JP2805432B2 - バンプ付き回路基板の製造方法 - Google Patents
バンプ付き回路基板の製造方法Info
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Description
造方法に関し、より詳細には電子部品等と接続するため
の微細なバンプを有するバンプ付き回路基板の製造方法
に関する。
法としては、LSI等の集積回路を回路基板上に固定し
た後、前記集積回路と回路基板とを金属細線で接続する
ワイヤボンディング方式や一度集積回路をQFP(クウ
ァッド・フラット・パッケージ)にパッケージングした
後、このQFPを再度回路基板に実装するQFP表面実
装方式が主流であった。
度化の要求により、フリップチップ方式が注目されてい
る。以下、フリップチップ方式により回路基板に集積回
路を実装する方法について簡単に説明する。
が回路基板に接着された状態を模式的に示した断面図で
あり、図中、31はセラミックス回路基板を示してい
る。
れた凸形状のバンプ32と、集積回路33の表面に形成
されたバンプ34とが、半田35を介して電気的に接続
され、固定されている。
プ34とセラミックス回路基板31に形成されたバンプ
32とを接続する方法としては、通常集積回路33に形
成されたバンプ34上に半田35を接着しておき、この
集積回路33上の半田35を対応するセラミックス回路
基板31上のバンプ32に当接させ、加熱することによ
り接続、固定する方法がとられている。
積回路33との両方にバンプ32、34を形成し、半田
35を介して両者を接続する方法を採用することによ
り、セラミックス回路基板31と集積回路33との間に
空間が確保されるため、半田付け時に生ずるフラックス
や半田滓の等の汚物を洗浄によって確実に除去でき、信
頼性を向上させることができる。
の基板(マザーボード)に実装する方法として、従来は
DIP(デュアル・イン・ライン・パッケージ)方式や
PGA(ピン・グリッド・アレイ)方式が採られてい
た。
度化・軽量化の要求から、セラミックス回路基板31を
マザーボードに直接表面実装することが可能なフリップ
チップ方式への移行が切望されている。
クス回路基板31がマザーボードに接着、固定された状
態を模式的に示した断面図である。
れた凸形状のバンプ32と、マザーボード41の表面に
形成されたバンプ42とが、半田35を介して電気的に
接続され、固定されている。両者を接続、固定する方法
として、上記の場合と同様の方法をとることができる。
回路等を接続するために用いられるセラミックス回路基
板31の一例を模式的に示した断面図である。
路基板31の内部には複数の層に亘って内部配線37が
形成されており、この内部配線37同士を接続するため
にスルーホールが形成されている。そしてフリップチッ
プ方式により、セラミックス回路基板31内部に形成さ
れた内部配線37と被実装体とを接続するため、表面に
露出したスルーホールの端部にバンプ32が形成され、
内部配線37との接続が図られている。図4に示したよ
うな高密度実装を図るためのセラミックス回路基板31
では、形成されるバンプ32は小さくなり、かつその密
度も相当に高くなる。
集積回路33をフリップチップ方式により実装する場
合、又はマザーボード41にセラミックス回路基板31
をフリップチップ方式により実装する場合において、セ
ラミックス回路基板31には高精度でかつ高密度なバン
プ32を形成する必要がある。ここで、高精度なバンプ
32とは径、厚み(高さ)、ピッチ等のばらつきが小さ
いパッドをいい、高密度なバンプ32とは直径やピッチ
が小さいパッドをいう。
を形成する従来の方法としては、W、Mo−Mn、A
u、Ag−Pd、Cu等の導体材料を含有する導体ペー
ストをスクリーン印刷法によりセラミックス回路基板3
1表面に塗布し、焼成して前記金属を基板に焼き付けた
後、必要により、Ni及びAu等のめっきをし、又はC
r−Cu等を蒸着する方法がある。
たスクリーン印刷法によりセラミックス回路基板31に
バンプ32を形成した場合、以下に述べるような種々の
問題が発生する。
