JP2781694B2

JP2781694B2 - 半導体装置の製造管理方法

Info

Publication number: JP2781694B2
Application number: JP5210592A
Authority: JP
Inventors: 陽一澄川
Original assignee: 山口日本電気株式会社
Priority date: 1992-03-11
Filing date: 1992-03-11
Publication date: 1998-07-30
Anticipated expiration: 2013-07-30
Also published as: JPH05257945A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の製造管理
方法に係わり、特に、仕掛状況、工期の把握、投入入庫
計画の立案支援を管理する方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】通常、半導体装置は、一つの半導体装置
においてもその品種は多岐にわたる。またその一品種の
半導体装置をとっても、その製造工程は、５０工程ない
し５００工程に及ぶ。さらに、その製造工程の一つに
も、種々の条件も異なり、使用する設備が異なってい
る。そしてその使用する設備に関しても、全く単機能で
はなく、種々の製造工程を任うものである。例えば、通
常の設備でも２工程ないし１０工程の製造工程を任って
いる。また半導体装置製造は、同一設備で工程が異なる
（条件が異なる）もとで、数回の作業がされることにな
る。

【０００３】従って、このような多品種の半導体装置の
製造に際しては、仕掛状況の客観的把握、または、仕掛
っているものの工期（進捗状況）及び入庫予測が重要と
なる。

【０００４】従来、仕掛状況の把握を支援する支援装置
では、仕掛状況をグラフ表示したり、一覧表として出力
するのみであった。そしてそのグラフや一覧表をもと
に、人間が経験により、工期、入庫予測を行っていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】この従来方法では、人
が仕掛状況のグラフ、一覧表から工期・入庫予測を行っ
ていた為、推測値と実際の値との差が人によって非常に
大きく、また同時に複数の人が予測した場合には、それ
ぞれの予測結果が異なるケースがあるという問題点があ
った。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明に於ける半導体装
置の製造管理方法は、各設備に情報をホストコンピュー
タに転送する端末機を備え、前記各設備の作業開始また
は、終了時に、作業日時、作業情報を前記端末機と前記
ホストコンピュータとで交換するステップと、前記ホス
トコンピュータが、前記情報をデータベースに随時にデ
ータの追加・更新を行うステップと、前記ホストコンピ
ュータが、工程手順データと投入・入庫・設備稼働計画
のデータと前記作業履歴のデータによって、仕掛の状
況、工期、入庫量を予測支援するステップと、端末機に
よって処理結果及びデータベース内の各種データを表示
出力するステップとを有し、前記データをもとに仕掛の
状況、工期、入庫量を予測支援する前記ステップにおい
て、ある品種が平均的に投入近くに仕掛っているのかあ
るいは入庫近くに仕掛っているのかを示す仕掛指数と、
その時にライン内に仕掛っているその品種のロットの進
捗の度合を平均的に工期換算した平均進捗工期と、一定
期間の間にその品種が作業される総作業工程数を示す推
定作業件数とを算出し、前記仕掛指数、前記平均進捗工
期および前記推定作業件数を相互に関連付けることによ
り適切な予側結果を得ることを特徴とする。

【０００７】

【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は、本発明の一実施例を半導体装置製造ライン
に適用した時の概略のブロック図である。

【０００８】装置概要として、各種データを統合管理及
び制御しているホストコンピュータ１、設備からの情報
をホストに報告する為の端末機２及びホストコンピュー
タ１内の情報を表示出力する表示端末機３から構成され
る。

【０００９】ホストコンピュータ１の概要として、工程
手順情報を管理している手順データベース部（以下ＤＢ
と略す）４、作業履歴情報を管理している履歴ＤＢ５、
投入、入庫、稼働日の計画を管理している計画ＤＢ６、
端末機２からのデータを統制し、制御している報告部
７、及び手順ＤＢ４、履歴ＤＢ５、計画ＤＢ６のデータ
より仕掛指数を算出したり、流れているロットの工期を
推定したり、入庫予測等を行って各種支援の為の計算を
行う支援部８より構成される。

【００１０】次にホストコンピュータ１の内部機能を説
明する。図２は手順ＤＢ４のツリー構造を示す構造図で
ある。工程手順の手順名９を親とし、その下位レベルに
工程名１０が作業工程フローに従って並んで入ってい
る。また、その下位に工程毎に条件１１として、作業設
備名及び条件データが入っている。そして、手順名９の
レコード内には、手順名と複数の品名が入っている。

【００１１】図３は、履歴ＤＢ５のツリー構造を示す構
造図である。製品のロットＮｏ．１２を親とし、その下
位レベルに、そのロットの手順名または、品名がロット
情報１３として、そのロットの作業工程名、作業日時が
履歴１４として入っている。

