JP2822662B2 - 半導体加速度検出装置の測定方法 - Google Patents
半導体加速度検出装置の測定方法Info
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- JP2822662B2 JP2822662B2 JP2312197A JP31219790A JP2822662B2 JP 2822662 B2 JP2822662 B2 JP 2822662B2 JP 2312197 A JP2312197 A JP 2312197A JP 31219790 A JP31219790 A JP 31219790A JP 2822662 B2 JP2822662 B2 JP 2822662B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体加速度検出装置の測定方法に関す
るものである。
るものである。
第２図は従来の半導体加速度検出装置の測定方法の概
要を示す作用説明図である。
要を示す作用説明図である。
すなわち，この第２図の従来装置の構成において、１
は半導体加速度検出装置、２は当該半導体加速度検出装
置１を加振する加振器であり、３は半導体加速度検出装
置１を取り付ける取り付け基板、４は当該取り付け基板
３を介して半導体加速度検出装置１を加振器２に連繋固
定する加振軸である。
は半導体加速度検出装置、２は当該半導体加速度検出装
置１を加振する加振器であり、３は半導体加速度検出装
置１を取り付ける取り付け基板、４は当該取り付け基板
３を介して半導体加速度検出装置１を加振器２に連繋固
定する加振軸である。
また、５は最も加速度検出感度の高い軸方向である主
軸（Ｙ軸）方向、６は当該Ｙ軸方向に直交する一方の軸
方向である第１の他軸（Ｘ軸）方向、７は同上他方の軸
方向である第２の他軸（Ｚ軸）方向をそれぞれに示し、
さらに、８は半導体加速度検出装置１に対する加振方
向、９は重力方向である。
軸（Ｙ軸）方向、６は当該Ｙ軸方向に直交する一方の軸
方向である第１の他軸（Ｘ軸）方向、７は同上他方の軸
方向である第２の他軸（Ｚ軸）方向をそれぞれに示し、
さらに、８は半導体加速度検出装置１に対する加振方
向、９は重力方向である。
次に、前記構成による従来装置での測定方法について
述べる。
述べる。
第２図を参照して、この従来方法においては、加振器
２の加振方向８と重力方向９に対して、Ｘ軸方向６が一
致するように、取り付け基板４に半導体加速度検出装置
１を取り付け固定させた状態としておき、この状態のま
ゝで加振器２を作動させ、半導体加速度検出装置１を加
振させることによって、当該半導体加速度検出装置１で
のＸ軸方向の加速度感度を測定して検出できるのであ
り、また同様に、加振器２の加振方向８と重力方向９に
対して、Ｚ軸方向７が一致するように、取り付け基板４
に半導体加速度検出装置１を取り付け固定させた状態と
しておき、この状態のまゝで加振器２を作動させ、半導
体加速度検出装置１を加振させることにより、当該半導
体加速度検出装置１でのＺ軸方向の加速度感度を測定し
て検出できるのである。
２の加振方向８と重力方向９に対して、Ｘ軸方向６が一
致するように、取り付け基板４に半導体加速度検出装置
１を取り付け固定させた状態としておき、この状態のま
ゝで加振器２を作動させ、半導体加速度検出装置１を加
振させることによって、当該半導体加速度検出装置１で
のＸ軸方向の加速度感度を測定して検出できるのであ
り、また同様に、加振器２の加振方向８と重力方向９に
対して、Ｚ軸方向７が一致するように、取り付け基板４
に半導体加速度検出装置１を取り付け固定させた状態と
しておき、この状態のまゝで加振器２を作動させ、半導
体加速度検出装置１を加振させることにより、当該半導
体加速度検出装置１でのＺ軸方向の加速度感度を測定し
て検出できるのである。
しかしながら、以上のようにしてなされる従来の半導
体加速度検出装置の測定方法では、加振器によって当該
半導体加速度検出装置を加振させなければならず、この
ために装置構成自体が煩雑になり、かつまた、測定精度
がよくないなどの問題点がある。
体加速度検出装置の測定方法では、加振器によって当該
半導体加速度検出装置を加振させなければならず、この
ために装置構成自体が煩雑になり、かつまた、測定精度
がよくないなどの問題点がある。
この発明は、従来のこのような問題点を解消するため
になされたものであって、その目的とするところは、半
導体加速度検出装置を加振させずに、第1,第２の各他軸
方向の加速度感度を簡単かつ高精度に測定し得るように
した，この種の半導体加速度検出装置の測定方向を提供
