JP2858630B2 - Ftirの移動鏡制御装置 - Google Patents
Ftirの移動鏡制御装置Info
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- JP2858630B2 JP2858630B2 JP11423394A JP11423394A JP2858630B2 JP 2858630 B2 JP2858630 B2 JP 2858630B2 JP 11423394 A JP11423394 A JP 11423394A JP 11423394 A JP11423394 A JP 11423394A JP 2858630 B2 JP2858630 B2 JP 2858630B2
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- Japan
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- center burst
- mirror
- burst position
- movable mirror
- beam splitter
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はフーリエ変換型赤外分光
光度計(FTIR)において、クアドラチュア・コント
ロールを用いて移動鏡の制御を行なう移動鏡制御装置に
関するものである。FTIRは、物質の定性分析や定量
分析に用いられ、高分子材料、半導体を初め、有機物質
及び無機物質を問わず幅広い物質に対して利用すること
ができる。
光度計(FTIR)において、クアドラチュア・コント
ロールを用いて移動鏡の制御を行なう移動鏡制御装置に
関するものである。FTIRは、物質の定性分析や定量
分析に用いられ、高分子材料、半導体を初め、有機物質
及び無機物質を問わず幅広い物質に対して利用すること
ができる。
【0002】
【従来の技術】FTIRでは試料の測定を行なう主干渉
計の他に、主干渉計に対してデータ収集の起動や移動鏡
の摺動速度の安定化のためにコントロール干渉計を備え
ている。コントロール干渉計では、移動鏡の位置を検出
するためにクアドラチュア・コントロールと称される手
法が採用されている。クアドラチュア・コントロールで
は、ビームスプリッタと固定鏡の間にλ/8板などの移
相板を備え、ビームスプリッタで会合した干渉信号を偏
光ビームスプリッタによってP波とS波に分離する。分
離されたそれぞれの偏光成分をそれぞれの検出器で検出
し、両検出器の検出信号の位相関係と波数とから移動鏡
の位置を検出する。
計の他に、主干渉計に対してデータ収集の起動や移動鏡
の摺動速度の安定化のためにコントロール干渉計を備え
ている。コントロール干渉計では、移動鏡の位置を検出
するためにクアドラチュア・コントロールと称される手
法が採用されている。クアドラチュア・コントロールで
は、ビームスプリッタと固定鏡の間にλ/8板などの移
相板を備え、ビームスプリッタで会合した干渉信号を偏
光ビームスプリッタによってP波とS波に分離する。分
離されたそれぞれの偏光成分をそれぞれの検出器で検出
し、両検出器の検出信号の位相関係と波数とから移動鏡
の位置を検出する。
【0003】測定の開始に先立ってセンターバースト位
置を決定する。センターバースト位置は移動鏡を移動さ
せたときにインターフェログラムが最大値をとる位置と
して検出することができる。測定ではその決定されたセ
ンターバースト位置を中心として+方向と−方向にそれ
ぞれ指定された波数分解で測定できるような範囲で移動
鏡を移動させる。
置を決定する。センターバースト位置は移動鏡を移動さ
せたときにインターフェログラムが最大値をとる位置と
して検出することができる。測定ではその決定されたセ
ンターバースト位置を中心として+方向と−方向にそれ
ぞれ指定された波数分解で測定できるような範囲で移動
鏡を移動させる。
【0004】重力方向がつり合い位置である移動鏡を用
いたFTIRでは、センターバースト位置を決定する動
作を図1に示す。破線で示された位置がセンターバース
ト位置とする。まず重力つり合い位置でリセットし、
移動開始位置から位置まで2cm-1の波数分解に該
当する距離(約−2.5mm、測定点数で8192分)
だけ移動させて摺動方向を折り返し、2cm-1の波数分
解を得るための区間(約5mm、16384点分)を
移動させ、その間にデータ収集を行なう。その区間で
