JPH0743207A - 振動計 - Google Patents
振動計Info
- Publication number
- JPH0743207A JPH0743207A JP20822193A JP20822193A JPH0743207A JP H0743207 A JPH0743207 A JP H0743207A JP 20822193 A JP20822193 A JP 20822193A JP 20822193 A JP20822193 A JP 20822193A JP H0743207 A JPH0743207 A JP H0743207A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- displacement
- sensor
- gauge
- eddy current
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、振動測定対象物の振動変位量を精度
良く測定し得る振動計の実現を目的とするものである。 【構成】振動計において、振動測定対象物までの距離の
相対的な変位を非接触型の変位計によつて検出すると共
に、当該変位計の空間の不動点を基準とした絶対的な振
動量を振動センサを用いて検出し、当該変位計及び当該
振動センサの出力に基づいて振動測定対象物の当該不動
点を基準とした絶対的な振動変位を算出するようにした
ことにより、当該振動計の設置位置の振動の有無に係わ
らず振動測定対象物の絶対的な変位を確実に検出するこ
とができ、かくして振動測定対象物の振動変位量を精度
良く測定し得る振動計を実現できる。
良く測定し得る振動計の実現を目的とするものである。 【構成】振動計において、振動測定対象物までの距離の
相対的な変位を非接触型の変位計によつて検出すると共
に、当該変位計の空間の不動点を基準とした絶対的な振
動量を振動センサを用いて検出し、当該変位計及び当該
振動センサの出力に基づいて振動測定対象物の当該不動
点を基準とした絶対的な振動変位を算出するようにした
ことにより、当該振動計の設置位置の振動の有無に係わ
らず振動測定対象物の絶対的な変位を確実に検出するこ
とができ、かくして振動測定対象物の振動変位量を精度
良く測定し得る振動計を実現できる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は振動計に関し、例えば回
転している軸の振動変位を測定する振動計に適用して好
適なものである。
転している軸の振動変位を測定する振動計に適用して好
適なものである。
【0002】
【従来の技術】従来、発電機やタービン等の高速回転機
械装置は、当該装置に発生した異常が運転時における回
転軸の異常振動として表れることが多く、このためこの
種の高速回転機械装置では運転中の回転軸の振動変位に
基づいて状態の良否を診断する方法が広く行われてい
る。この場合、回転している軸自体の振動量を測定する
1つの手段として、接触型の振動計(以下これを接触型
振動計と呼ぶ)がある。
械装置は、当該装置に発生した異常が運転時における回
転軸の異常振動として表れることが多く、このためこの
種の高速回転機械装置では運転中の回転軸の振動変位に
基づいて状態の良否を診断する方法が広く行われてい
る。この場合、回転している軸自体の振動量を測定する
1つの手段として、接触型の振動計(以下これを接触型
振動計と呼ぶ)がある。
【0003】接触型振動計は、圧電素子等の振動検出素
子を内蔵したプローブ形の振動検出部を手で持ち、当該
振動検出部の先端を振動測定対象に押し当てることによ
り振動測定対象の振動量を検出し得るようになされてい
る。従つてこの種の振動計を用いた診断作業では、先端
を軸の振動測定箇所に押し当て、又は先端で振動測定対
象の軸の外周面をなぞるように振動検出部を移動させる
ようにして当該振動測定箇所又は回転軸の振動量を検出
し、得られた測定データに基づいて当該装置の状態を診
断を行つている。
子を内蔵したプローブ形の振動検出部を手で持ち、当該
振動検出部の先端を振動測定対象に押し当てることによ
り振動測定対象の振動量を検出し得るようになされてい
る。従つてこの種の振動計を用いた診断作業では、先端
を軸の振動測定箇所に押し当て、又は先端で振動測定対
象の軸の外周面をなぞるように振動検出部を移動させる
ようにして当該振動測定箇所又は回転軸の振動量を検出
し、得られた測定データに基づいて当該装置の状態を診
断を行つている。
【0004】ところが接触型振動計においては、振動測
定対象と接触する接触部分が磨耗するために、また上述
のように先端で測定対象の軸の外周面をなぞるようにし
て用いた場合には当該振動検出部の先端が振動測定対象
の表面を摺動する際に僅かながらも振動が発生すること
により正確な振動量を測定し難いために、常設する回転
軸振動監視装置の振動計としては適用し難いものであつ
た。このため、従来、常設の回転軸振動監視装置の振動
計として静電気、渦電流又はレーザ光等を利用した非接
触型の振動計(以下これを非接触型振動計と呼ぶ)を用
いることが提案されている。
定対象と接触する接触部分が磨耗するために、また上述
のように先端で測定対象の軸の外周面をなぞるようにし
