JP2827983B2 - 検査装置 - Google Patents
検査装置Info
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Description
に使用されるTFTアレイ基板などの半導体集積装置の
電気的特性を検査する検査装置に関するものである。
集積装置の電気的特性を検査するプロービングが行われ
ており、その検査装置にはプローブカードが備え付けら
れている。プローブカードは、導電体からなる複数のプ
ローブ針を有し、このプローブ針を半導体集積装置の電
極に圧着して電気的に接続し、プローブ針に通して信号
の授受を行っている。ところで最近はプローブ針を圧着
させる電極が増加する傾向にあり、プローブ針の多ピン
化が要求されている。
5では、プローブ針9の表面を絶縁層10で被覆し、さ
らに絶縁層10の表面を金属メッキなどによる金属層1
1で覆うような構造となっている。金属層11には、グ
ランド用のプローブ針12が設けられている(特開昭6
0−223138号参照)。
層11,グランド用プローブ針12によるノイズの低
減,絶縁層10によるプローブ針間のショート,プロー
ブ針の振動の防止対策が施されるため、プローブ針9を
従来よりも細くすることが可能になっている。
来プローブ針を多層構造とし、且つ千鳥状に配列する構
造が知られている。図6に2層構造で千鳥状に配列され
たプローブ針の構造を示す。図6のようにプローブカー
ド基板13を2層に積み、プローブ針9を千鳥状に配列
した構造にすることにより、プローブ針9の多ピン化を
実現している(特開昭63−46741号参照)。
置、特に液晶ディスプレイに使用されるTFTアレイ基
板においては、多ピン化,狭ピッチ化が進んでいる。
は、このような多ピン化,狭ピッチに対応したプローブ
カードを構成することは、構造が複雑であり、非常に困
難であった。またプローブ針自体の構造が複雑であり、
最終製品となるプローブカードが高価になってしまうと
いう問題があった。
プローブ針との接触抵抗を安定させるため、通常プロー
ブ針を100〜200μm程度圧下して電極に圧着(オ
ーバードライブ)させている。図5のようにプローブ針
を絶縁層で覆ったとしても、プローブ針相互間の位置規
制が行われておらず、プローブ針の先端側はフリーな状
態で取付けられているため、オーバードライブ時に発生
するプローブ針の先端のズレにより、プローブ針間にシ
ョートが起こってしまうという問題があった。
ートは、図6のようにプローブ針を千鳥状に配列した場
合、改善されることにはなるが、多ピン化に対処するに
はプローブ針相互間を接近させる必要があり、プローブ
針相互間がフリーになっている限り、プローブ針のショ
ートが起こってしまう。
規制を行うことによりプローブ針のショートを回避し、
かつプローブ針の位置規制を行って対をなすプローブカ
ードを組合せることにより多ピン化に対応するようにし
た検査装置を提供することにある。
査装置は、プローブカードの対と単体のストッパとを有
し、半導体集積装置の電気的特性を検査する検査装置で
あって、 前記対をなすプローブカードからそれぞれ複数
のプローブ針が交互に直線状に配列している1組のユニ
ット化したプローブカードを構成するものであり、 前記
単体のストッパは、電気絶縁体からなり、前記プローブ
カードの対の中間に固定して取り付けられ、前記複数の
プローブ針の取付ピッチに対応したピッチで設けられた
複数の溝部を有し、 前記溝部は、プローブ針の方向に沿
って開口され、交互に直線状に配列し、前記プローブ針
を保持するものである。
の途中でストッパにより保持され、相互間が位置規制さ
れる。したがってオーバードライブ時にプローブ針の先
端側にズレが生ぜず、プローブ針のショートが回避され
る。
交互に配列して組合され1組のユニット化されたプロー
ブカードを構成し、そのプローブカードのプローブ針
を、プローブ針のピッチより狭ピッチの溝部内に交差に
差込み、全体としてプローブ針のピッチを狭くする。
る。
は図1に示すように、ガラス基板3の中央部分に液晶デ
ィスプレイ表示部2が形成され、その周辺に電極1が配
列して形成される。電極1は20〜200本程度が1ブ
ロックとなり、それが数ブロックに分かれて直線上に配
列される構造となっており、この1ブロックに含まれる
電極1の数が増加する傾向にある。この電極1にはプロ
ーブカードのプローブ針がそれぞれ圧着するから、1ブ
ロック内の電極1の数が増えると、隣接するプローブ針
のピッチが狭くする必要がある。
図3は同側面図である。図において本発明に係る検査装
置は、プローブカード4およびプローブカード5と、単
体のストッパ7とを有している。
複数のプローブ針6,6…を有している。プローブ針6
は基板4a,5aに一端が取付けられ、その他端がフリ
ーな状態で突き出ている。
のプローブ針6の途中を撓み方向をフリーにして保持
し、プローブ針6相互間を電気絶縁するようになってい
る。具体的にはストッパ7は、プローブ針6の取付ピッ
チに対応したピッチP1で設けられた溝部7a又は7b
を有しており、溝部7a又は7bはプローブ針6の撓み
方向に沿って開口されている。詳細に説明すると、プロ
ーブ針6がプローブカード4又は5の基板4a又は5a
の一側縁に沿って直線状に配列され、そのプローブ針6
が基板4a又は5aの取付箇所を支点として上下方向に
撓むとした場合に、ストッパ7はプローブ針6の直線配
列方向に長い矩形状をなし、その側縁に溝部7a又は7
bが直線状に配列され、溝部7a又は7bはストッパ7
の側縁から内方に切り込まれて形成され、その切り込ま
れた方向でプローブ針6の上下方向の撓みを許容し、溝
部7a又は7bの両側壁7a1又は7b1により隣接した
プローブ針6を位置規制して隔離し、プローブ針6相互
間のショートを回避するようにしている。
針相互間のピッチを狭くするために、対をなすプローブ
カード4,5と、単体のストッパ7とを組合せている。
この対をなすプローブカード4,5としては、上述した
本発明のプローブカードを用いている。
明のストッパを用い、各プローブカード4,5に対応し
た溝部7a,7bをストッパ7の対向する側縁にそれぞ
れ分離して設け、溝部7a,7bの開口を反対方向に、