の移動鏡の移動の間で得られたインターフェログラムの
最大値をとる位置を時点で計算してその位置をセンタ
ーバースト位置とし、時点ではセンターバースト位置
を中心に指定された波数分解で測定するように測定開始
位置を計算し、位置を測定開始位置として摺動方向を
折り返し、1回目のデータ収集を行なう。2cm-1の波
数分解を得るための移動鏡の移動に要する時間は約2秒
である。
いたFTIRでは、センターバースト位置を決定する動
作を図1に示す。破線で示された位置がセンターバース
ト位置とする。まず重力つり合い位置でリセットし、
移動開始位置から位置まで2cm-1の波数分解に該
当する距離(約−2.5mm、測定点数で8192分)
だけ移動させて摺動方向を折り返し、2cm-1の波数分
解を得るための区間(約5mm、16384点分)を
移動させ、その間にデータ収集を行なう。その区間で
の移動鏡の移動の間で得られたインターフェログラムの
最大値をとる位置を時点で計算してその位置をセンタ
ーバースト位置とし、時点ではセンターバースト位置
を中心に指定された波数分解で測定するように測定開始
位置を計算し、位置を測定開始位置として摺動方向を
折り返し、1回目のデータ収集を行なう。2cm-1の波
数分解を得るための移動鏡の移動に要する時間は約2秒
である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】センターバースト位置
を決定するために、初期位置(重力つり合い位置)を中
心として所定の範囲だけ移動鏡を移動させてその範囲で
インターフェログラムが最大となる位置をセンターバー
スト位置として決定するのであるが、移動鏡の設置がず
れている場合やFTIRが置かれている台の面が大きく
傾いている場合には、センターバースト位置が初期位置
から大きくずれることになるため、センターバースト位
置を正確に決定することができない場合が生じる。その
ような事態を避けるためには、センターバースト位置を
決定するための移動鏡の移動範囲を大きく設定しておく
必要があるが、センターバンスト位置決定のための移動
鏡の移動は測定ごとに行なわなければならないため、測
定に無駄な時間を要する問題が生じる。
を決定するために、初期位置(重力つり合い位置)を中
心として所定の範囲だけ移動鏡を移動させてその範囲で
インターフェログラムが最大となる位置をセンターバー
スト位置として決定するのであるが、移動鏡の設置がず
れている場合やFTIRが置かれている台の面が大きく
傾いている場合には、センターバースト位置が初期位置
から大きくずれることになるため、センターバースト位
置を正確に決定することができない場合が生じる。その
ような事態を避けるためには、センターバースト位置を
決定するための移動鏡の移動範囲を大きく設定しておく
必要があるが、センターバンスト位置決定のための移動
鏡の移動は測定ごとに行なわなければならないため、測
定に無駄な時間を要する問題が生じる。
【0006】また、移動鏡の調整は固定鏡からビームス
プリッタまでの距離と移動鏡からビームスプリッタまで
の距離とを等しくするのと、干渉合せとを同じに行う必
要があるため、±1.5mm程度の誤差は避けられず、
例えば図7に示す実施例の移動鏡摺動機構6について考
えると、そのプレート132,133の長さを100m
mとすると、傾きの許容量は±0.5°程度しかなくな
る。本発明は測定時のセンターバースト位置決定を短時
間で、かつ正確に行なうことができるようにすることを
目的とするものである。
プリッタまでの距離と移動鏡からビームスプリッタまで
の距離とを等しくするのと、干渉合せとを同じに行う必
要があるため、±1.5mm程度の誤差は避けられず、
例えば図7に示す実施例の移動鏡摺動機構6について考
えると、そのプレート132,133の長さを100m
mとすると、傾きの許容量は±0.5°程度しかなくな
る。本発明は測定時のセンターバースト位置決定を短時
間で、かつ正確に行なうことができるようにすることを
目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】図2に本発明を示す。主
干渉計202とコントロール干渉計204は固定鏡と移
動鏡を共通にしており、移動鏡の移動は移動鏡制御部2
00により制御される。センターバースト位置検出部2
06は調整時にコントロール干渉計からの干渉信号と主
干渉計からのインターフェログラムデータとを入力し、
