JP2798665B2 - 実質的に円形をした製品の移送装置 - Google Patents
実質的に円形をした製品の移送装置Info
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Description
間、処理ステーションまたは供給ステーションから(他
の)処理ステーションまたは取り出しステーションへウ
エーファーを移動させる。この目的のために移送装置を
使用する。
エーファーを一つのステーションから拾いあげ、これを
他のステーションへ移送することができる装置が記載さ
れている。この装置は垂直の方向で調節を行い、ウエー
ファーを一つのステーションのスタックから他のステー
ションへと移送することができる。この移送装置は三つ
のアーム部分をもつアームを含み、その一つの部分はウ
エーファーを装荷する支持部分である。
除荷(unloading)および処理を行う間、ウエ
ーファーはその出発位置から僅かに動くであろう。もし
補正を全く行わなければ、このような元の位置からのず
れが次の段階へ伝えられる。即ち次のステーションにお
いてもこのずれが存在するようになる。
とは一連の処理段階の終わりにおいてウエーファーのス
タックは異なった位置をもつ多数のウエーファーを含む
ことを意味する。或る処理はウエーファーの位置に関し
て非常に敏感であるから、このことは極めて望ましくな
いことである。
た位置をとることを防ぐために、ウエーファーの移送装
置の上または中にビデオ・カメラを取り付けて補正を行
うことが提案されている。このようなカメラはウエーフ
ァーを認識し所望の補正を決定することに関し比較的複
雑である。さらにアームが動かない場合にはだけ、数個
の機素の位置の信頼すべき決定を行うことができる。
サーの配列を取り付けてを使用することも提案されてい
る。このシステムも、ウエーファーが静止した状態にあ
る場合に、最も良好に機能する。
動ロボットの運動中に、支持アームの位置に関しウエー
ファーの位置を決定し、移動時間を出来るだけ短く保つ
ようにすることである。本発明の他の目的は支持アーム
部分の上におけるウエーファーの位置を決定する方法を
簡単化することである。
移送する装置のアームの幾つかのアーム部分の速度のず
れを補正することである。
分の高さ方向における位置とは独立に、支持アーム部分
に関しウエーファーの位置を決定するシステムを提供す
ることである。
の装荷位置へ実質的に円形の製品を移送する装置におい
て、該製品を捕捉し、これを移送し、該第2の位置にお
いて該製品を離脱させる移動可能な移送装置、該移動可
能な移送装置の上における該製品の位置を決定する装
置、該移動可能な移送装置の運動を調節する位置調節装
置から成り、該位置調節装置は固定された光感知装置の
配列を含み、該配列は該製品の該第1の位置から該第2
の位置へ至る経路において該経路の延長線とは平行でな
い方向に配置され、さらに該光感知装置の配列の出力に
基づいて該製品の位置および該移動可能な移送装置の速
度を決定する計算装置が備えられ、該計算装置は該位置
調節装置に連結されていることを特徴とする装置によっ
て達成される。
は第1の除荷位置から第2の装荷位置へ実質的に円形の
製品を移送する装置において、該製品を捕捉し、これを
移送し、該第2の位置において該製品を離脱させる移動
可能な移送装置、該移動可能な移送装置の上における該
製品の位置を決定する装置、該移動可能な移送装置の運
動を調節する位置調節装置から成り、該位置調節装置は
固定された光感知装置の配列を含み、該配列は該製品の
該第1の位置から該第2の位置へ至る経路において該経
路の延長線とは平行でない方向に配置され、さらに該光
感知装置の配列の出力に基づいて該製品の位置および該
移動可能な移送装置の速度を決定する計算装置が備えら
れ、該計算装置は該位置調節装置に連結されており、さ
らに該製品が該光感知装置の配列を通過する際の速度を
決定する光感知装置が該計算装置に連結されていること
を特徴とする装置に関する。
および上方の固定部分3から成るロボット1が示されて
いる。上方の部分3は、図示されていない伸縮装置によ
り下方の固定部分2に関し垂直の方向に動くことができ
る。上方の部分3には、それぞれ5、6、7でで示され
る第1、第2、および第3または支持アーム部分からな
るアーム4が取り付けられている。支持アーム部分7は
ウエーファー8を受けるようにつくられている。ウエー
ファー8は収納器9から収納器10へ移されなければなら
ない。
り付けられている。この真空吸引支持面26を用いると、
移送する間ウエーファーを支持アーム部分に固定し、除
荷する際にこれを離脱させる用にすることができる。
のウエーファーを処理する装置の処理ステーションであ
ることができる。ロボットによってウエーファーが一つ
のステーションから他のステーションへと移送するよう
に示されている米国特許第5,407、449号を参照
されたい。
が取り付けられている。これらの参照装置には12で示
される鋸歯状の端が取り付けられている。
けられ、この中には幾つかの三窓光反射センサー(th
ree light reflective sens
or)14が取り付けられている。
よび支持アーム部分7の動作は、支持アームの位置7の
中心が破線15に沿って動くような動作である。このこ
とは鋸歯状の端12が光感知ダイオード14の上方を動
くことを意味する。
れたU字形の部材16が取り付けられている。
と光感知ダイオード18の組とが相対して取り付けられ
ている。U字形部材16の脚の間の間隙は、該U字形部
材16の上方の脚および下方の脚の間で接触することな
く、破線15に沿って移動する際にウエーファー8をそ
の間に収納出来るような大きさをもっている。
的に示されているように、3個のモーター19、20お
よび21(それぞれR、TおよびZの方向に対し)が取
り付けられている。これらの数個のモーターの作動は調
