JP2830235B2

JP2830235B2 - 検査装置と検査方法

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Publication number: JP2830235B2
Application number: JP32515589A
Authority: JP
Inventors: 真人高山; 隆志田中
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1989-12-15
Filing date: 1989-12-15
Publication date: 1998-12-02
Anticipated expiration: 2013-12-02
Also published as: JPH03185848A

Description

【発明の詳細な説明】以下の順序に従って本発明を説明する。

A.産業上の利用分野 B.発明の概要 C.従来技術 D.発明が解決しようとする問題点 E.問題点を解決するための手段 F.作用 G.実施例［第１図乃至第４図］ a.構成［第１図、第２図、第４図］ b.動作［第３図］ H.発明の効果（A.産業上の利用分野）本発明は検査装置、特に被検査物配置部におかれた被
検査物を被検査物保持具によって検査部に移動して検査
を行い、検査を終えた被検査物を良品、不良品に分類す
る検査装置に関する。

（B.発明の概要）本発明は、上記の検査において、別の場所で行われる２つの検査をより高速に行うこと
ができるようにし、且つ装置のより小型化を図るため、不良品配置部と、良品配置部を兼ねる配置部と、第１
の検査部と、第２の検査部と、これ等の各部分の上方を
移動する保持具移動手段と、該保持具移動手段により回
動可能に保持された回動体と、該回動体の両回動端部に
保持された一対の被検査物保持具と、を設けた検査装置
を用い、上記保持具移動手段により被検査物の被検査物
配置部と、検査部と、被検査物配置部ないし不良品配置
部との間のＹ方向における被検査物の移動を行い、上記
回動体の回動により第１と第２の検査部間の被検査物の
移動を行うようにする。

（C.従来技術） ICの需要の増加に伴ってICの供給量の増大が図られて
いるが、それに伴って製造を終えたICの検査を大量に行
うことが必要である。そして、電気的特性の検査の重要
性が高いことはいうまでもないが、ICのリード変形、パ
ッケージのマーク不良の有無を調べる外観検査の重要性
が高まっている。特に、ICのリード変形の有無を調べる
検査の重要性が高まっているのである。

というのは、ICは高集積化に伴ってリードの数が増
え、リードのピッチが小さくなる傾向にあり、僅かなリ
ードの寄り、浮き沈みがICとこれが接続されるプリント
配線基板の配線膜との整合性に支障をきたすからであ
る。従って、非常に精確に且つ大量に検査する必要があ
り、目視検査ではその必要に応じることは事実上不可能
となる。

そこで、画像処理方式によるあるいは特開平１−2721
26号公報、特開昭63−278345号公報等に紹介された光学
式変位センサによるリード曲り検査装置が開発されてい
る。

（D.発明が解決しようとする問題点）ところで、リード曲り検査装置は、画像処理方式の方
が光学式変位計によるものよりも検査に要する時間を短
縮することができるが、画像処理方式であろうと光学式
変位計によるものであろうと、被検査ICの搬送に要する
時間によってサイクルタイムが長くなってしまうという
問題に直面しているのである。

また、ICの外観の検査としてリード曲りの検査の他に
パッケージに印刷された品名等を示すマークがきちんと
印刷されているか否かを判定するマーク検査が必要だ
が、そのマーク検査は一般的にリード曲り検査装置とは
別のマーク検査装置により行われていたので、リード曲
り検査を終えたあるいはリード曲り検査前のICをマーク
検査装置に搬送することが必要になり、このことも検査
に要する時間の短縮を阻む要因となっていた。

そして、検査装置には限られた広さの工場内を有効に
利用するために、できるだけ小型化を図ることが要求さ
れている。

そこで、本発明は、別の場所で行われる２つの検査を
より高速に行うことができるようにし、且つ装置のより
小型化を図ることを目的とする。

（E.問題点を解決するための手段）本発明検査装置は上記問題点を解決するため、不良品
が配置され、Ｘ方向駆動手段によりＸ方向に移動される
不良品配置部と、被検査物が多数配置され、上記Ｘ方向
駆動手段によりＸ方向に移動されるところの良品配置部
を兼ねる被検査物配置部と、第１の検査部と、第２の検
査部とをＹ方向に配置し、上記各部分の上方をＹ方向駆
動手段によりＹ方向に移動される保持具移動手段を設
け、該保持具移動手段に回動体を回動可能に保持し、上
記回動体の回動中心を挟んで反対側の位置に一対の被検
査物保持具を互いに上記第１の検査部と第２の検査部と
の間の距離と等しい距離離間するように設けたことを特
徴とする。