インターフェログラムが最大値をとるセンターバースト
位置を検出する。その検出されたセンターバースト位置
は不揮発性メモリ装置からなるセンターバースト位置記
憶部208に記憶される。測定時には移動鏡制御部20
0はセンターバースト位置記憶部208に記憶されたセ
ンターバースト位置を基準として測定開始点を決定す
る。
干渉計202とコントロール干渉計204は固定鏡と移
動鏡を共通にしており、移動鏡の移動は移動鏡制御部2
00により制御される。センターバースト位置検出部2
06は調整時にコントロール干渉計からの干渉信号と主
干渉計からのインターフェログラムデータとを入力し、
インターフェログラムが最大値をとるセンターバースト
位置を検出する。その検出されたセンターバースト位置
は不揮発性メモリ装置からなるセンターバースト位置記
憶部208に記憶される。測定時には移動鏡制御部20
0はセンターバースト位置記憶部208に記憶されたセ
ンターバースト位置を基準として測定開始点を決定す
る。
【0008】
【作用】図3と図5(A)により調整時にセンターバー
スト位置を決定し、そのセンターバースト位置を記憶す
る動作を示す。重力つり合い位置でリセットし、その
重力つり合い位置から所定範囲にわたって移動鏡を移動
させる(→)。調整時には測定時よりも広い範囲に
わたって移動させる。例えば、波数分解で1cm-1分
(約±5mm)の範囲、すなわち重力つり合い位置か
ら→で示されるように(−)方向に約5mm、測定
点数で16384点分移動させ、位置で摺動方向を折
り返し、1cm-1(約10mm、32768点分のデー
タ収集を行ない()、データ収集後摺動方向を折り返
す。時点でインターフェログラムの最大値をとる位置
(センターバースト位置)を計算し、時点でそのセン
ターバースト位置を不揮発性メモリ装置、例えばEEP
ROM(電気的に消去可能なPROM)に記憶する。
スト位置を決定し、そのセンターバースト位置を記憶す
る動作を示す。重力つり合い位置でリセットし、その
重力つり合い位置から所定範囲にわたって移動鏡を移動
させる(→)。調整時には測定時よりも広い範囲に
わたって移動させる。例えば、波数分解で1cm-1分
(約±5mm)の範囲、すなわち重力つり合い位置か
ら→で示されるように(−)方向に約5mm、測定
点数で16384点分移動させ、位置で摺動方向を折
り返し、1cm-1(約10mm、32768点分のデー
タ収集を行ない()、データ収集後摺動方向を折り返
す。時点でインターフェログラムの最大値をとる位置
(センターバースト位置)を計算し、時点でそのセン
ターバースト位置を不揮発性メモリ装置、例えばEEP
ROM(電気的に消去可能なPROM)に記憶する。
【0009】調整時に波数分解1cm-1分(約10m
m、32768点分)のデータ収集を行なうために移動
鏡を移動させるのに要する時間は約4秒であるが、調整
時のみの移動であるため問題にならない。ビームスプリ
ッタ調整の誤差が±1.5mmとすると、傾きの許容量
は±2°程度まで広くなる。
m、32768点分)のデータ収集を行なうために移動
鏡を移動させるのに要する時間は約4秒であるが、調整
時のみの移動であるため問題にならない。ビームスプリ
ッタ調整の誤差が±1.5mmとすると、傾きの許容量
は±2°程度まで広くなる。
【0010】測定時の動作を図4と図5(B)により説
明する。重力つり合い位置でリセットし、センターバ
ースト位置をEEPROMから呼び出す。その呼び出さ
れたセンターバースト位置までの距離をLとする。
(−)方向に摺動し(→)、センターバースト位置
を中心に波数分解2cm-1で測定するように測定開始点
を計算し、その測定開始点まで移動する。測定開始点
で摺動方向を折り返し、2cm-1(約5mm、163
84点分)のデータ収集を行ない(区間)、データ収
集後、時点でインターフェログラムが最大値をとる位
置(センターバースト位置)を計算し、摺動方向を折り
返す。時点で、求められたセンターバースト位置を中
心に指定された波数分解で測定するように測定開始位置
を計算し、その計算された測定開始位置まで摺動した
後、摺動方向を折り返し、1回目のデータ収集を行なう
(区間)。以後、2回目、3回目とデータ収集を繰り
返す。
明する。重力つり合い位置でリセットし、センターバ
ースト位置をEEPROMから呼び出す。その呼び出さ
れたセンターバースト位置までの距離をLとする。
(−)方向に摺動し(→)、センターバースト位置