ックス回路基板31に形成されたバンプ32とマザーボ
ード41に形成されたバンプ42とが、半田35を介し
て接続、固定されている状態を示した断面図である。
法においては、通常金網よりなるメッシュの開口部と非
開口部とでペーストの吐出量が異なること等により印刷
厚みのばらつきが生じるために、セラミックス回路基板
31の表面に形成されたバンプ32の高さが不揃いにな
り、高さの低いバンプ32aと高いバンプ32b、32
cがそれぞれ形成される。従って、このセラミックス回
路基板31をマザーボード42に実装すると、セラミッ
クス回路基板31上の高さの低いバンプ32aとマザー
ボード41上のバンプ42に接着した半田35との間
に、隙間36が形成され、そのために接続不良が発生す
るという課題があった。
板31に印刷すると、セラミックス回路基板31表面に
導体ペースト中の溶剤が広がり易くなり、「にじみ」や
「だれ」等が発生するため、形成されるバンプ32の間
隔が100μm以下になると形成されたバンプ32同士
がショートするという課題があった。
ージがスクリーンを押さえつけながら移動し、このスキ
ージの移動により導体ペーストをスクリーンからセラミ
ックス回路基板31側に吐き出して、セラミックス回路
基板31の表面に導体ペーストを印刷していく方法がと
られており、このスキージがスクリーンを押さえつける
ときにスクリーンがたわむため、印刷されたパターンが
設定した位置よりずれ易く、印刷されたパターンの位置
精度が低いという課題もあった。
るため、蒸着法によりセラミックス回路基板31上にバ
ンプ32を形成する方法もある。
を応用することができるので、高精度で、かつ微細なパ
ターンを形成することが可能であるが、スクリーン印刷
法に比べてコストが高くなるという課題があった。
のであり、高さのばらつきが小さく高密度で高精度のバ
ンプを形成することができ、従って集積回路を実装した
場合等においてもショートや接続不良がなく、しかも低
コストで製造が可能なバンプ付き回路基板の製造方法を
提供することを目的としている。
に本発明に係るバンプ付き回路基板の製造方法は、セラ
ミックス回路基板の表面にバンプを突設するバンプ付き
回路基板の製造方法において、液状フォトレジストを用
いてセラミックス回路基板上にポジ型フォトレジスト層
を形成するフォトレジスト層形成工程と、前記ポジ型フ
ォトレジスト層に所定のバンプ形成パターンを有するフ
ォトマスクを介して露光処理を施し、その後現像処理を
施すことにより、前記ポジ型フォトレジスト層にバンプ
形成パターン状に凹部を形成する凹部形成工程と、前記
凹部が形成された前記ポジ型フォトレジスト層に全面露
光処理を施す全面露光処理工程と、前記凹部にバンプ形
成用の導体ペーストを充填する導体ペースト充填工程
と、前記凹部に充填された前記導体ペーストを乾燥さ
せ、前記導体ペースト中の固体成分を前記セラミックス
回路基板に接着させる接着工程と、前記ポジ型フォトレ
ジスト層に現像処理を施して前記フォトレジスト層を消
失させるフォトレジスト層消失工程と、焼成により前記
導体ペースト中の固体成分を前記セラミックス回路基板
に焼き付ける焼付工程とを含むことを特徴としている。
製造方法を図1(a)〜(g)に基づいて説明する。
状のポジ型フォトレジストを用いて、セラミックス回路
基板11上にポジ型フォトレジスト層12を形成する
(図1(a))。
1としては、特に限定されず、通常セラミックス基板と
して使用されるアルミナセラミックス基板の他、例えば
ムライトセラミックス基板、ガラスセラミックス基板、
窒化アルミニウムセラミックス基板等が挙げられ、内部
に配線等が形成された基板であってもよい。
状ポジ型フォトレジストを使用し、セラミックス回路基
板上11に、例えばロールコーター法、バーコーター
法、スピンコーター法、ディップ法等を用いて前記液状
フォトレジストを塗布した後、87〜90℃で30〜4
0分程度オーブン等により熱処理して乾燥させ、固体状
のポジ型フォトレジスト層12を形成する。前記液状の
フォトレジストとしては、例えばヘキストジャパン社製
