JP2782608B2 - Film exposure equipment - Google Patents
Film exposure equipmentInfo
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えばTAB（Tape Automated Bonding）方
式の電子部品の実装に使用されるフィルム回路基板の製
作に好適なフィルム露光装置に関する。The present invention relates to a film exposure apparatus suitable for producing a film circuit board used for mounting, for example, a TAB (Tape Automated Bonding) type electronic component.
物体の表面に微細加工を施す技術として、フォトリソ
グラフィの技術が知られている。この技術は、半導体集
積回路のほか、最近ではTAB方式の電子部品の実装に使
用されるフィルム回路基板の製作にも応用されている。As a technique for performing fine processing on the surface of an object, a photolithography technique is known. This technology has been applied not only to semiconductor integrated circuits but also recently to the production of film circuit boards used for mounting TAB-type electronic components.
このようなフィルム回路基板の製作に使用されるフィ
ルム露光装置においては、通常、フィルム送り機構によ
り露光のたびごとにフィルムの一コマをフォトマスクの
像の投影位置にステップ送りすることが行われている。In a film exposure apparatus used for manufacturing such a film circuit board, usually, a film feed mechanism step-feeds one frame of a film to a projection position of an image of a photomask for each exposure. I have.
このようなフィルム送り機構の一例においては、フィ
ルムのパーフォレーションに係合するスプロケットと、
このスプロケットにフィルムのパーフォレーションが係
合するようにフィルムを押さえ込む押さえローラとを備
えてなる。この押さえローラは、スプロケットの歯を跨
ぐようにしてフィルムを押さえ込むようにその周面に溝
が設けられている。従って、第５図に示すように、フィ
ルムＦの被押圧部分は、パーフォレーションＰの列の内
側部分Piおよび外側部分Poになる。In one example of such a film feed mechanism, a sprocket that engages with the perforation of the film,
A pressing roller is provided for pressing the film so that the perforations of the film engage with the sprocket. The pressing roller is provided with a groove on its peripheral surface so as to press the film over the teeth of the sprocket. Accordingly, as shown in FIG. 5, the pressed portion of the film F becomes the inner portion of the row of perforations P P i and outer portions P o.
しかし、上記のような押さえローラでは、隣接するパ
ーフォレーションP,P間の部分Psは押さえることができ
ないために、特にフィルムＦの厚さが例えば約30μｍ程
度と薄型である場合には、パーフォレーションＰの周囲
部分が変形してスプロケットの歯から浮き上がったり破
壊したりして、スプロケットによるフィルムＦの送り精
度が低くなる場合がある。However, the pressing roller as mentioned above, when adjacent perforations P, due to the inability to suppress the portion P s between P, in particular about 30μm approximately the thickness of the film F, for example, and low profile, the perforations P Of the film F may be deformed and rise or break from the teeth of the sprocket, and the feeding accuracy of the film F by the sprocket may be reduced.
本発明の目的は、スプロケットによるフィルムの変形
を抑え、送り精度を高めることができるフィルム露光装
置を提供することにある。An object of the present invention is to provide a film exposure apparatus capable of suppressing deformation of a film due to a sprocket and improving feeding accuracy.
上記目的を達成するため、本発明のフィルム露光装置
は、帯状のフィルムの長さ方向に沿ってフォトマスクの
パターンの像を順次に投影して露光するフィルム露光装
置であって、照射部と、照射部からの光が照射される位
置に配置されたフォトマスクと、フォトマスクの像を投
影する投影レンズと、フォトマスクの像の投影位置に、
フィルムをステップ送りするフィルム送り機構とを具備
し、該フィルム送り機構は、フィルムのパーフォレーシ
ョンに係合するスプロケットと、このスプロケットにフ
ィルムのパーフォレーションが係合するようにフィルム
を押さえ込む押さえローラとを含み、押さえローラに
は、スプロケットの歯に適合する穴が設けられ、フィル
ムを押さえ込んだ際のスプロケットの歯が該穴内に位置
されることを特徴とする。In order to achieve the above object, the film exposure apparatus of the present invention is a film exposure apparatus that sequentially projects and exposes the image of the pattern of the photomask along the length direction of the band-shaped film, and an irradiation unit, A photomask disposed at a position where light from the irradiation unit is irradiated, a projection lens that projects an image of the photomask, and a projection position of an image of the photomask,
A film feed mechanism for step-feeding the film, the film feed mechanism including a sprocket engaged with the perforation of the film, and a holding roller for holding down the film so that the perforation of the film is engaged with the sprocket; The holding roller is provided with a hole adapted to the teeth of the sprocket, and the teeth of the sprocket when the film is pressed are located in the holes.