を中心に波数分解2cm-1で測定するように測定開始点
を計算し、その測定開始点まで移動する。測定開始点
で摺動方向を折り返し、2cm-1(約5mm、163
84点分)のデータ収集を行ない(区間)、データ収
集後、時点でインターフェログラムが最大値をとる位
置(センターバースト位置)を計算し、摺動方向を折り
返す。時点で、求められたセンターバースト位置を中
心に指定された波数分解で測定するように測定開始位置
を計算し、その計算された測定開始位置まで摺動した
後、摺動方向を折り返し、1回目のデータ収集を行なう
(区間)。以後、2回目、3回目とデータ収集を繰り
返す。
【0011】試料が変わるごとに、測定の開始に先立っ
て図4と図5(B)に示されるように、初めにセンター
バースト位置を正確に決定するための移動鏡の移動を行
なうが、調整時に決定されたセンターバースト位置がセ
ンターバースト位置記憶部に記憶されているので、その
記憶されたセンターバースト位置を確認するための移動
鏡の移動であるので、測定時と同程度又はそれよりも短
い範囲の移動でもセンターバースト位置を正確に決定す
ることができる。そのため、測定時のセンターバースト
位置決定に必要な時間は短縮される。また、移動鏡調整
時に、装置調整時に決定されてセンターバースト位置記
憶部に記憶されているセンターバースト位置を用いるこ
とができるので、±1.5mm程度の現行の誤差を確認
しながら、移動鏡調整の誤差を少なくすることができ
る。
て図4と図5(B)に示されるように、初めにセンター
バースト位置を正確に決定するための移動鏡の移動を行
なうが、調整時に決定されたセンターバースト位置がセ
ンターバースト位置記憶部に記憶されているので、その
記憶されたセンターバースト位置を確認するための移動
鏡の移動であるので、測定時と同程度又はそれよりも短
い範囲の移動でもセンターバースト位置を正確に決定す
ることができる。そのため、測定時のセンターバースト
位置決定に必要な時間は短縮される。また、移動鏡調整
時に、装置調整時に決定されてセンターバースト位置記
憶部に記憶されているセンターバースト位置を用いるこ
とができるので、±1.5mm程度の現行の誤差を確認
しながら、移動鏡調整の誤差を少なくすることができ
る。
【0012】
【実施例】図6に本発明が適用されるFTIRの一例を
示す。2はビームスプリッタ及びコンペンセータ(単に
ビームスプリッタという)、4は固定鏡、6は移動鏡で
あり、ビームスプリッタ2は固定鏡4の法線方向及び移
動鏡6の法線方向に対して30°の傾きをもって配置さ
れている。固定鏡4は固定鏡支持ブロック8に搭載さ
れ、移動鏡6は摺動機構14に支持され、摺動機構14
はリニアモータ16によって移動鏡6をビームスプリッ
タ2に近づく方向と遠ざかる方向に移動させる。18は
リニアモータ16に電流を流すパワーアンプ、20はパ
ワーアンプ18を介してリニアモータ16を制御する摺
動コントローラである。
示す。2はビームスプリッタ及びコンペンセータ(単に
ビームスプリッタという)、4は固定鏡、6は移動鏡で
あり、ビームスプリッタ2は固定鏡4の法線方向及び移
動鏡6の法線方向に対して30°の傾きをもって配置さ
れている。固定鏡4は固定鏡支持ブロック8に搭載さ
れ、移動鏡6は摺動機構14に支持され、摺動機構14
はリニアモータ16によって移動鏡6をビームスプリッ
タ2に近づく方向と遠ざかる方向に移動させる。18は
リニアモータ16に電流を流すパワーアンプ、20はパ
ワーアンプ18を介してリニアモータ16を制御する摺
動コントローラである。
【0013】ビームスプリッタ2、固定鏡4及び移動鏡
6とともに主干渉計を構成して赤外分光測定系とするた
めに、赤外光源22が設けられ、光源22からの赤外線
は集光鏡24、アパーチャ26、コリメータミラー28
を経てビームスプリッタ2に入射され、この干渉計で変
調される。変調光はミラー30、集光鏡32から試料室
34を通過した後、楕円面鏡36を経て赤外検出器38
で受光されて電気信号に変換される。40は検出器38
の検出信号を増幅するプリアンプ、42はフィルタ、4
4はオートゲインアンプ、46はサンプルホールドアン
プ、48はサンプリングされた信号をデジタル信号に変
換するA/D変換器である。
6とともに主干渉計を構成して赤外分光測定系とするた
めに、赤外光源22が設けられ、光源22からの赤外線
は集光鏡24、アパーチャ26、コリメータミラー28
を経てビームスプリッタ2に入射され、この干渉計で変
