JP2798665B2 - 実質的に円形をした製品の移送装置 - Google Patents

実質的に円形をした製品の移送装置

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JP2798665B2 JP8336262A JP33626296A JP2798665B2 JP 2798665 B2 JP2798665 B2 JP 2798665B2 JP 8336262 A JP8336262 A JP 8336262A JP 33626296 A JP33626296 A JP 33626296A JP 2798665 B2 JP2798665 B2 JP 2798665B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【本発明の背景】反応器の中でウエーファーを処理する
間、処理ステーションまたは供給ステーションから（他
の）処理ステーションまたは取り出しステーションへウ
エーファーを移動させる。この目的のために移送装置を
使用する。
【０００２】米国特許第５，４０７，４４９号には、ウ
エーファーを一つのステーションから拾いあげ、これを
他のステーションへ移送することができる装置が記載さ
れている。この装置は垂直の方向で調節を行い、ウエー
ファーを一つのステーションのスタックから他のステー
ションへと移送することができる。この移送装置は三つ
のアーム部分をもつアームを含み、その一つの部分はウ
エーファーを装荷する支持部分である。
【０００３】ウエーファーの装荷（ｌｏａｄｉｎｇ）、
除荷（ｕｎｌｏａｄｉｎｇ）および処理を行う間、ウエ
ーファーはその出発位置から僅かに動くであろう。もし
補正を全く行わなければ、このような元の位置からのず
れが次の段階へ伝えられる。即ち次のステーションにお
いてもこのずれが存在するようになる。
【０００４】幾つかの処理段階が行われる場合、このこ
とは一連の処理段階の終わりにおいてウエーファーのス
タックは異なった位置をもつ多数のウエーファーを含む
ことを意味する。或る処理はウエーファーの位置に関し
て非常に敏感であるから、このことは極めて望ましくな
いことである。
【０００５】支持アーム部分に関しウエーファーの誤っ
た位置をとることを防ぐために、ウエーファーの移送装
置の上または中にビデオ・カメラを取り付けて補正を行
うことが提案されている。このようなカメラはウエーフ
ァーを認識し所望の補正を決定することに関し比較的複
雑である。さらにアームが動かない場合にはだけ、数個
の機素の位置の信頼すべき決定を行うことができる。
【０００６】カメラの代わりに、システムの頂部にセン
サーの配列を取り付けてを使用することも提案されてい
る。このシステムも、ウエーファーが静止した状態にあ
る場合に、最も良好に機能する。
【０００７】
【本発明の概要】本発明の目的は動的な方法で、即ち移
動ロボットの運動中に、支持アームの位置に関しウエー
ファーの位置を決定し、移動時間を出来るだけ短く保つ
ようにすることである。本発明の他の目的は支持アーム
部分の上におけるウエーファーの位置を決定する方法を
簡単化することである。
【０００８】本発明のさらに他の目的はウエーファーを
移送する装置のアームの幾つかのアーム部分の速度のず
れを補正することである。
【０００９】本発明のさらに他の目的は、支持アーム部
分の高さ方向における位置とは独立に、支持アーム部分
に関しウエーファーの位置を決定するシステムを提供す
ることである。
【００１０】本発明の目的は、第１の除荷位置から第２
の装荷位置へ実質的に円形の製品を移送する装置におい
て、該製品を捕捉し、これを移送し、該第２の位置にお
いて該製品を離脱させる移動可能な移送装置、該移動可
能な移送装置の上における該製品の位置を決定する装
置、該移動可能な移送装置の運動を調節する位置調節装
置から成り、該位置調節装置は固定された光感知装置の
配列を含み、該配列は該製品の該第１の位置から該第２
の位置へ至る経路において該経路の延長線とは平行でな
い方向に配置され、さらに該光感知装置の配列の出力に
基づいて該製品の位置および該移動可能な移送装置の速
度を決定する計算装置が備えられ、該計算装置は該位置
調節装置に連結されていることを特徴とする装置によっ
て達成される。
【００１１】本発明の好適な具体化例に従えば、本発明
は第１の除荷位置から第２の装荷位置へ実質的に円形の
製品を移送する装置において、該製品を捕捉し、これを
移送し、該第２の位置において該製品を離脱させる移動
可能な移送装置、該移動可能な移送装置の上における該
製品の位置を決定する装置、該移動可能な移送装置の運
動を調節する位置調節装置から成り、該位置調節装置は
固定された光感知装置の配列を含み、該配列は該製品の
該第１の位置から該第２の位置へ至る経路において該経
路の延長線とは平行でない方向に配置され、さらに該光
感知装置の配列の出力に基づいて該製品の位置および該
移動可能な移送装置の速度を決定する計算装置が備えら
れ、該計算装置は該位置調節装置に連結されており、さ
らに該製品が該光感知装置の配列を通過する際の速度を
決定する光感知装置が該計算装置に連結されていること
を特徴とする装置に関する。
【００１２】
【発明の詳細な記述】図１においては下方の固定部分２