することである。
になされたものであって、その目的とするところは、半
導体加速度検出装置を加振させずに、第1,第２の各他軸
方向の加速度感度を簡単かつ高精度に測定し得るように
した，この種の半導体加速度検出装置の測定方向を提供
することである。
前記目的を達成するために、この発明に係る半導体加
速度検出装置の測定方法は、半導体加速度検出装置にお
ける加速度検出方向に関して、最も加速度検出感度の高
い軸方向を主軸（Ｙ軸）方向とし、当該Ｙ軸方向に直交
する２つの軸方向をそれぞれに第1,第２の他軸（Ｘ軸,Z
軸）方向とし、かつＹ軸方向の重力加速度当りの出力を
Ｙ軸感度（SY）とした場合にあって、Ｘ軸方向と重力加
速度方向とを一致させるように、半導体加速度検出装置
を設置して、その加速度出力（SX1）を測定し、かつ当
該半導体加速度検出装置をＺ軸，あるいはＹ軸を中心に
180゜回転させて、その加速度出力（SX2）を測定し、こ
れらの結果から、（SX1−SX2）／（２・SY）を第１の他
軸（Ｘ軸）の加速度感度として求め、続いて、Ｚ軸方向
と重力加速度方向とを一致させるように、半導体加速度
検出装置を設置して、その加速度出力（SZ1）を測定
し、かつ当該半導体加速度検出装置をＸ軸，あるいはＹ
軸を中心に180゜回転させて、その加速度出力（SZ2）を
測定し、これらの結果から、（SZ1−SZ2）／（２・SY）
を第２の他軸（Ｚ軸）の加速度感度として求めることを
特徴とするものである。
速度検出装置の測定方法は、半導体加速度検出装置にお
ける加速度検出方向に関して、最も加速度検出感度の高
い軸方向を主軸（Ｙ軸）方向とし、当該Ｙ軸方向に直交
する２つの軸方向をそれぞれに第1,第２の他軸（Ｘ軸,Z
軸）方向とし、かつＹ軸方向の重力加速度当りの出力を
Ｙ軸感度（SY）とした場合にあって、Ｘ軸方向と重力加
速度方向とを一致させるように、半導体加速度検出装置
を設置して、その加速度出力（SX1）を測定し、かつ当
該半導体加速度検出装置をＺ軸，あるいはＹ軸を中心に
180゜回転させて、その加速度出力（SX2）を測定し、こ
れらの結果から、（SX1−SX2）／（２・SY）を第１の他
軸（Ｘ軸）の加速度感度として求め、続いて、Ｚ軸方向
と重力加速度方向とを一致させるように、半導体加速度
検出装置を設置して、その加速度出力（SZ1）を測定
し、かつ当該半導体加速度検出装置をＸ軸，あるいはＹ
軸を中心に180゜回転させて、その加速度出力（SZ2）を
測定し、これらの結果から、（SZ1−SZ2）／（２・SY）
を第２の他軸（Ｚ軸）の加速度感度として求めることを
特徴とするものである。
従つて、この発明による半導体加速度検出装置の測定
方法の場合、前記それぞれ回転前，回転後の各測定操作
に伴い、結果的には、主軸（Ｙ軸）方向と、第1,第２の
各他軸（Ｘ軸,Y軸）での測定しない側の方向とが重力方
向と直交されていることから、重力加速度が、第1,第２
の各他軸（Ｘ軸,Y軸）での測定する側の方向にのみ付加
されることになり、このために、｛（回転前出力−回転
後出力）/2・主軸感度｝によって、これらの第1,第２の
各他軸（Ｘ軸,Y軸）における加速度感度を高精度で測定
し得るのである。
方法の場合、前記それぞれ回転前，回転後の各測定操作
に伴い、結果的には、主軸（Ｙ軸）方向と、第1,第２の
各他軸（Ｘ軸,Y軸）での測定しない側の方向とが重力方
向と直交されていることから、重力加速度が、第1,第２
の各他軸（Ｘ軸,Y軸）での測定する側の方向にのみ付加
されることになり、このために、｛（回転前出力−回転
後出力）/2・主軸感度｝によって、これらの第1,第２の
各他軸（Ｘ軸,Y軸）における加速度感度を高精度で測定
し得るのである。
以下、この発明に係る半導体加速度検出装置の測定方
法の一実施例につき、第１図を参照して詳細に説明す
る。
法の一実施例につき、第１図を参照して詳細に説明す
る。
第１図はこの発明の一実施例を適用した半導体加速度
検出装置の測定方法の概要を示す作用説明図である。
検出装置の測定方法の概要を示す作用説明図である。
すなわち，この第１図の実施例装置の構成において、
11は半導体加速度検出装置、12は当該半導体加速度検出
装置11を所定の回転角位置，こゝでは、180゜位置まで
回転させる回転装置であり、13は半導体加速度検出装置
11を取り付ける取り付け回転基板、14は当該取り付け回
転基板13を介して半導体加速度検出装置11を回転装置12
に連繋固定する回転軸である。
11は半導体加速度検出装置、12は当該半導体加速度検出
装置11を所定の回転角位置，こゝでは、180゜位置まで