調される。変調光はミラー30、集光鏡32から試料室
34を通過した後、楕円面鏡36を経て赤外検出器38
で受光されて電気信号に変換される。40は検出器38
の検出信号を増幅するプリアンプ、42はフィルタ、4
4はオートゲインアンプ、46はサンプルホールドアン
プ、48はサンプリングされた信号をデジタル信号に変
換するA/D変換器である。
【0014】ビームスプリッタ2、固定鏡4及び移動鏡
6とともにコントロール干渉計を構成するために、光源
としてHe−Neレーザ50が設けられている。54は
レーザビームをビームスプリッタ2に入射させるハーフ
ミラーである。ビームスプリッタ2で反射され、固定鏡
4で反射されて再びビームスプリッタ2に戻るレーザビ
ームを直線偏光から円偏光に変えるために、ビームスプ
リッタ2と固定鏡4の間にλ/8板56が設けられてい
る。λ/8板56は、その偏光軸が入射レーザビームの
偏波面から45度傾くように設置されている。この干渉
計で変調され、ハーフミラー58で反射された干渉光を
P波とS波の各偏光成分に分割するために偏光ビームス
プリッタ60が設けられている。62は偏光ビームスプ
リッタ60を透過した一方の偏光成分を受光する検出器
としてのフォトダイオードであり、64は偏光ビームス
プリッタ60で反射された他方の偏光成分を受光する検
出器としてのフォトダイオードである。フォトダイオー
ド62はプリアンプ66に接続され、フォトダイオード
64はプリアンプ68に接続されている。78,80は
入力信号をパルス列に変える波形整形器であり、82は
波形成形された2個のパルス信号a,bを入力するアッ
プ/ダウン・カウンタである。アップ/ダウン・カウン
タ82は両入力信号の位相関係からアップ/ダウンのモ
ードを定めるとともに、入力信号のパルス数を計数し、
CPUバスライン84へ送出する。
6とともにコントロール干渉計を構成するために、光源
としてHe−Neレーザ50が設けられている。54は
レーザビームをビームスプリッタ2に入射させるハーフ
ミラーである。ビームスプリッタ2で反射され、固定鏡
4で反射されて再びビームスプリッタ2に戻るレーザビ
ームを直線偏光から円偏光に変えるために、ビームスプ
リッタ2と固定鏡4の間にλ/8板56が設けられてい
る。λ/8板56は、その偏光軸が入射レーザビームの
偏波面から45度傾くように設置されている。この干渉
計で変調され、ハーフミラー58で反射された干渉光を
P波とS波の各偏光成分に分割するために偏光ビームス
プリッタ60が設けられている。62は偏光ビームスプ
リッタ60を透過した一方の偏光成分を受光する検出器
としてのフォトダイオードであり、64は偏光ビームス
プリッタ60で反射された他方の偏光成分を受光する検
出器としてのフォトダイオードである。フォトダイオー
ド62はプリアンプ66に接続され、フォトダイオード
64はプリアンプ68に接続されている。78,80は
入力信号をパルス列に変える波形整形器であり、82は
波形成形された2個のパルス信号a,bを入力するアッ
プ/ダウン・カウンタである。アップ/ダウン・カウン
タ82は両入力信号の位相関係からアップ/ダウンのモ
ードを定めるとともに、入力信号のパルス数を計数し、
CPUバスライン84へ送出する。
【0015】フォトダイオード62の信号が波形整形さ
れたものaはまた、摺動コントローラ20とサンプルホ
ールドアンプ46、A/D変換器48へも送られる。C
PUバスライン84にはMPU86、プログラム格納メ
モリ88、データ格納メモリ90、外部記憶装置92、
CRT94、プロッタ96及びオートゲインアンプ4
4、A/Dコンバータ48、アップ/ダウン・カウンタ
82が接続されている。本発明におけるセンターバース
ト位置検出部206はMPU86により実現され、セン
ターバースト位置記憶部208は別にEEPROMを接
続するか、外部記憶装置92により実現される。
れたものaはまた、摺動コントローラ20とサンプルホ
ールドアンプ46、A/D変換器48へも送られる。C
PUバスライン84にはMPU86、プログラム格納メ
モリ88、データ格納メモリ90、外部記憶装置92、
CRT94、プロッタ96及びオートゲインアンプ4
4、A/Dコンバータ48、アップ/ダウン・カウンタ
82が接続されている。本発明におけるセンターバース
ト位置検出部206はMPU86により実現され、セン
ターバースト位置記憶部208は別にEEPROMを接
続するか、外部記憶装置92により実現される。
