JP3062637B2 - 蛍光表示管の製造方法 - Google Patents
蛍光表示管の製造方法Info
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- JP3062637B2 JP3062637B2 JP3354035A JP35403591A JP3062637B2 JP 3062637 B2 JP3062637 B2 JP 3062637B2 JP 3354035 A JP3354035 A JP 3354035A JP 35403591 A JP35403591 A JP 35403591A JP 3062637 B2 JP3062637 B2 JP 3062637B2
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- phosphor layer
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- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は蛍光表示管の製造方法に
係わり、特に高精細の陽極層と蛍光体層とを有する陽極
構造の形成方法に関するものである。
係わり、特に高精細の陽極層と蛍光体層とを有する陽極
構造の形成方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、高精細の蛍光体層を有する蛍光表
示管用陽極基板としては、図５に示すようにガラス基板
１上にＡｌ薄膜のフォトエッチングにより配線層２を形
成し、次いでスクリーン印刷法あるいは感光性の絶縁性
ペーストを使用しての露光法により絶縁層３を形成す
る。この絶縁層３の表面にそのスルーホール３ａを通し
て配線層２に導通させるべく所定パターンの陽極層４を
Ａｌ薄膜のマスクスパッタや露光法により形成した後、
蛍光体層５を電着法や露光法により形成する（蛍光体層
５が１００μｍ以下の精度を要求される場合、スクリー
ン印刷では歩留まりが悪く、電着や露光法により形成さ
れる）。
示管用陽極基板としては、図５に示すようにガラス基板
１上にＡｌ薄膜のフォトエッチングにより配線層２を形
成し、次いでスクリーン印刷法あるいは感光性の絶縁性
ペーストを使用しての露光法により絶縁層３を形成す
る。この絶縁層３の表面にそのスルーホール３ａを通し
て配線層２に導通させるべく所定パターンの陽極層４を
Ａｌ薄膜のマスクスパッタや露光法により形成した後、
蛍光体層５を電着法や露光法により形成する（蛍光体層
５が１００μｍ以下の精度を要求される場合、スクリー
ン印刷では歩留まりが悪く、電着や露光法により形成さ
れる）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、陽極層
をＡｌ薄膜のマスクスパッタや露光法で形成した後、蛍
光体層を電着や露光法により形成する方法では下記に説
明するような問題があった。
をＡｌ薄膜のマスクスパッタや露光法で形成した後、蛍
光体層を電着や露光法により形成する方法では下記に説
明するような問題があった。
【０００４】Ａｌ薄膜のマスクスパッタには、マスク
が絶縁層に密着していることが必要であるが、絶縁層表
面の凹凸などにより局所的にマスクの浮き上がりが発生
し、陽極層形状が悪くなる。この陽極形状が極端な場合
には隣の陽極層と短絡する。また、メタルマスクを陽極
基板に密着固定するために強力なマグネットを用いる
が、微妙な位置合わせが難しい。
が絶縁層に密着していることが必要であるが、絶縁層表
面の凹凸などにより局所的にマスクの浮き上がりが発生
し、陽極層形状が悪くなる。この陽極形状が極端な場合
には隣の陽極層と短絡する。また、メタルマスクを陽極
基板に密着固定するために強力なマグネットを用いる
が、微妙な位置合わせが難しい。
【０００５】Ａｌ薄膜の露光法による陽極層形成で
は、絶縁層がＰｂＯやＢ2Ｏ3を主成分とする低融点ガラ
スであるため、耐薬品性が乏しく、陽極層のパターニン
グ時に絶縁層表面が変質し、電気的耐圧の低下や管球化
後の放出ガスの増大に結びつき易い。
は、絶縁層がＰｂＯやＢ2Ｏ3を主成分とする低融点ガラ
スであるため、耐薬品性が乏しく、陽極層のパターニン
グ時に絶縁層表面が変質し、電気的耐圧の低下や管球化
後の放出ガスの増大に結びつき易い。
【０００６】蛍光体層を電着法で行う方法では、異な
る発光色の蛍光体層を同一基板上に形成することが難し
い（混色が発生し易い）。
る発光色の蛍光体層を同一基板上に形成することが難し
い（混色が発生し易い）。
【０００７】蛍光体層を露光法で行う場合は、陽極層
との位置ずれが発生することがある。
との位置ずれが発生することがある。
【０００８】陽極層と蛍光体層との形成方法がどの組
