットを設置し、レフト
アームのライトアームを越える移動を防止するアーム移
動制限器を備えたインサーキットテスタにおいて、上記
レフト、ライトの両アームの移動開始時における先行ア
ームに対する後行アームの待ち時間を設定するアーム移
動開始遅延時間設定手段と、X軸に沿うレフト、ライト
の各アームの移動方向を判定するアーム移動方向判定手
段と、レフト、ライトの両アームが共に左方に移動する
場合には移動順をレフトアーム、ライトアームの順に決
定し、レフト、ライトの両アームが互いに反対方向に移
動する場合には移動順を任意の順或いは同時に決定し、
レフト、ライトの両アームが共に右方に移動する場合に
は移動順をライトアーム、レフトアームの順に決定する
アーム移動順決定手段と、設定した待ち時間と決定した
レフト、ライトの各アームの移動順に従ってそれぞれ対
応するX軸用モータを制御するモータ制御手段とからな
るアーム移動制御装置を備えることを特徴とする2組の
X−Yユニット用アーム移動制御装置を備えたインサー
キットテスタ。1. An in-circuit tester having an XY unit having a left arm and an XY unit having a right arm, and having an arm movement limiter for preventing the left arm from moving beyond the right arm. Arm movement start delay time setting means for setting the waiting time of the following arm with respect to the preceding arm at the start of movement of both the left and right arms, and determining the movement direction of each of the left and right arms along the X axis When both the left and right arms are moved to the left, the moving order is determined in the order of the left arm and the right arm, and both the left and right arms move in opposite directions. , Determine the order of movement in any order or simultaneously,
When both the left and right arms move to the right, the arm movement order determining means determines the order of movement in the order of the right arm and the left arm, and the movement of each of the left and right arms determined with the set waiting time. An in-circuit tester comprising two sets of XY unit arm movement control devices, comprising: an arm movement control device comprising: a motor control means for controlling a corresponding X-axis motor in order.
ミドルアームを備えたX−Yユニットとライトアームを
備えたX−Yユニットを設置し、レフトアームのミドル
アームを越える移動を防止すると共に、ライトアームの
ミドルアームを越える移動を防止するアーム移動制限器
を備えたインサーキットテスタにおいて、上記レフト、
ミドル、ライトの各アームの移動開始時における先行ア
ームに対する直後行アームの待ち時間を設定するアーム
移動開始遅延時間設定手段と、X軸に沿うレフト、ライ
トの各アームの移動方向を判定するアーム移動方向判定
手段と、レフト、ライトの両アームが共に左方に移動す
る場合には移動順をレフトアーム、ミドルアーム、ライ
トアームの順に決定し、レフトアームが左方に移動し、
ライトアームが右方に移動する場合には移動順の最後に
ミドルアームを決定し、レフトアームが右方に移動し、
ライトアームが左方に移動する場合には移動順の最初に
ミドルアームを決定し、レフト、ライトの両アームが共
に右方に移動する場合には移動順をライトアーム、ミド
ルアーム、レフトアームの順に決定するアーム移動順決
定手段と、設定した待ち時間と決定したレフト、ミド
ル、ライトの各アームの移動順に従ってそれぞれ対応す
るX軸用モータを制御するモータ制御手段とからなるア
ーム移動制御装置を備えることを特徴とする3組のX−
Yユニット用アーム移動制御装置を備えたインサーキッ
トテスタ。2. An XY unit with a left arm, an XY unit with a middle arm, and an XY unit with a right arm are installed to prevent the left arm from moving beyond the middle arm. In an in-circuit tester provided with an arm movement limiter for preventing movement of the right arm beyond the middle arm, the left,
Arm movement start delay time setting means for setting the waiting time of the immediately succeeding arm with respect to the preceding arm at the start of movement of each of the middle and right arms, and arm movement for determining the movement direction of each of the left and right arms along the X axis. When the direction determination means and both the left and right arms move to the left, the moving order is determined in the order of the left arm, the middle arm, and the right arm, and the left arm moves to the left,
When the right arm moves to the right, the middle arm is determined at the end of the moving order, the left arm moves to the right,
If the right arm moves to the left, the middle arm is determined at the beginning of the movement order.If both the left and right arms move to the right, the movement order is set to right arm, middle arm, and left arm. An arm movement control device comprising: arm movement order determination means for determining the order; and motor control means for controlling the corresponding X-axis motors in accordance with the set waiting time and the determined movement order of the left, middle, and right arms. Three sets of X-
An in-circuit tester equipped with a Y unit arm movement control device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03057919A JP3075423B2 (en) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | In-circuit tester with two or three sets of XY unit arm movement controllers |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03057919A JP3075423B2 (en) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | In-circuit tester with two or three sets of XY unit arm movement controllers |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04273072A JPH04273072A (en) | 1992-09-29 |
JP3075423B2 true JP3075423B2 (en) | 2000-08-14 |
Family
ID=13069408
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP03057919A Expired - Lifetime JP3075423B2 (en) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | In-circuit tester with two or three sets of XY unit arm movement controllers |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3075423B2 (en) |
-
1991
- 1991-02-28 JP JP03057919A patent/JP3075423B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH04273072A (en) | 1992-09-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3075423B2 (en) | In-circuit tester with two or three sets of XY unit arm movement controllers | |
JP3075422B2 (en) | In-circuit tester with two or three sets of XY unit arm movement controllers | |
JP3034583B2 (en) | Inspection order setting device for probe movable circuit board inspection device | |
JP2860697B2 (en) | Probe pin support mechanism of XY unit for in-circuit tester | |
JP3401316B2 (en) | Probe position adjustment device corresponding to the height of mounted parts of XY type in-circuit tester | |
JP3276755B2 (en) | Detecting soldering failure of leads on mounted components | |
EP0309109B1 (en) | Testing process for electronic devices | |
JP2953626B2 (en) | Support rod standing point determination device for circuit board inspection device | |
JP3844423B2 (en) | Distance measuring device and distance measuring method | |
JP2772115B2 (en) | Data processing method and apparatus for printed circuit board or mounting board | |
JP2899116B2 (en) | Z-axis origin search device for in-circuit tester | |
JP2548703Y2 (en) | Circuit board inspection equipment | |
JP2877882B2 (en) | Component mounting position input method, mounting position input device, and NC data creation method using the same | |
JP2022540617A (en) | Method and apparatus for controlling staging of test specimens | |
JP2618492B2 (en) | Thick film circuit direct drawing method | |
JP3006276B2 (en) | Work assembly accuracy measurement method | |
JPH04291130A (en) | Deformation test robot | |
JPS63222276A (en) | Ic tester | |
JPH02216674A (en) | Disk device | |
JPS61283845A (en) | Comprehensive tester for electric car | |
JPS5842915A (en) | Automatic balancing type recorder | |
JPS5933316B2 (en) | Typewriter drive mechanism | |
JPH0972854A (en) | Visual inspection apparatus for board of x-y-type in-circuit tester | |
JPH0521707A (en) | Trimming apparatus for semiconductor element | |
JPH0682337A (en) | Method for inspecting horn of pad for steering wheel |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110609 Year of fee payment: 11 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110609 Year of fee payment: 11 |