JP2758633B2 - インクジェット記録装置 - Google Patents
インクジェット記録装置Info
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- JP2758633B2 JP2758633B2 JP6190389A JP6190389A JP2758633B2 JP 2758633 B2 JP2758633 B2 JP 2758633B2 JP 6190389 A JP6190389 A JP 6190389A JP 6190389 A JP6190389 A JP 6190389A JP 2758633 B2 JP2758633 B2 JP 2758633B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow path
- ink
- piezoelectric vibrator
- partition
- ink flow
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、インクジェット記録装置に関し、より詳細
には、インクジェット記録装置のヘッド機構に関する。
には、インクジェット記録装置のヘッド機構に関する。
従来技術 本発明に係る従来技術としては、特公昭60−8953号公
報、特開昭63−252750号公報、特公昭61−45542号公
報、特開昭59−159358号公報等がある。
報、特開昭63−252750号公報、特公昭61−45542号公
報、特開昭59−159358号公報等がある。
従来の圧電アクチュエータを用いたオンデマンド型イ
ンクジェットヘッドにおいては、アクチュエータの高集
積化が困難であり、集積化をアップしようとすれば駆動
電圧が高くなるという欠点を有していた。それらを改善
したのが上記従来技術である。
ンクジェットヘッドにおいては、アクチュエータの高集
積化が困難であり、集積化をアップしようとすれば駆動
電圧が高くなるという欠点を有していた。それらを改善
したのが上記従来技術である。
特公昭60−8953号公報は、ノズルに対向してインク中
に圧電アクチュエータを設け、それを駆動してインク噴
射を行なうもので、アクチュエータ変位のごく一部(ノ
ズル対向部)が、インク噴射に寄与しているだけであ
り、圧電振動子の特性から高集積化に限界がある。
に圧電アクチュエータを設け、それを駆動してインク噴
射を行なうもので、アクチュエータ変位のごく一部(ノ
ズル対向部)が、インク噴射に寄与しているだけであ
り、圧電振動子の特性から高集積化に限界がある。
特公昭61−45542号公報は、流路の隔壁をビーム状の
圧電アクチュエータとしたもので、流路隔壁をビーム状
のアクチュエータにすることによ高集積化によるアクチ
ュエータ面積の低下という課題を解決したが、圧電素子
の加工、配設等の製造上の困難があり、加工コストの低
減化が求められる。
圧電アクチュエータとしたもので、流路隔壁をビーム状
のアクチュエータにすることによ高集積化によるアクチ
ュエータ面積の低下という課題を解決したが、圧電素子
の加工、配設等の製造上の困難があり、加工コストの低
減化が求められる。
また、特開昭63−252750号公報は、流路の隔壁を圧電
アクチュエータで駆動してインクを噴射するもので、上
記特公昭61−45542号公報と同様に、流路隔壁をアクチ
ュエータにすることにより、高集積化によるアクチュエ
ータ面積の低下という課題を解決し、さらに圧電素子を
d15モードで駆動することにより効率を良くした。しか
し、圧電素子の加工、電極の形成等、製造上の困難は解
決できず、加工コストの低減化が求められる。また、駆
動電極と、アース電極に複雑に電圧印加がおこなわれる
ので、電極の取出し接続等が煩雑であった。
アクチュエータで駆動してインクを噴射するもので、上
記特公昭61−45542号公報と同様に、流路隔壁をアクチ
ュエータにすることにより、高集積化によるアクチュエ
ータ面積の低下という課題を解決し、さらに圧電素子を
d15モードで駆動することにより効率を良くした。しか
し、圧電素子の加工、電極の形成等、製造上の困難は解
決できず、加工コストの低減化が求められる。また、駆
動電極と、アース電極に複雑に電圧印加がおこなわれる
ので、電極の取出し接続等が煩雑であった。
特開昭59−159358号公報は、流路の壁部分を圧電アク
チュエータ(ブロック状)としたもので、流路の壁部分
をブロック状の圧電アクチュエータで構成したものであ