のAZ4903、AZ4620A、東京応化工業社製の
OPレジスト、東京エレクトロン社製のアキュトレー
ス、日本チバガイギー社製のプロビマー等が挙げられ
る。
みは10〜50μmが好ましい。ポジ型フォトレジスト
層12の厚みが10μm未満では、後工程においてポジ
型フォトレジスト層12に形成された凹部10に導体ペ
ースト16を充填することが困難になり、他方ポジ型フ
ォトレジスト層12の厚みが50μmを超えると後工程
で現像処理した場合、バンプ形成パターン状の凹部15
を完全に形成することが困難になる。
を用いてポジ型フォトレジスト層12を形成するので、
セラミックス回路基板11表面にシングルミクロンオー
ダーの凹凸があった場合でも、形成されたポジ型フォト
レジスト層12の表面は水平となる。
ジスト層12に所定のバンプ形成パターンを有するフォ
トマスク13を介して紫外線14等による露光処理を施
し(図1(b))、その後現像処理を施すことにより、
ポジ型フォトレジスト層12にバンプ形成パターン状に
凹部15を形成する(図1(c))。
特に限定されず、通常半導体基板等を形成する際にポジ
型フォトレジスト層に対して施す露光処理の条件で行う
ことができる。また現像処理の条件も特に限定されるも
のではなく、通常行われるスプレー法又は浸漬揺動法等
の方法により現像することができる。
2に直径が50〜100μm程度で、お互いの間隔が5
0μm程度まで近づいた凹部15を形成することができ
る。次に全面露光処理工程として、凹部15が形成され
たポジ型フォトレジスト層12全面に紫外線14等を照
射し、全面露光処理を施す(図1(d))。
理を施す目的は、後工程で現像処理を施すことにより、
このポジ型フォトレジスト層12を溶解、消失させるた
めである。この露光処理の条件も特に限定されず、通常
行われている条件でよい。
導体ペースト充填工程、又は接着工程の後であってもよ
い。
フォトレジスト層12に形成された凹部15にバンプ形
成用の導体ペースト16を充填する(図1(e))。
の配線に使用される公知の導体材料を使用することがで
きるが、その具体例として、例えばW、Mo−Mn、A
u、Ag−Pd、Cu等が挙げられる。
フォトレジスト層12を溶解しないものを用いる必要が
ある。これは、ポジ型フォトレジスト層12を溶解する
溶剤を用いて導体ペースト16を調製した場合、ポジ型
フォトレジスト層12の凹部15に導体ペースト16を
充填すると、フォトレジスト層12が前記溶剤に溶解
し、凹部15の形状が崩れるためである。ポジ型フォト
レジスト層12を溶解しない溶剤としては、例えばトル
エン、キシレン、ショウノウ油、テレビン油、パイン油
等、誘電率の低い炭化水素系溶剤が挙げられる。
(バインダー)は、後工程で用いられる現像液に溶解し
ないものである必要がある。これは、ポジ型フォトレジ
スト層12に形成された凹部15に導体ペースト16を
充填した後、このポジ型フォトレジスト層12を現像液
に接触させて溶解、消失させる工程において、導体ペー
スト16が現像液に溶解しないようにするためである。
現像液は通常水溶液であるので、導体ペースト16に用
いられる樹脂は非水溶性の樹脂である必要があり、前記
樹脂の具体例としては、例えばエチルセルロース、アク
リル樹脂、メタクリル樹脂等が挙げられる。
ースト16としては、例えば上記導体粉末が80〜92
wt%、前記アクリル樹脂等の樹脂が2〜6wt%、ト
ルエン等の溶剤が2〜18wt%の組成からなるものが
好ましい。
の接着性を高めるために、上記導体粉末に対し、ガラ
ス、SiO2 、TiO2 等の無機結合粉末を2.5〜1
0wt添加してもよい。
レジスト層12の凹部15に充填する方法としては、図
1(e)に示したように、テフロンヘラ17を用い、導
体ペースト16を凹部15に直接擦り込むようにすれば
よい。なお、凹部15以外のポジ型フォトレジスト層1
2の表面に導体ペースト16が残存した場合には、導体
ペースト16の付着していないテフロンヘラ17を用い
て掻き取ることにより殆ど除去することができる。さら
に、前記操作によっても除去できない極薄い導体ペース
