JP2821591B2 - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
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- JP2821591B2 JP2821591B2 JP5341300A JP34130093A JP2821591B2 JP 2821591 B2 JP2821591 B2 JP 2821591B2 JP 5341300 A JP5341300 A JP 5341300A JP 34130093 A JP34130093 A JP 34130093A JP 2821591 B2 JP2821591 B2 JP 2821591B2
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- piezoelectric ceramic
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- electrodes
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、円環型圧電セラミック
を使用したモータの効率を改善した超音波モータに関す
るものである。
を使用したモータの効率を改善した超音波モータに関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】本出願人は、図１４に示すように、円環
型圧電セラミック１に両端面に設けた電極２、３を例え
ば２つにそれぞれ分割し、この分割された電極２ａ、２
ｂ、３ａ、３ｂの分割線２ｃ、３ｃが互いに直交するよ
うに設け、電極２ａ、２ｂをスイッチ４を介して発振器
５に接続するようにし、電極３ｂはアースされており、
さらに、円環型圧電セラミック１の端面又は側面に駆動
体を接触させるようにした超音波モータを提案した（特
開昭６４−３０４７７号公報参照）。
型圧電セラミック１に両端面に設けた電極２、３を例え
ば２つにそれぞれ分割し、この分割された電極２ａ、２
ｂ、３ａ、３ｂの分割線２ｃ、３ｃが互いに直交するよ
うに設け、電極２ａ、２ｂをスイッチ４を介して発振器
５に接続するようにし、電極３ｂはアースされており、
さらに、円環型圧電セラミック１の端面又は側面に駆動
体を接触させるようにした超音波モータを提案した（特
開昭６４−３０４７７号公報参照）。
【０００３】この超音波モータは、スイッチ４を端子ａ
に接続すると、発振器５の出力は圧電振動子１の電極２
ａに印加され、電極３ｂを通ってアースに流れ、アース
から発振器５に戻ることにより、円環型圧電セラミック
１に直角方向に電圧が印加され、従って、矢印方向に進
行波が発生するので、駆動体を円環型圧電セラミック１
の端面又は側面に接触させることにより、駆動体が駆動
されるものである。
に接続すると、発振器５の出力は圧電振動子１の電極２
ａに印加され、電極３ｂを通ってアースに流れ、アース
から発振器５に戻ることにより、円環型圧電セラミック
１に直角方向に電圧が印加され、従って、矢印方向に進
行波が発生するので、駆動体を円環型圧電セラミック１
の端面又は側面に接触させることにより、駆動体が駆動
されるものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この超
音波モータ駆動装置では、円環型圧電セラミック１の駆
動している部分が半分であるため、高い電圧を印加しな
ければならないという問題があり、さらに超音波モータ
の高効率化が望まれている。
音波モータ駆動装置では、円環型圧電セラミック１の駆
動している部分が半分であるため、高い電圧を印加しな
ければならないという問題があり、さらに超音波モータ
の高効率化が望まれている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、円環型圧電セ
ラミックの表裏の電極をそれぞれ対称に４分割する分割
線をずらし、該分割線で形成された表裏の４分割電極が
一部重なり合うように構成し、発振器よりそれぞれに順
次９０度位相が異なる４相電圧を前記表裏の４分割電極
に印加して、前記円環型圧電セラミックの表面に進行波
を発生し、前記円環型圧電セラミックの端面又は側面に
駆動体を圧接して駆動するようにしたものである。
ラミックの表裏の電極をそれぞれ対称に４分割する分割
線をずらし、該分割線で形成された表裏の４分割電極が
一部重なり合うように構成し、発振器よりそれぞれに順
次９０度位相が異なる４相電圧を前記表裏の４分割電極
に印加して、前記円環型圧電セラミックの表面に進行波
を発生し、前記円環型圧電セラミックの端面又は側面に
駆動体を圧接して駆動するようにしたものである。
【０００６】
【作用】本発明では、円環型圧電セラミックの表裏の電
極を４分割し、これら表裏の４分割電極の一部が重なる
ように分割線をずらして構成し、これらの４分割電極に
それぞれ９０度位相の異なる４相電圧を発振器より印加
するように構成する。
極を４分割し、これら表裏の４分割電極の一部が重なる
ように分割線をずらして構成し、これらの４分割電極に
それぞれ９０度位相の異なる４相電圧を発振器より印加
するように構成する。
【０００７】このように構成することにより、円環型圧
電セラミックを実質的に８分割して駆動するように作用
され、円環型圧電セラミックの全体を使用することがで
きるので、進行波の発生がスムーズに行われ、超音波モ
ータの高効率化を図れるものである。
電セラミックを実質的に８分割して駆動するように作用
され、円環型圧電セラミックの全体を使用することがで
きるので、進行波の発生がスムーズに行われ、超音波モ
ータの高効率化を図れるものである。
【０００８】
【実施例】図１は本発明の実施例の超音波モータのステ
ータの斜視図、図２は本発明の実施例の超音波モータの
ステータの平面図で、円環型圧電セラミック６の一方の
面（以下表面とする）の電極を対称な分割線７ａ、７
ｂ、７ｃ、７ｄで４つに分割して４分割電極８ａ、８
ｂ、８ｃ、８ｄを構成する。
ータの斜視図、図２は本発明の実施例の超音波モータの
ステータの平面図で、円環型圧電セラミック６の一方の
面（以下表面とする）の電極を対称な分割線７ａ、７
ｂ、７ｃ、７ｄで４つに分割して４分割電極８ａ、８
ｂ、８ｃ、８ｄを構成する。
【０００９】又、円環型圧電セラミック６の他方の面