【００１２】図４乃至図６は、計画ＤＢ６の内部構成
で、それぞれリレーショナルタイプのＤＢ構造である。
図４は、投入計画に関するＤＢである。各品種１５毎に
各月１６毎の投入量を管理している。図５は、入庫計画
に関するＤＢである。品名種１７毎に各月１８毎の入庫
量を管理している。図６は、ライン稼働日に関するＤＢ
である。各月毎に稼働日１９が入力されている。

【００１３】図７は、報告部７の機能を示すフローチャ
ートである。設備でのロットの処理が作業終了２０する
と、ステップ２１で作業者もしくは、オンライン設備に
よる自動転送によって、端末機２よりホストコンピュー
タ１の報告部７に、作業された設備名とロットＮｏ．が
転送される。ステップ２２でこの転送されたデータの中
から、設備名とロットＮｏ．を取得する。ステップ２３
では、ステップ２２で得られたロットＮｏ．より履歴Ｄ
Ｂ４のロットＮｏ．１２と同じものを探し、その下位に
あるロット情報１３のところから手順名、品名を得る。
ステップ２４でもステップ２３と同様にして、最新履歴
の工程名を得る。ステップ２３，ステップ２４で得られ
た手順名と工程名より、手順ＤＢ４の手順名９と工程名
１０を検索し、その次の工程の工程名（仕掛工程名）を
得る（工程名１０は、製造フローに従って順序よく並ん
でいるので検索が容易である）。この工程名（仕掛工程
名）の下位の条件１０より作業設備名をステップ２６で
得る。ステップ２７では、ステップ２２で得られた設備
名とステップ２６で得られた設備名を比較する。ステッ
プ２７の結果が等しいならステップ２８では、履歴ＤＢ
５の履歴１４のところに最新履歴として、その時の時刻
を作業時間、ステップ２５で得られた工程名（仕掛工程
名）のレコードを追加更新する。ステップ２８が終了し
たら、端末機２に対して、“次工程に送って下さい”と
メッセージを転送する。ステップ２８の結果が等しくな
かったら、ステップ３０では端末機２に対して“報告設
備が異なります”とエラーメッセージを転送する。

【００１４】次に支援部８の機能を説明する。この支援
部は、手順ＤＢ４、履歴ＤＢ５、計画ＤＢ６のデータを
もとに４つの数式で数値演算を行う。

【００１５】この４つの式は、仕掛指数算出式である
（１）式、平均進捗工期算出式である（２）式、推定作
業件数算出式である（３）式、仕掛状態の関係式である
（４）式である。

【００１６】仕掛指数算出式の（１）式は、

【００１７】

【００１８】で示され、この式は、任意の品種Ａに対し
て、品種Ａの仕掛ロット数をＬ、品種Ａの工程手順の数
（工程数）をＭとし、また、工程手順に投入から入庫ま
でを１から順に連番を付ける。この時あるロットＮの最
新履歴の工程ｉの連番をＮｉとする。品種Ａに仕掛って
いるすべてのロットのＮｉの累積を求めて（１）式で定
義される数値Ｓを仕掛指数とよぶ。この仕掛指数Ｓは、
０≦Ｓ≦１の間にあり、品種Ａが平均的に投入近くに仕
掛っているか（０近く）、入庫近くに仕掛っているか
（１近く）を示す指標となっている。

【００１９】平均進捗工期算出式の（２）式は、

【００２０】

【００２１】で示され、この式は、任意の品種Ａに対し
て、品種Ａの仕掛ロット数をＬ、品種Ａの工程手順の数
（工程数）をＭとし、また、あるロットＧか、その日に
作業された（通過した）工程数ｊをＧｊとする。品種Ａ
に仕掛っているすべてのロットのＧｉの累積を求めて
（２）式で定義される数値Ｔを平均進捗工期とよぶ。こ
の平均進捗工期は、その時にライン内に仕掛っているロ
ットの進捗の度合を平均的に工期換算したものである。

【００２２】推定作業件数算出式の（３）式は、

【００２３】

【００２４】で示され、この式は、任意の品種Ａに対し
て、品種Ａの工程手順の数（工程数）をＭ、任意の期間
Ｂ（例えば１ケ月間）の間の平均進捗工期をＴ、期間Ｂ
のライン稼働日数をＫ、品種Ａのロットが、期間Ｂの間
に平均的に仕掛っているロット数をＬ _Mとし次の（３−
１）式で定義する。