て用いた場合には当該振動検出部の先端が振動測定対象
の表面を摺動する際に僅かながらも振動が発生すること
により正確な振動量を測定し難いために、常設する回転
軸振動監視装置の振動計としては適用し難いものであつ
た。このため、従来、常設の回転軸振動監視装置の振動
計として静電気、渦電流又はレーザ光等を利用した非接
触型の振動計(以下これを非接触型振動計と呼ぶ)を用
いることが提案されている。
【0005】非接触型振動計は、空間中の所定の静止し
た所定の基準点(以下これを不動点と呼ぶ)を基点とし
て当該非接触型振動計と測定対象の回転軸との相対的な
振動変位量を検出するようになされている。例えば非接
触型振動計の1つである渦電流式変位計を用いた振動計
は、高周波電流の流れているコイルに導体を近づけたと
きに導体内に渦電流が発生し、当該渦電流によつて生じ
る磁束の強さに応じてコイルのインピーダンス値が実効
的に変化することを利用したもので、渦電流式変位計の
先端部に配設されたコイルでなるセンサ部のインピーダ
ンス値の変化から当該センサ部及び振動測定対象物間の
変位量を検出し得るようになされている。
た所定の基準点(以下これを不動点と呼ぶ)を基点とし
て当該非接触型振動計と測定対象の回転軸との相対的な
振動変位量を検出するようになされている。例えば非接
触型振動計の1つである渦電流式変位計を用いた振動計
は、高周波電流の流れているコイルに導体を近づけたと
きに導体内に渦電流が発生し、当該渦電流によつて生じ
る磁束の強さに応じてコイルのインピーダンス値が実効
的に変化することを利用したもので、渦電流式変位計の
先端部に配設されたコイルでなるセンサ部のインピーダ
ンス値の変化から当該センサ部及び振動測定対象物間の
変位量を検出し得るようになされている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで非接触型振動
計は、上述のように空間中の不動点でなる所定の基点と
測定対象の回転軸との相対的な振動変位量を測定するた
め、回転している軸の振動変位を高精度に測定するため
には、振動計を振動のない、又は振動変位が測定対象の
振動変位に対して充分に小さい箇所に設置する必要があ
る。ところが、例えば水力発電所で用いる水車軸のよう
に回転軸が超重量物の場合には当該回転軸の回転によつ
て生じる周囲の振動も大きく、従つて当該回転軸の振動
変位を精度良く測定し難い問題があつた。
計は、上述のように空間中の不動点でなる所定の基点と
測定対象の回転軸との相対的な振動変位量を測定するた
め、回転している軸の振動変位を高精度に測定するため
には、振動計を振動のない、又は振動変位が測定対象の
振動変位に対して充分に小さい箇所に設置する必要があ
る。ところが、例えば水力発電所で用いる水車軸のよう
に回転軸が超重量物の場合には当該回転軸の回転によつ
て生じる周囲の振動も大きく、従つて当該回転軸の振動
変位を精度良く測定し難い問題があつた。
【0007】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、振動測定対象物の振動変位量を精度良く測定し得る
振動計を提案しようとするものである。
で、振動測定対象物の振動変位量を精度良く測定し得る
振動計を提案しようとするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、振動測定対象物5までの距離の変
位を検出する非接触型の変位計3と、サイズモ系におけ
る振動量を検出する振動センサ4と、剛性の高い材料か
ら形成され、変位計3の受感軸K1及び振動センサ4の
受感軸K2が同軸となるように変位計3及び振動センサ
4を固定保持する固定保持手段2と、変位計3の出力S
1及び振動センサ4の出力S2に基づいて振動測定対象
物5の不動点を基準とした絶対的な振動量を算出する演
算手段6とを設けた。
め本発明においては、振動測定対象物5までの距離の変
位を検出する非接触型の変位計3と、サイズモ系におけ
る振動量を検出する振動センサ4と、剛性の高い材料か
ら形成され、変位計3の受感軸K1及び振動センサ4の
受感軸K2が同軸となるように変位計3及び振動センサ
4を固定保持する固定保持手段2と、変位計3の出力S
1及び振動センサ4の出力S2に基づいて振動測定対象
物5の不動点を基準とした絶対的な振動量を算出する演
算手段6とを設けた。
【0009】また本発明においては、振動測定対象物5
までの距離の変位を検出する非接触型の変位計3と、サ
イズモ系における振動量を検出する同じ感度の複数の振
動センサ4A、4Bと、剛性の高い材料から形成され、
変位計3及び複数の振動センサ4A、4Bの各受感軸K
2A、K2Bの方向が一致するように、かつ変位計3を
中心として複数の振動センサ4A、4Bが対象な位置と
なるように変位計3及び複数の振動センサ4A、4Bを
固定保持する固定保持手段21と、変位計3の出力S1
及び複数の振動センサ4A、4Bの出力S2A、S2B
に基づいて振動測定対象物5の不動点を基準とした絶対
的な振動量を算出する演算手段30とを設けた。
までの距離の変位を検出する非接触型の変位計3と、サ
イズモ系における振動量を検出する同じ感度の複数の振
動センサ4A、4Bと、剛性の高い材料から形成され、
変位計3及び複数の振動センサ4A、4Bの各受感軸K