（以下裏面とする）の電極を対称な分割線９ａ、９ｂ、
９ｃ、９ｄで分割して４分割電極１０ａ、１０ｂ、１０
ｃ、１０ｄを構成するとともに、表面の分割線７ａ、７
ｂ、７ｃ、７ｄと裏面の分割線９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ
を互いに４５度ずらして構成することにより、表面の４
分割電極８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄと得の４分割電極１０
ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄの互いの半分が重なり合う
ように構成する。
（以下裏面とする）の電極を対称な分割線９ａ、９ｂ、
９ｃ、９ｄで分割して４分割電極１０ａ、１０ｂ、１０
ｃ、１０ｄを構成するとともに、表面の分割線７ａ、７
ｂ、７ｃ、７ｄと裏面の分割線９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ
を互いに４５度ずらして構成することにより、表面の４
分割電極８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄと得の４分割電極１０
ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄの互いの半分が重なり合う
ように構成する。
【００１０】そして、円環型圧電セラミック６の表面の
電極８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄと裏面の４分割電極１０
ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄに図３の（ａ）、（ｂ）、
（ｃ）、（ｄ）に示す１相から順次９０度ずつ位相がず
れた４相の電圧がそれぞれ印加されるように、発振器１
１の４相の出力線に表面の電極８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ
を接続する。
電極８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄと裏面の４分割電極１０
ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄに図３の（ａ）、（ｂ）、
（ｃ）、（ｄ）に示す１相から順次９０度ずつ位相がず
れた４相の電圧がそれぞれ印加されるように、発振器１
１の４相の出力線に表面の電極８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ
を接続する。
【００１１】又、発振器１１の他の４相の出力線に円環
型圧電セラミック６の裏面の電極１０ａ、１０ｂ、１０
ｃ、１０ｄをそれぞれ接続する。
型圧電セラミック６の裏面の電極１０ａ、１０ｂ、１０
ｃ、１０ｄをそれぞれ接続する。
【００１２】このように構成することにより、図４に示
すように円環型圧電セラミック６の表面の分割線７ｄと
９ａ、７ａと９ｂ、７ｂと９ｃ、７ｃと９ｄでそれぞれ
形成された領域Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ａ４にそれぞれ図３
の（ｅ）、（ｇ）、（ｉ）、（ｋ）の電圧が印加され、
又、９ａと７ａ、９ｂと７ｂ、９ｃと７ｃ、９ｄと７ｄ
でそれぞれ形成された領域Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４に図
３の（ｆ）、（ｈ）、（ｊ）、（ｌ）の電圧が印加され
て進行波が発生する。
すように円環型圧電セラミック６の表面の分割線７ｄと
９ａ、７ａと９ｂ、７ｂと９ｃ、７ｃと９ｄでそれぞれ
形成された領域Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ａ４にそれぞれ図３
の（ｅ）、（ｇ）、（ｉ）、（ｋ）の電圧が印加され、
又、９ａと７ａ、９ｂと７ｂ、９ｃと７ｃ、９ｄと７ｄ
でそれぞれ形成された領域Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４に図
３の（ｆ）、（ｈ）、（ｊ）、（ｌ）の電圧が印加され
て進行波が発生する。
【００１３】従って、本実施例では、４分割電極の４相
駆動を実質的に８分割の８相駆動とすることができるの
で、所望の振動モードでスムーズに励振でき、効率を向
上させることができる。
駆動を実質的に８分割の８相駆動とすることができるの
で、所望の振動モードでスムーズに励振でき、効率を向
上させることができる。
【００１４】なお、発振器１１の一方の４相のリード線
の位相を９０度進めるか、遅らせることにより、円環型
圧電セラミック６に発生する進行波の方向を逆転するこ
とができる。
の位相を９０度進めるか、遅らせることにより、円環型
圧電セラミック６に発生する進行波の方向を逆転するこ
とができる。
【００１５】又、図５は本発明の他の実施例の超音波モ
ータのステータの平面図で、円環型圧電セラミック６の
表面に内径と外形の間で４５度又は適宜の傾斜を持つ分
割線７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄで表面の分割電極８ａ、８
ｂ、８ｃ、８ｄを構成し、さらに、これらの分割線７
ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄと対称な円環型圧電セラミック６
の裏面の分割線９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄで分割電極１０
ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄを構成する。
ータのステータの平面図で、円環型圧電セラミック６の
表面に内径と外形の間で４５度又は適宜の傾斜を持つ分
割線７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄで表面の分割電極８ａ、８
ｂ、８ｃ、８ｄを構成し、さらに、これらの分割線７
ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄと対称な円環型圧電セラミック６
