JPH0446217Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この考案は、基板検査装置用Ｘ−Ｙユニツトに
関する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] This invention relates to an X-Y unit for a board inspection device.

［従来の技術］ 半導体素子等の部品が実装された被測定基板に
ついては、品質確保の観点から、所期の目的に従
つて性能を有しているか否かを検査する必要があ
る。[Prior Art] From the viewpoint of ensuring quality, it is necessary to inspect a board to be measured on which components such as semiconductor elements are mounted to see if it has performance in accordance with an intended purpose.

このような場合に用いられる基板検査装置に
は、通常、各一本ずつのテストプローブが取り付
けられた二組のＸ−Ｙユニツトが組み込まれてお
り、これらのテストプローブは、相互に干渉しな
い範囲でそれぞれＸ軸方向とＹ軸方向との任意方
向に移動可能となつて配設されている。 The board inspection equipment used in such cases usually incorporates two sets of X-Y units each with one test probe attached, and these test probes are placed within a range where they do not interfere with each other. They are arranged so as to be movable in arbitrary directions of the X-axis direction and the Y-axis direction.

第４図は、上記したＸ−Ｙユニツトについての
従来からあるタイプの構成例を示した平面図であ
る。 FIG. 4 is a plan view showing an example of a conventional type of configuration of the above-mentioned X-Y unit.

すなわち、Ｘ−Ｙユニツト２１は、平面からみ
て略Ｌ字形となつて配設されているＸ軸ガイド腕
２２とＹ軸ガイド腕２３とを有して構成されてお
り、Ｙ軸ガイド腕２３は、Ｘ軸ガイド腕２２にそ
の一端部にて支持されながら長手方向であるＸ軸
方向に移動可能となつて配設されている。また、
このようにして移動可能に配設されているＹ軸ガ
イド腕２３には、このＹ軸ガイド腕２３の長手方
向であるＹ軸方向に沿つて移動可能に設置された
移動部２４が搭載されており、この移動部２４の
内側部には、テストプロード２５が平面に対し昇
降可能となつて固設されている。 That is, the X-Y unit 21 includes an X-axis guide arm 22 and a Y-axis guide arm 23, which are arranged in a substantially L shape when viewed from above. , is disposed so as to be movable in the X-axis direction, which is the longitudinal direction, while being supported at one end by the X-axis guide arm 22. Also,
The Y-axis guide arm 23 movably disposed in this manner is equipped with a moving section 24 that is movably disposed along the Y-axis direction, which is the longitudinal direction of the Y-axis guide arm 23. A test probe 25 is fixed to the inner side of the moving part 24 so as to be movable up and down with respect to a plane.

なお、Ｘ軸ガイド腕２２に対するＹ軸ガイド腕
２３の移動と、このＹ軸ガイド腕２３に搭載され
ている移動部２４の移動とは、制御可能に配設さ
れたステツピングモータ２７と、このステツピン
グモータ２７により回転駆動されるボールねじ２
８により付与されるものである。 The movement of the Y-axis guide arm 23 with respect to the X-axis guide arm 22 and the movement of the moving unit 24 mounted on this Y-axis guide arm 23 are controlled by a stepping motor 27 disposed so as to be controllable. Ball screw 2 rotationally driven by stepping motor 27
8.

このようにして構成されているＸ−Ｙユニツト
２１は、各別に自由方向に移動可能な２本のテス
トプローブ２５を確保する必要から二組をセツト
として用い、かつ、平面からみて囲枠３０を形成
するように設置することで、この囲枠３０内にテ
ストプローブ２５の移動可能領域が形成されてい
る。このようにして形成される囲枠３０内には、
被測定基板３１を正確に位置決めして配置し、し
かる後、図示しないコントローラに予め与えられ
ている測定ポイントのデータに従い、各テストプ
ローブ２５をＸ軸とＹ軸方向に移動させること
で、測定ポイントである所定の位置へと到達させ
てこれを降下させて接触させることによりプロー
ビングし、情報を得ることができるようになつて
いる。このようにして得られた情報は、L.C.Rメ
ータ等の測定器に取り込まれ、良品基板から既に
得ている情報としての測定値と比較され、当該被
測定基板の良否を判定することができるようにな
つている。 The X-Y unit 21 configured in this manner uses two test probes 25 as a set because it is necessary to secure two test probes 25 that can each move in a free direction. By installing the test probe 25 in such a manner that the test probe 25 is movable, a movable area for the test probe 25 is formed within the surrounding frame 30. In the surrounding frame 30 formed in this way,
After accurately positioning and arranging the substrate 31 to be measured, each test probe 25 is moved in the X-axis and Y-axis directions according to measurement point data given in advance to a controller (not shown), thereby determining the measurement point. By reaching a certain predetermined position and lowering it to make contact, it is possible to perform probing and obtain information. The information obtained in this way is taken into a measuring device such as an LCR meter, and compared with the measured value as information already obtained from a non-defective board, so that it is possible to judge whether the board under test is good or bad. It's summery.

