JP2798134B2 - 半導体製造工程における過酸化水素水のオンライン分解装置及び分解方法 - Google Patents
半導体製造工程における過酸化水素水のオンライン分解装置及び分解方法Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工程に
おける過酸化水素水のオンライン分解装置及び分解方法
に関するもので、より詳細には、化学分析機器を用いて
過酸化水素水に含まれた微量不純物を分析することがで
きるように、過酸化水素水をオンラインに分解して分析
機器内に注入させる、過酸化水素水のオンライン分解装
置及び分解方法に関する。
おける過酸化水素水のオンライン分解装置及び分解方法
に関するもので、より詳細には、化学分析機器を用いて
過酸化水素水に含まれた微量不純物を分析することがで
きるように、過酸化水素水をオンラインに分解して分析
機器内に注入させる、過酸化水素水のオンライン分解装
置及び分解方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体素子の高集積化によって半導体素
子の微細化が進み、素子構成膜質に含まれる微量不純物
の存在は素子特性により大きな影響を及ぼすようになっ
ている。そこで、半導体製造工程の全般において微量不
純物を制御しようとする努力が継続して行われており、
特に湿式洗浄工程はウェーハの汚染を除去するための代
表的な工程である。
子の微細化が進み、素子構成膜質に含まれる微量不純物
の存在は素子特性により大きな影響を及ぼすようになっ
ている。そこで、半導体製造工程の全般において微量不
純物を制御しようとする努力が継続して行われており、
特に湿式洗浄工程はウェーハの汚染を除去するための代
表的な工程である。
【０００３】湿式洗浄工程に使用される薬品等は、ウェ
ーハの再汚染を防止するために高純度を有することが要
求される。このため、湿式洗浄用の薬品等の純度を管理
するために、薬品に含まれた微量不純物の定量及び定性
分析を行うことが必要となる。このような分析を通じて
管理される不純物としては、鉄（Ｆｅ）、アルミニウム
（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）等の重金属と、ナトリウムイオン
（Ｎａ+ ）、アンモニウムイオン（ＮＨ4 +）、硝酸イオ
ン（ＮＯ3 -）、塩素イオン（Ｃｌ- ）等があり、これら
の分析には、原子分光分析器(GFAAS) 、誘導結合プラズ
マ質量分析装置(ICP-MS)、イオンクロマトグラフィー(I
C)等の分析機器が主に使用される。
ーハの再汚染を防止するために高純度を有することが要
求される。このため、湿式洗浄用の薬品等の純度を管理
するために、薬品に含まれた微量不純物の定量及び定性
分析を行うことが必要となる。このような分析を通じて
管理される不純物としては、鉄（Ｆｅ）、アルミニウム
（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）等の重金属と、ナトリウムイオン
（Ｎａ+ ）、アンモニウムイオン（ＮＨ4 +）、硝酸イオ
ン（ＮＯ3 -）、塩素イオン（Ｃｌ- ）等があり、これら
の分析には、原子分光分析器(GFAAS) 、誘導結合プラズ
マ質量分析装置(ICP-MS)、イオンクロマトグラフィー(I
C)等の分析機器が主に使用される。
【０００４】一方、半導体湿式洗浄工程に使用される過
酸化水素水は酸化性が大きいため、前記の分析機器で高
濃度の過酸化水素水を直接分析する場合、機器を傷めた
り、粘性の変化や気泡の発生等の多様な物理的な変化を
起こして、正しい分析を行うのが難しい。
酸化水素水は酸化性が大きいため、前記の分析機器で高
濃度の過酸化水素水を直接分析する場合、機器を傷めた
り、粘性の変化や気泡の発生等の多様な物理的な変化を
起こして、正しい分析を行うのが難しい。
【０００５】従って、分析機器を用いて正しい過酸化水
素水の分析を行うためには、過酸化水素の濃度を低下さ
せる必要があるが、その方法としては、過酸化水素水を
蒸留水で希釈する希釈法と、過酸化水素水内に含まれた
過酸化水素を水と酸素ガスとに分解する分解法が使用さ
れてきた。
素水の分析を行うためには、過酸化水素の濃度を低下さ
せる必要があるが、その方法としては、過酸化水素水を
蒸留水で希釈する希釈法と、過酸化水素水内に含まれた
過酸化水素を水と酸素ガスとに分解する分解法が使用さ
れてきた。
【０００６】前記の希釈法は、操作が簡便で迅速に行え
る長所を有しているが、希釈によって分析機器の検出能
力が低下するといった大きな短所も有している。従っ