の裏面の分割線９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄで分割電極１０
ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄを構成する。
【００１６】そして、前述の実施例と同様に、円環型圧
電セラミック６の表面の電極８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄに
図３の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示す１相から
順次９０度ずつ位相がずれた４相の電圧がそれぞれ印加
されるように発振器１１の４相の出力線に表面の８ａ、
８ｂ、８ｃ、８ｄを接続し、又、円環型圧電セラミック
６の裏面の電極１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄに図３
の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示す１相から順次
９０度ずつ位相がずれた４相の電圧がそれぞれ印加され
るように発振器１１の他の４相の出力線を接続する。
電セラミック６の表面の電極８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄに
図３の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示す１相から
順次９０度ずつ位相がずれた４相の電圧がそれぞれ印加
されるように発振器１１の４相の出力線に表面の８ａ、
８ｂ、８ｃ、８ｄを接続し、又、円環型圧電セラミック
６の裏面の電極１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄに図３
の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示す１相から順次
９０度ずつ位相がずれた４相の電圧がそれぞれ印加され
るように発振器１１の他の４相の出力線を接続する。
【００１７】このように構成することにより、図６に示
すように円環型圧電セラミック６の表裏の分割線７ｄと
９ａ、７ａと９ｂ、７ｂと９ｃ、７ｃと９ｄでそれぞれ
形成された領域Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ａ４にそれぞれず３
の（ｅ）、（ｇ）、（ｉ）、（ｋ）の電圧が印加され、
又、表裏の分割線９ａと７ａ、９ｂと７ｂ、９ｃと７
ｃ、９ｄと７ｄで形成された領域Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ
４に図３の（ｆ）、（ｈ）、（ｊ）、（ｌ）の電圧が印
加され、進行波が発生する。
すように円環型圧電セラミック６の表裏の分割線７ｄと
９ａ、７ａと９ｂ、７ｂと９ｃ、７ｃと９ｄでそれぞれ
形成された領域Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ａ４にそれぞれず３
の（ｅ）、（ｇ）、（ｉ）、（ｋ）の電圧が印加され、
又、表裏の分割線９ａと７ａ、９ｂと７ｂ、９ｃと７
ｃ、９ｄと７ｄで形成された領域Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ
４に図３の（ｆ）、（ｈ）、（ｊ）、（ｌ）の電圧が印
加され、進行波が発生する。
【００１８】又、図５において、円環型圧電セラミック
６の表面の電圧８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄに図３の
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示す１相から順次９
０度位相がずれた４相の電圧がそれぞれ印加されるよう
に発振器１１の４相の出力線に表面の電極８ａ、８ｂ、
８ｃ、８ｄを接続し、又、円環型圧電セラミック６の裏
面の電極１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄに図３の
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示す１相から順次９
０度ずつ位相がずれた４相の電圧がそれぞれ印加される
ように発振器１１の他の４相の出力線をそれぞれ接続す
る。
６の表面の電圧８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄに図３の
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示す１相から順次９
０度位相がずれた４相の電圧がそれぞれ印加されるよう
に発振器１１の４相の出力線に表面の電極８ａ、８ｂ、
８ｃ、８ｄを接続し、又、円環型圧電セラミック６の裏
面の電極１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄに図３の
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示す１相から順次９
０度ずつ位相がずれた４相の電圧がそれぞれ印加される
ように発振器１１の他の４相の出力線をそれぞれ接続す
る。
【００１９】このように構成することにより、図７に示
すように円環型圧電セラミック６の表裏の分割線７ａと
９ａ、７ｂと９ｂ、７ｃと９ｃ、７ｄと９ｄでそれぞれ
形成された領域Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ａ４にそれぞれ図３
の（ｅ）、（ｇ）、（ｉ）、（ｋ）の電圧が印加され、
領域Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４に図３の（ｆ）、（ｈ）、
（ｊ）、（ｌ）の電圧が印加され、進行波が発生する。
すように円環型圧電セラミック６の表裏の分割線７ａと
９ａ、７ｂと９ｂ、７ｃと９ｃ、７ｄと９ｄでそれぞれ
形成された領域Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ａ４にそれぞれ図３
の（ｅ）、（ｇ）、（ｉ）、（ｋ）の電圧が印加され、
領域Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４に図３の（ｆ）、（ｈ）、