スプロケットおよび押さえローラは、フィルムの幅方
向に離間して２組設けられていることが好ましい。It is preferable that two sets of sprockets and pressing rollers are provided apart from each other in the width direction of the film.
スプロケットの歯のピッチ円筒上での断面形状（以下
単に断面形状という）およびこれに対応する押さえロー
ラの穴の形状は丸形であり、穴の直径と歯の外直径との
差は0.4mm以内であることが好ましい。The cross-sectional shape of the sprocket teeth on the pitch cylinder (hereinafter simply referred to as the cross-sectional shape) and the corresponding shape of the hole of the holding roller are round, and the difference between the hole diameter and the tooth outer diameter is within 0.4 mm. It is preferred that
フィルムのステップ送りの際には、スプロケットの歯
がフィルムのパーフォレーションに係合するとともに、
押さえローラの穴に嵌合する。When the film is stepped, the sprocket teeth engage with the film perforations,
Fits into the hole of the holding roller.
しかるに、押さえローラの穴は、これに対応するスプ
ロケットの歯に適合するので、パーフォレーションの周
囲のわずかな部分を残してフィルムの周辺部のほぼ全体
が押さえローラにより押さえられることとなる。However, since the holes of the pressing roller fit the corresponding sprocket teeth, almost all of the periphery of the film is pressed by the pressing roller except for a small portion around the perforation.
従って、スプロケットの歯がパーフォレーションに確
実に嵌合して、パーフォレーションの周囲部分のスプロ
ケットの歯からの浮き上がりや破壊が実質上防止され
る。Therefore, the teeth of the sprocket are securely fitted to the perforations, so that the periphery of the perforations is prevented from being lifted or broken from the teeth of the sprocket.
第１図は本発明の一実施例に係るフィルム露光装置の
説明図である。この装置は、帯状のフィルムＦの長さ方
向に沿ってフォトマスクＭのパターンの像を順次に投影
して露光していくものである。FIG. 1 is an explanatory view of a film exposure apparatus according to one embodiment of the present invention. This apparatus sequentially projects and exposes the image of the pattern of the photomask M along the length direction of the band-shaped film F.
10は照射部であり、例えば超高圧水銀灯等のように紫
外線を効率的に放射するランプ11と、フィルムＦのステ
ップ送りに対応して開閉するシャッタ（図示省略）を内
蔵している。Reference numeral 10 denotes an irradiation unit, which incorporates a lamp 11 such as an ultra-high pressure mercury lamp or the like that efficiently emits ultraviolet rays, and a shutter (not shown) that opens and closes in response to the step feed of the film F.
Ｍはフォトマスクであり、照射部10からの光が照射さ
れる位置に配置されている。M is a photomask, which is arranged at a position where light from the irradiation unit 10 is irradiated.
20は投影レンズであり、照射されたフォトマスクＭの
像を投影するものである。Reference numeral 20 denotes a projection lens which projects an image of the irradiated photomask M.
30はフィルム送り機構であり、フォトマスクＭの像の
投影位置に、フィルムＦの一コマをステップ送りするも
のであり、第２図にも示すように、フィルムＦのパーフ
ォレーションＰに係合するスプロケット31と、このスプ
ロケット31にフィルムＦのパーフォレーションＰが係合
するようにフィルムＦを押さえ込む押さえローラ32とを
備えている。押さえローラ32には、スプロケット31の歯
31Aの断面形状と同様の形状でかつ大きさがわずかに大
きい穴32Aが設けられ、フィルムＦを押さえ込んだ際の
スプロケット31の歯31Aが該穴32A内に位置される。押さ
えローラ32において、32Bは押さえ面である。スプロケ
ット31の歯31Aのスプロケット軸と直交する面での輪郭
（以下単に輪郭という）は、フィルムＦのパーフォレー
ションＰへの挿入または離脱を円滑に行わせるために、
インボリュート曲線に近似した円弧であることが好まし
い。Numeral 30 denotes a film feed mechanism for stepping one frame of the film F to the position where the image of the photomask M is projected, as shown in FIG. 31 and a pressing roller 32 for pressing the film F such that the perforation P of the film F is engaged with the sprocket 31. The holding roller 32 has sprocket 31 teeth
A hole 32A having a shape similar to the cross-sectional shape of 31A and having a slightly larger size is provided, and the teeth 31A of the sprocket 31 when the film F is held down are located in the hole 32A. In the pressing roller 32, 32B is a pressing surface. The contour of the teeth 31A of the sprocket 31 in a plane perpendicular to the sprocket axis (hereinafter simply referred to as the contour) is set so that the film F can be smoothly inserted into or removed from the perforation P.