2A、K2Bの方向が一致するように、かつ変位計3を
中心として複数の振動センサ4A、4Bが対象な位置と
なるように変位計3及び複数の振動センサ4A、4Bを
固定保持する固定保持手段21と、変位計3の出力S1
及び複数の振動センサ4A、4Bの出力S2A、S2B
に基づいて振動測定対象物5の不動点を基準とした絶対
的な振動量を算出する演算手段30とを設けた。
【0010】
【作用】剛性の高い固定部材2を用いて受感軸K1、K
2が同軸となるように変位計3及び振動センサ4を固定
保持するようにしたことにより当該振動センサ4は変位
計3が固形部材2を介して受ける振動とほぼ同じ振動を
検出する。従つて変位計3の出力S1に基づく当該変位
計3及び振動測定対象物5間の変位と振動センサ4の出
力S2に基づく変位計3の振動変位とから振動測定対象
物5の振動変位を正確に検出することができる。
2が同軸となるように変位計3及び振動センサ4を固定
保持するようにしたことにより当該振動センサ4は変位
計3が固形部材2を介して受ける振動とほぼ同じ振動を
検出する。従つて変位計3の出力S1に基づく当該変位
計3及び振動測定対象物5間の変位と振動センサ4の出
力S2に基づく変位計3の振動変位とから振動測定対象
物5の振動変位を正確に検出することができる。
【0011】
【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。
する。
【0012】(1)第1実施例 図1において、1は全体として振動計を示し、剛性の高
い材料を用いて形成された固定部材2に渦電流式変位計
3及び振動加速度計4が受感軸K1、K2が同軸となる
ようにそれぞれ固着されて構成されている。渦電流式変
位計3は、その先端部にコイルでなるセンサ部3Aを有
し、矢印aで示す受感軸K1方向を正方向としてセンサ
部3A及び振動測定対象の回転軸5間の変位に応じて変
化するセンサ部3Aのインピーダンス量をインピーダン
ス信号として演算回路部6に送出する。
い材料を用いて形成された固定部材2に渦電流式変位計
3及び振動加速度計4が受感軸K1、K2が同軸となる
ようにそれぞれ固着されて構成されている。渦電流式変
位計3は、その先端部にコイルでなるセンサ部3Aを有
し、矢印aで示す受感軸K1方向を正方向としてセンサ
部3A及び振動測定対象の回転軸5間の変位に応じて変
化するセンサ部3Aのインピーダンス量をインピーダン
ス信号として演算回路部6に送出する。
【0013】振動加速度計4は、例えば圧電素子でなる
振動検出素子(図示せず)を有し、固定部材3を介して
受ける振動加速度の大きさを矢印aで示す受感軸K2方
向を正方向として検出し、これを振動加速度検出信号S
2として演算回路部6に送出する。演算回路部6は図2
に示すような構成を有し、インピーダンス信号S1を信
号変換回路10において入力すると共に、振動加速度検
出信号S2を電荷増幅回路11を介して第1の積分回路
12において入力する。
振動検出素子(図示せず)を有し、固定部材3を介して
受ける振動加速度の大きさを矢印aで示す受感軸K2方
向を正方向として検出し、これを振動加速度検出信号S
2として演算回路部6に送出する。演算回路部6は図2
に示すような構成を有し、インピーダンス信号S1を信
号変換回路10において入力すると共に、振動加速度検
出信号S2を電荷増幅回路11を介して第1の積分回路
12において入力する。
【0014】この場合信号変換回路10は、インピーダ
ンス信号S1に対して所定の信号変換を施すことにより
渦電流式変位計3のコイル部3A及び回転軸5間の変位
を得、これを変位検出信号S10として演算回路13に
送出する。また第1の積分回路11は、振動加速度検出
信号S2に基づいて得られる振動加速度計4の振動加速
度をAとしたとき次式
ンス信号S1に対して所定の信号変換を施すことにより
渦電流式変位計3のコイル部3A及び回転軸5間の変位
を得、これを変位検出信号S10として演算回路13に
送出する。また第1の積分回路11は、振動加速度検出
信号S2に基づいて得られる振動加速度計4の振動加速
度をAとしたとき次式
【数1】 で与えられるような積分を実行することにより当該振動
加速度計4の振動速度Vを得、これを振動速度検出信号
S11として第2の積分回路14に送出する。
加速度計4の振動速度Vを得、これを振動速度検出信号
S11として第2の積分回路14に送出する。
【0015】第2の積分回路14は、振動速度検出信号
S11に基づいて得られる振動加速度計4の振動速度V
に対して次式
S11に基づいて得られる振動加速度計4の振動速度V
に対して次式
【数2】 で与えられるような積分を実行することにより当該振動
加速度計4の振動変位DS を得、これを振動変位信号S
12として演算回路13に送出する。演算回路13は、
変位検出信号S10に基づいて得られる渦電流式変位計
3のコイル部3A及び回転軸5間の変位をDE としたと
き次式
加速度計4の振動変位DS を得、これを振動変位信号S
12として演算回路13に送出する。演算回路13は、
変位検出信号S10に基づいて得られる渦電流式変位計
3のコイル部3A及び回転軸5間の変位をDE としたと
き次式
【数3】 で与えられるような変位DE 及び振動変位DS の差を演