て、現時点で要求されている数十ＰＰＴ(parts per tri
llion)程度の濃度水準の不純物の検出能力と、今後要求
されるより低濃度の不純物の検出能力を考える時、前記
のような希釈法は適切な方法ではない。この問題を解決
するために、希釈された過酸化水素水を分析する前に、
分析カラムで過酸化水素水を濃縮する方法が最近開発さ
れた。すなわち、分析カラムを損傷しない程度に、過酸
化水素水を充分に希釈した後、カラムで更にオンライン
濃縮することによって、検出感度の低下を最少化する方
法である。しかし、この場合も新しい濃縮装置を必要と
し、また濃縮の工程が追加されることによって、分析時
間が延長され、また試料が通過する流路が長くなるため
に、試料汚染の可能性が増大する短所がある。従って、
前記のような濃縮方法を今後要求される極微量定量分析
に適用するのは難しい。
る長所を有しているが、希釈によって分析機器の検出能
力が低下するといった大きな短所も有している。従っ
て、現時点で要求されている数十ＰＰＴ(parts per tri
llion)程度の濃度水準の不純物の検出能力と、今後要求
されるより低濃度の不純物の検出能力を考える時、前記
のような希釈法は適切な方法ではない。この問題を解決
するために、希釈された過酸化水素水を分析する前に、
分析カラムで過酸化水素水を濃縮する方法が最近開発さ
れた。すなわち、分析カラムを損傷しない程度に、過酸
化水素水を充分に希釈した後、カラムで更にオンライン
濃縮することによって、検出感度の低下を最少化する方
法である。しかし、この場合も新しい濃縮装置を必要と
し、また濃縮の工程が追加されることによって、分析時
間が延長され、また試料が通過する流路が長くなるため
に、試料汚染の可能性が増大する短所がある。従って、
前記のような濃縮方法を今後要求される極微量定量分析
に適用するのは難しい。
【０００７】一方、分解法は、白金触媒や紫外線等を用
いてこれまで行われてきたが、この方法は試料を希釈し
ないため検出能力の低下を招かない長所がある。
いてこれまで行われてきたが、この方法は試料を希釈し
ないため検出能力の低下を招かない長所がある。
【０００８】白金触媒の分解法は、白金線または白金網
を不均一系触媒として使用して、過酸化水素水に含まれ
た過酸化水素を分解する方法であって、触媒に使用され
る白金は過酸化水素水に溶解しないので再使用が可能で
あり、過酸化水素の分解によって水溶液が作られる長所
を有している。しかし、試料の分解に長時間を要し、分
解過程で新しい汚染が発生する可能性があり、また、過
酸化水素水の分解時に発生する熱によって試料に含まれ
た不純物の化学種が変化するといった問題点があった。
を不均一系触媒として使用して、過酸化水素水に含まれ
た過酸化水素を分解する方法であって、触媒に使用され
る白金は過酸化水素水に溶解しないので再使用が可能で
あり、過酸化水素の分解によって水溶液が作られる長所
を有している。しかし、試料の分解に長時間を要し、分
解過程で新しい汚染が発生する可能性があり、また、過
酸化水素水の分解時に発生する熱によって試料に含まれ
た不純物の化学種が変化するといった問題点があった。
【０００９】また、紫外線分解法は、過酸化水素水を紫
外線が透過できる石英容器に入れて、紫外線を照射して
分解する方法で、過酸化水素水内に何等の物質も入れな
いという点で、白金触媒を使用する方法より有利であ
る。しかし、この方法においてもまた、分解時間が長
く、溶液内に含まれた不純物が変化を起こす可能性も白
金触媒の分解法よりかえって大きいなどといった問題点
があった。
外線が透過できる石英容器に入れて、紫外線を照射して
分解する方法で、過酸化水素水内に何等の物質も入れな
いという点で、白金触媒を使用する方法より有利であ
る。しかし、この方法においてもまた、分解時間が長
く、溶液内に含まれた不純物が変化を起こす可能性も白
金触媒の分解法よりかえって大きいなどといった問題点
があった。
【００１０】また、前記の２つの分解法は一括処理(Bat
ch) 方式で進められるので、これに使用される分解装置
を分析機器にオンラインに接続して使用することができ
ず、実時間(real time) オンライン自動分析化が難しい
といった、共通の問題点を有している。
ch) 方式で進められるので、これに使用される分解装置
を分析機器にオンラインに接続して使用することができ
ず、実時間(real time) オンライン自動分析化が難しい
といった、共通の問題点を有している。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、分析