および上方の固定部分３から成るロボット１が示されて
いる。上方の部分３は、図示されていない伸縮装置によ
り下方の固定部分２に関し垂直の方向に動くことができ
る。上方の部分３には、それぞれ５、６、７でで示され
る第１、第２、および第３または支持アーム部分からな
るアーム４が取り付けられている。支持アーム部分７は
ウエーファー８を受けるようにつくられている。ウエー
ファー８は収納器９から収納器10へ移されなければなら
ない。
【００１３】支持アーム部分には真空吸引支持面26が取
り付けられている。この真空吸引支持面26を用いると、
移送する間ウエーファーを支持アーム部分に固定し、除
荷する際にこれを離脱させる用にすることができる。
【００１４】収納器９および１０は例えばマイクロ回路
のウエーファーを処理する装置の処理ステーションであ
ることができる。ロボットによってウエーファーが一つ
のステーションから他のステーションへと移送するよう
に示されている米国特許第５，４０７、４４９号を参照
されたい。
【００１５】アーム部分７にはまた櫛形の参照装置１１
が取り付けられている。これらの参照装置には１２で示
される鋸歯状の端が取り付けられている。
【００１６】上方の部分３には細長い部材１３が取り付
けられ、この中には幾つかの三窓光反射センサー（ｔｈ
ｒｅｅ ｌｉｇｈｔ ｒｅｆｌｅｃｔｉｖｅ ｓｅｎｓ
ｏｒ）１４が取り付けられている。
【００１７】第１のアーム部分、第２のアーム部分、お
よび支持アーム部分７の動作は、支持アームの位置７の
中心が破線１５に沿って動くような動作である。このこ
とは鋸歯状の端１２が光感知ダイオード１４の上方を動
くことを意味する。
【００１８】細長い部材１３の上には図３に詳細に示さ
れたＵ字形の部材１６が取り付けられている。
【００１９】この部材に中に、発光ダイオード１７の組
と光感知ダイオード１８の組とが相対して取り付けられ
ている。Ｕ字形部材１６の脚の間の間隙は、該Ｕ字形部
材１６の上方の脚および下方の脚の間で接触することな
く、破線１５に沿って移動する際にウエーファー８をそ
の間に収納出来るような大きさをもっている。
【００２０】アーム４を作動させるために、図５に模式
的に示されているように、３個のモーター１９、２０お
よび２１（それぞれＲ、ＴおよびＺの方向に対し）が取
り付けられている。これらの数個のモーターの作動は調
節装置２３を介して行われる。調節装置２３は、それぞ
れ収納器９、１０からの取り出し、収納の順序を調節す
る主処理装置２４から出される入力信号を受け取る。
【００２１】光感知装置１７、１８の組から出た信号は
計算装置２５に入力される。光感知ダイオードから得ら
れる信号についても同じことが行われる。この計算装置
から補正信号が調節装置２３に導入される。
【００２２】上記装置は次のように機能する。ウエーフ
ァーが図２に示す位置から破線１５に沿って動く間、参
照装置１１の鋸歯状の端１２はＵ字形部材の光感知装置
の一つ１８（図３の最も右のもの）および細長い部材１
３の上にある光検知ダイオード１４を通過する。これら
のダイオードからの信号に基づき、計算装置２５は／鋸
歯状の端１２の速度を、従って支持アーム部分７の速度
を計算することができる。
【００２３】同時にウエーファー８はＵ字形部材１６の
脚の間を動くであろう。１個またはそれ以上の発光ダイ
オード／光感知ダイオード１７、１８はそれぞれ順次右
から左へと活性化され、不活性化されて行くる。
【００２４】この光感知ダイオードの配列から破線１５
の方向において支持アーム部分７の上のウエーファー８
の位置、並びにそれに垂直な位置に関する情報を得るこ
とができる。これは計算装置２５へ入力されるＵ字形部
材１６の信号の出力に基づいて計算される。
【００２５】４個のセンサーと組み合わせて例えば鋸歯
状の端の６個の歯を取り付けることにより、支持アーム
部分７の速度に対応する４８個の値を得ることができ
る。この速度を知ることは製品８の円の形を決定する上
で重要である。
【００２６】支持アーム部分７の速度および支持アーム
部分７の上におけるウエーファー８の位置に基づき、２
個のモーター１９、２１の調節装置を調節することによ
り、支持アーム部分７の位置を補正する調節装置２３へ
の補正信号を得ることができる。
【００２７】以上本発明を好適具体化例に関して説明を
行ったが、当業界の専門家には本発明の範囲を逸脱する
ことなく多くの変形を行い得ることは明らかであろう。
【００２８】例えば支持アーム部分７の速度の測定を省
き、数個のモーター１９〜２１の回転に基づいてこの速
度を計算することができる。
【００２９】ウエーファー８の位置を決定するために、
すべての発光ダイオードおよび光検知ダイオード１７、
１８を用いる代わりに、例えば最初および最後の組の計
算だけを使用し、他のものは照合に使用することもでき
る。
【００３０】本発明の主な特徴及び態様は次の通りであ
る。 １．第１の除荷位置から第２の装荷位置へ実質的に円形
の製品を移送する装置において、該製品を捕捉し、これ
を移送し、該第２の位置において該製品を離脱させる移
動可能な移送装置、該移動可能な移送装置の上における
該製品の位置を決定する装置、該移動可能な移送装置の
運動を調節する位置調節装置から成り、該位置調節装置