［考案の解決しようとする問題点］ このように、従来例のように二組のＸ−Ｙユニ
ツト２１を用いるならば、２本のテストプローブ
２５を相互に干渉し合わない範囲で任意の方向へ
と移動させることができるので、所望する測定ポ
イントに各テストプローブ２５を容易に移動させ
ることができる。[Problems to be solved by the invention] As described above, if two sets of X-Y units 21 are used as in the conventional example, the two test probes 25 can be moved in any direction within the range that they do not interfere with each other. Therefore, each test probe 25 can be easily moved to a desired measurement point.

しかしながら、このような従来例によるとき
は、必然的に二組のＸ−Ｙユニツト２１が必要と
なり、かつ、被測定基板３１を囲繞するようにし
て囲枠３０を形成しなければならず、この囲枠３
０内への被測定基板３１のセツテイングや、検査
後の囲枠３０内からの被測定基板３１の取り出し
のための作業が煩雑化するという問題があつた。 However, when using such a conventional example, two sets of X-Y units 21 are inevitably required, and the surrounding frame 30 must be formed to surround the substrate to be measured 31. Surrounding frame 3
There is a problem in that the work for setting the substrate 31 to be measured in the frame 30 and taking out the substrate 31 to be measured from within the enclosure 30 after inspection becomes complicated.

また、このような用いられ方をするＸ−Ｙユニ
ツト２１は、精密な機構を有して形成されている
ことから必然的に高価であり、このような高価な
機材が二組も必要となることから、その全体コス
トがより高いものとなつてしまうという問題もあ
つた。 Furthermore, since the X-Y unit 21 used in this manner is formed with a precise mechanism, it is inevitably expensive, and two sets of such expensive equipment are required. Therefore, there was a problem that the overall cost became higher.

［問題点を解決するための手段］ この考案は、上記従来技術の問題点に鑑みてな
されたものであり、その構成上の特徴は、Ｘ−Ｙ
ユニツトを構成するいずれか一方のガイド腕を他
方のガイド腕に沿わせて往復移動可能に配設する
とともに、前記移動可能なガイド腕には、被測定
基板に接触させるための固定プローブと回転移動
可能な回転プローブとを有し、さらにこれらを一
体として回転、かつ昇降可能とした移動ユニツト
部を移動可能に配設したことにある。[Means for solving the problems] This invention was made in view of the problems of the prior art described above, and its structural features are
One of the guide arms constituting the unit is arranged to be reciprocally movable along the other guide arm, and the movable guide arm has a fixed probe for contacting the substrate to be measured and a rotationally movable probe. The present invention has a rotary probe that can be rotated, and a movable unit that can rotate these as a unit and move them up and down is movably disposed.

［実施例］ 以下、図面に基づいてこの考案の一実施例を説
明する。[Example] Hereinafter, an example of this invention will be described based on the drawings.

第１図は、この考案に係るＸ−Ｙユニツト１の
好ましい概略構成例を示す平面図であり、適宜の
図示しない昇降機構に連結されて昇降可能に形成
されているＸ軸ガイド腕２には、予め回転制御さ
れているステツピングモータ１５により回転駆動
されるボールねじ１６などのような適宜の制御さ
れた駆動機構を介することで、長手方向であるＸ
軸方向への往復移動を可能としたＹ軸ガイド腕３
がその一端部を介して支持されている。このよう
にしてＸ軸ガイド腕２に支持されているＹ軸ガイ
ド腕３には、同じく、予め回転制御されているス
テツピングモータ１７により回転駆動されるボー
ルねじ１８などのような適宜の制御された駆動機
構を介することで、その長手方向であるＹ軸方向
への往復移動を可能とした移動ユニツト部４が支
持部１４を介することで搭載されている。 FIG. 1 is a plan view showing a preferred example of a schematic configuration of an X-Y unit 1 according to the invention. , the longitudinal direction is
Y-axis guide arm 3 that enables reciprocating movement in the axial direction
is supported through one end thereof. The Y-axis guide arm 3, which is supported by the X-axis guide arm 2 in this manner, is equipped with an appropriate control device such as a ball screw 18 which is rotationally driven by a stepping motor 17 whose rotation is also controlled in advance. A moving unit section 4 is mounted via a support section 14, which enables reciprocating movement in the Y-axis direction, which is the longitudinal direction, by means of a drive mechanism.