本発明検査方法は、不良品配置部と、良品配置部を兼
ねる被検査物配置部と、第１の検査部と、第２の検査部
とをＹ方向に配置し、上記各部分の上方に保持具移動手
段をＹ方向に移動可能に設け、上記保持具移動手段に回
動体を回動可能に保持させ、上記回動体の回動中心を挟
んで反対側の位置に一対の被検査物保持具を互いに上記
第１の検査部と第２の検査部との間の距離と等しい距離
離間するように設け、上記保持具移動手段により被検査
物の被検査物配置部と、検査部と、被検査物配置部ない
し不良品配置部との間のＹ方向における被検査物の移動
を行い、上記回動体の回動により第１と第２の検査部間
の或いはそれに相当する被検査物の移動を行うことを特
徴とする。

（F.作用）本発明によれば、保持具移動手段を移動させると共に
回動体を回動させることができるので、不良品配置部
と、被検査物配置部と、第１の検査部と、第２の検査部
との間において被検査物を被検査物保持具により搬送す
るにあたって、保持具移動手段に必要とされる移動スト
ロークを、回動体の一対の被検査物保持具間の間隔分短
かくすることが可能となる。というのは、一方の保持具
が保持具移動手段の先端よりも回動半径分内側にくるよ
うに上記回動体を回動させた状態でその保持具によって
被検査物を保持し、該保持具移動手段を移動させると共
に上記回動体を180度回動させると、その保持具によっ
て保持された被検査物の移動量は保持具移動手段の移動
量に回動体の保持具の回動半径の２倍分を加えた長さに
なるからである。

従って、保持具移動手段の必要となる移動ストロール
をより短くすることができ、延いては保持具移動手段を
小型化することができる。

また、保持具移動手段の移動と同時に回動体を回動さ
せることにより、保持具により保持された被検査物の搬
送時間を短縮することができ、延いては検査効率を高め
ることができる。

そして、第１の検査部と第２検査部のうちの一方での
検査を終えた被検査物の他方への搬送は、保持具移動手
段を移動させなくても単に回動体を180度回転させるこ
とにより迅速に行うことができる。従って、種類の異な
る二つの検査を１つの検査装置によりきわめて迅速に行
うことができるのである。

（G.実施例）［第１図乃至第４図］以下、本発明を図示実施例に従って詳細に説明する。

第１図乃至第４図は本発明検査装置の一つの実施例を
説明するためのものであり、第１図は全体の斜視図であ
り、第２図は二つの変位センサを示す斜視図である。

（a.構成）［第１図、第２図、第４図］１は検査装置のベースで、該ベース１上に第１の台
２、マーク検査機３及び第２の台４が固定されている。
５は上記第１の台２上に矢印６に示すＸ方向に移動可能
に設けられたトレイステージで、図面に現われない駆動
手段によってＸ方向に移動せしめられるようになってい
る。

７は上記トレイステージ５の一半部、具体的には第１
図における右斜め下側半部に配置された被検査IC用トレ
イ、８はトレイステージ５の他半分に配置された不良品
トレイである。

該被検査IC用トレイ７にはこれから検査しようとする
多数のIC9、９、…が収納され、これがトレイステージ
５の上記一半部上におかれているのである。そして、IC
9が１個ずつ検査されるわけであるが、検査を受けて良
品と判定されたIC9が被検査IC用トレイ７の元の位置に
戻されるようになっている。従って、被検査IC用トレイ
７は良品IC用トレイをも兼ねているのである。一方、不
良品と判定されたIC9は上記トレイステージ５の他半
部、具体的には第２図における左斜め上側半部に配置さ
れた不良品トレイ８上に置かれるのである。