（ｊ）、（ｌ）の電圧が印加され、進行波が発生する。
【００２０】なお、円環型圧電セラミック６の表面の分
割線７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄと裏面の分割線９ａ、９
ｂ、９ｃ、９ｄで分割される領域Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ａ
４と領域Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４の他の形状としては、
図８に示すように、領域Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ａ４をそれ
ぞれ平行な分割線７ａと９ａ、７ｂと９ｂ、７ｃと９
ｃ、７ｄと９ｄで構成したものや、図９に示すように、
図５において、領域Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ａ４をさらに小
さくしたものなど構成できる。
割線７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄと裏面の分割線９ａ、９
ｂ、９ｃ、９ｄで分割される領域Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ａ
４と領域Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４の他の形状としては、
図８に示すように、領域Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ａ４をそれ
ぞれ平行な分割線７ａと９ａ、７ｂと９ｂ、７ｃと９
ｃ、７ｄと９ｄで構成したものや、図９に示すように、
図５において、領域Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ａ４をさらに小
さくしたものなど構成できる。
【００２１】さらに、図１０において、円環型圧電セラ
ミック６の内径の接線方向に延ばした表面の分割線７
ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄで分割された表面電極８ａ、８
ｂ、８ｃ、８ｄと裏面の分割線９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ
で分割された裏面電極１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ
のそれぞれが接続されるように、円環型圧電セラミック
６の内径に折り返し電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２
ｄを設けると、表面電極８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ又は裏
面電極１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄのいずれかに１
相から順次９０度位相がずれた４相の電圧を印加するこ
とによって、図５の実施例と同様に円環型圧電セラミッ
ク６を駆動することができる。
ミック６の内径の接線方向に延ばした表面の分割線７
ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄで分割された表面電極８ａ、８
ｂ、８ｃ、８ｄと裏面の分割線９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ
で分割された裏面電極１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ
のそれぞれが接続されるように、円環型圧電セラミック
６の内径に折り返し電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２
ｄを設けると、表面電極８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ又は裏
面電極１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄのいずれかに１
相から順次９０度位相がずれた４相の電圧を印加するこ
とによって、図５の実施例と同様に円環型圧電セラミッ
ク６を駆動することができる。
【００２２】又、表裏の電極を４分割する例としては、
図１１に示すように表面の巴型電極７ａ、７ｂ、７ｃ、
７ｄと裏面の巴型電極９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄを形成し
てもよいし、図１２に示すように表面の卍電極７ａ、７
ｂ、７Ｃ、７ｄと裏面の卍電極９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ
で形成してもよいし、さらに、図１３に示すように、中
間に円弧が形成された分割電極７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄ
と９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄで形成してもよい。
図１１に示すように表面の巴型電極７ａ、７ｂ、７ｃ、
７ｄと裏面の巴型電極９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄを形成し
てもよいし、図１２に示すように表面の卍電極７ａ、７
ｂ、７Ｃ、７ｄと裏面の卍電極９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ
で形成してもよいし、さらに、図１３に示すように、中
間に円弧が形成された分割電極７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄ
と９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄで形成してもよい。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の超音波モ
ータでは、円環型圧電セラミックの表裏の分割線をずら
すことにより、表面の４分割電極と裏面の４分割電極と
の駆動を実質的に８分割の８相駆動とすることができる