機器を用いた、溶存微量不純物のオンライン実時間の自
動分析が可能になるように、過酸化水素水に含まれた過
酸化水素を分解して過酸化水素水の濃度を低下させる、
半導体製造工程における過酸化水素水のオンライン分解
装置を提供することにある。
機器を用いた、溶存微量不純物のオンライン実時間の自
動分析が可能になるように、過酸化水素水に含まれた過
酸化水素を分解して過酸化水素水の濃度を低下させる、
半導体製造工程における過酸化水素水のオンライン分解
装置を提供することにある。
【００１２】本発明の他の目的は、前記の過酸化水素水
のオンライン分解装置を使用して、過酸化水素水をオン
ラインに自動分解することができる、半導体製造工程に
おける過酸化水素水のオンライン分解方法を提供するこ
とにある。
のオンライン分解装置を使用して、過酸化水素水をオン
ラインに自動分解することができる、半導体製造工程に
おける過酸化水素水のオンライン分解方法を提供するこ
とにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、多孔性物質からなる蓋を用いて内部に封じ込め固
定した白金触媒を内部に有し、かつガスは容易に透過す
るが液体は透過しない材質からなるメンブレン管と、メ
ンブレン管を囲む外側ガラス管と、メンブレン管の中へ
試料を供給するために、メンブレン管の一端部に挿入さ
れた第１連結管と、メンブレン管を通過した過酸化水素
水を排出するために、メンブレン管の他の端部に挿入さ
れた第２連結管とから、半導体製造工程における過酸化
水素水のオンライン分解装置を構成した。
めに、多孔性物質からなる蓋を用いて内部に封じ込め固
定した白金触媒を内部に有し、かつガスは容易に透過す
るが液体は透過しない材質からなるメンブレン管と、メ
ンブレン管を囲む外側ガラス管と、メンブレン管の中へ
試料を供給するために、メンブレン管の一端部に挿入さ
れた第１連結管と、メンブレン管を通過した過酸化水素
水を排出するために、メンブレン管の他の端部に挿入さ
れた第２連結管とから、半導体製造工程における過酸化
水素水のオンライン分解装置を構成した。
【００１４】前記の第１連結管には、試料容器から試料
をポンピングして第１連結管を通じて試料を供給する試
料供給ポンプを接続すると、試料の供給を容易にするこ
とができる。
をポンピングして第１連結管を通じて試料を供給する試
料供給ポンプを接続すると、試料の供給を容易にするこ
とができる。
【００１５】また、前記のガスを液体成分と分離して通
過させることができるメンブレン管の材質としては、多
孔性テフロンのポリテトラフルオルエチレン（ＰＴＦ
Ｅ）、多孔性ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤ
Ｆ）、または多孔性ポリプロピレン（ＰＰ）のいずれか
からなるものを使用することが好ましい。さらに、前記
のメンブレン管内に含まれた白金触媒を固定する多孔性
蓋は、テフロンまたはポリプロピレンからなるものを使
用するのが好ましい。
過させることができるメンブレン管の材質としては、多
孔性テフロンのポリテトラフルオルエチレン（ＰＴＦ
Ｅ）、多孔性ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤ
Ｆ）、または多孔性ポリプロピレン（ＰＰ）のいずれか
からなるものを使用することが好ましい。さらに、前記
のメンブレン管内に含まれた白金触媒を固定する多孔性
蓋は、テフロンまたはポリプロピレンからなるものを使
用するのが好ましい。
【００１６】また、第１連結管と第２連結管を挿入した
後のメンブレン管の両端部をテフロンテープで密封する
ことが、分析を正確にすることができるという点で好ま
しく、メンブレン管との連結性をよくするために、第１
連結管及び第２連結管はテフロン材質からなるものを使
用するのが好ましい。
後のメンブレン管の両端部をテフロンテープで密封する
ことが、分析を正確にすることができるという点で好ま
しく、メンブレン管との連結性をよくするために、第１
連結管及び第２連結管はテフロン材質からなるものを使
用するのが好ましい。
【００１７】一方、メンブレン管を囲む外側のガラス管
の一端は、メンブレン管との関係で閉鎖されており、他
端は開放されるようにして、過酸化水素水の分解時に発
生する酸素ガスと水蒸気が、前記の開放された方から容
易に排出されるようにすることが好ましい。
の一端は、メンブレン管との関係で閉鎖されており、他
端は開放されるようにして、過酸化水素水の分解時に発
生する酸素ガスと水蒸気が、前記の開放された方から容