10、10は第１の台２に立設された一対の支柱で、互い
に矢印11に示すＹ方向に離間して台２に取り付けられて
いる。該支柱10、10の上半部間にはＹ方向に延びるステ
ージ12が固定されている。13は該ステージ12にそのトレ
イ７、８（正面）側の側面上のＹ方向に移動可能に取り
付けられた移動板で、垂直な向きにされている。14は該
移動板13の表面に取り付けられたＺ駆動ブロックであ
り、これの下側の上下動板15を矢印16に示すＺ方向（垂
直方向）に移動させるものであり、該上下動板15は該Ｚ
駆動ブロック14により第１の高さ、それより数センチ低
い第２の高さ、更にそれより2mm程度低い第３の高さに
高さが変化せしめられるようになっている。

17は上記上下動板15の先端部下面に保持棒18、18、1
8、18を介して一端部を取り付けられたアームで、Ｙ方
向に延びており、該アーム17の他端部に真空チャック回
動機構19が取り付けられている。20は該真空チャック回
動機構19をアーム17の端部に固定するための取付ブラケ
ットであり、該ブラケット20の水平片21にはロータリア
クチュエータ22が回動軸を下向きにして取り付けられて
いる。該ロータリアクチュエータ22は180度回動するも
ので、それの回動軸には回動体23の中央部が固定されて
いる。

24a、24bは上記回動体23の両端部に垂直方向に取り付
けられた真空チャックである。

しかして、被検査IC用トレイ７上の被検査IC9は上記
各部材12〜24等からなるIC搬送機構により真空チャック
24a、24bにて保持された状態で搬送されるのである。即
ち、真空チャック24a、24bは移動板13によりＹ方向に移
動せしめられ、Ｚ駆動ブロックによりＺ方向（即ち、高
さ方向）に移動せしめられるのである。

一方、上記被検査IC用トレイ７、不良IC用トレイ８は
真空チャック回動機構19のＹ方向への移動経路の下方に
あり、トレイステージ５によりＸ方向に移動せしめられ
るようになっている。従って、これ等Ｘ、Ｙ、Ｚ方向の
移動動作の組み合わせによって、トレイ７上の一つのIC
9の上方に真空チャック、例えば24aを位置させ、真空チ
ャック24a、24bを第１の高さから第３の高さまで下降さ
せて真空チャック24aにそのIC9を真空吸着させ、次いで
真空チャック24a、24bを第１の高さまで上昇させ、その
後移動板13をＹ方向に移動させることによりIC9を検査
部側に搬送することができる。

また、検査部側で検査を終えたIC9をＸ、Ｙ、Ｚ方向
の移動動作の組み合わせによりトレイ７又は８に戻すこ
とができる。尚、本検査装置においてはＸ、Ｙ、Ｚ方向
の動作のほかに真空チャック回動機構19の働きにより真
空チャック24a、24bを矢印25に示す回動方向に180度回
動させる回動動作を行うので、ICの搬送動作はかなり複
雑なものになるが、この動作は第３図に従って後で詳細
に説明する。

26はマーク検査用IC受け台で、マーク検査を受けるIC
9は真空チャック24aあるいは24bによって該IC受け台26
上に置かれる。27は該IC受け台26の上方に位置されたマ
ーク検査用カメラである。そして、該カメラ27により撮
像してIC9のパッケージに印刷されたマークの良不良を
判定するようになっている。

28は第２の台４上に設けられたリード曲り検査機構で
あり、IC位置決め部29と、第２図に示すように互いに直
交配置された２個の変位センサ30a、30bと、該センサ30
a、30bをＸ方向及びＹ方向に駆動するXY駆動機構31によ
って構成されている。

IC位置決め部29はシリンダ32の働きにより図面に現わ
れない４個の位置決め爪によりQFPIC9の四側面から突出
するリードの端面を四方から押してIC9を位置決めす
る。