回転させる回転装置であり、13は半導体加速度検出装置
11を取り付ける取り付け回転基板、14は当該取り付け回
転基板13を介して半導体加速度検出装置11を回転装置12
に連繋固定する回転軸である。
また、15は最も加速度検出感度の高い軸方向である主
軸（Ｙ軸）方向、16は当該Ｙ軸方向に直交する一方の軸
方向である第１の他軸（Ｘ軸）方向、17は同上他方の軸
方向である第２の他軸（Ｚ軸）方向をそれぞれに示し、
さらに、18は重力方向を示している。
軸（Ｙ軸）方向、16は当該Ｙ軸方向に直交する一方の軸
方向である第１の他軸（Ｘ軸）方向、17は同上他方の軸
方向である第２の他軸（Ｚ軸）方向をそれぞれに示し、
さらに、18は重力方向を示している。
次に、前記構成による実施例装置での測定方法につい
て述べる。
て述べる。
第１図を参照して、実施例による測定方法において
は、この場合，半導体加速度検出装置における加速度検
出方向に関して、前記したように、まず、最も加速度検
出感度の高い軸方向をＹ軸方向15とし、かつ当該Ｙ軸方
向15に直交して測定対象となる２つの軸方向をそれぞれ
にＸ軸方向16,Z軸方向17としておき、また、Ｙ軸方向15
の重力加速度当りの出力をＹ軸感度（SY）としておく。
は、この場合，半導体加速度検出装置における加速度検
出方向に関して、前記したように、まず、最も加速度検
出感度の高い軸方向をＹ軸方向15とし、かつ当該Ｙ軸方
向15に直交して測定対象となる２つの軸方向をそれぞれ
にＸ軸方向16,Z軸方向17としておき、また、Ｙ軸方向15
の重力加速度当りの出力をＹ軸感度（SY）としておく。
そして、この実施例方法においては、まず、Ｚ軸方向
17とＹ軸方向15とが重力方向18に直交するように方向位
置を選択して、取り付け回転基板13に対し、半導体加速
度検出装置11を取り付け固定した状態で、Ｘ軸方向16向
きの加速度出力（SX1）を検出して測定でき、ついで、
回転装置12を作動させることにより、当該半導体加速度
検出装置11をＸ軸（16）（あるいは方向位置の選択を替
えることによりＹ軸（15））を中心に180゜回転させた
状態で、Ｘ軸方向16の反対向きの加速度出力（SX2）を
検出して測定できるものであり、これらの両出力の差を
もとにして、こゝでは、次式， （SX1−SX2）／（２・SY）， つまり、 ｛（回転前出力−回転後出力）/2・主軸感度｝ によって、当該Ｘ軸方向16,つまり、第１の他軸方向16
の加速度感度を求めることができるのである。
17とＹ軸方向15とが重力方向18に直交するように方向位
置を選択して、取り付け回転基板13に対し、半導体加速
度検出装置11を取り付け固定した状態で、Ｘ軸方向16向
きの加速度出力（SX1）を検出して測定でき、ついで、
回転装置12を作動させることにより、当該半導体加速度
検出装置11をＸ軸（16）（あるいは方向位置の選択を替
えることによりＹ軸（15））を中心に180゜回転させた
状態で、Ｘ軸方向16の反対向きの加速度出力（SX2）を
検出して測定できるものであり、これらの両出力の差を
もとにして、こゝでは、次式， （SX1−SX2）／（２・SY）， つまり、 ｛（回転前出力−回転後出力）/2・主軸感度｝ によって、当該Ｘ軸方向16,つまり、第１の他軸方向16
の加速度感度を求めることができるのである。
また前記と同様にして、今度は、まず、Ｘ軸方向16と
Ｙ軸方向15とが重力方向18に直交するように方向位置を
選択して、取り付け回転基板13に対し、半導体加速度検
出装置11を取り付け固定した状態で、Ｚ軸方向17向きの
加速度出力（SZ1）を検出して測定でき、ついで、回転
装置12を作動させることにより、当該半導体加速度検出
装置11をＺ軸（17）（あるいは方向位置の選択を替える
ことによりＹ軸（15））を中心に180゜回転させた状態
で、Ｚ軸方向17の反対向きの加速度出力（SZ2）を検出
して測定できるものであり、これらの両出力の差から、
こゝでは、次式， （SZ1−SZ2）／（２・SY） によって、当該Ｚ軸方向17,つまり、第２の他軸方向17
の加速度感度を求めることができるのである。
Ｙ軸方向15とが重力方向18に直交するように方向位置を
選択して、取り付け回転基板13に対し、半導体加速度検
出装置11を取り付け固定した状態で、Ｚ軸方向17向きの
加速度出力（SZ1）を検出して測定でき、ついで、回転
装置12を作動させることにより、当該半導体加速度検出
装置11をＺ軸（17）（あるいは方向位置の選択を替える
ことによりＹ軸（15））を中心に180゜回転させた状態
で、Ｚ軸方向17の反対向きの加速度出力（SZ2）を検出
して測定できるものであり、これらの両出力の差から、