み合わせであっても極めて多くの工数がかかる。
み合わせであっても極めて多くの工数がかかる。
【０００９】したがって本発明は、前述した従来の課題
を解決するためになされたものであり、その目的は、陽
極層と蛍光体層との位置ずれがなく、高精細の蛍光体層
が得られる蛍光表示管の製造方法を提供することにあ
る。
を解決するためになされたものであり、その目的は、陽
極層と蛍光体層との位置ずれがなく、高精細の蛍光体層
が得られる蛍光表示管の製造方法を提供することにあ
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために本発明による蛍光表示管の製造方法は、陽極層
と蛍光体層とを同種の感光剤を含む感光性ペーストで塗
布し、露光，現像を同時に行って形成するものである。
るために本発明による蛍光表示管の製造方法は、陽極層
と蛍光体層とを同種の感光剤を含む感光性ペーストで塗
布し、露光，現像を同時に行って形成するものである。
【００１１】
【作用】本発明においては、同種の感光剤を含む感光性
ペーストを用いて陽極層と蛍光体層とを同時に形成する
ので、位置ずれが発生し難くなる。
ペーストを用いて陽極層と蛍光体層とを同時に形成する
ので、位置ずれが発生し難くなる。
【００１２】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に
説明する。図１〜図４は本発明による蛍光表示管の製造
方法の一実施例を説明する工程の断面図である。これら
の図において、まず、図１に示すようにガラス基板１上
にＡｌ薄膜のフォトエッチングにより配線層２を形成
し、スクリーン印刷法により絶縁層３を形成した後、Ｉ
ＴＯやＩｎ2Ｏ3などの導電性物質を主成分としこれに低
融点ガラスと感光性物質とを添加し、ペースト状にした
ものをスクリーン印刷し、乾燥して感光性陽極層６を形
成する。
説明する。図１〜図４は本発明による蛍光表示管の製造
方法の一実施例を説明する工程の断面図である。これら
の図において、まず、図１に示すようにガラス基板１上
にＡｌ薄膜のフォトエッチングにより配線層２を形成
し、スクリーン印刷法により絶縁層３を形成した後、Ｉ
ＴＯやＩｎ2Ｏ3などの導電性物質を主成分としこれに低
融点ガラスと感光性物質とを添加し、ペースト状にした
ものをスクリーン印刷し、乾燥して感光性陽極層６を形
成する。
【００１３】次に図２に示すようにこの感光性陽極層６
上にＺｎＯ：Ｚｎなどの低速電子線用蛍光体を感光性ペ
ースト化したものを同じくスクリーン印刷して積層し、
乾燥して感光性蛍光体層７を形成する。感光性陽極層６
および感光性蛍光体層７の感光性ペーストは、ポジタイ
プでもネガタイプでもよいが、ここでは、ネガタイプに
ついて説明する。
上にＺｎＯ：Ｚｎなどの低速電子線用蛍光体を感光性ペ
ースト化したものを同じくスクリーン印刷して積層し、
乾燥して感光性蛍光体層７を形成する。感光性陽極層６
および感光性蛍光体層７の感光性ペーストは、ポジタイ
プでもネガタイプでもよいが、ここでは、ネガタイプに
ついて説明する。
【００１４】次に図３に示すように感光性蛍光体層７の
上方に蛍光体層形成用のフォトマスク８を配置し、ＵＶ
光９を照射して所定時間露光した後、現像し、図４に示
すように非感光部分を除去して感光部分の陽極層６′と
蛍光体層７′とを残す。この後、エアー雰囲気中で約５
５０℃程度で焼成することにより、陽極層６′や蛍光体
層７′中に含まれる感光剤などを燃焼させる。
上方に蛍光体層形成用のフォトマスク８を配置し、ＵＶ
光９を照射して所定時間露光した後、現像し、図４に示
すように非感光部分を除去して感光部分の陽極層６′と
蛍光体層７′とを残す。この後、エアー雰囲気中で約５
５０℃程度で焼成することにより、陽極層６′や蛍光体
層７′中に含まれる感光剤などを燃焼させる。
【００１５】なお、前述した実施例においては、陽極材
料としてＩＴＯやＩｎ2Ｏ3などの導電性物質を主成分と
し、付着力を増す目的でこれに少量の低融点ガラスを添
加したものについて説明したが、低融点ガラスは必ずし
も必要ではなく、蛍光体にＩｎ2Ｏ3などの導電性物質を
多量添加し、低抵抗化して陽極層６′を形成しても良
い。
料としてＩＴＯやＩｎ2Ｏ3などの導電性物質を主成分と
し、付着力を増す目的でこれに少量の低融点ガラスを添
加したものについて説明したが、低融点ガラスは必ずし
も必要ではなく、蛍光体にＩｎ2Ｏ3などの導電性物質を
多量添加し、低抵抗化して陽極層６′を形成しても良
い。
【００１６】このような方法によれば、陽極層６′と蛍
光体層７′とを同時に露光，現像して形成するので、両
層のずれが全くなく、高精細の蛍光体層が形成できる。
また、プロセスも大幅に簡略化できる。
光体層７′とを同時に露光，現像して形成するので、両
層のずれが全くなく、高精細の蛍光体層が形成できる。