節装置23を介して行われる。調節装置23は、それぞ
れ収納器9、10からの取り出し、収納の順序を調節す
る主処理装置24から出される入力信号を受け取る。
計算装置25に入力される。光感知ダイオードから得ら
れる信号についても同じことが行われる。この計算装置
から補正信号が調節装置23に導入される。
ァーが図2に示す位置から破線15に沿って動く間、参
照装置11の鋸歯状の端12はU字形部材の光感知装置
の一つ18(図3の最も右のもの)および細長い部材1
3の上にある光検知ダイオード14を通過する。これら
のダイオードからの信号に基づき、計算装置25は/鋸
歯状の端12の速度を、従って支持アーム部分7の速度
を計算することができる。
脚の間を動くであろう。1個またはそれ以上の発光ダイ
オード/光感知ダイオード17、18はそれぞれ順次右
から左へと活性化され、不活性化されて行くる。
の方向において支持アーム部分7の上のウエーファー8
の位置、並びにそれに垂直な位置に関する情報を得るこ
とができる。これは計算装置25へ入力されるU字形部
材16の信号の出力に基づいて計算される。
状の端の6個の歯を取り付けることにより、支持アーム
部分7の速度に対応する48個の値を得ることができ
る。この速度を知ることは製品8の円の形を決定する上
で重要である。
部分7の上におけるウエーファー8の位置に基づき、2
個のモーター19、21の調節装置を調節することによ
り、支持アーム部分7の位置を補正する調節装置23へ
の補正信号を得ることができる。
行ったが、当業界の専門家には本発明の範囲を逸脱する
ことなく多くの変形を行い得ることは明らかであろう。
き、数個のモーター19〜21の回転に基づいてこの速
度を計算することができる。
すべての発光ダイオードおよび光検知ダイオード17、
18を用いる代わりに、例えば最初および最後の組の計
算だけを使用し、他のものは照合に使用することもでき
る。
る。 1.第1の除荷位置から第2の装荷位置へ実質的に円形
の製品を移送する装置において、該製品を捕捉し、これ
を移送し、該第2の位置において該製品を離脱させる移
動可能な移送装置、該移動可能な移送装置の上における
該製品の位置を決定する装置、該移動可能な移送装置の
運動を調節する位置調節装置から成り、該位置調節装置
は固定された光感知装置の配列を含み、該配列は該製品
の該第1の位置から該第2の位置へ至る経路において該
経路の延長線とは平行でない方向に配置され、さらに該
光感知装置の配列の出力に基づいて該製品の位置および
該移動可能な移送装置の速度を決定する計算装置が備え
られ、該計算装置は該位置調節装置に連結されている装
置。
製品の速度を決定する装置が備えられ、この速度決定装
置は計算装置に連結されている上記第1項記載の装置。
の光検知装置およびそれと一緒に作動する固定された参
照装置を含んでいる上記第1および2項記載の装置。
装置と一緒に作動する参照装置が備えられ、該光検知装
置は速度決定装置に連結され、該速度決定装置は計算装
置に連結されている上記第1〜3項記載の装置。
対し実質的に垂直方向に延びている上記第1〜4項記載
の装置。
実質的に円形の製品を移送する装置において、該製品を
捕捉し、これを移送し、該第2の位置において該製品を
離脱させる移動可能な移送装置、該移動可能な移送装置
の上における該製品の位置を決定する装置、該移動可能
な移送装置の運動を調節する位置調節装置から成り、該
位置調節装置は固定された光感知装置の配列を含み、該
配列は該製品の該第1の位置から該第2の位置へ至る経
路において該経路の延長線とは平行でない方向に配置さ
れ、さらに該光感知装置の配列の出力に基づいて該製品
の位置および該移動可能な移送装置の速度を決定する計
算装置が備えられ、該計算装置は該位置調節装置に連結
されており、さらに該製品が該光感知装置の配列を通過
する際の速度を決定する光感知装置が該計算装置に連結
されている装置。
された光検知装置の他の配列から成っている上記第6項
記載の装置。
一つの共通の光感知装置を有する上記第6または7項記
載の装置。
である。
Claims (2)
- 【請求項1】 第1の除荷位置から第2の装荷位置へ実
質的に円形の製品を移送する装置において、該製品を捕
捉し、これを移送し、該第2の位置において該製品を離
脱させる移動可能な移送装置、該移動可能な移送装置の
上における該製品の位置を決定する装置、該移動可能な
移送装置の運動を調節する位置調節装置から成り、該位
置調節装置は固定された光感知装置の配列を含み、該配
列は該製品の該第1の位置から該第2の位置へ至る経路
において該経路の延長線とは平行でない方向に配置さ
れ、さらに該光感知装置の配列の出力に基づく該製品の
位置および該移動可能な移送装置の速度を決定する計算
装置が備えられ、該計算装置は該位置調節装置に連結さ
れていることを特徴とする装置。 - 【請求項2】 第1の除荷位置から第2の装荷位置へ実
質的に円形の製品を移送する装置において、該製品を捕
捉し、これを移送し、該第2の位置において該製品を離
脱させる移動可能な移送装置、該移動可能な移送装置の
上における該製品の位置を決定する装置、該移動可能な
移送装置の運動を調節する位置調節装置から成り、該位
置調節装置は固定された光感知装置の配列を含み、該配
列は該製品の該第1の位置から該第2の位置へ至る経路
において該経路の延長線とは平行でない方向に配置さ
れ、さらに該光感知装置の配列の出力に基づく該製品の
位置および該移動可能な移送装置の速度を決定する計算
装置が備えられ、該計算装置は該位置調節装置に連結さ
れており、さらに該製品が該光感知装置の配列を通過す
る際の速度を決定する光感知装置が該計算装置に連結さ
れていることを特徴とする装置。
Applications Claiming Priority (3)
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