【0016】図6の実施例におけるFTIRの動作を示
す。 (a)コントロール干渉計の動作 偏光ビームスプリッタ60で分割された互いに位相の異
なるレーザ干渉光はそれぞれフォトダイオード62,6
4で受光され、それぞれのフォトダイオード62,64
の検出信号は波形整形され、パルス信号となってアップ
/ダウン・カウンタ82の2個の入力a,bとして取り
込まれる。アップ/ダウン・カウンタ82ではアップ/
ダウンのモードを両入力信号の位相関係から求める。す
なわち、移動鏡6がビームスプリッタ2に近づく方向で
あれば、一方の信号aは他方の信号bに対して位相が9
0度進み、逆に移動鏡6がビームスプリッタ2から離れ
る方向であれば信号aはbに対して位相が90度遅れる
からである。また、アップ/ダウン・カウンタ82で計
数される入力信号のパルス数は、移動鏡6の位置に依存
した信号となる。アップ/ダウン・カウンタ82の出力
信号はバスライン84を介してMPU86に取り込ま
れ、移動鏡の摺動の異常を検出し、また赤外分光測定の
インターフェログラムの積分を行なう際の信号として用
いられる。
す。 (a)コントロール干渉計の動作 偏光ビームスプリッタ60で分割された互いに位相の異
なるレーザ干渉光はそれぞれフォトダイオード62,6
4で受光され、それぞれのフォトダイオード62,64
の検出信号は波形整形され、パルス信号となってアップ
/ダウン・カウンタ82の2個の入力a,bとして取り
込まれる。アップ/ダウン・カウンタ82ではアップ/
ダウンのモードを両入力信号の位相関係から求める。す
なわち、移動鏡6がビームスプリッタ2に近づく方向で
あれば、一方の信号aは他方の信号bに対して位相が9
0度進み、逆に移動鏡6がビームスプリッタ2から離れ
る方向であれば信号aはbに対して位相が90度遅れる
からである。また、アップ/ダウン・カウンタ82で計
数される入力信号のパルス数は、移動鏡6の位置に依存
した信号となる。アップ/ダウン・カウンタ82の出力
信号はバスライン84を介してMPU86に取り込ま
れ、移動鏡の摺動の異常を検出し、また赤外分光測定の
インターフェログラムの積分を行なう際の信号として用
いられる。
【0017】摺動コントローラ20は、フォトダイオー
ド62の検出信号の周波数が一定になるように、パワー
アンプ18を介してリニアモータ16に印加する電圧を
制御する。フォトダイオード62の検出出力が整形され
たもの(a信号)はまた、サンプルホールドアンプ46
のサンプリング信号としても、A/D変換器48の変換
スタート信号としても用いられる。
ド62の検出信号の周波数が一定になるように、パワー
アンプ18を介してリニアモータ16に印加する電圧を
制御する。フォトダイオード62の検出出力が整形され
たもの(a信号)はまた、サンプルホールドアンプ46
のサンプリング信号としても、A/D変換器48の変換
スタート信号としても用いられる。
【0018】(b)赤外データ収集の動作 赤外光源22から射出されて干渉計で変調され、試料室
34を経て赤外検出器38で電気信号に変換された信号
は、プリアンプ40からフィルタ42、オートゲインア
ンプ44を経てサンプルホールドアンプ46でサンプリ
ングされ、A/Dコンバータ48でデジタル信号に変換
されてバスライン84に取り込まれる。移動鏡6の移動
に伴なってインターフェログラムが生成する。コントロ
ール干渉計の干渉信号である信号aを用いてA/D変換
器48のA/D変換が起動される。クアドラチュアコン
トロールにより移動鏡6の現在位置がリアルタイムで検
出されており、この現在位置信号はアップ/ダウン・カ
ウンタ82により生成され、一連のインターフェログラ
ムのデータ収集開始点、終了点を知るために逐次MPU
86により認識され、移動鏡6の往復方向でデータ収集
が行なわれる。
34を経て赤外検出器38で電気信号に変換された信号
は、プリアンプ40からフィルタ42、オートゲインア
ンプ44を経てサンプルホールドアンプ46でサンプリ
ングされ、A/Dコンバータ48でデジタル信号に変換
されてバスライン84に取り込まれる。移動鏡6の移動
に伴なってインターフェログラムが生成する。コントロ
ール干渉計の干渉信号である信号aを用いてA/D変換
器48のA/D変換が起動される。クアドラチュアコン
トロールにより移動鏡6の現在位置がリアルタイムで検
出されており、この現在位置信号はアップ/ダウン・カ
ウンタ82により生成され、一連のインターフェログラ