算することにより最終的な回転軸5の変位DO を得、こ
れを変位信号S13として続く信号処理回路(図示せ
ず)に送出するようになされている。
算することにより最終的な回転軸5の変位DO を得、こ
れを変位信号S13として続く信号処理回路(図示せ
ず)に送出するようになされている。
【0016】以上の構成において、この振動計1を使用
する場合には渦電流式変位計3の受感軸K1(図1)が
振動測定対象の回転軸5の中心軸K3と直交するよう
に、かつ当該渦電流式変位計3のセンサ部3Aの先端面
が当該回転軸5の外周面と所定の間隙(2〔mm〕程度)
を介して位置するように固定部材2を例えば回転軸5の
軸受け等に固定する。この結果渦電流式変位計3は当該
渦電流式変位計3のセンサ部3A及び回転軸5間の変位
をセンサ部3Aのコイルのインピーダンス変化として検
出し、これを演算回路部6に送出する。
する場合には渦電流式変位計3の受感軸K1(図1)が
振動測定対象の回転軸5の中心軸K3と直交するよう
に、かつ当該渦電流式変位計3のセンサ部3Aの先端面
が当該回転軸5の外周面と所定の間隙(2〔mm〕程度)
を介して位置するように固定部材2を例えば回転軸5の
軸受け等に固定する。この結果渦電流式変位計3は当該
渦電流式変位計3のセンサ部3A及び回転軸5間の変位
をセンサ部3Aのコイルのインピーダンス変化として検
出し、これを演算回路部6に送出する。
【0017】また振動加速度計4は、軸受け等の固定部
材2を設置した位置(以下これを固定部材設置位置と呼
ぶ)から当該固定部材2を介して与えられる振動加速度
を検出し、これを演算回路部6に送出する。この場合当
該振動計1においては、固定部材2が剛性の高い材料か
ら形成されていることにより振動加速度計4が渦電流式
変位計3と同位相及び同振幅で振動する。従つてこの振
動計1では、当該振動加速度計4が渦電流式変位計3が
固定部材設置位置から固定部材2を介して受ける振動加
速度と等しい振動加速度を検出するために、渦電流式変
位計3の出力に基づいて得られる回転軸5及び渦電流式
変位計3のセンサ部3A間の変位DE と振動加速度計4
の出力に基づいて得られる振動によつて生じた渦電流式
変位計3の振動変位DS との差を取ることによつて当該
回転軸の絶対的な振動変位DO を検出することができ
る。
材2を設置した位置(以下これを固定部材設置位置と呼
ぶ)から当該固定部材2を介して与えられる振動加速度
を検出し、これを演算回路部6に送出する。この場合当
該振動計1においては、固定部材2が剛性の高い材料か
ら形成されていることにより振動加速度計4が渦電流式
変位計3と同位相及び同振幅で振動する。従つてこの振
動計1では、当該振動加速度計4が渦電流式変位計3が
固定部材設置位置から固定部材2を介して受ける振動加
速度と等しい振動加速度を検出するために、渦電流式変
位計3の出力に基づいて得られる回転軸5及び渦電流式
変位計3のセンサ部3A間の変位DE と振動加速度計4
の出力に基づいて得られる振動によつて生じた渦電流式
変位計3の振動変位DS との差を取ることによつて当該
回転軸の絶対的な振動変位DO を検出することができ
る。
【0018】因にこの場合、振動加速度計は、ばね・マ
スで構成されるサイズモ系のマス(質量)をMとし、か
つばねに作用する力の大きさをFとしたときに次式
スで構成されるサイズモ系のマス(質量)をMとし、か
つばねに作用する力の大きさをFとしたときに次式
【数4】 で与えられる振動加速度Aを検出する。この場合、上述
のように、一般的には渦電流式変位計3を用いて回転軸
5の振動変位を高精度に測定するためには基点として不
動な固定点が必要であるが、振動計を実施例のように構
成することによつて不動な座標点は必要なくなり、サイ
ズモ系のばねに作用する力を高精度に測定することによ
つて回転している軸の振動変位を高精度に測定すること
ができる。
のように、一般的には渦電流式変位計3を用いて回転軸
5の振動変位を高精度に測定するためには基点として不
動な固定点が必要であるが、振動計を実施例のように構
成することによつて不動な座標点は必要なくなり、サイ
ズモ系のばねに作用する力を高精度に測定することによ
つて回転している軸の振動変位を高精度に測定すること
ができる。
【0019】以上の構成によれば、渦電流式変位計3及
び振動加速度計4を受感軸K1、K2が同軸となるよう
に固定部材2に固着し、渦電流式変位計3から出力され
るインピーダンス信号S1に基づいて得られる回転軸5
及び当該渦電流式変位計3のセンサ部3A間の変位DE
と、振動加速度計4から出力される振動加速度検出信号
S2に基づいて得られる当該渦電流式変位計3の振動変
位DO との差を求めるようにしたことにより、当該振動
計1の設置位置の振動の有無に係わらず当該回転軸5の
絶対的な変位を確実に検出することができ、かくして回
転軸5の振動変位量を精度良く測定し得る振動計を実現
できる。
び振動加速度計4を受感軸K1、K2が同軸となるよう
に固定部材2に固着し、渦電流式変位計3から出力され
るインピーダンス信号S1に基づいて得られる回転軸5
及び当該渦電流式変位計3のセンサ部3A間の変位DE
と、振動加速度計4から出力される振動加速度検出信号
S2に基づいて得られる当該渦電流式変位計3の振動変