また、プロセスも大幅に簡略化できる。
【００１７】
【発明の効果】以上、説明したように本発明による蛍光
表示管の製造方法によれば、陽極層と蛍光体層とを同時
に露光し、現像して形成するので、陽極層と蛍光体層と
の位置ずれの発生が全くなく、高精細の蛍光体層が形成
できる。また、陽極形成工程も簡素化されるため、低コ
ストで陽極基板を製作することが可能となるなどの極め
て優れた効果が得られる。
表示管の製造方法によれば、陽極層と蛍光体層とを同時
に露光し、現像して形成するので、陽極層と蛍光体層と
の位置ずれの発生が全くなく、高精細の蛍光体層が形成
できる。また、陽極形成工程も簡素化されるため、低コ
ストで陽極基板を製作することが可能となるなどの極め
て優れた効果が得られる。
【図１】本発明による蛍光表示管の製造方法の一実施例
を説明する工程の一断面図である。
を説明する工程の一断面図である。
【図２】図１に引き続く工程の断面図である。
【図３】図２に引き続く工程の断面図である。
【図４】図３に引き続く工程の断面図である。
【図５】従来の蛍光表示管の陽極構造を示す断面図であ
る。
る。
１ ガラス基板 ２ 配線層 ３ 絶縁層 ４ 陽極層 ５ 蛍光体層 ６ 感光性陽極層 ６′ 陽極層 ７ 感光性蛍光体層 ７′ 蛍光体層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01J 9/14 H01J 9/22
Claims (1)
- 【請求項１】 絶縁基板上に配線層および絶縁層を形成
した後、導電性物質と感光剤とを含有する第１の感光性
ペーストにより第１層目を形成し、この第１層上に蛍光
体と感光剤とを含有する第２の感光性ペーストにより第
２層目を形成した後、第１層目および第２層目を蛍光体
層パターンを有するマスクで同時に露光し、現像するこ
とにより陽極層と蛍光体層とを同時に形成することを特
徴とする蛍光表示管の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3354035A JP3062637B2 (ja) | 1991-12-19 | 1991-12-19 | 蛍光表示管の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3354035A JP3062637B2 (ja) | 1991-12-19 | 1991-12-19 | 蛍光表示管の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05174708A JPH05174708A (ja) | 1993-07-13 |
| JP3062637B2 true JP3062637B2 (ja) | 2000-07-12 |
Family
ID=18434879
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3354035A Expired - Fee Related JP3062637B2 (ja) | 1991-12-19 | 1991-12-19 | 蛍光表示管の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3062637B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9120142B2 (en) | 2008-10-10 | 2015-09-01 | Hatebur Umformmaschinen Ag | Method for producing a molded part provided with a through-hole |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5170855B2 (ja) * | 2006-09-25 | 2013-03-27 | ノリタケ伊勢電子株式会社 | 蛍光表示管 |
-
1991
- 1991-12-19 JP JP3354035A patent/JP3062637B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9120142B2 (en) | 2008-10-10 | 2015-09-01 | Hatebur Umformmaschinen Ag | Method for producing a molded part provided with a through-hole |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05174708A (ja) | 1993-07-13 |
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