ト16の層が存在する場合は、導体ペースト16を乾燥
させた後、ラッピングフィルムを用いて研磨することに
より除去することができる。
た導体ペースト16を乾燥させ、導体ペースト16中の
固体成分をセラミックス回路基板11に接着させる。
成分を蒸発させ、同時に加熱処理を施すによって、導体
ペースト16中の固体成分を樹脂を介してセラミックス
回路基板11表面に接着させる。
ポジ型フォトレジスト層12に現像処理を施してこのポ
ジ型フォトレジスト層12を消失させる(図1
(f))。
12は、露光処理が施されているので、現像液を用いて
現像処理を施すことにより、溶解、消失する。前記現像
処理の条件として特別の条件は必要ない。また導体ペー
スト16の溶剤には非水溶性樹脂が使用されているた
め、バンプのパターン状に形成された樹脂を含む導体材
料の形状が崩れることはない。
酸化性雰囲気中で燃焼させることにより除去する方法を
とると、多量の樹脂を燃焼させなければならないので、
過酷な条件が必要となり、セラミックス回路基板11や
導体等に与える熱的ダメージや酸化ダメージが大きいの
で好ましくない。
より、セラミックス回路基板11に接着されている導体
を含む導体ペースト16中の有機分を分解、消失させ、
導体ペースト16中の導体成分をセラミックス回路基板
11に焼き付け、バンプ18を形成する(図1
(g))。
基板11の種類や導体材料の種類により異なるが、樹脂
等が十分に分解、消失し、前記導体がセラミックス回路
基板11にしっかり接着される条件が必要となる。
クス回路基板11上に導体材料からなるバンプ18のパ
ターンが形成される。
uめっきを施してもよく、またCrやCu等を蒸着して
もよい。
よれば、セラミックス回路基板の表面にバンプを突設す
るバンプ付き回路基板の製造方法において、液状フォト
レジストを用いてセラミックス回路基板上にポジ型フォ
トレジスト層を形成するフォトレジスト層形成工程と、
前記ポジ型フォトレジスト層に所定のバンプ形成パター
ンを有するフォトマスクを介して露光処理を施し、その
後現像処理を施すことにより、前記ポジ型フォトレジス
ト層にバンプ形成パターン状に凹部を形成する凹部形成
工程と、前記凹部が形成された前記ポジ型フォトレジス
ト層に全面露光処理を施す全面露光処理工程と、前記凹
部にバンプ形成用の導体ペーストを充填する導体ペース
ト充填工程と、前記凹部に充填された前記導体ペースト
を乾燥させ、前記導体ペースト中の固体成分を前記セラ
ミックス回路基板に接着させる接着工程と、前記ポジ型
フォトレジスト層に現像処理を施して前記フォトレジス
ト層を消失させるフォトレジスト層消失工程と、焼成に
より前記導体ペースト中の固体成分を前記セラミックス
回路基板に焼き付ける焼付工程とを含むので、前記フォ
トレジスト層形成工程において前記セラミックス回路基
板上に水平なポジ型フォトレジスト層が形成され、前記
凹部形成工程ではフォトリソグラフィーによりパターニ
ングするために形成された前記凹部の位置精度も極めて
高く、正確なバンプ形成パターン状の凹部が形成され、
前記導体ペースト充填工程で前記凹部に充填された導体
ペースト層は高さが揃い、スクリーン印刷の場合のよう
に、パターンがにじんだりだれたりすることはない。そ
の後の接着工程、フォトレジスト層消失工程、及び焼付
工程を経ることにより、その高さが均一で、正確な形状
を有し、位置精度も極めて高いバンプを有するバンプ付
き回路基板が比較的安価に製造される。また、従来のス
クリーン印刷法と比べて比べて微細なバンプが形成され
る。
フォトレジスト層の除去は湿式プロセスにより行われて
いるので、燃焼させて除去する場合のようにセラミック
ス回路基板や導体材料が熱的ダメージや酸化ダメージを
受けることがない。
路を実装したり、マザーボードにこのバンプ付き回路基
板を実装した場合にも、ショートや接続不良が発生する
ことはない。
路基板の製造方法の実施例を図面に基づいて説明する。
付きセラミックス回路基板の製造方法における各工程を
模式的に示した断面図である。
ミックス回路基板11(表面荒さ ±3μm)上に、液
状のポジ型フォトレジスト(ヘキストジャパン社製 A