易に排出されるようにすることが好ましい。
【００１８】さらに、白金触媒はメンブレン管の試料供
給部側に部分的に含まれるようにして、分解された酸素
ガスが容易に排出されるようにするのが好ましい。
給部側に部分的に含まれるようにして、分解された酸素
ガスが容易に排出されるようにするのが好ましい。
【００１９】また前記の白金触媒としては、白金線、白
金粉末、白金コーティングガラス玉、または白金コーテ
ィングシリカゲルのいずれかの形態によるものを使用す
るのが好ましい。
金粉末、白金コーティングガラス玉、または白金コーテ
ィングシリカゲルのいずれかの形態によるものを使用す
るのが好ましい。
【００２０】また、前記の他の目的を達成するための本
発明による半導体製造工程における過酸化水素水のオン
ライン分解方法は、試料容器から白金触媒が入ったメン
ブレン管の中へ、第１連結管を介して過酸化水素水の試
料を供給する段階と、前記メンブレン管の内部に供給さ
れた前記過酸化水素水に含まれた過酸化水素を前記白金
触媒の作用によって水と酸素ガスとに分解する段階と、
前記の分解された過酸化水素水を、第２連結管に連結し
た試料注入器を通じて分析機器中に注入させる段階とか
らなる。
発明による半導体製造工程における過酸化水素水のオン
ライン分解方法は、試料容器から白金触媒が入ったメン
ブレン管の中へ、第１連結管を介して過酸化水素水の試
料を供給する段階と、前記メンブレン管の内部に供給さ
れた前記過酸化水素水に含まれた過酸化水素を前記白金
触媒の作用によって水と酸素ガスとに分解する段階と、
前記の分解された過酸化水素水を、第２連結管に連結し
た試料注入器を通じて分析機器中に注入させる段階とか
らなる。
【００２１】前記の過酸化水素水の分解段階は過酸化水
素水を流動させながら進めるのが好ましい。
素水を流動させながら進めるのが好ましい。
【００２２】前記のように構成された、本発明の過酸化
水素水のオンライン分解装置は、試料供給ポンプと連結
された第１連結管を通じてメンブレン管中に供給された
過酸化水素水試料を、白金触媒の作用によって水と酸素
ガスとに速い速度で分解させ、分解された過酸化水素水
の酸素ガスは、メンブレン管を通じて直ちに外部に排出
されて、過酸化水素水の過酸化水素の濃度を低下させる
ことができる。このような過酸化水素の濃度が低下した
試料は、第２連結管と連結された試料注入器を通じて分
析機中に注入されて、オンライン自動分析が可能にな
る。
水素水のオンライン分解装置は、試料供給ポンプと連結
された第１連結管を通じてメンブレン管中に供給された
過酸化水素水試料を、白金触媒の作用によって水と酸素
ガスとに速い速度で分解させ、分解された過酸化水素水
の酸素ガスは、メンブレン管を通じて直ちに外部に排出
されて、過酸化水素水の過酸化水素の濃度を低下させる
ことができる。このような過酸化水素の濃度が低下した
試料は、第２連結管と連結された試料注入器を通じて分
析機中に注入されて、オンライン自動分析が可能にな
る。
【００２３】
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施例を示す概
略図であり、図２は、本発明による過酸化水素水のオン
ライン分解装置を試料容器と分析機器に接続した試料注
入器との間にオンライン接続した様子を示す概略図であ
る。
略図であり、図２は、本発明による過酸化水素水のオン
ライン分解装置を試料容器と分析機器に接続した試料注
入器との間にオンライン接続した様子を示す概略図であ
る。
【００２４】図１と図２を参照すると、メンブレン管１
２の一端部には、試料供給ポンプ４０と連結するための
第１連結管２２が強制挿入され、テフロンテープで密封
されており、他端部には、試料注入器５０と連結するた
めの第２連結管２４が強制挿入されて、テフロンテープ
２０で密封されている。メンブレン管１２の両連結部位
の内側には、ポリマー系統の多孔性物質、例えばテフロ
ンから製作されたディスク形状の蓋１４、１４’が嵌め
込まれており、蓋１４、１４’間には白金触媒１６が固
定、封入してある。
２の一端部には、試料供給ポンプ４０と連結するための
第１連結管２２が強制挿入され、テフロンテープで密封
されており、他端部には、試料注入器５０と連結するた
めの第２連結管２４が強制挿入されて、テフロンテープ
２０で密封されている。メンブレン管１２の両連結部位
の内側には、ポリマー系統の多孔性物質、例えばテフロ
ンから製作されたディスク形状の蓋１４、１４’が嵌め
込まれており、蓋１４、１４’間には白金触媒１６が固
定、封入してある。