位DO との差を求めるようにしたことにより、当該振動
計1の設置位置の振動の有無に係わらず当該回転軸5の
絶対的な変位を確実に検出することができ、かくして回
転軸5の振動変位量を精度良く測定し得る振動計を実現
できる。
【0020】また高精度な非接触型振動計を実現できる
ことにより、いままで困難であつた回転している軸の振
動を容易に常時監視することができ、かくして例えば遠
隔地の水力発電装置の無人監視ができると共に保全管理
費用を低減でき、かつ確実に安全運転管理をすることが
できる。
ことにより、いままで困難であつた回転している軸の振
動を容易に常時監視することができ、かくして例えば遠
隔地の水力発電装置の無人監視ができると共に保全管理
費用を低減でき、かつ確実に安全運転管理をすることが
できる。
【0021】(2)第2実施例 図1との対応部分に同一符号を付して示す図3及び図4
は第2実施例による振動計20を示し、剛性の高い材料
から形成された断面T字状の固定部材21に渦電流式変
位計3と当該渦電流式変位計3を挟んで当該渦電流式変
位計3から等距離に振動加速度計4A、4Bとがそれぞ
れ固着されている。この場合各振動加速度計4A及び4
Bは、その受感軸K2A、K2Bが渦電流式変位計3の
受感軸K1と同方向となるように固定部材21に取り付
けられており、それぞれ固定部材21を介して受ける振
動加速度を検出してこれをそれぞれ振動加速度検出信号
S2A、S2Bとして出力するようになされている。
は第2実施例による振動計20を示し、剛性の高い材料
から形成された断面T字状の固定部材21に渦電流式変
位計3と当該渦電流式変位計3を挟んで当該渦電流式変
位計3から等距離に振動加速度計4A、4Bとがそれぞ
れ固着されている。この場合各振動加速度計4A及び4
Bは、その受感軸K2A、K2Bが渦電流式変位計3の
受感軸K1と同方向となるように固定部材21に取り付
けられており、それぞれ固定部材21を介して受ける振
動加速度を検出してこれをそれぞれ振動加速度検出信号
S2A、S2Bとして出力するようになされている。
【0022】この各振動加速度検出信号S2A、S2B
は、重畳された後演算回路部30に入力される。演算回
路部30は、図2との対応部分に同一符号を付した図5
に示すような構成を有し、当該振動加速度検出信号S2
A、S2Bを電荷増幅回路11を介して第1の積分回路
12で入力し、この後第1実施例と同様の信号処理を施
した後演算回路13に入力する。演算回路13は、第1
実施例の場合と同様に、変位検出信号S10に基づいて
得られる渦電流式変位計3及び回転軸5間の変位量をD
E としたとき(3)式で与えられるような変位DE 及び
振動変位DS の差を演算することにより最終的な回転軸
5の変位を得、これを変位信号S13として続く信号処
理回路(図示せず)に送出する。
は、重畳された後演算回路部30に入力される。演算回
路部30は、図2との対応部分に同一符号を付した図5
に示すような構成を有し、当該振動加速度検出信号S2
A、S2Bを電荷増幅回路11を介して第1の積分回路
12で入力し、この後第1実施例と同様の信号処理を施
した後演算回路13に入力する。演算回路13は、第1
実施例の場合と同様に、変位検出信号S10に基づいて
得られる渦電流式変位計3及び回転軸5間の変位量をD
E としたとき(3)式で与えられるような変位DE 及び
振動変位DS の差を演算することにより最終的な回転軸
5の変位を得、これを変位信号S13として続く信号処
理回路(図示せず)に送出する。
【0023】以上の構成において、当該振動計20は、
第1実施例の振動計1と同様に、渦電流式変位計3の受
感軸K12が振動測定対象の回転軸5の中心軸K3に対
して直交し、かつ渦電流式変位計3のセンサ部3Aの先
端面が当該回転軸5から所定の間隙(例えば2〔mm〕程
度)を介して位置するように設置して使用する。この場
合、一般的に振動加速度計は受感軸が渦電流式変位計3
の受感軸K1と同軸上にない場合には渦電流式変位計3
が受ける当該渦電流式変位計3の受感軸K1と平行な方
向の振動量はほぼ正確に検出できるものの、例えば回転
するような振動に対してはその振動量を正確に検出し難
い。
第1実施例の振動計1と同様に、渦電流式変位計3の受
感軸K12が振動測定対象の回転軸5の中心軸K3に対
して直交し、かつ渦電流式変位計3のセンサ部3Aの先
端面が当該回転軸5から所定の間隙(例えば2〔mm〕程
度)を介して位置するように設置して使用する。この場
合、一般的に振動加速度計は受感軸が渦電流式変位計3
の受感軸K1と同軸上にない場合には渦電流式変位計3
が受ける当該渦電流式変位計3の受感軸K1と平行な方
向の振動量はほぼ正確に検出できるものの、例えば回転
するような振動に対してはその振動量を正確に検出し難
い。
【0024】ところがこの振動計20のように2つの振
動加速度計4A、4Bを渦電流式変位計3を挟むように
等距離に配置し、当該各振動加速度計4A、4Bから出
力される振動検出信号S2A、S2Bに基づいて渦電流
式変位計3が受ける振動量を検出するようにしたことに
より、ほぼ正確に渦電流式変位計3が受ける振動量を検
出することができる。
動加速度計4A、4Bを渦電流式変位計3を挟むように