Z4903)を用いて、バーコーター法により、厚さが
約25μmのポジ型フォトレジスト含有層を形成した。
形成されたポジ型フォトレジスト含有層は溶剤等の液状
成分を含んでいるので、これを90℃に保持したオーブ
ン内に30分入れておくことにより、乾燥させ、固体状
のポジ型フォトレジスト層12を形成した(図1
(a))。
定のバンプ形成パターン(バンプ直径;50μm、バン
プ間のピッチ;100μm)を有するフォトマスク14
を介して露光量が3000mJ/cm2 の条件で紫外線
を照射した(図1(b))。
AZ400K)中にポジ型フォトレジスト層12を有す
るセラミックス回路基板11を浸漬し、揺動させて現像
処理を施し、ポジ型フォトレジスト層12にバンプ形成
パターン状に凹部15を形成した(図1(c))。
上にセラミックス回路基板11を置き、30秒間加熱し
た後、露光量が3000mJ/cm2 の条件でフォトレ
ジスト層12の全面に紫外線14を照射した(図1
(d))。
粒径は共に3μm)、無機結合材料としてSiO2 とT
iO2 が、それぞれ75:15:5:5(重量比)の割
合で混合された粉末を85wt%含有し、その他にアク
リル樹脂を6wt%及びテレピン油を9wt%含有する
導体ペースト16を用い、この導体ペースト16を凹部
15が形成されたポジ型フォトレジスト層12の上に少
量置き、テフロンヘラ17をポジ型フォトレジスト層1
2の表面に接触させたまま水平に移動させ、ポジ型フォ
トレジスト層12の凹部15に導体ペースト16を擦り
込むようにして充填した(図1(e))。凹部15以外
のポジ型フォトレジスト層12の表面に導体ペースト1
6が残存した場合は、導体ペースト16の付着していな
いテヘロンヘラ17にて掻き取った。
16を90℃に加熱することにより乾燥させ、導体ペー
スト16中のアクリル樹脂をセラミックス回路基板11
に接着させた。テフロンヘラ17による余剰導体ペース
ト16の掻き取り処理でも除去できなかった、1粒子層
程度の極薄い導体ペースト層が凹部15以外のフォトレ
ジスト層12表面に被着している場合は、ラッピングフ
ィルム(住友スリーエム社製 アルミナ砥粒(粒径1μ
m)を接着)にて10秒程度研磨して除去した。
板11を現像液(ヘキストジャパン社製 AZ400
K)中に浸漬し、揺動させることにより現像処理を施
し、ポジ型フォトレジスト層12を溶解、消失させ、導
体ペースト16の乾燥体のみをセラミックス回路基板1
1上に残した(図1(f))。
ガス雰囲気中、1500℃で焼成することにより、導体
ペースト16中の樹脂を分解、消失させ、かつ導体をセ
ラミックス回路基板11に焼き付けて、バンプ18を形
成した(図1(g))。
及びAuめっきを施した。
して、内部にAg配線を有するアルミナ−コーディエラ
イト系のセラミックス回路基板を使用して、実施例1と
同様にしてこのセラミックス回路基板11上にポジ型フ
ォトレジスト層12を形成し、このポジ型フォトレジス
ト層12に凹部15を形成した。
と鉛ホウケイ酸ガラスとを重量比で95:5の割合で混
合した粉末に代えた他は、実施例1の場合と同様の組成
を有する導体ペースト16を用い、実施例1の場合と同
様にポジ型フォトレジスト層12の凹部15に導体ペー
スト16を充填、接着し、現像処理によりポジ型フォト
レジスト層12を溶解、消失させた。この後、窒素中9
00℃にて焼成を行ってCu粉末を焼結させ、かつセラ
ミックス回路基板11上に接着し、セラミックス回路基
板11上にバンプ18を形成し、めっきを施した。
例2に係るバンプ付き回路基板のバンプ18の高さのば
らつき及びショート率を測定することにより、またバン
プ18を被実装体のバンプに半田を介して接続した時の
半田付け不良率を測定することにより、前記バンプ付き
回路基板の評価を行った。結果を表1に示す。
ず上記実施例により製造した各200個のサンプルに形
成されたバンプ18の高さを(東京精密社製 surf
com112B)により測定し、得られたバンプ高さの
最大値と最小値の差を記載したものである。
は、形成されたバンプ18の形状を光学顕微鏡により観