【００２５】前記メンブレン管１２は、外気からの汚染
可能性を排除するために、外気と遮断されるように、相
対的に直径が大きいガラス管１８で囲まれており、前記
の試料供給ポンプ４０に面する前記ガラス管１８の一端
部は、前記の第１連結管２２と密着されるように構成さ
れており、前記の試料注入器５０に面する他端部は、メ
ンブレン管１２の内部から出たガスが外部に放出される
ように開放されている。
可能性を排除するために、外気と遮断されるように、相
対的に直径が大きいガラス管１８で囲まれており、前記
の試料供給ポンプ４０に面する前記ガラス管１８の一端
部は、前記の第１連結管２２と密着されるように構成さ
れており、前記の試料注入器５０に面する他端部は、メ
ンブレン管１２の内部から出たガスが外部に放出される
ように開放されている。
【００２６】図２の図示のとおり、本発明の過酸化水素
水のオンライン分解装置１０においては、第１連結管２
２が試料供給ポンプ４０を間に挟んで試料容器３０に連
結され、第２連結管２４が試料注入器５０を間に挟んで
分析機器６０と連結される。本発明の一実施例では、前
記の分析機器としては、ダイオネックス(Dionex)社のＡ
ＳＲＳ−Ｉから構成されたイオンクロマトグラフィー(I
C)を主に用いた。
水のオンライン分解装置１０においては、第１連結管２
２が試料供給ポンプ４０を間に挟んで試料容器３０に連
結され、第２連結管２４が試料注入器５０を間に挟んで
分析機器６０と連結される。本発明の一実施例では、前
記の分析機器としては、ダイオネックス(Dionex)社のＡ
ＳＲＳ−Ｉから構成されたイオンクロマトグラフィー(I
C)を主に用いた。
【００２７】前記の本発明の一実施例で、前記のメンブ
レン管１２は、多孔性のテフロン系統の材質を使用して
製作することが好ましく、管の長さも多様に変化させる
ことができる。多孔性テフロン材質のメンブレン管は、
疎水性を有するので、気体は容易に通過させるが、水溶
液の通過は抑制するので、液体と気体を分離することが
できるように構成されている。
レン管１２は、多孔性のテフロン系統の材質を使用して
製作することが好ましく、管の長さも多様に変化させる
ことができる。多孔性テフロン材質のメンブレン管は、
疎水性を有するので、気体は容易に通過させるが、水溶
液の通過は抑制するので、液体と気体を分離することが
できるように構成されている。
【００２８】より具体的には、前記メンブレン管１２の
材質としては、テフロンとして知られる多孔性ポリテト
ラフルオルエチレン（ＰＴＦＥ）、多孔性ポリビニリデ
ンフルオライド（ＰＶＤＦ）、多孔性ポリプロピレン
（ＰＰ）等を使用することができる。
材質としては、テフロンとして知られる多孔性ポリテト
ラフルオルエチレン（ＰＴＦＥ）、多孔性ポリビニリデ
ンフルオライド（ＰＶＤＦ）、多孔性ポリプロピレン
（ＰＰ）等を使用することができる。
【００２９】メンブレン管１２に入れる白金触媒１６と
しては、白金粉末、高純度白金線、白金をコーティング
したニクロム線、白金をコーティングしたガラス玉、白
金をコーティングしたシリカゲル等を使用することが好
ましい。
しては、白金粉末、高純度白金線、白金をコーティング
したニクロム線、白金をコーティングしたガラス玉、白
金をコーティングしたシリカゲル等を使用することが好
ましい。
【００３０】前記のような構成を有する本発明の、過酸
化水素水のオンライン分解装置１０では、試料容器３０
から試料供給ポンプ４０によってポンピングされた過酸
化水素水が、第１連結管２２を通じ、多孔性蓋１４を通
過して、メンブレン管１２中に流入される（図１のＡ方
向）。このように流入された過酸化水素水に含まれた過
酸化水素は、メンブレン管１２の内部を流れながら、メ
ンブレン管１２の内部に存在する白金触媒１６の作用
で、水と酸素ガスとに高速分解されて、前記の過酸化水
素水は希釈される。この時発生した酸素ガスは、多孔性
メンブレン管１２を通過して、前記ガラス管１８の開放
端部を通じて大気に排出され（図１のＣ方向）、希釈さ
れた過酸化水素水は、前記の試料注入器５０を通じて分
析機器の中へ注入されて（図１のＢ方向）、オンライン
実時間分析が行われる。
化水素水のオンライン分解装置１０では、試料容器３０
から試料供給ポンプ４０によってポンピングされた過酸
化水素水が、第１連結管２２を通じ、多孔性蓋１４を通
過して、メンブレン管１２中に流入される（図１のＡ方
向）。このように流入された過酸化水素水に含まれた過
酸化水素は、メンブレン管１２の内部を流れながら、メ
ンブレン管１２の内部に存在する白金触媒１６の作用
で、水と酸素ガスとに高速分解されて、前記の過酸化水