り、加工を容易としたが、相互干渉防止のために緩衝部
があるため集積度が悪くなる。
チュエータ(ブロック状)としたもので、流路の壁部分
をブロック状の圧電アクチュエータで構成したものであ
り、加工を容易としたが、相互干渉防止のために緩衝部
があるため集積度が悪くなる。
目的 本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされたもの
で、消費電力の少ない圧電振動子を用いて高集積化した
ヘッドを容易に製造可能とし、ヘッド特性の効率をよく
し、簡単な駆動法によって実行できるインクジェット記
録装置のヘッドを提供することを目的としてなされたも
のである。
で、消費電力の少ない圧電振動子を用いて高集積化した
ヘッドを容易に製造可能とし、ヘッド特性の効率をよく
し、簡単な駆動法によって実行できるインクジェット記
録装置のヘッドを提供することを目的としてなされたも
のである。
構成 本発明は、上記目的を達成するために、吐出口に連通
するインク流路と、該インク流路を個別に分割する流路
隔壁と、該インク流路に連通するインク供給部とを有
し、前記流路隔壁の接合部に変形を発生させるための圧
電振動子を設け、前記圧電振動子を駆動させることによ
り、前記流路隔壁の根元部に変形を発生させ、前記流路
隔壁に変位を起こし、前記インク流路に圧力変化を発生
させて前記吐出口よりインク滴を吐出させるインクジェ
ットヘッドにおいて、前記インク流路に対応する前記圧
電振動子の一つの部分を選択的に駆動させることによ
り、対応する前記インク流路を形成する両側の流路側壁
に変位を起こすこと、更には、前記インク流路に対応し
て前記圧電振動子はインク流路毎に、実質的に切断され
ていること、更には、前記圧電振動子は厚み振動方向に
駆動させて行うこと、更には、前記流路隔壁はSiにより
形成し、前記流路隔壁と前記圧電振動子との接合面にSi
よりエッチンググレートの小さい底壁部を設けたことを
特徴としたものである。以下、本発明の実施例に基づい
て説明する。
するインク流路と、該インク流路を個別に分割する流路
隔壁と、該インク流路に連通するインク供給部とを有
し、前記流路隔壁の接合部に変形を発生させるための圧
電振動子を設け、前記圧電振動子を駆動させることによ
り、前記流路隔壁の根元部に変形を発生させ、前記流路
隔壁に変位を起こし、前記インク流路に圧力変化を発生
させて前記吐出口よりインク滴を吐出させるインクジェ
ットヘッドにおいて、前記インク流路に対応する前記圧
電振動子の一つの部分を選択的に駆動させることによ
り、対応する前記インク流路を形成する両側の流路側壁
に変位を起こすこと、更には、前記インク流路に対応し
て前記圧電振動子はインク流路毎に、実質的に切断され
ていること、更には、前記圧電振動子は厚み振動方向に
駆動させて行うこと、更には、前記流路隔壁はSiにより
形成し、前記流路隔壁と前記圧電振動子との接合面にSi
よりエッチンググレートの小さい底壁部を設けたことを
特徴としたものである。以下、本発明の実施例に基づい
て説明する。
第1図は、本発明によるインクジェット記録装置の一
実施例を説明するための構成図で、図中、1は吐出口
板、2は圧電振動子、3は基板、4はインク流路、5は
流路隔壁、6は上基板、9はスリット、11は底壁部、12
は吐出口である。圧電振動子2は基板3上に接合されて
おり、平板状のものを実質的に分離するようにスリット
9が設けられている。前記圧電振動子2の上には流路隔
壁部が配置され、底壁部11が前記圧電振動子2に接合さ
れている。底壁部11の上方には流路隔壁5がスリット9
に対応するように配置されている。流路隔壁5の上面は
上基板6が接合され、これによって各インク流路4が分
離されて形成される。インク流路4の一端には該インク
流路4に対応して吐出口12をもつ吐出口板1が接合され
る。また、前記インク流路4の他の一端は共通液室に接
続され、さらに液溜へ連通するインク供給部(図示せ
ず)に接続する。
実施例を説明するための構成図で、図中、1は吐出口
板、2は圧電振動子、3は基板、4はインク流路、5は
流路隔壁、6は上基板、9はスリット、11は底壁部、12
は吐出口である。圧電振動子2は基板3上に接合されて
おり、平板状のものを実質的に分離するようにスリット
9が設けられている。前記圧電振動子2の上には流路隔
壁部が配置され、底壁部11が前記圧電振動子2に接合さ
れている。底壁部11の上方には流路隔壁5がスリット9
に対応するように配置されている。流路隔壁5の上面は
上基板6が接合され、これによって各インク流路4が分