尚、この位置決めの機構の原理は、本願出願人会社に
よる既出願の特願昭63−270522に係る発明の実施例とし
て紹介したハンドリングチャックの位置決め機構のそれ
と略同じである。但し、位置決め機構は必ずしもこのよ
うな機構であることは必要ではないことはいうまでもな
い。

上記変位センサ30a、30bは、IC位置決め部29の上方に
てＸ、Ｙ方向に移動せしめられ得るようにXY駆動機構28
に取り付けられており、レーザ光源と、該レーザ光源か
ら出射されIC9のリードにより反射されたレーザ光を受
光する光位置検出素子（PSD）を少なくとも内蔵してい
る。そして、各変位センサ30a、30bはQFPIC9のリードの
寄りと浮き沈みを検出することができるが、その検出原
理は、例えば、特開平１−272126号公報により紹介され
た半導体装置のリード曲り検査装置の検出原理と同じで
ある。尚、本検査装置においては変位センサが２個30
a、30b互いに直交する向きに配置されている。これは、
変位センサ30が一個だけだと第４図に示すようにQFPIC9
の三辺のリード33b、33b、…と、33c、33c、33c、…
と、リード33b、33b、…のある側辺と反対側の側辺にあ
り第４図に現われないリードとについては支障なく測定
することができるが、一辺のリード33a、33a、…の測定
には支障をきたすからである。

その理由について具体的に説明すると、変位センサ30
はレーザ34からのレーザ光を下側へ出射し、リード33か
らの反射光を光位置検出素子（PSD）35により受光する
ことによりリードの曲りを検出するものであるが、レー
ザ光が出射されリードにより反射されて光位置検出素子
により受光される光の光路が属する平面、換言すれば光
源と光位置検出素子が属する垂直面と平行な向きのリー
ド33aを測定する時にリード33aで反射された光がリード
33aの曲った部分にあたって光位置検出素子（PSD）35に
入射されなくなってしまう場合がある（第４図の実線で
示す変位センサ30参照）。従っで、２個の変位センサ30
a、30bを、レーザ光が出射されリードにより反射される
光路が属する平面が互いに直交する向きに設けて、一方
の変位センサ30aでQFPIC9の互いに反射側にある一対の
辺のリードを測定し、他方の変位センサ30bで残りの一
対の辺のリードを測定する必要があるのである。

尚、36はXY駆動機構31を構成するＹステージで、モー
タ37により台４上をＹ方向に移動せしめられる。38は同
じくＸステージで、モータ39によりＹステージ36上をＸ
方向に移動せしめられる。40は該Ｘステージ38に固定さ
れたアームで、その先端部に上記一対の変位センサ30
a、30bが固定されているのである。

尚、変位センサ30a、30bによるリード曲り検査を受け
るIC9の位置（第２の検査部）41及びマーク検査を受け
る位置（第１の検査部）26は真空チャック回動機構19が
通る経路の真下側に位置している。

（b.動作説明）［第３図］以下に第３図の（１）〜（21）に従って本検査装置の
動作を説明する。同図においてＡ〜Ｅは真空チャック回
動機構19が通る経路上の位置を示す。位置Ａは、リード
曲り検査位置（41）とマーク検査位置（26）との中間点
であり、位置Ｂはマーク検査位置よりも回動体23の真空
チャック24a、24bの回動半径分正面から見て左側に寄っ
たところにある位置であり、位置Ｃはその位置Ｂから更
に適宜（例えば真空チャック24a、24bの回動半径程度）
左側に寄ったところにある位置であり、そして、位置Ｄ
は被検査IC用トレイ上、位置Ｅは不良IC用トレイ上を指
す。尚、位置Ａ、Ｂ、Ｃは一点を指すが、位置Ｄ、Ｅに
は被検査IC用トレイ７、不良IC用トレイ８と同じ大きさ
の幅（範囲）がある。

（１）回動体23は一方の真空チャック24aが左側に位置
し、他方の真空チャック24bが右側に位置する向きを有
しており、そして、その状態のままで真空チャック24a
が検査しようとするIC（便宜上第３図においては○で示
す）上方に位置するようにＸ方向の移動動作（トレイス
テージの移動動作）とＹ方向の移動動作（移動板13の移
動動作）を行わせる。