It is preferably an arc that approximates an involute curve.
そして、第３図に示すように、スプロケット31の歯31
Aの断面形状およびこれに対応する押さえローラ32の穴3
2Aの形状は丸形であり、穴32Aの直径D32と歯31Aの外直
径D31との差は0.4mm以内である。一例においては、穴32
Aの直径D32が2.0mm、歯31Aの外直径D31が1.6mmである。Then, as shown in FIG.
A cross-sectional shape and the corresponding hole 3 of the press roller 32
The shape of 2A is round, the difference between the outer diameter D 31 of the diameter D 32 and the teeth 31A of the hole 32A is within 0.4 mm. In one example, hole 32
The diameter D 32 of A 2.0 mm, the outer diameter D 31 of the tooth 31A is 1.6 mm.
また、スプロケット31および押さえローラ32は、フィ
ルムＦの幅方向（第１図において紙面に垂直方向）に離
間して２組設けられている。Further, two sets of the sprocket 31 and the pressing roller 32 are provided apart from each other in the width direction of the film F (the direction perpendicular to the plane of FIG. 1).
フィルム送り機構30において、33は送りローラ、34は
押さえローラ、35,36は補助ローラ、37は巻き出しリー
ル、38は巻き取りリール、39は昇降ローラである。送り
ローラ33は、モータ（図示省略）によって駆動される駆
動ローラである。昇降ローラ39は、フィルムＦのステッ
プ送り時にフィルムＦを浮上させるものである。In the film feed mechanism 30, 33 is a feed roller, 34 is a press roller, 35 and 36 are auxiliary rollers, 37 is a take-out reel, 38 is a take-up reel, and 39 is a lifting roller. The feed roller 33 is a drive roller driven by a motor (not shown). The elevating roller 39 floats the film F when the film F is fed stepwise.
40はステージであり、投影位置に送られたフィルムＦ
の一コマを例えば真空吸着するものである。40 is a stage, and the film F sent to the projection position
Is vacuum-adsorbed on one frame, for example.
この実施例の装置の動作を説明すると、送りローラ33
が図示しないモータによって駆動され、送りローラ33と
押さえローラ34との間に挟まれたフィルムＦがステップ
送りされる。一方、フィルムＦのパーフォレーションＰ
に係合したスプロケット31は、フィルムＦのステップ送
りに追従して回転し、当該フィルムＦの送り方向を所定
の方向に規制するとともに、図示しないブレーキによっ
てフィルムＦにテンションを与える。The operation of the apparatus of this embodiment will be described.
Is driven by a motor (not shown), and the film F sandwiched between the feed roller 33 and the pressing roller 34 is fed stepwise. On the other hand, the perforation P of the film F
The sprocket 31 engaged with the roller rotates following the step feed of the film F, restricts the feed direction of the film F to a predetermined direction, and gives tension to the film F by a brake (not shown).