ので、円環型圧電セラミックを所望の振動モードで励振
することができ、効率を向上させることができるという
利点がある。
ータでは、円環型圧電セラミックの表裏の分割線をずら
すことにより、表面の４分割電極と裏面の４分割電極と
の駆動を実質的に８分割の８相駆動とすることができる
ので、円環型圧電セラミックを所望の振動モードで励振
することができ、効率を向上させることができるという
利点がある。
【図１】本発明の実施例の超音波モータの駆動装置の斜
視図である。
視図である。
【図２】図１の超音波モータのステータの平面図であ
る。
る。
【図３】図１の超音波モータの４分割電極に入力される
電圧の波形図である。
電圧の波形図である。
【図４】図１の超音波モータの励振モードを示した図で
ある。
ある。
【図５】本発明の他の実施例の超音波モータのステータ
の平面図である。
の平面図である。
【図６】図５の超音波モータの駆動モードを示した図で
ある。
ある。
【図７】図５の超音波モータの他の駆動モードを示した
図である。
図である。
【図８】本発明の他の実施例の超音波モータの駆動モー
ドを示した図である。
ドを示した図である。
【図９】本発明のさらに他の実施例の超音波モータの駆
動モードを示した図である。
動モードを示した図である。
【図１０】図５の超音波モータの円環型圧電セラミック
の内径に折り返し電極を接続した本発明の他の実施例の
超音波モータのステータの斜視図である。
の内径に折り返し電極を接続した本発明の他の実施例の
超音波モータのステータの斜視図である。
【図１１】本発明の他の実施例の超音波モータの円環型
圧電セラミックの分割電極を示した図である。
圧電セラミックの分割電極を示した図である。
【図１２】本発明のさらに他の実施例の超音波モータの
円環型圧電セラミックの分割電極を示した図である。
円環型圧電セラミックの分割電極を示した図である。
【図１３】本発明のさらに他の実施例の超音波モータの
円環型圧電セラミックの分割電極を示した図である。
円環型圧電セラミックの分割電極を示した図である。
【図１４】本出願人が提案した超音波モータ駆動装置の
ブロック図である。
ブロック図である。
６ 円環型圧電セラミ
ック ７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄ 分割線 ８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ 分割電極 ９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ 分割線 １０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ 分割電極 １１ 発振器 １２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ 折り返し電極
ック ７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄ 分割線 ８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ 分割電極 ９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ 分割線 １０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ 分割電極 １１ 発振器 １２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ 折り返し電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 正典 愛知県豊橋市大岩町字小山塚20番地 本 多電子株式会社内 (72)発明者 大森 健児 愛知県豊橋市大岩町字小山塚20番地 本 多電子株式会社内 (72)発明者 久保田 和政 愛知県豊橋市大岩町字小山塚20番地 本 多電子株式会社内 (56)参考文献 特開 昭64−30477（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H02N 2/00
Claims (2)
- 【請求項１】 円環型圧電セラミックの表裏の電極をそ
れぞれ対称に４分割する分割線をずらし、該分割線で形
成された表裏の４分割電極が一部重なり合うように構成
し、発振器よりそれぞれに順次９０度位相が異なる４相
電圧を前記表裏の４分割電極に印加して、前記円環型圧
電セラミックの表面に進行波を発生し、前記円環型圧電
セラミックの端面又は側面に駆動体を圧接して駆動する
ことを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項２】 前記発振器の４相電圧の一方を９０度ず
らすことにより進行波の方向を反転することを特徴とす
る請求項１記載の超音波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5341300A JP2821591B2 (ja) | 1993-12-11 | 1993-12-11 | 超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5341300A JP2821591B2 (ja) | 1993-12-11 | 1993-12-11 | 超音波モータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07170766A JPH07170766A (ja) | 1995-07-04 |
| JP2821591B2 true JP2821591B2 (ja) | 1998-11-05 |
Family
ID=18344987
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5341300A Expired - Fee Related JP2821591B2 (ja) | 1993-12-11 | 1993-12-11 | 超音波モータ |
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1993
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