（２）そして、真空チャック24aが検査しようとするIC9
上方に位置したとき真空チャック24aの第１の高さ（Ｙ
方向に移動するときの高さ）から第２の高さ（真空チャ
ック24から吸着しているIC9を放すときの高さ）を経て
第３の高さ（真空チャック24でICを吸着するときの高
さ）に至るようにＺ駆動ブロック14に下降動作を行わせ
る。すると、真空チャック24aが第３の高さに達したと
きそのIC9が真空チャック24aにより吸着される。

（３）次に、真空チャック24aは真空チャック24bと一体
で第１の高さまで上昇せしめられ、その後回動体23の回
動中心が位置Ｂに位置するところまで搬送されると同時
に、回動体23の回動により真空チャック24a及び24bが18
0度回動せしめられる。すると、真空チャック24aはマー
ク検査位置（26）の上方に位置した状態になる。

（４）次に、真空チャック24a、24bを第１の高さから第
２の高さまで下降させて真空チャック24aに真空吸引を
停止させる。すると、IC9はマーク検査位置（26）上に
おかれた状態になる。次に、真空チャック24a、24bは第
１の高さまで上昇せしめられる。

（５）次に、待機位置である位置Ｃまで移動せしめられ
ると共にマーク検査位置（26）上のIC9に対するマーク
検査が行われる。尚、第３図においてマーク検査を終え
たICには便宜上左斜下向きのハッチングを施す。

（６）次に、真空チャック24a、24bをその回転軸が位置
Ａに位置するまで移動させる。すると、真空チャック24
aはリード曲り検査位置（41）の上方に、真空チャック2
4bはマーク検査位置（26）の上方に位置する。

（７）次に、真空チャック24a、24bを第１の高さから第
３の高さまで下降させ真空チャック24bを真空吸引状態
にする。すると、真空チャック24bにマーク検査を終え
たIC9が真空吸着された状態になる。次いで、真空チャ
ック24a、24bを第１の高さまで上昇さる。

（８）次に、そこで回動体23を180度回動させる。そし
て、真空チャック24a、24bを第２の高さまで下降させて
真空チャック24bによる真空吸引を停止させる。する
と、真空チャック24bに真空吸引されていたIC9がリード
曲り検査位置（41）におかれた状態になる。

（９）次いで、真空チャック24a、24bを被検査IC用トレ
イ７上方の位置Ｄまで移動させる。

そして、マーク検査を終えリード曲り検査位置におか
れたIC9に対してリード曲り検査を行う。尚、第３図に
おいて、リード曲り検査を終えたIC9には便宜上右斜め
下方向のハッチングを付する。

（10）被検査IC用トレイ７上方にある真空チャック24a
に次の被測定IC9を真空吸着させる。

（11）次に、真空チャック24a、24bをその回転中心が位
置Ｂに至るまで移動させると共に180度回動させる。す
ると、真空チャック24aはマーク検査位置（26）上方に
位置する。

（12）その後、真空チャック24aに真空吸着している未
検査のIC9をマーク検査位置（26）上に置かせる。次
に、真空チャック24a、24bを第１の高さにして待機位置
Ｃに移動する。しかる後、マーク検査位置（26）上のIC
9をマーク検査する。

尚、（１）〜（12）は検査装置の使用開始当初に行わ
れる動作であり、その後は（13）〜（21）の動作が繰返
されることになる。

（13）次に、真空チャック24a、24bを回動中心が位置Ａ
に位置するまで移動する。すると、真空チャック24aが
リード曲り検査位置（41）上のIC9（マーク検査及びリ
ード曲り検査を終えている。）の上方に位置し、真空チ
ャック24bがマーク検査位置（26）上方に位置する。