ムのデータ収集開始点、終了点を知るために逐次MPU
86により認識され、移動鏡6の往復方向でデータ収集
が行なわれる。
【0019】移動鏡6の初期位置が重力つり合い位置と
なっている移動鏡摺動機構14の一例を図7に示す。
(A)は垂直断面図、(B)は(A)の左側面図であ
る。130はボディー、131はベースであり、ベース
131はボディー130にプレート132,133を介
して回転可能に吊るされている。ボディー130とプレ
ート132,133の間、及びベース131とプレート
132,133の間はフィルム141,142によって
固定され、自由に回転することができる。ベース131
にはミラーホルダー134を介して移動鏡6が固定され
ている。ボディー130内にはマグネット136とポー
ルピース137がボルト138によってプレート135
に固定されている。ベース131にはまた、イケール1
40を介してコイル139が固定されており、コイル1
39はマグネット136とポールピース137により形
成される磁界中を移動するように位置決めされている。
この摺動支持機構ではコイル139に電流を流すと、コ
イル139はマグネット136とポールピース137の
磁界によってローレンツ力を受け、ベース131を介し
て移動鏡6を図7(A)で左右方向に移動させる。
なっている移動鏡摺動機構14の一例を図7に示す。
(A)は垂直断面図、(B)は(A)の左側面図であ
る。130はボディー、131はベースであり、ベース
131はボディー130にプレート132,133を介
して回転可能に吊るされている。ボディー130とプレ
ート132,133の間、及びベース131とプレート
132,133の間はフィルム141,142によって
固定され、自由に回転することができる。ベース131
にはミラーホルダー134を介して移動鏡6が固定され
ている。ボディー130内にはマグネット136とポー
ルピース137がボルト138によってプレート135
に固定されている。ベース131にはまた、イケール1
40を介してコイル139が固定されており、コイル1
39はマグネット136とポールピース137により形
成される磁界中を移動するように位置決めされている。
この摺動支持機構ではコイル139に電流を流すと、コ
イル139はマグネット136とポールピース137の
磁界によってローレンツ力を受け、ベース131を介し
て移動鏡6を図7(A)で左右方向に移動させる。
【0020】
【発明の効果】本発明ではセンターバースト位置を決定
するための移動鏡の移動範囲を、調整時には大きな範囲
にわたって行ない、測定時にはその結果に基づいて狭い
範囲を移動するだけですむので、センターバースト位置
が重力つり合い位置からずれる許容範囲が大きくなる。
その結果、従来であれば測定ごとに例えば±2.5mm
の範囲を移動させるのに対し、本発明では±5mmの範
囲を移動させても測定時間が長くなることはないので、
例えばFTIRの傾きを調整する調整足を省いたり、F
TIRを設置する台の傾きの許容量が大きくなる効果が
ある。センターバースト位置決定の調整範囲が増えたに
もかかわらず、測定時にセンターバースト位置決定に要
する時間は変わらないか、むしろ短くなる。センターバ
ースト位置が予め記憶されているので、調整時に移動鏡
のセッティング状態をモニタすることができる。
するための移動鏡の移動範囲を、調整時には大きな範囲
にわたって行ない、測定時にはその結果に基づいて狭い
範囲を移動するだけですむので、センターバースト位置
が重力つり合い位置からずれる許容範囲が大きくなる。
その結果、従来であれば測定ごとに例えば±2.5mm
の範囲を移動させるのに対し、本発明では±5mmの範
囲を移動させても測定時間が長くなることはないので、
例えばFTIRの傾きを調整する調整足を省いたり、F
TIRを設置する台の傾きの許容量が大きくなる効果が
ある。センターバースト位置決定の調整範囲が増えたに
もかかわらず、測定時にセンターバースト位置決定に要
する時間は変わらないか、むしろ短くなる。センターバ
ースト位置が予め記憶されているので、調整時に移動鏡
のセッティング状態をモニタすることができる。
【図1】従来のセンターバースト位置決定動作を示す図
である。
である。
【図2】本発明を示すブロック図である。
【図3】調整時のセンターバースト位置決定動作を示す
フローチャート図である。
フローチャート図である。
【図4】測定時の動作を示すフローチャート図である。