離されて形成される。インク流路4の一端には該インク
流路4に対応して吐出口12をもつ吐出口板1が接合され
る。また、前記インク流路4の他の一端は共通液室に接
続され、さらに液溜へ連通するインク供給部(図示せ
ず)に接続する。
第2図−a及びbは、本発明のヘッド部の動作を説明
するためのもので、第1図のA−A断面図である。駆動
電極7−4に電圧印加すると(第2図−aは電圧を印加
する前の状態を示す)圧電振動子2−4は歪みを生じ厚
み方向(d33方向歪)に伸長を起こす(圧電振動子2−
4は厚み方向に分極されている)。これによって流路隔
壁5−3,5−4は、その接合部に変位が与えられている
ため全体に撓み変形をする(第2図−b)。
するためのもので、第1図のA−A断面図である。駆動
電極7−4に電圧印加すると(第2図−aは電圧を印加
する前の状態を示す)圧電振動子2−4は歪みを生じ厚
み方向(d33方向歪)に伸長を起こす(圧電振動子2−
4は厚み方向に分極されている)。これによって流路隔
壁5−3,5−4は、その接合部に変位が与えられている
ため全体に撓み変形をする(第2図−b)。
これによってインク流路4−4は容積増加を得る。こ
の状態で圧電振動子2−4への電圧印加を停止すること
により、歪エネルギーは元の状態へ復帰する方向へ働く
ためインク流路4−4では容積が急速に減少し、圧力増
加によってインク流路4−4に対応する吐出口12より、
インク滴が吐出する。この時、電圧印加の立ち上げを比
較的長時間で、立ち上げを短時間で行う。
の状態で圧電振動子2−4への電圧印加を停止すること
により、歪エネルギーは元の状態へ復帰する方向へ働く
ためインク流路4−4では容積が急速に減少し、圧力増
加によってインク流路4−4に対応する吐出口12より、
インク滴が吐出する。この時、電圧印加の立ち上げを比
較的長時間で、立ち上げを短時間で行う。
逆に、電圧印加によって圧電振動子2−4に厚み方向
への縮少を起こし、これにより流路隔壁5−3,5−4を
全体に、インク流路4−4に対し内方へ撓み変形させる
ことにより、電圧印加ON時の圧力変化でインク滴を吐出
させることも可能である。この時、電圧印加の立ち上げ
を比較的短時間で、立ち上げを長時間で行う。
への縮少を起こし、これにより流路隔壁5−3,5−4を
全体に、インク流路4−4に対し内方へ撓み変形させる
ことにより、電圧印加ON時の圧力変化でインク滴を吐出
させることも可能である。この時、電圧印加の立ち上げ
を比較的短時間で、立ち上げを長時間で行う。
圧電振動子2の伸縮は、分極方向と電界方向を適当に
選択して設定すればよい。なお、図中、8は共通電極で
ある。
選択して設定すればよい。なお、図中、8は共通電極で
ある。
次に、第3図に基づいてヘッドの加工法について説明
する。基板3に、圧電振動子2(厚さ0.1〜0.5mm)を接
着等により接合する。
する。基板3に、圧電振動子2(厚さ0.1〜0.5mm)を接
着等により接合する。
圧電振動子2に切削加工等の機械加工や、各種エッチ
ング加工、レーザー等のビーム加工、放電加工、超音波
加工などを単独、又は組み合わせて適当に用いることに
より、溝加工を施し、スリット9を形成する。ここでス
リット9は圧電振動子2を実質的に分離していればよ
い。なお、後述する第4図のように圧電振動子2を完全
に分離しなくてもよく、また第5図のように基板3の部
分までスリット9を施してもよい。
ング加工、レーザー等のビーム加工、放電加工、超音波
加工などを単独、又は組み合わせて適当に用いることに
より、溝加工を施し、スリット9を形成する。ここでス
リット9は圧電振動子2を実質的に分離していればよ
い。なお、後述する第4図のように圧電振動子2を完全
に分離しなくてもよく、また第5図のように基板3の部
分までスリット9を施してもよい。
このとき圧電振動子2は厚み方向の両面全面にあらか
じめ電極が施されているため、この溝加工によって上面
は分離独立して駆動電極となり、下面は共通電極とな
る。第5図の場合は基板3が金属、Si等の導電体とする
ことで共通電極化が図れる(第3図−a)。
じめ電極が施されているため、この溝加工によって上面
は分離独立して駆動電極となり、下面は共通電極とな
る。第5図の場合は基板3が金属、Si等の導電体とする
ことで共通電極化が図れる(第3図−a)。
次に、流路隔壁部を形成するための部材を圧電振動子
2に接合する。
2に接合する。
流路隔壁5の形成は圧電振動子2の溝加工と同様に行
えるが、たとえばSiの異方性エッチング技術を利用すれ