こゝでは、次式， （SZ1−SZ2）／（２・SY） によって、当該Ｚ軸方向17,つまり、第２の他軸方向17
の加速度感度を求めることができるのである。
以上詳述したように、この発明方法によれば、半導体
加速度検出装置における加速度検出方向に関して、最も
加速度検出感度の高い軸方向を主軸（Ｙ軸）方向とし、
当該Ｙ軸方向に直交する２つの軸方向をそれぞれに第1,
第２の他軸（Ｘ軸,Z軸）方向とし、かつＹ軸方向の重力
加速度当りの出力をＹ軸感度（SY）とした場合にあっ
て、Ｘ軸方向と重力加速度方向とを一致させるように、
半導体加速度検出装置を設置して、その加速度出力（S
X1）を測定し、かつ当該半導体加速度検出装置をＺ軸，
あるいはＹ軸を中心に180゜回転させて、その加速度出
力（SX2）を測定し、これらの結果から、（SX1−SX2）
／（２・SY）を第１の他軸（Ｘ軸）の加速度感度として
求めることができ、また、一方で、Ｚ軸方向と重力加速
度方向とを一致させるように、半導体加速度検出装置を
設置して、その加速度出力（SZ1）を測定し、かつ当該
半導体加速度検出装置をＸ軸，あるいはＹ軸を中心に18
0゜回転させて、その加速度出力（SZ2）を測定し、これ
らの結果から、こゝでも、（SZ1−SZ2）／（２・SY）を
第２の他軸（Ｚ軸）の加速度感度として求めることこと
ができるのである。
加速度検出装置における加速度検出方向に関して、最も
加速度検出感度の高い軸方向を主軸（Ｙ軸）方向とし、
当該Ｙ軸方向に直交する２つの軸方向をそれぞれに第1,
第２の他軸（Ｘ軸,Z軸）方向とし、かつＹ軸方向の重力
加速度当りの出力をＹ軸感度（SY）とした場合にあっ
て、Ｘ軸方向と重力加速度方向とを一致させるように、
半導体加速度検出装置を設置して、その加速度出力（S
X1）を測定し、かつ当該半導体加速度検出装置をＺ軸，
あるいはＹ軸を中心に180゜回転させて、その加速度出
力（SX2）を測定し、これらの結果から、（SX1−SX2）
／（２・SY）を第１の他軸（Ｘ軸）の加速度感度として
求めることができ、また、一方で、Ｚ軸方向と重力加速
度方向とを一致させるように、半導体加速度検出装置を
設置して、その加速度出力（SZ1）を測定し、かつ当該
半導体加速度検出装置をＸ軸，あるいはＹ軸を中心に18
0゜回転させて、その加速度出力（SZ2）を測定し、これ
らの結果から、こゝでも、（SZ1−SZ2）／（２・SY）を
第２の他軸（Ｚ軸）の加速度感度として求めることこと
ができるのである。
すなわち，この発明による測定方法の場合、前記のそ
れぞれに回転前，回転後の各測定操作に伴い、結果的に
は、主軸（Ｙ軸）方向と、第1,第２の各他軸（Ｘ軸,Y
軸）での測定しない側の方向とが重力方向と直交されて
いることから、加えられる重力加速度については、第1,
第２の各他軸（Ｘ軸,Y軸）での測定する側の方向にのみ
作用し、このため、こゝでは、｛（回転前出力−回転後
出力）/2・主軸感度｝によって、これらの第1,第２の各
他軸（Ｘ軸,Y軸）における加速度感度を高精度で良好か
つ容易に測定し得るのであり、しかも、装置構成自体に
ついても、従来に比較して簡略化されるので、安価な提
供が可能になるなどの優れた特長を有するものである。
れぞれに回転前，回転後の各測定操作に伴い、結果的に
は、主軸（Ｙ軸）方向と、第1,第２の各他軸（Ｘ軸,Y
軸）での測定しない側の方向とが重力方向と直交されて
いることから、加えられる重力加速度については、第1,
第２の各他軸（Ｘ軸,Y軸）での測定する側の方向にのみ
作用し、このため、こゝでは、｛（回転前出力−回転後
出力）/2・主軸感度｝によって、これらの第1,第２の各
他軸（Ｘ軸,Y軸）における加速度感度を高精度で良好か
つ容易に測定し得るのであり、しかも、装置構成自体に
ついても、従来に比較して簡略化されるので、安価な提
供が可能になるなどの優れた特長を有するものである。
第１図はこの発明の一実施例を適用した半導体加速度検
出装置の測定方法の概要を示す作用説明図であり、ま
た、第２図は従来の半導体加速度検出装置の測定方法の
概要を示す作用説明図である。 11……半導体加速度検出装置、 12……回転装置、 13……取り付け回転基板、 14……回転軸。 15……主軸（Ｙ軸）方向、 16……第１の他軸（Ｘ軸）方向、 17……第２の他軸（Ｚ軸）方向、 18……重力方向。
出装置の測定方法の概要を示す作用説明図であり、ま
た、第２図は従来の半導体加速度検出装置の測定方法の