（14）次に、真空チャック24a、24bを第３の高さまで下
降させ、２つのIC9を真空吸着させる。

（15）次に、真空チャック24a、24bを第１の高さまで上
昇させ、その後、真空チャック24a、24bを180度回動さ
せる。

（16）次に、真空チャック24a、24bを第２の高さまで下
降させ、真空吸引を停止させる。すると、リード曲り検
査位置（41）上に位置していたIC（リード曲り検査及び
マーク検査を終了している。）がマーク検査位置（26）
上に置かれ、マーク検査位置（26）上に位置していたIC
（マーク検査は終了しているがリード曲り検査は未だ済
んでいない。）がリード曲り検査位置（41）上に置かれ
る。即ち、２つのICの置き換えが行われる。

その後、真空チャック24a、24bを第３の高さまで上昇
させ、更に、被検査IC用トレイ７上方の位置Ｄまで移動
する。そして、リード曲り検査位置（41）上のIC9をリ
ード曲り検査する。

（17）次に、真空チャック24aに被検査IC用トレイ７上
の次に検査するIC9を真空吸着させ、その後、真空チャ
ック24a、24bを回動中心が位置Ｂに位置するまで移動す
る。すると、真空チャック24bはマーク検査位置（26）
上の両方の検査が済んだIC9の上方に位置する。

（18）次に、真空チャック24a、24bを第３の高さまで下
降させた真空チャック24bにマーク検査位置（26）上のI
C9を真空吸着させ、その後、第１の高さまで上昇させ
る。

（19）次に、真空チャック24a、24bを180度回動する。

（20）次に、真空チャック24bにIC9を真空吸着させた状
態で真空チャック24b及び24aを被検査IC用トレイ７上又
は不良IC用トレイ８上に移動させる。具体的には真空チ
ャック24bが吸着しているIC9が良品である場合には、真
空チャック24bを被検査IC用トレイ７の空いている部分
の上方に位置させ、不良品の場合には真空チャック24b
を不良IC用トレイ８の空いている部分上方に位置させ
る。

（21）そして、真空チャック24bが吸着しているIC9をト
レイ７又は８の空いている部分に置かせる。具体的には
真空チャック24bを第２の高さに位置させ、真空吸引を
停止するとIC9がトレイ７又は８の空いている部分に置
かれた状態になる。

その後は上記ステップ（13）〜（21）までの一連の動
作を繰返すことによりIC9のマーク検査及びリード曲り
検査を順に行う。

本検査装置はアーム17によって真空チャックを24a、2
4bをトレイ７と検査位置26、41との間で移動させるだけ
でなく、アーム17に取り付けられた回動体23を180度回
動させることによりアーム17の移動ストロークよりも真
空チャック24a、24bの回動半径の２倍分（謂わば直径
分）長くIC9を移動させることができる。従って、アー
ム17をＹ方向に移動させる機構を必要なIC搬送距離に対
して比較的小さくすることができ、小型化を図ることが
できる。

そして、アーム17のＹ方向の移動と回動体23の回動と
を同時に行うことにより実質的にIC9の搬送速度を速く
することができる。また、回動体23の両端に取り付けら
れている一対の真空チャック24a、24bに２つの検査位置
26、41上のIC9、９を真空吸着させた後、その回動体23
を180度回動させてそのIC9、９を検査位置26、41上に置
くことにより、簡単且つ迅速にICの置き換えを行うこと
ができる。従って、異なる場所で行わなければならない
２つの検査に要するIC1個当り時間を短かくすることが
できる。

（H.発明の効果）以上に述べたように、本発明検査装置は、不良品が配
置され、Ｘ方向駆動手段によりＸ方向に移動される不良
品配置部と、被検査物が多数配置され、上記Ｘ方向駆動
手段によりＸ方向に移動されるところの良品配置部を兼
ねる被検査物配置部と、第１の検査部と、第２の検査部
とをＹ方向に配置し、上記各部分の上方をＹ方向駆動手
段によりＹ方向に移動される保持具移動手段を設け、該
保持具移動手段に回動体を回動可能に保持し、上記回動
体の回動中心を挟んで反対側の位置に一対の被検査物保
持具を互いに上記第１の検査部と第２の検査部との間の
距離と等しい距離離間するように設けたことを特徴とす
るものであり、また、本発明検査方法は、不良品配置部
と、良品配置部を兼ねる被検査物配置部と、第１の検査
部と、第２の検査部とをＹ方向に配置し、上記各部分の
上方に保持具移動手段をＹ方向に移動可能に設け、上記
保持具移動手段に回動体を回動可能に保持させ、上記回
動体の回動中心を挟んで反対側の位置に一対の被検査物
保持具を互いに上記第１の検査部と第２の検査部との間
の距離と等しい距離離間するように設け、上記保持具移
動手段により被検査物の被検査物配置部と、検査部と、
被検査物配置部ないし不良品配置部との間のＹ方向にお
ける被検査物の移動を行い、上記回動体の回動により第
１と第２の検査部間の或いはそれに相当する被検査物の
移動を行うことを特徴とするものである。