ば容易に加工が可能となる。この場合、Siには酸化膜
層、窒化膜層、金属膜層等のSiよりエッチングレートの
小さい底壁部11を通常0.05μmから50μm、好ましくは
0.05μmから10μm、最適には0.1μmから5μmの厚
さで形成しておく。これにより、エッチングレートの違
いにより底壁部11を残して溝加工が行われ、流路隔壁5
及びインク流路4が形成される。このとき底壁部11は圧
電振動子2の保護層として働く(底壁部11が導電体の場
合は圧電振動子2の駆動電極のために絶縁層が必要とな
る)。その反面、底壁部11は圧電振動子2の変位を効率
よく伝えることを妨げるので、上記の厚さが望まれるこ
とになる(第3図−b,c)。なお、図中、10は隔壁部
材、13は底壁層部である。
えるが、たとえばSiの異方性エッチング技術を利用すれ
ば容易に加工が可能となる。この場合、Siには酸化膜
層、窒化膜層、金属膜層等のSiよりエッチングレートの
小さい底壁部11を通常0.05μmから50μm、好ましくは
0.05μmから10μm、最適には0.1μmから5μmの厚
さで形成しておく。これにより、エッチングレートの違
いにより底壁部11を残して溝加工が行われ、流路隔壁5
及びインク流路4が形成される。このとき底壁部11は圧
電振動子2の保護層として働く(底壁部11が導電体の場
合は圧電振動子2の駆動電極のために絶縁層が必要とな
る)。その反面、底壁部11は圧電振動子2の変位を効率
よく伝えることを妨げるので、上記の厚さが望まれるこ
とになる(第3図−b,c)。なお、図中、10は隔壁部
材、13は底壁層部である。
他にも、樹脂の成形加工やドライフィルム等によって
も流路隔壁5及びインク流路4は形成可能である。しか
し、上記のSiの異方性エッチン把術によると底壁部11を
μmオーダーで容易に加工制御できるので大変好適であ
る。
も流路隔壁5及びインク流路4は形成可能である。しか
し、上記のSiの異方性エッチン把術によると底壁部11を
μmオーダーで容易に加工制御できるので大変好適であ
る。
次に、流路隔壁5に上基板6を接合すると流路隔壁5
が両端固定梁状となって形成され、インク流路4も完全
に分離される。このとき流路隔壁5は上基板6に接合せ
ずに先端を自由端とし、流路隔壁5が片持ち梁状とする
ように上基板6を配設してもよい。この場合、流路隔壁
5と上基板6の間隙が充分な流体抵抗分を持つように、
通常1μmから50μm、好ましくは1μmから30μmの
間隙として配設することが望ましく、実質的にインク流
路4は独立に分離される。また、流路隔壁5に上基板6
を接合する際、適当なゴム、樹脂等の弾性層を設けてお
くのもよい。この弾性層は流路隔壁5の上基板6との接
合による拘束力を弱める方向に働き、隔壁を上記の両端
固定梁状と片持ち梁状との中間のようにし、かつ、イン
ク流路4は完全に分離される。このとき接着層が弾性層
を兼ねるようにしてもよい。
が両端固定梁状となって形成され、インク流路4も完全
に分離される。このとき流路隔壁5は上基板6に接合せ
ずに先端を自由端とし、流路隔壁5が片持ち梁状とする
ように上基板6を配設してもよい。この場合、流路隔壁
5と上基板6の間隙が充分な流体抵抗分を持つように、
通常1μmから50μm、好ましくは1μmから30μmの
間隙として配設することが望ましく、実質的にインク流
路4は独立に分離される。また、流路隔壁5に上基板6
を接合する際、適当なゴム、樹脂等の弾性層を設けてお
くのもよい。この弾性層は流路隔壁5の上基板6との接
合による拘束力を弱める方向に働き、隔壁を上記の両端
固定梁状と片持ち梁状との中間のようにし、かつ、イン
ク流路4は完全に分離される。このとき接着層が弾性層
を兼ねるようにしてもよい。
第4図〜第7図は、本発明のヘッド部の他の実施例を
示すものである。流路隔壁部の加工後、上基板6を接合
する方法について前述で説明したが、上基板6と流路隔
壁部を一体で加工する方法も用いられる。このとき、例
えば、流路隔壁5を直接圧電振動子2に接合してもよい
(第4図)。この場合、圧電振動子2の電極面の保護
層、絶縁層等が必要となる。
示すものである。流路隔壁部の加工後、上基板6を接合
する方法について前述で説明したが、上基板6と流路隔
壁部を一体で加工する方法も用いられる。このとき、例
えば、流路隔壁5を直接圧電振動子2に接合してもよい
(第4図)。この場合、圧電振動子2の電極面の保護
層、絶縁層等が必要となる。
第5図は基板3の部分までスリット9を施した場合で
ある。
ある。
圧電振動子2の溝加工については、第4図に対して第