【図5】(A)、(B)はそれぞれ調整時と測定時の動
作を示す図である。
作を示す図である。
【図6】本発明が適用されるFTIRの一例を示す概略
構成図である。
構成図である。
【図7】図6における移動鏡摺動機構の一例を示す図で
あり、(A)は垂直断面図、(B)は(A)の左側面図
である。
あり、(A)は垂直断面図、(B)は(A)の左側面図
である。
200 移動鏡制御部 202 主干渉計 204 コントロール干渉計 206 センターバースト位置検出部 208 センターバースト位置記憶部
Claims (1)
- 【請求項1】 試料の測定を行なう主干渉計のビームス
プリッタと固定鏡又は移動鏡との間に位相板を配置し、
前記ビームスプリッタで合波された干渉信号から2つの
偏光成分を分離して検出し、互いに位相がずれている両
検出信号の位相関係と波数とから移動鏡の移動方向と位
置とを検出するクアドラチュア・コントロール方式のコ
ントロール干渉計を備えた移動鏡制御装置において、 前記移動鏡はその初期的なつリあい位置が重力方向にな
るように吊り下げられた方式のものであり、 調整時にコントロール干渉計からの干渉信号と主干渉計
からのインターフェログラムデータとを入力し、重力つ
り合い位置からインターフェログラムが最大値をとるセ
ンターバースト位置を検出するセンターバースト位置検
出部と、 そのセンターバースト位置を記憶しておく不揮発性メモ
リ装置からなるセンターバースト位置記憶部とを備え、 測定時には前記センターバースト位置記憶部に記憶され
たセンターバースト位置を基準として測定開始点を決定
することを特徴とするFTIRの移動鏡制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11423394A JP2858630B2 (ja) | 1994-04-30 | 1994-04-30 | Ftirの移動鏡制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11423394A JP2858630B2 (ja) | 1994-04-30 | 1994-04-30 | Ftirの移動鏡制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07301561A JPH07301561A (ja) | 1995-11-14 |
JP2858630B2 true JP2858630B2 (ja) | 1999-02-17 |
Family
ID=14632590
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11423394A Expired - Lifetime JP2858630B2 (ja) | 1994-04-30 | 1994-04-30 | Ftirの移動鏡制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2858630B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7535004B2 (en) | 2006-11-28 | 2009-05-19 | Shimadzu Corporation | Fourier transform infrared spectrophotometer |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018193499A1 (ja) * | 2017-04-17 | 2018-10-25 | 株式会社島津製作所 | フーリエ変換型赤外分光光度計 |
-
1994
- 1994-04-30 JP JP11423394A patent/JP2858630B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7535004B2 (en) | 2006-11-28 | 2009-05-19 | Shimadzu Corporation | Fourier transform infrared spectrophotometer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07301561A (ja) | 1995-11-14 |
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