第２図は、この移動ユニツト部４の具体的な構
成を示す側面図であり、第１モータ６が載置固定
されている第１モータ用取付板５には、その下底
周縁部に垂設された固定プローブ１０と、前記第
１モータ６の回転軸７に固着され、かつ、その周
縁部に垂設された回転プローブ９を有する回転体
８とが配設されている。このうち、固定プローブ
１０と回転プローブ９との位置関係については、
第１モータ６の回転軸７の回転と共に回転する回
転体８における回転プローブ９の回転半径から若
干離間させた部位、つまり、第３図における間隔
ａを隔てた位置の第１モータ用取付板５に固定プ
ローブ１０が垂設されている。 FIG. 2 is a side view showing a specific configuration of the moving unit section 4. The first motor mounting plate 5 on which the first motor 6 is mounted and fixed has a vertically extending section extending from its lower bottom periphery. A rotating body 8 having a fixed probe 10 and a rotating probe 9 fixed to the rotating shaft 7 of the first motor 6 and vertically disposed on the peripheral edge of the rotating body 8 is disposed. Of these, regarding the positional relationship between the fixed probe 10 and the rotating probe 9,
The first motor mounting plate 5 is located at a portion of the rotating body 8 that rotates with the rotation of the rotating shaft 7 of the first motor 6, which is slightly spaced apart from the rotation radius of the rotary probe 9, that is, at a distance a in FIG. 3. A fixed probe 10 is vertically installed.

一方、前記第１モータ用取付板５は、その上方
に配置されている第２モータ用取付板１１に載置
固定されている第２モータ１２からの回転軸１３
が固着されて、回転可能となつてこれに支持され
ている。また、この第２モータ用取付板１１は、
油圧やモータなどの適宜の駆動機構により昇降可
能に形成されている。 On the other hand, the first motor mounting plate 5 is connected to a rotating shaft 13 from a second motor 12 mounted and fixed on a second motor mounting plate 11 disposed above the first motor mounting plate 5.
is fixed and rotatably supported thereon. Moreover, this second motor mounting plate 11 is
It is configured to be movable up and down by an appropriate drive mechanism such as hydraulic pressure or a motor.

この考案は、このようにして構成されているの
で、測定時における測定ポイントへの固定プロー
ブ１０と回転プローブ９との移動は次のようにし
て行なわれる。 Since this invention is constructed in this way, the movement of the fixed probe 10 and the rotary probe 9 to the measurement point during measurement is performed as follows.

すなわち、Ｘ−Ｙユニツト１の移動可能領域内
にセツトされた被測定基板（図示せず）に対して
は、まず、Ｙ軸ガイド腕３を予め定められている
測定ポイントのデータに基づき、Ｘ軸ガイド腕２
の長手方向であるＸ軸方向の所定の位置まで移動
させる。次いで、固定プローブ１０と回転プロー
ブ９とを有する移動ユニツト部４をＹ軸ガイド腕
３に沿わせて所定の位置まで移動させる。このよ
うにして被測定基板における測定ポイントのおお
よその位置に移動ユニツト部４を移動させた後
は、第１モータ６によりその回転軸７に直結され
ている回転体８を回転させて回転プローブ９と固
定プローブ１０との間の間隔を測定ポイントであ
る２点間の間隔と一致させる。この際における回
転プローブ９と固定プローブ１０との間の間隔に
ついては、第３図に示すように、最小がａ、最大
がｂとなる範囲で適宜の間隔を設定することがで
きる。 That is, for a substrate to be measured (not shown) set within the movable area of the X-Y unit 1, first the Y-axis guide arm 3 is moved to the Axis guide arm 2
to a predetermined position in the X-axis direction, which is the longitudinal direction. Next, the moving unit section 4 having the fixed probe 10 and the rotary probe 9 is moved along the Y-axis guide arm 3 to a predetermined position. After moving the moving unit section 4 to the approximate position of the measurement point on the substrate to be measured in this way, the first motor 6 rotates the rotary body 8 directly connected to the rotary shaft 7 to rotate the rotary probe 9. The distance between the fixed probe 10 and the fixed probe 10 is made to match the distance between two measurement points. As for the distance between the rotating probe 9 and the fixed probe 10 at this time, as shown in FIG. 3, an appropriate distance can be set within a range where the minimum is a and the maximum is b.