6図のように基板3側から行ってもよい。
6図のように基板3側から行ってもよい。
以上に述べたように圧電振動子はインク流路毎に実質
的に切断していることが望ましいが、加工をより簡略化
するために駆動電極をインク流路毎に独立してパターニ
ングすることにより圧電振動子の溝加工をせずに形成す
ることも可能である(第7図)。ただし、この場合は特
性は悪くなる。
的に切断していることが望ましいが、加工をより簡略化
するために駆動電極をインク流路毎に独立してパターニ
ングすることにより圧電振動子の溝加工をせずに形成す
ることも可能である(第7図)。ただし、この場合は特
性は悪くなる。
また、圧電振動子2は積層タイプのものとすることも
でき、これによって低電圧駆動化が図れる。
でき、これによって低電圧駆動化が図れる。
以上の実施例において、圧電振動子は流路隔壁部の片
側にのみ配置したが両側に設けることにより流路隔壁5
の撓みを容易にすることも可能である。
側にのみ配置したが両側に設けることにより流路隔壁5
の撓みを容易にすることも可能である。
圧電振動子2および流路隔壁5は変位してインク流路
4内に圧力変化を生じさせるものがあるが、吐出口板1
との接合面においても同様な変位を生じることは吐出口
板1、流路隔壁5あるいは接合面に有害なストレスを発
生させ不都合である。よってこのストレスを緩和あるい
は吸収するために接合部に適当な接着層を設けるか緩衝
部材を設置する方法がとり得る。
4内に圧力変化を生じさせるものがあるが、吐出口板1
との接合面においても同様な変位を生じることは吐出口
板1、流路隔壁5あるいは接合面に有害なストレスを発
生させ不都合である。よってこのストレスを緩和あるい
は吸収するために接合部に適当な接着層を設けるか緩衝
部材を設置する方法がとり得る。
また、吐出口板1の配置は限定されるものではなく、
上基板6の上面としてもよい。
上基板6の上面としてもよい。
以上説明した実施例は種々、組み合わせて設置するこ
とが可能である。
とが可能である。
効果 以上の説明から明らかなように、本発明によると、駆
動電極や共通電極(アース電極)のとりだし接続が簡素
化され加工が容易となり、駆動時の電圧印加が単純化さ
れた。また、個々の圧電振動子を実質的に分離させたこ
とで、圧電振動子間での振動の干渉がなくなり、流路隔
壁に効率よく変位を与えることができ、駆動電圧の低減
化を可能とし、相互干渉が減少した。
動電極や共通電極(アース電極)のとりだし接続が簡素
化され加工が容易となり、駆動時の電圧印加が単純化さ
れた。また、個々の圧電振動子を実質的に分離させたこ
とで、圧電振動子間での振動の干渉がなくなり、流路隔
壁に効率よく変位を与えることができ、駆動電圧の低減
化を可能とし、相互干渉が減少した。
また、圧電素子の溝加工によって駆動電極が形成され
るので、特別な電極形成の工程が不要となった。さら
に、吐出効率が向上し、流路隔壁部形成の加工が容易に
行えるようになった。また、底壁部を高精度に容易に加
工できるので、変位特性が良好であり、電極面の保護
層、絶縁層等を設けなくてもよい等の効果がある。
るので、特別な電極形成の工程が不要となった。さら
に、吐出効率が向上し、流路隔壁部形成の加工が容易に
行えるようになった。また、底壁部を高精度に容易に加
工できるので、変位特性が良好であり、電極面の保護
層、絶縁層等を設けなくてもよい等の効果がある。
第1図は、本発明によるインクジェット記録装置の一実
施例を説明するための構成図、第2図は、本発明のヘッ
ド部の動作を説明するためのもので、第1図のA−A断
面図、第3図は、ヘッドの加工法を説明するための図、
第4図〜第7図は、本発明のヘッド部の他の実施例を示
す図である。 1……吐出口板、2……圧電振動子、3……基板、4…
…インク流路、5……流路隔壁、6……上基板、7……
駆動電極、8……共通電極、9……スリット、10……隔
壁部材、11……底壁部、12……吐出口、13……底壁層
部。
施例を説明するための構成図、第2図は、本発明のヘッ
ド部の動作を説明するためのもので、第1図のA−A断
面図、第3図は、ヘッドの加工法を説明するための図、
第4図〜第7図は、本発明のヘッド部の他の実施例を示
す図である。 1……吐出口板、2……圧電振動子、3……基板、4…
…インク流路、5……流路隔壁、6……上基板、7……
駆動電極、8……共通電極、9……スリット、10……隔
壁部材、11……底壁部、12……吐出口、13……底壁層
