JP2808850B2 - 基板の観察装置 - Google Patents
基板の観察装置Info
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- JP2808850B2 JP2808850B2 JP2197309A JP19730990A JP2808850B2 JP 2808850 B2 JP2808850 B2 JP 2808850B2 JP 2197309 A JP2197309 A JP 2197309A JP 19730990 A JP19730990 A JP 19730990A JP 2808850 B2 JP2808850 B2 JP 2808850B2
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- light source
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- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は基板の観察装置に関し、詳しくは、基板認識
マーク、半田ランド、回路パターンのような基板上の被
測定物を明瞭に観察するための装置に関する。
マーク、半田ランド、回路パターンのような基板上の被
測定物を明瞭に観察するための装置に関する。
（従来の技術） 電子部品が実装される基板には、基板の位置ずれ観察
の基準点となる基板認識マークや、電子部品を実装する
為の半田ランド、回路パターンなどが形成されており、
基板に電子部品を実装する際には、これらのマークや半
田ランド等をカメラにより観察することが行われる。
の基準点となる基板認識マークや、電子部品を実装する
為の半田ランド、回路パターンなどが形成されており、
基板に電子部品を実装する際には、これらのマークや半
田ランド等をカメラにより観察することが行われる。
第３図は従来の観察装置を示すものであって、100は
カメラであり、その下部には、リング状の光源部101が
装着されている。102は基板であり、その上面には、基
盤認識マーク103が形成されている。光源部101から照射
された光は、マーク103の上面に反射され、その反射光
をカメラ100により観察し、その画像から、基板の位置
ずれを算出する。
カメラであり、その下部には、リング状の光源部101が
装着されている。102は基板であり、その上面には、基
盤認識マーク103が形成されている。光源部101から照射
された光は、マーク103の上面に反射され、その反射光
をカメラ100により観察し、その画像から、基板の位置
ずれを算出する。
（発明が解決しようとする課題） マーク103が、半田メッキなどにより形成されている
場合、その表面は粗面であって光散乱性を有することか
ら、このマーク103に照射された光のうちのかなりの部
分ａは、カメラ100へ向って反射され、明瞭に観察でき
る。ところが、マーク103が金メッキなどの光沢のある
鏡面性の材料から成る場合、マーク103に入射した光ｂ
は、斜上方に反射されてカメラ100には殆ど入射しない
ことから、マーク103を明瞭に観察できない問題があっ
た。
場合、その表面は粗面であって光散乱性を有することか
ら、このマーク103に照射された光のうちのかなりの部
分ａは、カメラ100へ向って反射され、明瞭に観察でき
る。ところが、マーク103が金メッキなどの光沢のある
鏡面性の材料から成る場合、マーク103に入射した光ｂ
は、斜上方に反射されてカメラ100には殆ど入射しない
ことから、マーク103を明瞭に観察できない問題があっ
た。
したがって本発明は、様々な材料から成る基板上の被
測定物を、明瞭に観察することができる基板の観察装置
を提供することを目的とする。
測定物を、明瞭に観察することができる基板の観察装置
を提供することを目的とする。
（課題を解決するための手段） 本発明は、基板上の被測定物を上方から観察するカメ
ラと、この被測定物へ向って上方から垂直に照明光を照
射する第１の光源と、上記カメラの下方に配設された筒
状の光反射体と、この光反射体の内面に向って上方から
光を照射してその反射光を上記被測定物に斜上方から照
射する第２の光源とから基板の観察装置を構成してい
る。
ラと、この被測定物へ向って上方から垂直に照明光を照
射する第１の光源と、上記カメラの下方に配設された筒
状の光反射体と、この光反射体の内面に向って上方から
光を照射してその反射光を上記被測定物に斜上方から照
射する第２の光源とから基板の観察装置を構成してい
る。
また好ましくは、上記筒状の光反射体を、上部の内径
よりも下部の内径が小さい尻すぼみ状としたものであ
る。
よりも下部の内径が小さい尻すぼみ状としたものであ
る。
（作用） 上記構成において、被測定物が例えば半田メッキによ
り形成された基板認識マークのような粗面を有するもの
である場合、第２の光源から照射された照明光は、光反
射体により内方に反射されて、斜上方からこの被測定物
に入射し、その反射光がカメラに入射することにより、