察し、バンプ18同士が接触しているものの割合を調べ
た結果を示している。
成されたバンプ18と被実装体のバンプとを半田付け
し、お互いに接続されるべきバンプ間に接続不良がある
か否かを各バンプについて検査し、接続不良が発生した
ことが判明したバンプの割合を示している。なおこの場
合、実施例1及び実施例2と全く同様の条件で200個
のサンプルを製造して、上記評価を行った。
いる方法でバンプを形成した場合と具体的に比較するた
め、比較例としてセラミックス回路基板上に直接スクリ
ーン印刷法を用いてバンプを形成した。
たアルミナ製のセラミックス回路基板11上に実施例1
で使用したMo−Mn系導体ペースト用いてスクリーン
印刷法により導体ペーストのパターンを形成し、焼成
後、実施例1と同様にNiめっき及びAuめっきを施し
た。また比較例2では、実施例2で使用した基板上に実
施例2で使用したCu導体ペーストを用いてスクリーン
印刷法により導体ペーストのパターンを形成し、焼成
し、同様にメッキ処理を施した。
バンプ付き回路基板を実施例の場合と同様にして評価を
行った。比較例のサンプルの個数も実施例の場合と同様
である。
係るバンプ付き回路基板においては、バンプ18の高さ
ばらつきが1μmと均一化されており、バンプ18のシ
ョート率が皆無と正確なパターンのバンプ18が形成さ
れていることがわかる。一方、比較例に係るバンプ付き
回路基板においては、従来のスクリーン印刷法によりバ
ンプを形成しているため、バンプの高さのばらつきが5
μmと大きく、また印刷時のにじみ等により正確なパタ
ーンが形成されていないため、バンプのショートも約5
0%と非常に高い値となっている。
い、半田を介して被実装体を接続、固定した場合、半田
付け不良が皆無であり、各バンプ同士が良好に接続され
ているのに対し、比較例においては、形成されたバンプ
の高さの不揃いに起因して半田付け不良率が非常に高く
なっている。
付き回路基板の製造方法にあっては、セラミックス回路
基板の表面にバンプを突設するバンプ付き回路基板の製
造方法において、液状フォトレジストを用いてセラミッ
クス回路基板上にポジ型フォトレジスト層を形成するフ
ォトレジスト層形成工程と、前記ポジ型フォトレジスト
層に所定のバンプ形成パターンを有するフォトマスクを
介して露光処理を施し、その後現像処理を施すことによ
り、前記ポジ型フォトレジスト層にバンプ形成パターン
状に凹部を形成する凹部形成工程と、前記凹部が形成さ
れた前記ポジ型フォトレジスト層に全面露光処理を施す
全面露光処理工程と、前記凹部にバンプ形成用の導体ペ
ーストを充填する導体ペースト充填工程と、前記凹部に
充填された前記導体ペーストを乾燥させ、前記導体ペー
スト中の固体成分を前記セラミックス回路基板に接着さ
せる接着工程と、前記ポジ型フォトレジスト層に現像処
理を施して前記フォトレジスト層を消失させるフォトレ
ジスト層消失工程と、焼成により前記導体ペースト中の
固体成分を前記セラミックス回路基板に焼き付ける焼付
工程とを含むので、その高さが均一で、正確な形状を有
し、微細でかつ位置精度も極めて高いバンプを有するバ
ンプ付き回路基板を比較的安価に製造することができ
る。
フォトレジスト層の除去は湿式プロセスにより行うの
で、セラミックス回路基板や導体材料が熱的ダメージや
酸化ダメージを受けるのを防止することができる。
に集積回路を実装したり、マザーボードにこのバンプ付
き回路基板を実装した際に、ショートや接続不良の発生
を防止することができる。
ミックス回路基板の製造方法における各工程を模式的に
示した断面図である。
に接着された状態を模式的に示した断面図である
板がマザーボードに接着、固定された状態を模式的に示
した断面図である。
るために用いられるセラミックス回路基板の一例を模式
的に示した断面図である。
に形成されたバンプとマザーボードに形成されたバンプ
とが、半田を介して接続、固定されている状態を示した
断面図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 セラミックス回路基板の表面にバンプを