部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ▲あめ▼山 実 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株 式会社リコー内 (72)発明者 成瀬 修 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株 式会社リコー内 (72)発明者 平田 俊敞 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株 式会社リコー内 (56)参考文献 特開 昭59−159358(JP,A) 特開 昭63−129173(JP,A) 特開 昭63−252750(JP,A) 特開 昭63−247051(JP,A) 特開 昭60−90770(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) B41J 2/045
Claims (1)
- 【請求項1】吐出口に連通するインク流路と、該インク
流路を個別に分割する流路隔壁と、該インク流路に連通
するインク供給部とを有し、前記流路隔壁の接合部に変
形を発生させるための圧電振動子を設け、前記圧電振動
子を駆動させることにより、前記流路隔壁の根元部に変
形を発生させ、前記流路隔壁に変位を起こし、前記イン
ク流路に圧力変化を発生させて前記吐出口よりインク滴
を吐出させるインクジェットヘッドにおいて、前記イン
ク流路に対応する前記圧電振動子の一つの部分を選択的
に駆動させることにより、対応する前記インク流路を形
成する両側の流路側壁に変位を起こすことを特徴とする
インクジェット記録装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6190389A JP2758633B2 (ja) | 1989-03-13 | 1989-03-13 | インクジェット記録装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6190389A JP2758633B2 (ja) | 1989-03-13 | 1989-03-13 | インクジェット記録装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02238950A JPH02238950A (ja) | 1990-09-21 |
JP2758633B2 true JP2758633B2 (ja) | 1998-05-28 |
Family
ID=13184573
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6190389A Expired - Lifetime JP2758633B2 (ja) | 1989-03-13 | 1989-03-13 | インクジェット記録装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2758633B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103228451A (zh) * | 2010-12-24 | 2013-07-31 | 佳能株式会社 | 液体喷出头和液体喷出头的制造方法 |
-
1989
- 1989-03-13 JP JP6190389A patent/JP2758633B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN103228451A (zh) * | 2010-12-24 | 2013-07-31 | 佳能株式会社 | 液体喷出头和液体喷出头的制造方法 |
US8967773B2 (en) | 2010-12-24 | 2015-03-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid ejection head and method of manufacturing liquid ejection head |
CN103228451B (zh) * | 2010-12-24 | 2015-07-01 | 佳能株式会社 | 液体喷出头和液体喷出头的制造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH02238950A (ja) | 1990-09-21 |
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