具体的には溝部7aの開口をストッパ7の左方に、溝部
7bの開口をストッパ7の右方にそれぞれ向けて設けて
いる。
ける位置をプローブ針6の配列方向にずらせて溝部7
a,7bの切り込みを交互に配列して設け、プローブカ
ード4と5のプローブ針6を溝部7a,7bの切り込み
内に交互に差し込み、実質的にプローブ針6のピッチを
狭くしている。
4,5のプローブ針6の取付けピッチP2は100μm
に設定し、各溝部7a,7bのピッチP1をプローブ針
6の取付けピッチの100μmに相当するものとし、交
互に配列する溝部7a,7bとのピッチP3を50μm
に設定することにより、対をなすプローブカード4,5
を組合せてプローブ針6の実質的なピッチを50μmに
している。尚、このピッチの距離は、上述したものに限
られるものではない。
を図るには、対をなすプローブカード4と5を組合せ
る。一方ストッパ7は対をなすガイドライン8,8の中
間に固定して取付けられ、溝部7a,7bはガイドライ
ン8側に向けて開口している。
イドライン8に取付け、各プローブカード4,5のプロ
ーブ針6を溝部7a,7bの開口側から溝部7a,7b
の切り込み内に差込んで定着させる。これによりプロー
ブカード4,5のプローブ針6が交互に直線状に配列さ
れ実質的にプローブ針6のピッチが狭くなる。
使って被検査対象物の電気特性を測定するには、ストッ
パ7の高さを被検査対象物に対して上方に数10μm〜
数100μmの高さ位置に固定する。一方、被検査対象
物を搭載したステージを高さ方向に100μm〜200
μm上昇させ、各プローブカード4,5のプローブ針6
にオーバドライブをかけて撓ませ、これを被検査対象物
の電極1に圧着させて電気的に導通させる。
イの電極1のピッチP4が充分広くプローブカード4,
5のプローブ針6を構成するのが非常に容易であれば、
対をなすプローブカードを組合せる必要はなく、単体の
プローブカード4(又は5)とストッパ7とを組合せて
プローブ針6の途中をストッパ7の溝部7a(又は7
b)に保持し相互間を位置規制して隔離することによ
り、電極1に圧着させるようにすればよい。
アレイ基板の電気検査を例に説明したが、その他の半導
体集積装置の電気検査時についても応用可能である。
カードのプローブ針の途中を絶縁して保持するため、電
気検査時にプローブ針の先端にズレが発生することはな
く、プローブ針のショートを防止することができ、信頼
性の高い電気検査を実現することができる。
ローブ針のピッチを実質的に狭くするため、プローブカ
ードの製造が容易になり、多ピン化,狭ピッチ化に対し
て安価な検査装置を実現することが可能である。
構造を示した平面図である。
ある。
る。
した側面図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 プローブカードの対と単体のストッパと
を有し、半導体集積装置の電気的特性を検査する検査装
置であって、 前記対をなすプローブカードからそれぞれ複数のプロー
ブ針が交互に直線状に配列している1組のユニット化し
たプローブカードを構成するものであり、 前記単体のストッパは、電気絶縁体からなり、前記プロ
ーブカードの対の中間に固定して取り付けられ、前記複
数のプローブ針の取付ピッチに対応したピッチで設けら
れた複数の溝部を有し、 前記溝部は、プローブ針の方向に沿って開口され、交互
に直線状に配列し、前記プローブ針を保持するものであ
ることを特徴とする検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25074895A JP2827983B2 (ja) | 1995-09-28 | 1995-09-28 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25074895A JP2827983B2 (ja) | 1995-09-28 | 1995-09-28 | 検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0989931A JPH0989931A (ja) | 1997-04-04 |
JP2827983B2 true JP2827983B2 (ja) | 1998-11-25 |
Family
ID=17212458
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25074895A Expired - Fee Related JP2827983B2 (ja) | 1995-09-28 | 1995-09-28 | 検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2827983B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7256591B2 (en) | 2001-11-29 | 2007-08-14 | Fujitsu Limited | Probe card, having cantilever-type probe and method |
KR100474420B1 (ko) * | 2002-11-22 | 2005-03-10 | 주식회사 파이컴 | 평판표시소자 검사용 프로브 시트 , 이의 제조방법, 이를구비한 프로브 조립체 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0792477B2 (ja) * | 1991-02-08 | 1995-10-09 | 日本電子材料株式会社 | プローブカード |
JPH05215773A (ja) * | 1992-02-04 | 1993-08-24 | Nhk Spring Co Ltd | 多点測定用導電性接触子ユニット |
-
1995
- 1995-09-28 JP JP25074895A patent/JP2827983B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0989931A (ja) | 1997-04-04 |
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