【００２５】

【００２６】（３）式で定義される数値Ｈを推定作業件
数とよぶ。この推定作業件数Ｈは、期間Ｂの間に、その
品種によって作業される総作業工程数を示すものであ
る。

【００２７】仕掛状態の関係式の（４）式は、

【００２８】

【００２９】で示され、この式は、任意の品種Ａ、任意
の期間Ｂ（例えば１ケ月）に対して、品種Ａの期間Ｂの
末時点での仕掛ロット数をＬ、品種Ａの期間Ｂの初めの
時点での仕掛ロット数をＬ₁、品種Ａの期間Ｂの末時点
での仕掛指数をＳ、品種Ａの期間Ｂの初めの時点での仕
掛指数をＳ₁、品種Ａの期間Ｂの（末時点での）工程手
順の数（工程数）をＭ、品種Ａの期間Ｂの間の推定作業
件数をＨ、品種Ａの期間Ｂの間に入庫したロット数をＯ
として示される。（４）式のＨに（３）式を代入すれ
ば、期間Ｂに於ける投入、入庫、仕掛状態（仕掛指
数）、平均進捗工期、推定作業件数が、関係づけられ
る。

【００３０】図８は、支援部８か、それぞれの数式を利
用して、表示端末機３に出力した時の実施例の一例であ
る。本例では、１１月，１２月の品種毎の投入、入庫、
仕掛指数をパラメータとして、月末の仕掛ロット数、平
均進捗工期、推定作業件数を算出している。ここで何を
パラメータとし、何を算出結果とするかは、その時のシ
ミュレーションしたい状況に合せて、（１）式〜（４）
式を組み合せ変形させて使用する。

【００３１】またこの表の実現は、支援部８か直接行っ
てもよいし、必要なデータを表示端末３に転送し、そこ
で市販の表計算Ｓ／Ｗでそれを読み込んで図８のように
展開してもよい。

【００３２】ここでは、前者の例で説明する。また本例
では、月単位で行っているか、それを日、四半期単位等
任意の期間で実施も可能である。そして任意の期間のく
り返し日数も任意である（本例では、１１，１２月の２
回である）。

【００３３】図８の表は、品名Ａ３１、品名Ｂ３２、品
名Ｃ３３と合計３９の行と、１０月、１１月、１２月の
名月のデータの列によって構成される。ここでは、３ケ
月分しかないが、それ以上の時でも同様である。１０月
の月の区分には、仕掛指数の項目仕指４０の１０月末で
の列とその時の仕掛ロット数項目仕口４１の列がある。
以下“項目”を略し、例えば、項目仕口４１→仕口４１
という。品名Ａ３１のところの工程数３５の下の１００
は、品名Ａの工程数を示している。この工程数３５は、
手順ＤＢの手順名９のところの品名を検索し、その時の
手順名９の下位の工程の数を調べて得る。工程数を手順
名９と同レベルの品名といっしょにあるレコード内に前
もって設定しておいて、それを参照してもよい。同様に
して、工程数３６，工程数３７が得られる。品名Ａ３１
の仕指４０の欄の“０．５”は、履歴ＤＢ５より品名Ａ
の１０月末（１０月３１日２３時：５９分）時点でのロ
ットがどの工程に仕掛っていたかを調べ、それをもとに
（１）式で算出したものである。品名Ｂ３２、品名Ｃ３
３の仕指４０の“０．７”，“０．３”も同様である。

【００３４】この１０月末の仕掛指数は、後から履歴を
もとに算出するのではなく、１０月３１日２３時：５９
分この仕掛指数を調べておいてどこか別のところに記憶
させておいて、必要に応じて取り出して使用する方法も
ある。

【００３５】品名Ａ３１の仕口４１の欄の“３０”も、
履歴ＤＢ５より品名Ａの１０月末の仕掛ロット数を数え
たものである。ここで、仕掛ロット数は、投入の履歴が
あって、入庫の履歴がないロットを数えると算出でき
る。品名Ｂ３２、品名Ｃ３３の仕口４１の“４０”，
“５０”も同様である。合計３４の仕口４１の“１２
０”は、それぞれの品名のロット数の合計である。この
欄は、仕掛ロット数が変わるたびに再計算されて表示さ
れる。

【００３６】稼働日３８の“３０”は、１１月のライン
稼働日数を示し、これは計画ＤＢ６の中の、稼働日に関
するＤＢを参照して転記する。稼働日３９の“２５”も
同様である。１１月の投入４２、入庫４３、１２月の投
入４８、入庫４９も、計画ＤＢ６の中の投入、入庫に関
するＤＢから転記したものである。１１月の仕指４４、
１２月の仕指５０は、このスプレットシートが始めて展
開された時は、１０月の仕指４０と同じ値が初期値とし
て入っている。平均進捗工期や、推定作業件数を参照し
ながら本スプレットシート使用者が、この仕掛指数を変
更する。これが変更されたら、その都度関係ある値はす
べて再計算される。図８では、品名Ａ３１は、０．５で
変更していないが、品名Ｂ３２は、０．７から０．６，
０．６と変更している。品名Ｃ３３も、０．３から０．
４，０．５と変更している。

【００３７】１１月の仕掛ロット数仕口４５は品名毎に
次の式で算出する。

【００３８】仕口４５＝仕口４１＋投入４２−入庫４３１２月末の仕掛ロット数仕口５１も、品名毎に次の式で
算出する。

【００３９】仕口５１＝仕口４５＋投入４８−入庫４９１１月の推定作業件数作件４７は、（４）式より、次の
（４−１）式に変形して算出する。

【００４０】

【００４１】作件４７＝仕口４５×仕指４４×工程数３
５＋入庫４３×工程数３５−仕口４１×仕指４０×工程
数３５（この式は、品名Ａのときで、品名Ｂのときは工程数３
６を工程数３５のかわりに使用し、、品名Ｃのときは、
工程数３７を工程数３５のかわりに使用する）同様に１２月の推定作業件数作件５３は、次式で示され
る。品名Ａのときは、作件５３＝仕口５１×仕指５０×工程数３５＋入庫４９
×工程数３５−仕口４５×仕指４４×工程数３５１１月の平均進捗工期の工期４６は、品名毎に（３）式
を次の（３−２）式に変形して、

【００４２】

【００４３】品名Ａのときは、工期４６＝工程数３５×
稼働日３８÷作件４７×｛仕口４１＋（投入４２−入庫
４３）÷２｝で算出される。品名が変れば工程数３５の
ところをそれぞれ変えて算出する。

【００４４】同様にして１２月の平均進捗工期の工期５
２は、工期５２＝工程数３５×稼働日３９÷作件５３×
｛仕口４５＋（投入４８−入庫４９）÷２｝（品名Ａの
とき）で算出される。

【００４５】合計３４の行の仕口４１，投入４２，入庫
４３，仕口４５，作件４７，投入４８，入庫４９，仕口
５１，作件５３は、それぞれの列の累積値である。

【００４６】このスプレットシート内のパラメータが変
更されたら、それに関係するすべての値が再計算され
る。例えば、品名Ａの１１月の投入ロット数が変われ
ば、１１月、１２月の仕掛ロット数，平均進捗工期，推
定作業件数と、それに関する累積が再計算されて更新さ
れる。

【００４７】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、人の勘や
経験による半導体装置の仕掛、入庫、工期予測をシステ
ム化することにより、均質で妥当な予測結果が得られ、
生産性が向上するという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の半導体装置ラインのブロッ
ク図。

【図２】工程手順データのデータベースの構造図。

【図３】履歴データのデータベースの構造図。

【図４】投入データのデータベースの構造図。

【図５】入庫データのデータベースの構造図。

【図６】稼働日データのデータベースの構造図。

【図７】図１の報告部７の動作を説明するフロー図。

【図８】図１の表示端末機３に出力される表の概要図。

【符号の説明】

１ホストコンピュータ２端末機３表示端末機４〜６データベース部７報告部８支援部９〜１９データベース項目名２０〜３０処理ステップ３１〜５３項目名

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】半導体装置の製造管理方法において、各
設備に情報をホストコンピュータに転送する端末機を備
え、前記各設備の作業開始または終了時に、作業日時、
作業情報を前記端末機と前記ホストコンピュータとで交
換するステップと、前記ホストコンピュータが、前記情報をデータベースに
随時にデータの追加・更新を行うステップと、前記ホストコンピュータが、工程手順データと投入・入
庫設備稼働計画のデータと前記作業履歴のデータとによ
って、仕掛の状況、工期、入庫量を予測支援するステッ
プと、処理結果及びデータベース内の各種データを端末機で表
示出力するステップとを有し、前記データをもとに仕掛の状況、工期、入庫量を予測支
援する前記ステップにおいて、ある品種が平均的に投入
近くに仕掛っているのかあるいは入庫近くに仕掛ってい
るのかを示す仕掛指数と、その時にライン内に仕掛って
いるその品種のロットの進捗の度合を平均的に工期換算
した平均進捗工期と、一定期間の間にその品種が作業さ
れる総作業工程数を示す推定作業件数とを算出し、前記
仕掛指数、前記平均進捗工期および前記推定作業件数を
相互に関連付けることにより適切な予側結果を得ること
を特徴とする半導体装置の製造管理方法。