カメラに明瞭に観察される。
り形成された基板認識マークのような粗面を有するもの
である場合、第２の光源から照射された照明光は、光反
射体により内方に反射されて、斜上方からこの被測定物
に入射し、その反射光がカメラに入射することにより、
カメラに明瞭に観察される。
また被測定物が、例えば金メッキにより形成された基
板認識マークのような光沢面を有するものである場合、
上方の第１の光源から垂直に照射された光が、この被被
測定物に入射して垂直に反射されることから、この被測
定物も明瞭に観察できる。
板認識マークのような光沢面を有するものである場合、
上方の第１の光源から垂直に照射された光が、この被被
測定物に入射して垂直に反射されることから、この被測
定物も明瞭に観察できる。
（実施例１） 次に、図面を参照しながら本発明の実施例を説明す
る。
る。
第１図において、カメラ１の下方には垂直な鏡筒２が
配設されており、鏡筒２の下方には円筒状の光反射体３
が装着されている。この光反射体３は、その上部の内径
よりも、下部の内径が小さい尻すぼみ状の形状である。
配設されており、鏡筒２の下方には円筒状の光反射体３
が装着されている。この光反射体３は、その上部の内径
よりも、下部の内径が小さい尻すぼみ状の形状である。
上記鏡筒２の内部には、ハーフミラー４が設けられて
おり、またこの鏡筒２の側部には、このハーフミラー４
へ向って照明光を照射する第１の光源５が設けられてい
る。この第１の光源５には、豆球などのランプ5aが内蔵
されている。また上記光反射体３の上縁部には、光ファ
イバから成る第２の光源６がリング状に設けられてい
る。第２の光源６は光反射体３の内面に向って上方から
光を照射する。この光は光反射体３の内面に反射され、
基板10上の被測定物11に斜上方から照射される。10は基
板、11はこの基板10の上面に形成された基板認識マーク
であり、上記光反射体３は、第２の光源６と基板10の間
に位置している。
おり、またこの鏡筒２の側部には、このハーフミラー４
へ向って照明光を照射する第１の光源５が設けられてい
る。この第１の光源５には、豆球などのランプ5aが内蔵
されている。また上記光反射体３の上縁部には、光ファ
イバから成る第２の光源６がリング状に設けられてい
る。第２の光源６は光反射体３の内面に向って上方から
光を照射する。この光は光反射体３の内面に反射され、
基板10上の被測定物11に斜上方から照射される。10は基
板、11はこの基板10の上面に形成された基板認識マーク
であり、上記光反射体３は、第２の光源６と基板10の間
に位置している。
上記構成において、第１の光源５から照射された照明
光は、ハーフミラー４に反射されて、マーク11に垂直に
入射する。また第２の光源６から照射された照明光は、
光反射体３により内方に反射されて、マーク11に斜上方
から入射する。
光は、ハーフミラー４に反射されて、マーク11に垂直に
入射する。また第２の光源６から照射された照明光は、
光反射体３により内方に反射されて、マーク11に斜上方
から入射する。
したがってマーク11が例えば金メッキなどの光沢のあ
る材料により形成されている場合、第１の光源５から照
射されて垂直に入射した光ａが、垂直に上方へ反射され
てカメラ１に入射し、カメラ１に明瞭に観察される。
る材料により形成されている場合、第１の光源５から照
射されて垂直に入射した光ａが、垂直に上方へ反射され
てカメラ１に入射し、カメラ１に明瞭に観察される。
またマーク11が例えば半田メッキなどにより形成され
て、その表面が粗面である場合、第２の光源６から照射
された光ｂは、光反射体３の内方に反射されて、斜上方
からマーク11に入射し、上方へ反射されてカメラ１に入
射することから、明瞭に観察される。
て、その表面が粗面である場合、第２の光源６から照射
された光ｂは、光反射体３の内方に反射されて、斜上方
からマーク11に入射し、上方へ反射されてカメラ１に入
射することから、明瞭に観察される。
このように、この観察装置によれば、被測定物に対し
て、垂直及び斜上方から照明光を照射できるので、様々
な材質の被測定物を明瞭に観察することができる。
て、垂直及び斜上方から照明光を照射できるので、様々
な材質の被測定物を明瞭に観察することができる。
（実施例２） 第２図において、ハーフミラー４は、光反射体３の近
傍の光路上に設けられている。また光ファイバ６は分岐
して、その一部はハーフミラー４側へ延出する第１の光
源6aとなっており、またその一部は下方へ屈折して、リ
ング状の第２の光源6bとなっている。
傍の光路上に設けられている。また光ファイバ６は分岐
して、その一部はハーフミラー４側へ延出する第１の光
源6aとなっており、またその一部は下方へ屈折して、リ
ング状の第２の光源6bとなっている。
したがってこのものも、上記第１実施例と同様の作用
効果が得られる。また本実施例のように、第１の光源6a
も光ファイバにより構成すれば、ランプのような光源体
をハーフミラー４などの光学系から遠く離し、光学系が
光源体の熱により光学的悪影響を受けるのを回避でき