概要を示す作用説明図である。 11……半導体加速度検出装置、 12……回転装置、 13……取り付け回転基板、 14……回転軸。 15……主軸（Ｙ軸）方向、 16……第１の他軸（Ｘ軸）方向、 17……第２の他軸（Ｚ軸）方向、 18……重力方向。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01P 21/00
Claims (1)
- 【請求項１】半導体加速度検出装置における加速度検出
方向に関して、 最も加速度検出感度の高い軸方向を主軸（Ｙ軸）方向と
し、当該Ｙ軸方向に直交する２つの軸方向をそれぞれ第
1,第２の他軸（Ｘ軸,Z軸）方向とし、かつＹ軸方向の重
力加速度あたりの出力をＹ軸感度（SY）とした場合にあ
って、 Ｘ軸方向と重力加速度方向とを一致させるように、半導
体加速度検出装置を設定して、その加速度出力（SX1）
を測定し、かつ当該半導体加速度検出装置をＺ軸，ある
いはＹ軸を中心に180゜回転させて、その加速度出力（S
X2）を測定し、これらの結果から、（SX1−SX2）／（２
・SY）を第１の他軸（Ｘ軸）の加速度感度として求め、 続いて、Ｚ軸方向と重力加速度方向とを一致させるよう
に、半導体加速度検出装置を設置して、その加速度出力
（SZ1）を測定し、かつ当該半導体加速度検出装置をＸ
軸，あるいはＹ軸を中心に180゜回転させて、その加速
度出力（SZ2）を測定し、これらの結果から、（SZ1−S
Z2）／（２・SY）を第２の他軸（Ｚ軸）の加速度感度と
して求める ことを特徴とする半導体加速度検出装置の測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2312197A JP2822662B2 (ja) | 1990-11-16 | 1990-11-16 | 半導体加速度検出装置の測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2312197A JP2822662B2 (ja) | 1990-11-16 | 1990-11-16 | 半導体加速度検出装置の測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04186650A JPH04186650A (ja) | 1992-07-03 |
| JP2822662B2 true JP2822662B2 (ja) | 1998-11-11 |
Family
ID=18026380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2312197A Expired - Lifetime JP2822662B2 (ja) | 1990-11-16 | 1990-11-16 | 半導体加速度検出装置の測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2822662B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7748250B2 (en) | 2006-06-02 | 2010-07-06 | Oki Semiconductor Co., Ltd. | Three-axial acceleration sensor inspection device and method of inspecting three-axial acceleration sensor |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006153754A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Denso Corp | 多軸半導体加速度センサの検査方法 |
-
1990
- 1990-11-16 JP JP2312197A patent/JP2822662B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7748250B2 (en) | 2006-06-02 | 2010-07-06 | Oki Semiconductor Co., Ltd. | Three-axial acceleration sensor inspection device and method of inspecting three-axial acceleration sensor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04186650A (ja) | 1992-07-03 |
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