等距離に配置し、当該各振動加速度計4A、4Bから出
力される振動検出信号S2A、S2Bに基づいて渦電流
式変位計3が受ける振動量を検出するようにしたことに
より、ほぼ正確に渦電流式変位計3が受ける振動量を検
出することができる。
【0025】以上の構成によれば、剛性の高い材料から
形成された固定部材21に渦電流式変位計3を取り付け
ると共に、当該固定部材21に2つの振動加速度計4
A、4Bを渦電流式変位計3を等距離に挟み込むよう
に、かつその受感軸K2A、K2Bが当該渦電流式変位
計3の受感軸K1と平行になるように取り付け、当該渦
電流式変位計3及び各振動加速度計4A、4Bの出力に
基づいて回転軸5の絶対的な振動変位を算出するように
したことにより、第1実施例とほぼ同様に当該振動計2
0の設置位置の振動の有無に係わらず当該回転軸5の絶
対的な変位を確実に検出することができ、かくして回転
軸5の振動変位量を精度良く測定し得る振動計を実現で
きる。
形成された固定部材21に渦電流式変位計3を取り付け
ると共に、当該固定部材21に2つの振動加速度計4
A、4Bを渦電流式変位計3を等距離に挟み込むよう
に、かつその受感軸K2A、K2Bが当該渦電流式変位
計3の受感軸K1と平行になるように取り付け、当該渦
電流式変位計3及び各振動加速度計4A、4Bの出力に
基づいて回転軸5の絶対的な振動変位を算出するように
したことにより、第1実施例とほぼ同様に当該振動計2
0の設置位置の振動の有無に係わらず当該回転軸5の絶
対的な変位を確実に検出することができ、かくして回転
軸5の振動変位量を精度良く測定し得る振動計を実現で
きる。
【0026】(3)他の実施例 なお上述の第1及び第2実施例においては、渦電流式変
位計3を用いて当該振動計1、20と回転軸5との相対
的な変位を検出するようにした場合について述べたが、
本発明はこれに限らず、要は回転軸5と接触することな
く当該回転軸5との相対的な振動変位を検出することが
できるのであれば、振動計1、20と回転軸5との相対
的な変位を検出する検出手段としてはこの他種々の非接
触型変位計を適用できる。
位計3を用いて当該振動計1、20と回転軸5との相対
的な変位を検出するようにした場合について述べたが、
本発明はこれに限らず、要は回転軸5と接触することな
く当該回転軸5との相対的な振動変位を検出することが
できるのであれば、振動計1、20と回転軸5との相対
的な変位を検出する検出手段としてはこの他種々の非接
触型変位計を適用できる。
【0027】また上述の第2実施例においては、振動加
速度計4A、4Bを2つ用いるようにした場合について
述べたが、本発明はこれに限らず、場合によつては振動
加速度計4A、4Bを1つだけ、又は3つ以上用いるよ
うにしても良い。
速度計4A、4Bを2つ用いるようにした場合について
述べたが、本発明はこれに限らず、場合によつては振動
加速度計4A、4Bを1つだけ、又は3つ以上用いるよ
うにしても良い。
【0028】さらに上述の第1及び第2実施例において
は、渦電流式変位計3の振動変位を振動加速度計4、4
A、4Bを用いて検出するようにした場合について述べ
たが、本発明はこれに限らず、渦電流式変位計3の振動
変位を検出する手段としては振動速度計等この他種々の
振動センサを適用できる。
は、渦電流式変位計3の振動変位を振動加速度計4、4
A、4Bを用いて検出するようにした場合について述べ
たが、本発明はこれに限らず、渦電流式変位計3の振動
変位を検出する手段としては振動速度計等この他種々の
振動センサを適用できる。
【0029】さらに上述の第1及び第2実施例において
は、振動加速度計4、4A、4Bの受感軸K2、K2
A、K2Bの正方向を渦電流式変位計3の受感軸K1の
正方向と一致させるようにした場合について述べたが、
本発明はこれに限らず、振動加速度計4、4A、4Bの
受感軸K2、K2A、K2Bの正方向と渦電流式変位計
3の正方向が逆向きであつても良く、この場合には演算
回路13において渦電流式変位計3の出力に基づく回転
軸5及び振動計1、20間の相対的な変位DE と振動加
速度計4、4A、4Bの出力に基づく渦電流式変位計3
の振動変位DS との和を算出するようにすれば良い。
は、振動加速度計4、4A、4Bの受感軸K2、K2
A、K2Bの正方向を渦電流式変位計3の受感軸K1の
正方向と一致させるようにした場合について述べたが、
本発明はこれに限らず、振動加速度計4、4A、4Bの
受感軸K2、K2A、K2Bの正方向と渦電流式変位計
3の正方向が逆向きであつても良く、この場合には演算
回路13において渦電流式変位計3の出力に基づく回転
軸5及び振動計1、20間の相対的な変位DE と振動加
速度計4、4A、4Bの出力に基づく渦電流式変位計3
の振動変位DS との和を算出するようにすれば良い。
【0030】さらに上述の第1及び第2実施例において
は、振動測定対象物として回転軸5の振動変位を測定す
るようにした場合に付いて述べたが、本発明はこれに限
らず、この他種々の振動測定対象物に適用できる。
は、振動測定対象物として回転軸5の振動変位を測定す
るようにした場合に付いて述べたが、本発明はこれに限
らず、この他種々の振動測定対象物に適用できる。