突設するバンプ付き回路基板の製造方法において、 液状フォトレジストを用いてセラミックス回路基板上に
ポジ型フォトレジスト層を形成するフォトレジスト層形
成工程と、 前記ポジ型フォトレジスト層に所定のバンプ形成パター
ンを有するフォトマスクを介して露光処理を施し、その
後現像処理を施すことにより、前記ポジ型フォトレジス
ト層にバンプ形成パターン状に凹部を形成する凹部形成
工程と、 前記凹部が形成された前記ポジ型フォトレジスト層に全
面露光処理を施す全面露光処理工程と、 前記凹部にバンプ形成用の導体ペーストを充填する導体
ペースト充填工程と、 前記凹部に充填された前記導体ペーストを乾燥させ、前
記導体ペースト中の固体成分を前記セラミックス回路基
板に接着させる接着工程と、 前記ポジ型フォトレジスト層に現像処理を施して前記フ
ォトレジスト層を消失させるフォトレジスト層消失工程
と、 焼成により前記導体ペースト中の固体成分を前記セラミ
ックス回路基板に焼き付ける焼付工程とを含むことを特
徴とするバンプ付き回路基板の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5240843A JP2805432B2 (ja) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | バンプ付き回路基板の製造方法 |
US08/863,279 US6074893A (en) | 1993-09-27 | 1997-05-27 | Process for forming fine thick-film conductor patterns |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5240843A JP2805432B2 (ja) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | バンプ付き回路基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0799216A JPH0799216A (ja) | 1995-04-11 |
JP2805432B2 true JP2805432B2 (ja) | 1998-09-30 |
Family
ID=17065535
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5240843A Expired - Lifetime JP2805432B2 (ja) | 1993-09-27 | 1993-09-28 | バンプ付き回路基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
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US7510951B2 (en) * | 2005-05-12 | 2009-03-31 | Lg Chem, Ltd. | Method for forming high-resolution pattern with direct writing means |
KR100833017B1 (ko) * | 2005-05-12 | 2008-05-27 | 주식회사 엘지화학 | 직접 패턴법을 이용한 고해상도 패턴형성방법 |
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JP2016032033A (ja) * | 2014-07-29 | 2016-03-07 | 株式会社村田製作所 | 積層基板の製造方法 |
-
1993
- 1993-09-28 JP JP5240843A patent/JP2805432B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0799216A (ja) | 1995-04-11 |
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