しかるに、スプロケット31の歯31Aは、パーフォレー
ションＰを貫通して押さえローラ32の穴32Aに嵌合し、
この穴32Aの形状がスプロケット31の歯31Aの断面形状と
同様の形状でかつその大きさが歯31Aよりもわずかに大
きいので、第４図に示すように、フィルムＦのパーフォ
レーションＰの周囲部分のほぼ全体が、すなわちパーフ
ォレーションＰの内側部分Piおよび外側部分Poのみなら
ず、パーフォレーションP,P間の部分Psまでもが、押さ
えローラ32の押さえ面32Bに確実に押されられることと
なる。第４図において、斜線を付した部分32Cが、押さ
えローラ32の押さえ面32Bにより押さえられた部分であ
る。従って、パーフォレーションＰにスプロケット31の
歯31Aが確実に嵌合し、しかも嵌合後においてもパーフ
ォレーションＰの周囲部分が浮き上がるおそれがない。
また、パーフォレーションＰ、スプロケット31の歯31
A、押さえローラ32の穴32Aの形状が丸形であることによ
り、角形の場合に比してパーフォレーションＰの損傷の
発生が少なくなる。However, the teeth 31A of the sprocket 31 penetrate the perforations P and fit into the holes 32A of the holding roller 32,
Since the shape of the hole 32A is similar to the cross-sectional shape of the teeth 31A of the sprocket 31, and the size thereof is slightly larger than the teeth 31A, as shown in FIG. almost entirely, that not only the inner portion P i and outer portions P o of the perforations P, the perforations P, even partial P s between P is, and thus be pressed firmly on the holding surface 32B of the pressing roller 32 . In FIG. 4, a hatched portion 32C is a portion pressed by the pressing surface 32B of the pressing roller 32. Therefore, the teeth 31A of the sprocket 31 are securely fitted to the perforations P, and there is no possibility that the peripheral portion of the perforations P will float even after the fitting.
Also, the perforation P, the teeth 31 of the sprocket 31
A. Since the shape of the hole 32A of the pressing roller 32 is round, damage to the perforations P is reduced as compared with the case of a square shape.
以上、本発明の実施例について説明したが、本発明に
おいては、スプロケットの歯の断面形状が角形であって
もよく、この場合に押さえローラの穴の形状は丸形であ
ってもよい。押さえローラの穴は丸形である方が穿孔が
容易である。Although the embodiments of the present invention have been described above, in the present invention, the cross-sectional shape of the teeth of the sprocket may be square, and in this case, the shape of the hole of the pressing roller may be round. It is easier to pierce the holes of the holding roller if they are round.
本発明によれば、スプロケットと押さえローラとによ
りフィルムのパーフォレーションの周囲部分を有効に押
さえることができるので、スプロケットの歯をパーフォ
レーションに確実に嵌合させることができるとともに、
パーフォレーションの周囲部分のスプロケットの歯から
の浮き上がりを最小限にすることができ、さらにパーフ
ォレーションの周囲部分の破壊を防ぐことができる。従
って、フィルムのステップ送り中並びに露光中において
フィルムの位置ずれが生ぜず、スプロケットによるフィ
ルムの送り精度を高めることができる。According to the present invention, the peripheral portion of the film perforation can be effectively pressed by the sprocket and the pressing roller, so that the teeth of the sprocket can be securely fitted to the perforation,
It is possible to minimize the lifting of the peripheral portion of the perforation from the teeth of the sprocket, and to prevent the peripheral portion of the perforation from being broken. Therefore, the film is not displaced during the step feeding and the exposure of the film, and the film feeding accuracy by the sprocket can be improved.
また、スプロケットおよび押さえローラをフィルムの
幅方向に離間して２組設ける場合は、フィルムの蛇行を
抑えることができて、フィルムの送り精度がさらに高く
なる。When two sets of sprockets and pressing rollers are provided apart from each other in the width direction of the film, meandering of the film can be suppressed, and the accuracy of feeding the film is further increased.
さらに、スプロケットの歯および押さえローラの穴が
丸形である場合は、角形に比べてフィルムのパーフォレ
ーションの損傷が少なくなる。Further, when the teeth of the sprocket and the holes of the pressing roller are round, damage to the film perforation is reduced as compared with the case where the holes are square.