素水は希釈される。この時発生した酸素ガスは、多孔性
メンブレン管１２を通過して、前記ガラス管１８の開放
端部を通じて大気に排出され（図１のＣ方向）、希釈さ
れた過酸化水素水は、前記の試料注入器５０を通じて分
析機器の中へ注入されて（図１のＢ方向）、オンライン
実時間分析が行われる。
【００３１】一方、多様な形態の白金触媒１６をメンブ
レン管１２に充填して製作した本発明の過酸化水素水の
オンライン分解装置の性能を試験した。メンブレン管１
２に密封連結された第１連結管２２をぜん動(peristalt
ic) 動作する試料供給ポンプ４０に連結し、高濃度の過
酸化水素水を分解装置に注入して、排出された溶液を受
けて、分解されず残存する過酸化水素をＫＭｎＯ4 で滴
定して分解率を測定した。その結果は表１のとおりであ
る。
レン管１２に充填して製作した本発明の過酸化水素水の
オンライン分解装置の性能を試験した。メンブレン管１
２に密封連結された第１連結管２２をぜん動(peristalt
ic) 動作する試料供給ポンプ４０に連結し、高濃度の過
酸化水素水を分解装置に注入して、排出された溶液を受
けて、分解されず残存する過酸化水素をＫＭｎＯ4 で滴
定して分解率を測定した。その結果は表１のとおりであ
る。
【００３２】
【表１】 表１から分かるように、分解度は白金触媒の材質及び形
態に大きく影響されることが認められ、特に５％白金活
性炭、白金メッキニクロム線または白金線を用いた場合
高い分解率を示すことが認められる。
態に大きく影響されることが認められ、特に５％白金活
性炭、白金メッキニクロム線または白金線を用いた場合
高い分解率を示すことが認められる。
【００３３】
【発明の効果】以上のように、本発明によると、過酸化
水素水の分解作業と分析作業を、オンラインで実時間自
動化することができるので、多量の試料を迅速に処理す
ることができ、過酸化水素水の純度をすぐ確認すること
ができて、洗浄用薬品の品質管理の効率が高まって、洗
浄工程の安定性と信頼性を確保することができ、これに
よって、半導体素子の特性を向上させ得る効果がある。
水素水の分解作業と分析作業を、オンラインで実時間自
動化することができるので、多量の試料を迅速に処理す
ることができ、過酸化水素水の純度をすぐ確認すること
ができて、洗浄用薬品の品質管理の効率が高まって、洗
浄工程の安定性と信頼性を確保することができ、これに
よって、半導体素子の特性を向上させ得る効果がある。
【図１】本発明による半導体製造工程における過酸化水
素水のオンライン分解装置の一実施例を示す断面図であ
る。
素水のオンライン分解装置の一実施例を示す断面図であ
る。
【図２】本発明のオンライン分解装置を、試料容器と分
析機器に接続した試料注入器との間にオンラインに連結
した様子を示す概略図である。
析機器に接続した試料注入器との間にオンラインに連結
した様子を示す概略図である。
【符号の説明】 １０ 過酸化水素水のオンライン分解装置 １２ メンブレン管 １４、１４’ 多孔性蓋 １６ 白金触媒 １８ ガラス管 ２０ テフロンテープ ２２ 第１連結管 ２４ 第２連結管 ３０ 試料容器 ４０ 試料供給ポンプ ５０ 試料注入器 ６０ 分析機器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B01D 63/06 B01D 71/26 B01D 71/32 B01J 23/42 C02F 1/58 ZAB
Claims (12)
- 【請求項１】 多孔性物質からなる蓋を用いて内部に封
じ込め固定した白金触媒を内部に有し、かつ、ガスは容
易に透過するが液体は透過しない材質からなるメンブレ
ン管と、 前記メンブレン管を囲む外側ガラス管と、 前記メンブレン管の中へ試料を供給するために、前記メ
ンブレン管の一端部に挿入された第１連結管と、 前記メンブレン管を通過した過酸化水素水を排出するた
めに、前記メンブレン管の他の端部に挿入された第２連
結管と、から構成された、半導体製造工程における過酸
化水素水のオンライン分解装置。 - 【請求項２】 試料容器から試料をポンピングし、前記
第１連結管を通じて試料を供給する、前記第１連結管に
連結した試料供給ポンプを更に含む、請求項１に記載の
オンライン分解装置。 - 【請求項３】 前記のメンブレン管が、多孔性のポリテ
トラフルオルエチレン、多孔性のポリビニリデンフルオ
ライド（ポリフッ化ビニリデン）、または多孔性のポリ
プロピレンのいずれかからなる、請求項１に記載のオン
ライン分解装置。 - 【請求項４】 前記の多孔性物質からなる蓋がテフロン