は固定された光感知装置の配列を含み、該配列は該製品
の該第１の位置から該第２の位置へ至る経路において該
経路の延長線とは平行でない方向に配置され、さらに該
光感知装置の配列の出力に基づいて該製品の位置および
該移動可能な移送装置の速度を決定する計算装置が備え
られ、該計算装置は該位置調節装置に連結されている装
置。
【００３１】２．該光検知装置の配列を通過する際の該
製品の速度を決定する装置が備えられ、この速度決定装
置は計算装置に連結されている上記第１項記載の装置。
【００３２】３．該装置は、該移送装置の上にさらに他
の光検知装置およびそれと一緒に作動する固定された参
照装置を含んでいる上記第１および２項記載の装置。
【００３３】４．支持アーム部分には固定された光検知
装置と一緒に作動する参照装置が備えられ、該光検知装
置は速度決定装置に連結され、該速度決定装置は計算装
置に連結されている上記第１〜３項記載の装置。
【００３４】５．該光検知装置の配列は該製品の経路に
対し実質的に垂直方向に延びている上記第１〜４項記載
の装置。
【００３５】６．第１の除荷位置から第２の装荷位置へ
実質的に円形の製品を移送する装置において、該製品を
捕捉し、これを移送し、該第２の位置において該製品を
離脱させる移動可能な移送装置、該移動可能な移送装置
の上における該製品の位置を決定する装置、該移動可能
な移送装置の運動を調節する位置調節装置から成り、該
位置調節装置は固定された光感知装置の配列を含み、該
配列は該製品の該第１の位置から該第２の位置へ至る経
路において該経路の延長線とは平行でない方向に配置さ
れ、さらに該光感知装置の配列の出力に基づいて該製品
の位置および該移動可能な移送装置の速度を決定する計
算装置が備えられ、該計算装置は該位置調節装置に連結
されており、さらに該製品が該光感知装置の配列を通過
する際の速度を決定する光感知装置が該計算装置に連結
されている装置。
【００３６】７．該他の光検知装置は間隔を置いて配置
された光検知装置の他の配列から成っている上記第６項
記載の装置。
【００３７】８．光検知装置の両方の配列は少なくとも
一つの共通の光感知装置を有する上記第６または７項記
載の装置。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の装置の側立面図である。
【図２】図１の装置の平面図である。
【図３】本発明の装置の一部を取り出した詳細な側面図
である。
【図４】図１〜３の装置の見取り図である。
【図５】ブロック・ダイアグラムを示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ルデイ・シメル オランダ・エヌエル−5432エイエヌ ク イク・ベレクラウウ27 (56)参考文献 特開 昭61−184841（ＪＰ，Ａ)

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 第１の除荷位置から第２の装荷位置へ実
    質的に円形の製品を移送する装置において、該製品を捕
    捉し、これを移送し、該第２の位置において該製品を離
    脱させる移動可能な移送装置、該移動可能な移送装置の
    上における該製品の位置を決定する装置、該移動可能な
    移送装置の運動を調節する位置調節装置から成り、該位
    置調節装置は固定された光感知装置の配列を含み、該配
    列は該製品の該第１の位置から該第２の位置へ至る経路
    において該経路の延長線とは平行でない方向に配置さ
    れ、さらに該光感知装置の配列の出力に基づく該製品の
    位置および該移動可能な移送装置の速度を決定する計算
    装置が備えられ、該計算装置は該位置調節装置に連結さ
    れていることを特徴とする装置。
  2. 【請求項２】 第１の除荷位置から第２の装荷位置へ実
    質的に円形の製品を移送する装置において、該製品を捕
    捉し、これを移送し、該第２の位置において該製品を離
    脱させる移動可能な移送装置、該移動可能な移送装置の
    上における該製品の位置を決定する装置、該移動可能な
    移送装置の運動を調節する位置調節装置から成り、該位
    置調節装置は固定された光感知装置の配列を含み、該配
    列は該製品の該第１の位置から該第２の位置へ至る経路
    において該経路の延長線とは平行でない方向に配置さ
    れ、さらに該光感知装置の配列の出力に基づく該製品の
    位置および該移動可能な移送装置の速度を決定する計算
    装置が備えられ、該計算装置は該位置調節装置に連結さ
    れており、さらに該製品が該光感知装置の配列を通過す
    る際の速度を決定する光感知装置が該計算装置に連結さ
    れていることを特徴とする装置。
JP8336262A 1995-12-08 1996-12-03 実質的に円形をした製品の移送装置 Expired - Lifetime JP2798665B2 (ja)

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JPH09199570A JPH09199570A (ja) 1997-07-31
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