第１図は本発明の一実施例に係るフィルム露光装置の説
明図、第２図はスプロケットおよび押さえローラを示す
説明図、第３図はスプロケットの歯および押さえローラ
の穴の形状を示す説明図、第４図はフィルムのパーフォ
レーションの周囲部分がスプロケットおよび押さえロー
ラにより押さえられた状態を示す説明図、第５図は従来
の押さえローラによりフィルムが押さえられた状態を示
す説明図である。 Ｆ……フィルム、Ｍ……フォトマスク 10……照射部、11……ランプ 20……投影レンズ、30……フィルム送り機構 31……スプロケット、31A……歯 32……押さえローラ、32A……穴 32B……押さえ面、33……送りローラ 34……押さえローラ、35,36……補助ローラ 37……巻き出しリール、38……巻き取りリール 39……昇降ローラ、40……ステージFIG. 1 is an explanatory view of a film exposure apparatus according to one embodiment of the present invention, FIG. 2 is an explanatory view showing a sprocket and a pressing roller, and FIG. 3 is an explanatory view showing the teeth of the sprocket and the shapes of holes of the pressing roller. FIG. 4 is an explanatory view showing a state in which the peripheral portion of the perforation of the film is pressed by a sprocket and a pressing roller, and FIG. 5 is an explanatory view showing a state in which the film is pressed by a conventional pressing roller. F ... Film, M ... Photo mask 10 ... Irradiation unit, 11 ... Lamp 20 ... Projection lens, 30 ... Film feeding mechanism 31 ... Sprocket, 31A ... Tooth 32 ... Pressing roller, 32A ... Hole 32B ... Pressing surface, 33 ... Feed roller 34 ... Pressing roller, 35,36 ... Auxiliary roller 37 ... Unwind reel, 38 ... Rewind reel 39 ... Elevating roller, 40 ... Stage
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G03F 1/00 - 1/16 G03F 7/20 - 7/24 G03F 9/00 - 9/02 G03D 3/00 - 5/06 G03D 11/00,15/00 - 17/00 G03B 27/32,27/42 - 27/48 G03B 27/58 - 27/64──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int. Cl. 6 , DB name) G03F 1/00-1/16 G03F 7/20-7/24 G03F 9/00-9/02 G03D 3 / 00-5/06 G03D 11 / 00,15 / 00-17/00 G03B 27 / 32,27 / 42-27/48 G03B 27/58-27/64
Claims (3)
マスクのパターンの像を順次に投影して露光するフィル
ム露光装置であって、 照射部と、 照射部からの光が照射される位置に配置されたフォトマ
スクと、 フォトマスクの像を投影する投影レンズと、 フォトマスクの像の投影位置に、フィルムをステップ送
りするフィルム送り機構と を具備し、 該フィルム送り機構は、フィルムのパーフォレーション
に係合するスプロケットと、このスプロケットにフィル
ムのパーフォレーションが係合するようにフィルムを押
さえ込む押さえローラとを含み、 押さえローラには、スプロケットの歯に適合する穴が設
けられ、フィルムを押さえ込んだ際のスプロケットの歯
が該穴内に位置されることを特徴とするフィルム露光装
置。1. A film exposure apparatus for sequentially projecting and exposing an image of a photomask pattern along a longitudinal direction of a strip-shaped film, comprising: an irradiation unit; and a position to which light from the irradiation unit is irradiated. And a projection lens for projecting an image of the photomask, and a film feed mechanism for step-feeding the film to a position where the image of the photomask is projected. And a press roller that presses the film so that the perforation of the film engages with the sprocket. The press roller is provided with a hole that fits the teeth of the sprocket. A film exposure apparatus wherein teeth of a sprocket are located in the holes.
ルムの幅方向に離間して２組設けられていることを特徴
とする請求項１に記載のフィルム露光装置。2. The film exposure apparatus according to claim 1, wherein two sets of the sprocket and the pressing roller are provided apart from each other in the width direction of the film.
形状およびこれに対応する押さえローラの穴の形状は丸
形であり、穴の直径と歯の外直径との差は0.4mm以内で
あることを特徴とする請求項１または２に記載のフィル
ム露光装置。3. The cross-sectional shape of the teeth of the sprocket on the pitch cylinder and the corresponding shape of the hole of the holding roller are round, and the difference between the diameter of the hole and the outer diameter of the tooth is within 0.4 mm. 3. The film exposure apparatus according to claim 1, wherein:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2081335A JP2782608B2 (en) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | Film exposure equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2081335A JP2782608B2 (en) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | Film exposure equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03282474A JPH03282474A (en) | 1991-12-12 |
| JP2782608B2 true JP2782608B2 (en) | 1998-08-06 |
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ID=13743507
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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|---|---|
| JP (1) | JP2782608B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101377624B (en) * | 2007-08-27 | 2012-06-06 | 株式会社Orc制作所 | Exposure device and exposure process |
-
1990
- 1990-03-30 JP JP2081335A patent/JP2782608B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101377624B (en) * | 2007-08-27 | 2012-06-06 | 株式会社Orc制作所 | Exposure device and exposure process |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03282474A (en) | 1991-12-12 |
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