またはポリプロピレンからなる、請求項１に記載のオン
ライン分解装置。 - 【請求項５】 前記第１連結管と第２連結管を挿入した
後の前記メンブレン管の両端部がテフロンテープで密封
されている、請求項１に記載のオンライン分解装置。 - 【請求項６】 前記第１連結管及び第２連結管がテフロ
ン材質からなる、請救項１に記載のオンライン分解装
置。 - 【請求項７】 前記メンブレン管を囲む外側ガラス管の
一端は、前記メンブレン管との関係で閉鎖されており、
他端は開放されている、請求項１に記載のオンライン分
解装置。 - 【請求項８】 前記白金触媒が前記メンブレン管の試料
供給部側に部分的に含まれる、請求項１に記載のオンラ
イン分解装置。 - 【請求項９】 前記白金触媒が、白金線、白金粉末、白
金コーティングのガラス玉、または白金コーティングシ
リカゲルのいずれかの形態からなる、請求項１に記載の
オンライン分解装置。 - 【請求項１０】 試料容器から白金触媒が入ったメンブ
レン管の中へ、第１連結管を介して過酸化水素水を供給
する段階と、 前記メンブレン管の内部に供給された前記過酸化水素水
に含まれた過酸化水素を前記白金触媒の作用によって水
と酸素ガスとに分解する段階と、 前記の分解された過酸化水素水を、第２連結管に連結し
た試料注入器を通じて分析機器中に注入させる段階とか
らなる、半導体製造工程における過酸化水素水のオンラ
イン分解方法。 - 【請求項１１】 前記過酸化水素水の分解段階を前記過
酸化水素水を流動させながら進める、請求項１０に記載
のオンライン分解方法。 - 【請求項１２】 前記白金触媒が白金線、白金粉末、白
金コーティングのガラス玉、または白金コーティングシ
リカゲルのうちのいずれかである、請求項１０に記載の
オンライン分解方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960022656A KR0181910B1 (ko) | 1996-06-20 | 1996-06-20 | 반도체 제조공정의 과산화수소수 온라인 분해방법 및 장치 |
| KR1996-22656 | 1996-06-20 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH105553A JPH105553A (ja) | 1998-01-13 |
| JP2798134B2 true JP2798134B2 (ja) | 1998-09-17 |
Family
ID=19462716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8319980A Expired - Fee Related JP2798134B2 (ja) | 1996-06-20 | 1996-11-29 | 半導体製造工程における過酸化水素水のオンライン分解装置及び分解方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US5939032A (ja) |
| JP (1) | JP2798134B2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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| KR100452159B1 (ko) * | 2002-08-26 | 2004-10-12 | (주) 윈테크 | 반도체 장치의 촉매를 이용한 세정방법 및 이를 수행하기위한시스템 |
| US20060088441A1 (en) * | 2004-10-21 | 2006-04-27 | Steris Inc. | Vaporized hydrogen peroxide concentration detector |
| FR2884443B1 (fr) * | 2005-04-18 | 2007-06-29 | Inst Francais Du Petrole | Reacteur de laboratoire pour l'etude de reactions en phase gaz et liquide |
| JP4820663B2 (ja) * | 2006-02-22 | 2011-11-24 | パナソニック環境エンジニアリング株式会社 | 過酸化水素含有廃液の処理方法及び処理装置 |