従って、本発明によれば、保持具移動手段を移動させ
ると共に回動体を回動させることができるので、不良品
配置部、被検査物配置部と、第１、第２の検査部との間
において被検査物を被検査物保持具により搬送するにあ
たって保持具移動手段の必要となる移動ストロークを、
回動体の一対の被検査物保持具間の間隔分短かくするこ
とが可能となる。なぜならば、一方の保持具が保持具移
動手段の先端よりも回動半径分内側にくるように回動体
を回動させた状態でその保持具によって被検査物を保持
し、保持具移動手段を移動させると共に回動体を180度
回動させると、その保持具によって保持された被検査物
の移動量は保持具移動手段の移動量に回動体の保持具の
回動半径の２倍分を加えた量になるからである。

従って、保持具移動手段の必要となる移動ストローク
をより小さくし、その手段を小型化することができる。

そして、第１の検査部と第２検査部のうちの一方での
検査を終えた被検査物の他方への搬送は回動体を180度
回転させることにより迅速に行うことができる。従っ
て、種類の異なる検査を１つの検査装置によりきわめて
迅速に行うことができるのである。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第４図は本発明検査装置の一つの実施例を説
明するためのもので、第１図は全体の斜視図、第２図は
変位センサを示す斜視図、第３図は動作説明図、第４図
は変位センサを２個必要とする理由の説明図である。符号の説明７……被検査物配置部、８……不良品配置部、９……被検査物、 12〜17……保持具移動手段、 23……回動体、 24a、24b……被検査物保持具、 26……第１の検査部、 41……第２の検査部。

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) H01L 21/66 H01L 21/68 G01R 31/26

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】不良品が配置され、Ｘ方向駆動手段により
Ｘ方向に移動される不良品配置部と、被検査物が多数配
置され、上記Ｘ方向駆動手段によりＸ方向に移動される
ところの良品配置部を兼ねる被検査物配置部と、第１の
検査部と、第２の検査部とをＹ方向に配置し、上記各部分の上方をＹ方向駆動手段によりＹ方向に移動
される保持具移動手段を設け、上記保持具移動手段に回動体を回動可能に保持し、上記回動体の回動中心を挟んで反対側の位置に一対の被
検査物保持具を互いに上記第１の検査部と第２の検査部
との間の距離と等しい距離離間するように設けたことを特徴とする検査装置。
【請求項２】不良品が配置され、Ｘ方向駆動手段により
Ｘ方向に移動される不良品配置部と、被検査物が多数配
置され、上記Ｘ方向駆動手段によりＸ方向に移動される
ところの良品配置部を兼ねる被検査物配置部と、第１の
検査部と、第２の検査部とをＹ方向に配置し、上記各部分の上方に保持具移動手段をＹ方向に移動可能
に設け、上記保持具移動手段に回動体を回動可能に保持させ、上記回動体の回動中心を挟んで反対側の位置に一対の被
検査物保持具を互いに上記第１の検査部と第２の検査部
との間の距離と等しい距離離間するように設け、上記保持具移動手段により被検査物の被検査物配置部
と、検査部と、被検査物配置部ないし不良品配置部との
間のＹ方向における被検査物の移動を行い、上記回動体の回動により第１と第２の検査部間の或いは
それに相当する被検査物の移動を行うことを特徴とする検査方法。