このようにして回転プローブ９と固定プローブ
１０との間の間隔を設定した後は、第２モータ１
２によりその回転軸１３に直結させた第１モータ
取付板５を必要とする角度だけ回転させることに
より、回転プローブ９と固定プローブ１０とを測
定ポイントの位置に一致させることができる。こ
のようにして回転プローブ９と固定プローブ１０
とを測定ポイントの位置に一致させた後は、第２
モータ取付板１１を降下させることで、被測定基
板の測定ポイントに回転プローブ９と固定プロー
ブ１０とを接触させることができる。 After setting the distance between the rotating probe 9 and the fixed probe 10 in this way, the second motor 1
By rotating the first motor mounting plate 5, which is directly connected to the rotating shaft 13 by a required angle, the rotary probe 9 and the fixed probe 10 can be aligned with the position of the measurement point. In this way, the rotating probe 9 and the fixed probe 10
After matching the position of the measurement point, the second
By lowering the motor mounting plate 11, the rotary probe 9 and the fixed probe 10 can be brought into contact with the measurement point on the substrate to be measured.

かくして得られた測定値は、L.C.Rメータ等の
測定器に情報として取り込むことで、既に良品基
板から得てあるデータと比較することができ、被
測定基板の良否の判定を行なうことができる。 By importing the thus obtained measured values as information into a measuring device such as an LCR meter, it can be compared with data already obtained from non-defective boards, and it is possible to determine whether the board to be measured is good or bad.

［考案の効果］ 以上述べたようにこの考案によれば、一組のＸ
−Ｙユニツトを用いるのみで被測定基板の任意の
測定ポイントを自由に測定することができるの
で、従来のように配置された二組のＸ−Ｙユニツ
トにより形成される囲枠内に被測定基板をセツト
しなければならない煩雑さを解消して作業性を改
善することができるのみならず、比較的高価なＸ
−Ｙユニツトは一組で用が足り、全体コストの低
減化に寄与させることができる。[Effect of the invention] As stated above, according to this invention, a set of
- Since it is possible to freely measure any measurement point on the board to be measured just by using the Y unit, the board to be measured can be placed within the surrounding frame formed by two sets of This not only improves work efficiency by eliminating the complexity of having to set up the
- One set of Y units is sufficient, and it can contribute to reducing the overall cost.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は、この考案に係る基板検査装置用Ｘ−
Ｙユニツトの一実施例としての概略構成を示す平
面図、第２図は、Ｘ−ＹユニツトにおけるＹ軸ガ
イド腕に搭載されている移動ユニツト部の構成を
示す側面図、第３図は、移動ユニツト部における
固定プローブと回転プローブとの間の位置関係を
示す説明図、第４図は、従来からあるＸ−Ｙユニ
ツトの構成例を示す平面図である。 １……Ｘ−Ｙユニツト、２……Ｘ軸ガイド腕、
３……Ｙ軸ガイド腕、４……移動ユニツト部、５
……第１モータ取付板、６……第１モータ、７…
…回転軸、８……回転体、９……回転プローブ、
１０……固定プローブ、１１……第２モータ取付
板、１２……第２モータ、１３……回転軸、１４
……支持部、１５……ステツピングモータ、１６
……ボールねじ、１７……ステツピングモータ、
１８……ボールねじ。 FIG. 1 shows an X-
FIG. 2 is a side view showing the configuration of the moving unit mounted on the Y-axis guide arm of the X-Y unit, and FIG. FIG. 4, which is an explanatory diagram showing the positional relationship between the fixed probe and the rotating probe in the unit section, is a plan view showing an example of the configuration of a conventional X-Y unit. 1...X-Y unit, 2...X-axis guide arm,
3... Y-axis guide arm, 4... Moving unit section, 5
...First motor mounting plate, 6...First motor, 7...
...Rotating axis, 8... Rotating body, 9... Rotating probe,
10...Fixed probe, 11...Second motor mounting plate, 12...Second motor, 13...Rotating shaft, 14
... Support part, 15 ... Stepping motor, 16
...Ball screw, 17...Stepping motor,
18...Ball screw.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] Ｘ−Ｙユニツトを構成するいずれか一方のガイ
ド腕を他方のガイド腕に沿わせて往復移動可能に
配設するとともに、前記移動可能なガイド腕に
は、被測定基板に接触させるための固定プローブ
と回転移動可能な回転プローブとを有し、さらに
これらを一体として回転、かつ昇降可能とした移
動ユニツト部を移動可能に配設したことを特徴と
する基板検査装置用Ｘ−Ｙユニツト。 One of the guide arms constituting the X-Y unit is arranged so as to be reciprocally movable along the other guide arm, and the movable guide arm is provided with a fixed probe for contacting the substrate to be measured. 1. An X-Y unit for a substrate inspection apparatus, comprising: a rotary probe which is rotatably movable; and a movable unit which allows these to be rotated and moved up and down as a unit.