| US20090087921A1 (en) * | 2007-10-02 | 2009-04-02 | Steris Inc. | Vaporized hydrogen peroxide concentration detector |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US3996141A (en) * | 1971-10-22 | 1976-12-07 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Dialysis membrane |
| CH557178A (de) * | 1972-08-10 | 1974-12-31 | Siemens Ag | Geraet fuer die zufuehrung von medikamenten. |
| US3912451A (en) * | 1973-06-04 | 1975-10-14 | Warner Lambert Co | Method for removing hydrogen peroxide from soft contact lenses |
| JPS5271000A (en) * | 1975-12-10 | 1977-06-13 | Tokuyama Soda Co Ltd | Production of hydrogen peroxide |
| FR2547744B1 (fr) * | 1983-06-27 | 1988-05-20 | Interox | Procede et appareil pour la production de produits gazeux par decomposition de liquides |
| JPS61219703A (ja) * | 1985-03-24 | 1986-09-30 | Nakajima Doukoushiyo:Kk | 酸素発生装置 |
| US4750610A (en) * | 1986-12-29 | 1988-06-14 | Ryder International Corporation | Lens case with pressure sensitive venting system |
| AU651654B2 (en) * | 1992-01-14 | 1994-07-28 | Endo Pharmaceuticals Solutions Inc. | Manufacture of water-swellable hydrophilic articles and drug delivery devices |
| US5536241A (en) * | 1990-12-05 | 1996-07-16 | The General Hospital Corporation | Methods and devices for relaxing smooth muscle contractions |
| US5227042A (en) * | 1992-05-15 | 1993-07-13 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Catalyzed enzyme electrodes |
| GB2273773B (en) * | 1992-12-23 | 1996-04-03 | Kodak Ltd | Method of determining hydrogen peroxide levels |
-
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- 1996-06-20 KR KR1019960022656A patent/KR0181910B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1996-11-29 JP JP8319980A patent/JP2798134B2/ja not_active Expired - Fee Related
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1997
- 1997-04-24 US US08/842,503 patent/US5939032A/en not_active Expired - Lifetime
-
1998
- 1998-09-22 US US09/157,945 patent/US6146898A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| US6146898A (en) | 2000-11-14 |
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