【0031】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、振動計に
おいて、振動測定対象物までの距離の相対的な変位を非
接触型の変位計によつて検出すると共に、当該変位計の
振動量を振動センサを用いて検出し、当該変位計及び当
該振動センサの出力に基づいて振動測定対象物の当該不
動点を基準とした絶対的な振動変位を算出するようにし
たことにより、当該振動計の設置位置の振動の有無に係
わらず振動測定対象物の絶対的な変位を確実に検出する
ことができ、かくして振動測定対象物の振動変位量を精
度良く測定し得る振動計を実現できる。
おいて、振動測定対象物までの距離の相対的な変位を非
接触型の変位計によつて検出すると共に、当該変位計の
振動量を振動センサを用いて検出し、当該変位計及び当
該振動センサの出力に基づいて振動測定対象物の当該不
動点を基準とした絶対的な振動変位を算出するようにし
たことにより、当該振動計の設置位置の振動の有無に係
わらず振動測定対象物の絶対的な変位を確実に検出する
ことができ、かくして振動測定対象物の振動変位量を精
度良く測定し得る振動計を実現できる。
【図1】本発明を用いて構成した振動計の第1実施例を
示す側面図である。
示す側面図である。
【図2】第1実施例の演算回路部の全体構成を示すブロ
ツク図である。
ツク図である。
【図3】本発明を用いて構成した振動計の第2実施例を
示す上面図である。
示す上面図である。
【図4】本発明を用いて構成した振動計の第2実施例を
示す側面図である。
示す側面図である。
【図5】第2実施例の演算回路部の全体構成を示すブロ
ツク図である。
ツク図である。
1、20……振動計、2、21……固定保持手段(固定
部材)、3……変位計(渦電流式変位計)、4、4A、
4B……振動センサ(振動加速度計)、5……振動測定
対象物(回転軸)、6、30……演算手段(演算回路
部)、K1、K2A、K2B、……受感軸、S1……出
力(変位検出信号)、S2、S2A、S2B……出力
(振動加速度検出信号)、S10……変位検出信号、S
12……振動変位信号。
部材)、3……変位計(渦電流式変位計)、4、4A、
4B……振動センサ(振動加速度計)、5……振動測定
対象物(回転軸)、6、30……演算手段(演算回路
部)、K1、K2A、K2B、……受感軸、S1……出
力(変位検出信号)、S2、S2A、S2B……出力
(振動加速度検出信号)、S10……変位検出信号、S
12……振動変位信号。
Claims (2)
- 【請求項1】振動測定対象物までの距離の変位を検出す
る非接触型の変位計と、 サイズモ系における振動量を検出する振動センサと、 剛性の高い材料から形成され、上記変位計の受感軸及び
上記振動センサの受感軸が同軸となるように上記変位計
及び上記振動センサを固定保持する固定保持手段と、 上記変位計の出力及び上記振動センサの出力に基づいて
上記振動測定対象物の上記不動点を基準とした絶対的な
振動量を算出する演算手段とを具えることを特徴とする
振動計。 - 【請求項2】振動測定対象物までの距離の変位を検出す
る非接触型の変位計と、 サイズモ系における振動量を検出する同じ感度の複数の
振動センサと、 剛性の高い材料から形成され、上記変位計及び上記複数
の振動センサの各受感軸の方向が一致するように、かつ
上記変位計を中心として上記複数の振動センサが対象な
位置となるように上記変位計及び上記複数の振動センサ
を固定保持する固定保持手段と、 上記変位計及び上記複数の振動センサの出力に基づいて
上記振動測定対象物の上記不動点を基準とした絶対的な
振動量を算出する演算手段とを具えることを特徴とする
振動計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20822193A JPH0743207A (ja) | 1993-07-29 | 1993-07-29 | 振動計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20822193A JPH0743207A (ja) | 1993-07-29 | 1993-07-29 | 振動計 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0743207A true JPH0743207A (ja) | 1995-02-14 |
Family
ID=16552681
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20822193A Pending JPH0743207A (ja) | 1993-07-29 | 1993-07-29 | 振動計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0743207A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003014537A (ja) * | 2000-12-19 | 2003-01-15 | Nsk Ltd | 回転装置の振動診断装置 |
CN102175304A (zh) * | 2011-01-26 | 2011-09-07 | 夏惠兴 | 多维度振动传感器 |