る。
効果が得られる。また本実施例のように、第１の光源6a
も光ファイバにより構成すれば、ランプのような光源体
をハーフミラー４などの光学系から遠く離し、光学系が
光源体の熱により光学的悪影響を受けるのを回避でき
る。
なお上記実施例は、基板認識マーク11を観察する場合
を例にとって説明したが、本発明は、基板に形成される
半田ランドや、回路パターンなどの観察にも使用でき
る。
を例にとって説明したが、本発明は、基板に形成される
半田ランドや、回路パターンなどの観察にも使用でき
る。
（発明の効果） 以上説明したように本発明によれば、第１の光源と第
２の光源を使い分けることにより、光散乱性を有する半
田メッキや鏡面性を有する金メッキなどの光反射特性の
異る様々な材料から成る基板上の被測定物をいずれも明
瞭に観察することができる。また筒状の光反射体を尻す
ぼみ状とすることにより、第２の光源から照射された光
を基板上の被測定物に向ってより十分に反射させて斜上
方から照射することができる。
２の光源を使い分けることにより、光散乱性を有する半
田メッキや鏡面性を有する金メッキなどの光反射特性の
異る様々な材料から成る基板上の被測定物をいずれも明
瞭に観察することができる。また筒状の光反射体を尻す
ぼみ状とすることにより、第２の光源から照射された光
を基板上の被測定物に向ってより十分に反射させて斜上
方から照射することができる。
図は本発明の実施例を示すものであって、第１図は基板
の観察装置の正面図、第２図は他の実施例の部分正面
図、第３図は従来装置の側面図である。 １……カメラ ３……光反射体 5,6a……第１の光源 6,6b……第２の光源 10……基板 11……被測定物
の観察装置の正面図、第２図は他の実施例の部分正面
図、第３図は従来装置の側面図である。 １……カメラ ３……光反射体 5,6a……第１の光源 6,6b……第２の光源 10……基板 11……被測定物
Claims (2)
- 【請求項１】基板上の被測定物を上方から観察するカメ
ラと、この被測定物へ向って上方から垂直に照明光を照
射する第１の光源と、上記カメラの下方に配設された筒
状の光反射体と、この光反射体の内面に向って上方から
光を照射してその反射光を上記被測定物に斜上方から照
射する第２の光源とを備えていることを特徴とする基板
の観察装置。 - 【請求項２】上記筒状の光反射体を、上部の内径よりも
下部の内径が小さい尻すぼみ状としたことを特徴とする
請求項１記載の基板の観察装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2197309A JP2808850B2 (ja) | 1990-07-25 | 1990-07-25 | 基板の観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2197309A JP2808850B2 (ja) | 1990-07-25 | 1990-07-25 | 基板の観察装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0483400A JPH0483400A (ja) | 1992-03-17 |
| JP2808850B2 true JP2808850B2 (ja) | 1998-10-08 |
Family
ID=16372317
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2197309A Expired - Fee Related JP2808850B2 (ja) | 1990-07-25 | 1990-07-25 | 基板の観察装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2808850B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6538244B1 (en) | 1999-11-03 | 2003-03-25 | Cyberoptics Corporation | Pick and place machine with improved vision system including a linescan sensor |
| US6535291B1 (en) | 2000-06-07 | 2003-03-18 | Cyberoptics Corporation | Calibration methods for placement machines incorporating on-head linescan sensing |
-
1990
- 1990-07-25 JP JP2197309A patent/JP2808850B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0483400A (ja) | 1992-03-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |