JP2775109B2 - プラズマディスプレイパネルとそのパネル用障壁の形成方法 - Google Patents
プラズマディスプレイパネルとそのパネル用障壁の形成方法Info
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- JP2775109B2 JP2775109B2 JP1042790A JP4279089A JP2775109B2 JP 2775109 B2 JP2775109 B2 JP 2775109B2 JP 1042790 A JP1042790 A JP 1042790A JP 4279089 A JP4279089 A JP 4279089A JP 2775109 B2 JP2775109 B2 JP 2775109B2
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Description
【発明の詳細な説明】 イ．発明の目的 ［産業上の利用分野］ 本発明は、高さと幅の異なる障壁を有するプラズマデ
ィスプレイパネルと、そのパネル用障壁の形成方法に関
する。
ィスプレイパネルと、そのパネル用障壁の形成方法に関
する。
［従来の技術］ 従来、一般にプラズマディスプレイパネルは、同一高
さを有する障壁が作られていた。この障壁は、通常厚膜
印刷法で作られており。そのため障壁巾は約100μｍ、
その障壁間隔も約100μｍがその最小の限界であった。
このためプラズマディスプレイパネルをカラー化する場
合、赤、緑、青の３原色に対応した蛍光体をこの障壁の
間に塗付して、その３原色分が画面の１画素となるた
め、一般的に１画素が約600μｍ四方の粗い画面とな
る。更に、この厚膜印刷法では、将来のプマズマディス
プレイパネルの大画面化に対しスクリーンとなるステン
レスメッシュの原版の制約を受け、対応がしきれなくな
ってくることが予想され、新しい障壁形成方法が望まれ
ていた。本発明者等は、先に特願昭63−321590号で、プ
ラズマディスプレイパネル用の障壁形成方法を出願し、
精細化、大画面化対応を可能とした。この障壁形成方法
は、フォトリソグラフィを用いている。
さを有する障壁が作られていた。この障壁は、通常厚膜
印刷法で作られており。そのため障壁巾は約100μｍ、
その障壁間隔も約100μｍがその最小の限界であった。
このためプラズマディスプレイパネルをカラー化する場
合、赤、緑、青の３原色に対応した蛍光体をこの障壁の
間に塗付して、その３原色分が画面の１画素となるた
め、一般的に１画素が約600μｍ四方の粗い画面とな
る。更に、この厚膜印刷法では、将来のプマズマディス
プレイパネルの大画面化に対しスクリーンとなるステン
レスメッシュの原版の制約を受け、対応がしきれなくな
ってくることが予想され、新しい障壁形成方法が望まれ
ていた。本発明者等は、先に特願昭63−321590号で、プ
ラズマディスプレイパネル用の障壁形成方法を出願し、
精細化、大画面化対応を可能とした。この障壁形成方法
は、フォトリソグラフィを用いている。
また、プラズマディスプレイは、放電空間中で放電時
に気体ガス原子を電子により励起させ、この励起された
原子が基底状態に戻ることにより光を発生させている。
この励起状態にある原子の寿命は、約10-8sec程度であ
るが特定のものは、１〜10msec程の寿命を持つものもあ
る。後者は放電間中にゆっくり拡散し、障壁等の構造物
に衝突してそこで再結合し消滅する。しかしながら、長
寿命の励起された原子は、電子の衝突により容易に電離
され、イオン電子を生成するため空間中に、これが多数
存在する程電離が起り易くなり、放電を安定させ、また
放電電圧を低下するのに効果がある。
に気体ガス原子を電子により励起させ、この励起された
原子が基底状態に戻ることにより光を発生させている。
この励起状態にある原子の寿命は、約10-8sec程度であ
るが特定のものは、１〜10msec程の寿命を持つものもあ
る。後者は放電間中にゆっくり拡散し、障壁等の構造物
に衝突してそこで再結合し消滅する。しかしながら、長
寿命の励起された原子は、電子の衝突により容易に電離
され、イオン電子を生成するため空間中に、これが多数
存在する程電離が起り易くなり、放電を安定させ、また
放電電圧を低下するのに効果がある。
故に、放電空間は広い程有利となるため、画素面積を
小さくし、かつ放電空間を広くする工夫が期待されてい
た。
小さくし、かつ放電空間を広くする工夫が期待されてい
た。
［発明が解決しようとする課題］ 本発明は、上記問題点に対し、１画素の面積を小さく
し、かつ放電空間を大きくするためのプラズマディスプ
レイ用パネルの新しい構造およびその形成方法を提供す
るものである。
し、かつ放電空間を大きくするためのプラズマディスプ
レイ用パネルの新しい構造およびその形成方法を提供す
るものである。
ロ．発明の構成 ［課題を解決するための手段］ 前記目的を達成するための手段としてのプラズマディ
スプレイパネルは、フォトリソグラフィを用いて障壁を
形成することを特徴とし、更に、セラミック粉末と紫外
線硬化樹脂を含んでいるスリップを用いて形成された高
層障壁と低層障壁を有し、該低層障壁の障壁幅を、該高
層障壁の障壁幅より狭幅とし、また該低層障壁の形成に
用いる前記スリップのコーティング層の少なくもと一つ
の層の厚みを、前記高層障壁の障壁上層部の形成に用い
る前記スリップのコーティング層の少なくとも一つの層
の厚みより薄くしてなることを特徴とする。
スプレイパネルは、フォトリソグラフィを用いて障壁を
形成することを特徴とし、更に、セラミック粉末と紫外
線硬化樹脂を含んでいるスリップを用いて形成された高
層障壁と低層障壁を有し、該低層障壁の障壁幅を、該高
層障壁の障壁幅より狭幅とし、また該低層障壁の形成に
用いる前記スリップのコーティング層の少なくもと一つ
の層の厚みを、前記高層障壁の障壁上層部の形成に用い
る前記スリップのコーティング層の少なくとも一つの層
の厚みより薄くしてなることを特徴とする。
また、プラズマディスプレイパネルのパネル用障壁の
形成方法は、広幅の高層障壁と狭幅の低層障壁をフォト
リソグラフィを用いて形成することを特徴とし、更に、
セラミック粉末100重量部に対し紫外線硬化樹脂が20〜1
00重量からなるスリップをガラス基板上にコーティング
してコーティング層を形成し、該コーティング層を乾燥
し、また該コーティング層上に焼成後障壁となる間隔幅
以外をマスクした第１露光マスクで該コーティング層を
露光する工程を、１回または数回繰返して積層して、前
記高層障壁の障壁下層部を形成する広幅の樹脂硬化部分
と前記低層障壁を形成する狭幅の樹脂硬化部分を有する
硬化樹脂低層を形成する工程と、該硬化樹脂低層のうち
の広幅の樹脂硬化部分上に、前記スリップを、前記硬化
樹脂低層を形成するコーティング層の少なくとも一つの
層より厚くコーティングしたコーティング層を形成し、
前記硬化樹脂低層のうちの広幅の樹脂硬化部分を高層と
するため第１露光マスクの所要の一部のみを露光する第
２露光マスクで露光する工程を１回または数回繰返して
積層して所要高さとした硬化樹脂高層を形成する工程
と、該硬化樹脂低層と硬化樹脂高層を含む樹脂層を現像
して、非露光部の樹脂層を除去した後、これを乾燥し、
焼成し、前記ガラス基板上に広幅の高層障壁と狭幅の低
層障壁を形成する工程、を有することを特徴とする。
形成方法は、広幅の高層障壁と狭幅の低層障壁をフォト
リソグラフィを用いて形成することを特徴とし、更に、
セラミック粉末100重量部に対し紫外線硬化樹脂が20〜1
00重量からなるスリップをガラス基板上にコーティング
してコーティング層を形成し、該コーティング層を乾燥
し、また該コーティング層上に焼成後障壁となる間隔幅
以外をマスクした第１露光マスクで該コーティング層を
露光する工程を、１回または数回繰返して積層して、前
記高層障壁の障壁下層部を形成する広幅の樹脂硬化部分
と前記低層障壁を形成する狭幅の樹脂硬化部分を有する
硬化樹脂低層を形成する工程と、該硬化樹脂低層のうち
の広幅の樹脂硬化部分上に、前記スリップを、前記硬化
樹脂低層を形成するコーティング層の少なくとも一つの
層より厚くコーティングしたコーティング層を形成し、
前記硬化樹脂低層のうちの広幅の樹脂硬化部分を高層と
するため第１露光マスクの所要の一部のみを露光する第
２露光マスクで露光する工程を１回または数回繰返して
積層して所要高さとした硬化樹脂高層を形成する工程
と、該硬化樹脂低層と硬化樹脂高層を含む樹脂層を現像
して、非露光部の樹脂層を除去した後、これを乾燥し、
焼成し、前記ガラス基板上に広幅の高層障壁と狭幅の低
層障壁を形成する工程、を有することを特徴とする。
ここで、前記フォトリソグラフィとは、積層体を形成
する場合に用いる一つの方法として既に提案されてい
て、後述する実施例に示す障壁形成方法のように、基板
上に、セラミック粉末と紫外線硬化樹脂を含んでいるコ
ーティング層を形成し、該コーティング層を乾燥し、該
コーティング層の所定個所を露光マスクでマスクして露
光し、この工程を１回または複数回繰り返して積層して
硬化樹脂層を形成した後、これを現像し、乾燥し、焼成
して所定高さ（厚み）の障壁等の積層体を得る方法をい
う。また、前記高層障壁とは、障壁高さの高い障壁をい
い、前記低層障壁とは、該高層障壁より障壁高さの低い
障壁をいい、更に該高層障壁の障壁上層部とは、該高層
障壁のうち、該低層障壁の高さを境界として上層側をい
い、障壁下層部とは、該低層障壁の高さを境界として下
層側をいう。
する場合に用いる一つの方法として既に提案されてい
て、後述する実施例に示す障壁形成方法のように、基板
上に、セラミック粉末と紫外線硬化樹脂を含んでいるコ
ーティング層を形成し、該コーティング層を乾燥し、該
コーティング層の所定個所を露光マスクでマスクして露
光し、この工程を１回または複数回繰り返して積層して
硬化樹脂層を形成した後、これを現像し、乾燥し、焼成
して所定高さ（厚み）の障壁等の積層体を得る方法をい
う。また、前記高層障壁とは、障壁高さの高い障壁をい
い、前記低層障壁とは、該高層障壁より障壁高さの低い
障壁をいい、更に該高層障壁の障壁上層部とは、該高層
障壁のうち、該低層障壁の高さを境界として上層側をい
い、障壁下層部とは、該低層障壁の高さを境界として下
層側をいう。
以下本発明を実施例で説明する。
［実施例１］ 重量％でSiO2 15％,Al2O3 20％,Fe2O3 10％,Cr2O3 3
％,MnO 7％,CoO 2％,PbO 35％,B2O3 8％から成る無機粉
末100部に対し、紫外線硬化樹脂LR−350R（サンノプコ
社製）を80重量部とし、これに希釈溶剤としてｎ−ブチ
ルセルソルブアセテートを適当量入れコートできる粘度
に調整した。このスリップを第１図（ａ）に示すように
ガラス基板１上にコートし、乾燥した。第２図の露光巾
50μｍおよび30μｍ、非露光巾60μｍおよび50μｍを有
する第１露光マスク２で第１図（ｂ）のように光透過窓
６を用いてコーティング層に露光した。このコート・乾
燥・露光を５回繰り返し、第１図（ｃ）のように高さ約
100μｍの硬化樹脂を形成した。さらに第１図（ｄ）に
示すように該低層上に該スリップをコートし乾燥後、第
３図の露光巾50μｍ、非露光巾230μｍを有する第２の
露光マスクを用いて第１図（ｄ）のように光透過窓６を
用いてコーティング層に露光した。このコート・乾燥・
露光の工程を２回繰返し、高さ約190μｍの硬化樹脂高
層を第１図（ｅ）のように得た。この場合、この層は、
低層部と同じ黒色材料を用いたが、低層部と異なる白色
粉末を用いてもよい。
％,MnO 7％,CoO 2％,PbO 35％,B2O3 8％から成る無機粉
末100部に対し、紫外線硬化樹脂LR−350R（サンノプコ
社製）を80重量部とし、これに希釈溶剤としてｎ−ブチ
ルセルソルブアセテートを適当量入れコートできる粘度
に調整した。このスリップを第１図（ａ）に示すように
ガラス基板１上にコートし、乾燥した。第２図の露光巾
50μｍおよび30μｍ、非露光巾60μｍおよび50μｍを有
する第１露光マスク２で第１図（ｂ）のように光透過窓
６を用いてコーティング層に露光した。このコート・乾
燥・露光を５回繰り返し、第１図（ｃ）のように高さ約
100μｍの硬化樹脂を形成した。さらに第１図（ｄ）に
示すように該低層上に該スリップをコートし乾燥後、第
３図の露光巾50μｍ、非露光巾230μｍを有する第２の
露光マスクを用いて第１図（ｄ）のように光透過窓６を
用いてコーティング層に露光した。このコート・乾燥・
露光の工程を２回繰返し、高さ約190μｍの硬化樹脂高
層を第１図（ｅ）のように得た。この場合、この層は、
低層部と同じ黒色材料を用いたが、低層部と異なる白色
粉末を用いてもよい。
これらをトリクロロエタンを用い現像し、非露光部の
樹脂層を除去して第１図（ｆ）に示すような障壁（未焼
成）を得た。これを580℃で焼成することにより、高さ
約110μｍと約60μｍを、その各巾が約60と30μｍの高
さの異なるを持つ第１図（ｇ）のようなプラズマディス
プレイ用パネルを得た。本方法により得られたパネルは
第１図（ｇ）のＲ、Ｇ、Ｂ部分にそれぞれ赤、緑、青の
蛍光体を塗付すれば、その両端が１画素となり約300μ
ｍと従来の半分の大きさの画素を得ることができる。こ
れは高さの低い部分を蛍光体の分離のための障壁とする
ことにより、アスペクト比（高さ／巾）を小さくするよ
うに薄くコートし露光するため、マスクに対し拡がりの
少ない障壁巾の形成ができる。さらに、障壁巾の細い部
分の高さだけ薄く積層していくため、同一高さの障壁を
作る場合より、広い放電空間をもつパネルとなる。
樹脂層を除去して第１図（ｆ）に示すような障壁（未焼
成）を得た。これを580℃で焼成することにより、高さ
約110μｍと約60μｍを、その各巾が約60と30μｍの高
さの異なるを持つ第１図（ｇ）のようなプラズマディス
プレイ用パネルを得た。本方法により得られたパネルは
第１図（ｇ）のＲ、Ｇ、Ｂ部分にそれぞれ赤、緑、青の
蛍光体を塗付すれば、その両端が１画素となり約300μ
ｍと従来の半分の大きさの画素を得ることができる。こ
れは高さの低い部分を蛍光体の分離のための障壁とする
ことにより、アスペクト比（高さ／巾）を小さくするよ
うに薄くコートし露光するため、マスクに対し拡がりの
少ない障壁巾の形成ができる。さらに、障壁巾の細い部
分の高さだけ薄く積層していくため、同一高さの障壁を
作る場合より、広い放電空間をもつパネルとなる。
［実施例２］ 本発明の他の実施例として実施例１と同様に硬化樹脂
低層・高層を形成するが、該高層の一部を低層のままと
した。その１実施例の斜視図を第４図に示した。ライン
間に若干の空隙を開けることにより励起電圧の原子の消
滅場所となる障壁が少なくなり、広い放電空間が確保で
きる利点を有している。
低層・高層を形成するが、該高層の一部を低層のままと
した。その１実施例の斜視図を第４図に示した。ライン
間に若干の空隙を開けることにより励起電圧の原子の消
滅場所となる障壁が少なくなり、広い放電空間が確保で
きる利点を有している。
ハ．発明の効果 本発明によるプラズマディスプレイパネルとパネル用
障壁の形成方法によれば、フォトリソグラフィを用いる
ため、障壁巾およびその障壁間隔を100μｍ以下とする
ことができかつ１画素あたりの面積を小さくでき、かつ
放電空間を広く取ることができるという効果を有する。
障壁の形成方法によれば、フォトリソグラフィを用いる
ため、障壁巾およびその障壁間隔を100μｍ以下とする
ことができかつ１画素あたりの面積を小さくでき、かつ
放電空間を広く取ることができるという効果を有する。
また、高層障壁と低層障壁を有し該低層障壁の障壁幅
を、該高層障壁の障壁幅より狭幅とし、また該低層障壁
の形成に用いる前記スリップのコーティング層の少なく
もと一つの層の厚みを、前記高層障壁の障壁上層部の形
成に用いる前記スリップのコーティング層の少なくとも
一つの層の厚みより薄くしてなるので、該コーティング
層について、露光マスクに対し露光の拡がりを少なくで
きることから、本来、積層ズレの生じやすい狭幅の障壁
の積層ズレを少なくでき、該狭幅の障壁の土台部分を強
く形成できるという効果を有する。
を、該高層障壁の障壁幅より狭幅とし、また該低層障壁
の形成に用いる前記スリップのコーティング層の少なく
もと一つの層の厚みを、前記高層障壁の障壁上層部の形
成に用いる前記スリップのコーティング層の少なくとも
一つの層の厚みより薄くしてなるので、該コーティング
層について、露光マスクに対し露光の拡がりを少なくで
きることから、本来、積層ズレの生じやすい狭幅の障壁
の積層ズレを少なくでき、該狭幅の障壁の土台部分を強
く形成できるという効果を有する。
更に、前記高層障壁の障壁下層部と、低層障壁を形成
する硬化樹脂低層を同時に形成できるので、該障壁下層
部の積層ズレを少なく、かつ該高さの高い障壁の土台を
強く形成できることから、障壁自体の強度を強くするこ
とができ、その結果として、前記障壁上層部を形成する
コーティング層として、前記高層障壁の障壁下層部と低
層障壁を形成するコーティング層より厚いコーティング
層を用いることができることから、障壁形成のための作
業性を向上できるという効果を有する。
する硬化樹脂低層を同時に形成できるので、該障壁下層
部の積層ズレを少なく、かつ該高さの高い障壁の土台を
強く形成できることから、障壁自体の強度を強くするこ
とができ、その結果として、前記障壁上層部を形成する
コーティング層として、前記高層障壁の障壁下層部と低
層障壁を形成するコーティング層より厚いコーティング
層を用いることができることから、障壁形成のための作
業性を向上できるという効果を有する。
第１図（ａ）〜（ｇ）は本発明の製造方法の例を説明す
る断面図である。第２図は本発明の第１露光マスクの平
面図である。第３図は本発明の第２露光マスクの平面図
である。第４図は本発明の他の実施例の要点の一部を示
す斜視図である。 1.ガラス、2.第１露光マスク、3.硬化樹脂低層、4.第２
露光マスク、5.硬化樹脂高層、6.光透過窓。
る断面図である。第２図は本発明の第１露光マスクの平
面図である。第３図は本発明の第２露光マスクの平面図
である。第４図は本発明の他の実施例の要点の一部を示
す斜視図である。 1.ガラス、2.第１露光マスク、3.硬化樹脂低層、4.第２
露光マスク、5.硬化樹脂高層、6.光透過窓。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田中 一成 愛知県名古屋市緑区鳴海町字伝治山３番 地 鳴海製陶株式会社内 (56)参考文献 特開 昭54−117678（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−198792（ＪＰ，Ａ) 特表 昭58−502075（ＪＰ，Ａ) 米国特許4613560（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01J 9/02 H01J 17/16 H01J 17/49 H01J 11/02
Claims (2)
- 【請求項１】セラミック粉末と紫外線硬化樹脂を含んで
いるスリップを用い、フォトリソグラフィにより形成さ
れた高層障壁と低層障壁を有し、該低層障壁の障壁幅
を、該高層障壁の障壁幅より狭幅とし、また該低層障壁
の形成に用いる前記スリップのコーティング層の少なく
もと一つの層の厚みを、前記高層障壁の障壁上層部の形
成に用いる前記スリップのコーティング層の少なくとも
一つの層の厚みより薄くしてなることを特徴とするプラ
ズマディスプレイパネル。 - 【請求項２】広幅の高層障壁と狭幅の低層障壁を有する
プラズマディスプレイパネルのパネル用障壁の形成方法
であって、 セラミック粉末100重量部に対し紫外線硬化樹脂が20〜1
00重量からなるスリップをガラス基板上にコーティング
してコーティング層を形成し、該コーティング層を乾燥
し、また該コーティング層上に焼成後障壁となる間隔幅
以外をマスクした第１露光マスクで該コーティング層を
露光する工程を、１回または数回繰返して積層して、前
記高層障壁の障壁下層部を形成する広幅の樹脂硬化部分
と前記低層障壁を形成する狭幅の樹脂硬化部分を有する
硬化樹脂低層を形成する工程と、 該硬化樹脂低層のうちの広幅の樹脂硬化部分上に、前記
スリップを、前記硬化樹脂低層を形成するコーティング
層の少なくとも一つの層より厚くコーティングしてコー
ティング層を形成し、前記硬化樹脂低層のうちの広幅の
樹脂硬化部分を高層とするため第１露光マスクの所要の
一部のみを露光する第２露光マスクで露光する工程を１
回または数回繰返して積層して所要高さとした硬化樹脂
高層を形成する工程と、 該硬化樹脂低層と硬化樹脂高層を含む樹脂層を現像し
て、非露光部の樹脂層を除去した後、これを乾燥し、焼
成し、前記ガラス基板上に広幅の高層障壁と狭幅の低層
障壁を形成する工程 を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル
用障壁の形成方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1042790A JP2775109B2 (ja) | 1989-02-22 | 1989-02-22 | プラズマディスプレイパネルとそのパネル用障壁の形成方法 |
| KR1019890018922A KR940006293B1 (ko) | 1988-12-19 | 1989-12-19 | 플라즈마 디스플레이 패널 |
| US07/672,765 US5209688A (en) | 1988-12-19 | 1991-03-20 | Plasma display panel |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1042790A JP2775109B2 (ja) | 1989-02-22 | 1989-02-22 | プラズマディスプレイパネルとそのパネル用障壁の形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02223132A JPH02223132A (ja) | 1990-09-05 |
| JP2775109B2 true JP2775109B2 (ja) | 1998-07-16 |
Family
ID=12645759
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1042790A Expired - Lifetime JP2775109B2 (ja) | 1988-12-19 | 1989-02-22 | プラズマディスプレイパネルとそのパネル用障壁の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2775109B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996042035A1 (fr) * | 1995-06-12 | 1996-12-27 | Toray Industries, Inc. | Pate photosensible, afficheur a plasma et leurs procedes de fabrication |
| EP1030339B1 (en) | 1997-11-06 | 2004-05-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Phosphor material, phosphor material powder, plasma display panel, and processes for producing these |
| JP3554176B2 (ja) * | 1998-02-27 | 2004-08-18 | 京セラ株式会社 | プラズマ表示装置 |
| EP1296347B1 (en) * | 1998-07-22 | 2004-09-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Plasma display panel, method of manufacturing the same, and display device using the same |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4613560A (en) | 1984-12-28 | 1986-09-23 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Photosensitive ceramic coating composition |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54117678A (en) * | 1978-03-03 | 1979-09-12 | Matsushita Electronics Corp | Gas discharge-type display device |
| JPS59198792A (ja) * | 1983-04-26 | 1984-11-10 | キヤノン株式会社 | 厚膜フアインパタ−ン回路の製造方法 |
-
1989
- 1989-02-22 JP JP1042790A patent/JP2775109B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4613560A (en) | 1984-12-28 | 1986-09-23 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Photosensitive ceramic coating composition |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02223132A (ja) | 1990-09-05 |
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|---|---|---|
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