WO2014024979A1 (ja) * | 2012-08-08 | 2014-02-13 | 東海旅客鉄道株式会社 | 電機子軸の支持構造の破損検出装置 |
JP2021046269A (ja) * | 2019-09-17 | 2021-03-25 | 株式会社リコー | 検出装置、給送装置及び画像形成装置 |
-
1993
- 1993-07-29 JP JP20822193A patent/JPH0743207A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003014537A (ja) * | 2000-12-19 | 2003-01-15 | Nsk Ltd | 回転装置の振動診断装置 |
CN102175304A (zh) * | 2011-01-26 | 2011-09-07 | 夏惠兴 | 多维度振动传感器 |
WO2014024979A1 (ja) * | 2012-08-08 | 2014-02-13 | 東海旅客鉄道株式会社 | 電機子軸の支持構造の破損検出装置 |
JP2014036498A (ja) * | 2012-08-08 | 2014-02-24 | Central Japan Railway Co | 電機子軸の支持構造の破損検出装置 |
US9389202B2 (en) | 2012-08-08 | 2016-07-12 | Central Japan Railway Company | Damage detecting device for supporting structure for armature shaft |
JP2021046269A (ja) * | 2019-09-17 | 2021-03-25 | 株式会社リコー | 検出装置、給送装置及び画像形成装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN104614064B (zh) | 一种基于条纹靶的高速多维度振动测量装置及方法 | |
EP0608993A2 (en) | Rotating shaft vibration monitor | |
CN109900475B (zh) | 轴承检查装置 | |
JP5293406B2 (ja) | 回転翼の非接触翼振動計測方法 | |
US20030164045A1 (en) | Method and system for measuring vibration of an object | |
US5596189A (en) | Measuring system for determining transverse deflection of a rotary shaft | |
JPH0743207A (ja) | 振動計 | |
CN208432333U (zh) | 一种台面组合体 | |
Gao et al. | Micromachined microsensors for manufacturing | |
Meroño et al. | Measurement techniques of torsional vibration in rotating shafts | |
JP2013024771A (ja) | 振動計及び振動計測装置 | |
JPS61254812A (ja) | 非磁性体シ−ト厚さ連続測定装置 | |
US20220214238A1 (en) | Devices and methods for monitoring health and performance of a mechanical system | |
US3273386A (en) | Torque transducer utilizing a magnetized shaft having a surface discontinuity reference mark | |
US5396801A (en) | Vibrometer | |
JPH028715A (ja) | 振動計 | |
JPH11264779A (ja) | トルク・スラスト検出装置 | |
RU206481U1 (ru) | Устройство для измерения виброускорений и виброперемещений подвижных элементов машин и механизмов | |
JP7168472B2 (ja) | 回転体の振動計測装置、及び、振動計測システム | |
JP3499132B2 (ja) | 変位量計測装置 | |
Francini et al. | Opto‐electronic system for displacement and vibration measurements | |
RU2700724C1 (ru) | Устройство диагностики электродвигателя технической системы на предмет его надежности | |
Tandon | Instrumentation for Vibration Measurement and Analysis | |
CN108036855A (zh) | 一种台面组合体 | |
JPS62102128A (ja) | 分力計測方法および装置 |