JPH0373348A - インクジェット記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 笠先公立 本発明は、インクジェット記録装置に関し、より詳細に
は、インクジェット記録装置のヘッド部に関する。

更東挟髭 従来の圧電アクチュエータを用いたオンデマンド型イン
クジェットヘッドにおいては、アクチュエータの高集積
化が困難であり、集積化をアップしようとすれば駆動電
圧が高くなるという欠点を有していた。それらを改善し
たのが以下の公知文献に記載された従来技術である。

まず、特公昭６０−８９５３号公報は、ノズルに対向し
てインク中に圧着アクチュエータを設け。

それを駆動してインク噴射を行なうもので、アクチュエ
ータ変位のごく一部（ノズル対向部）が。

インク噴射に寄与しているだけであり、圧電振動子の特
性から高集積化に限界があった。

また、特公昭６１−４５５４２号公報は、流路の隔壁を
ビーム状の圧電アクチュエータとしたもので、流路隔壁
をビーム状のアクチュエータにすることにより高集積化
によるアクチュエータ面積の低下という課題を解決した
が、圧電素子の加工。

配設等の製造上の困難があり、加工コストの低減化が求
められていた。

また、特開昭６３−２５２７５０号公報は、流路の隔壁
を圧電アクチュエータで駆動してインクを噴射するもの
で、圧電部材のアレイ方向に平行な横変形を利用して流
路のインクを吐出する点が開示されており、流路隔壁を
アクチュエータにすることにより、高集積化によるアク
チュエータ面積の低下という課題を解決し、さらに圧電
素子をｄ１５モードで駆動することにより効率を良くし
ている。しかし、圧電素子の加工、電極の形成等、製造
上の困難は解決できず、加工コストの低減化が求められ
ていた。また、駆動電極と、アース電極に複雑に電圧印
加がおこなわれるので、電極の取出し接続等が煩雑であ
った。また同公報に記載のものは、変位定数が大きい方
式で、低電圧能動には適しているが、高密度化すると側
壁の剛性も弱くなり、吐出時の内圧上昇で変形を生じ吐
出効率が低下するという問題があった。又、側壁を駆動
するために両側の流路に容積変化が生じ、ｌＩ接接間オ
リフィスは同時駆動できず実効周波数は１／２と高速化
に不利であった。さらに、加工製作の点でも流路側壁に
電極を設けねばならないことや、水性インクを使用する
時は、電極面上に絶縁層を設けねばならないことなど、
溝の側壁に膜形成するという難しさがあった。

また、特開昭５９−１５９３５８号公報は、流路の壁部
分を圧電アクチュエータ（ブロック状）としたもので、
流路の壁部分をブロック状の圧電アクチュエータで構成
したものであり、加工を容易としたが、相互干渉防止に
ために緩衝部があるため集積度が悪いものであった。

また、特開昭６２−５６１５０号公報は、圧電アクチュ
エータ自身に流路を形成したもので、加工を容易にした
が、アクチュエータ駆動時の同−流路内での容積変位が
増加方向と減少方向の共存等があり、特性効率に関する
不具合があった。

さらに、米国特許第４０７２９５９号明細書には、オリ
フィスに近接して押し出しピンを設けて。

曲げ変位でオリフィス直前のインクを押し出す点が開示
されている。

しかし、片持ち１両持ちの梁で、そのアクチュエータ部
に押し出しブロックを設けるなど、部品構成が複雑で、
加工の点でも難しいという欠点があった。

また、　　ｒＩＭＣ１９８６Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ　
Ｋｏｂａ、　Ｊ（Ｍａｙ２８〜３０　１９８６）にはグ
リーンシートを積層し、積層内に空孔部を設け、この空
孔部を上部に設けた圧電部材の曲げモーメントで変位を
生じさせ吐出することが開示されている。しかし、技術
的なおもしろさはあるが、平担構造の電極部のみを変位
させる為にコンプライアンスが小さく、低電圧化が難し
いという問題点があった。

又、加工面でも空孔形成するのに脱泡条件制御や時間（
約ＩＷ）がかかるなど困難な点が多かった。

その他の従来技術として、流路上にヒーターを設け、電
気信号に応じてヒータ一部に爆発的に気泡を成長させて
、この容積変化で吐出させる方式もあるが、流路に応力
ストレスが加わることや、ヒータ一部にインク染料が焦
げつくなど信頼性の点で問題があった。

辻−一部 本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされたもので、
圧電素子を新規な形状に構成することで。

高集積化、駆動電圧の低減、さらに実効周波数の向上な
ど性能面の改良を図ること、また、構成部品を単純でか
つ少量化することで加工性、組立性を向」ニさせ、コス
トの低減を図ること、さらに、アクチュエータ部のコン
プライアンスを最適化することで駆動電圧の低減を図り
、かつ１組立性の容易化でコストの低減を図ること、さ
らに、消費電力の少ない圧電振動子を用いて高集積化し
たヘッドを容易に製造可能とし、ヘッド特性の効率をよ
くし、簡単な線動法によって実行できるインクジェット
記録装置のヘッド部を提供することを目的としてなされ
たものである。

構−−−族 本発明は、上記目的を達成するために、（１）流路の長
手方向と垂直な方向に配列され、流路隔離部材によって
区切られた多数の平行流路と、液滴噴射の為に該流路に
接続された各ノズルと、該流路に給液する接続手段とを
有し、前記インク流路の一部に変形を発生させる圧電振
動子を配し、前記圧電振動子を駆動させることにより前
記インク流路の底部に変形を発生させて前記インク流路
に圧力変化を発生させ、前記吐出口よりインク滴を吐出
させるインクジェット記録装置において、前記圧電振動
子は、圧電体にスリットを設けたものであること、或い
は、（２）流路の長手方向と垂直な方向に配列され、流
路隔離部材によって区切られた多数の平行流路と、液滴
噴射の為に該流路に接続された各ノズルと、該流路に給
液する接続手段とを有し、前記インク流路の一部に変形
を発生させる圧電振動子を配し、前記圧電振動子を駆動
させることにより前記インク流路の底部に変形を発生さ
せて前記インク流路に圧力変化を発生させ、前記吐出口
よりインク滴を吐出させるインクジェット記録装置にお
いて、前記圧電振動子は。

圧電体にスリットを設け、該スリット部に弾性率が３０
０ｋｇ／−２以下で０，０１ｋｇ／１３以上の弾性体を
充填すること、更には、（３）前記圧電体のスリット部
あるいは流路の溝部のいずれか又は両方を覆うように薄
膜物質を設けたこと、或いは。

（４）流路の長手方向と垂直な方向に配列され。

流路隔離部材によって区切られた多数の平行流路と、液
滴噴射の為に該流路に接続された各ノズルと、該流路に
給液する接続手段とを有し、前記インク流路の一部に変
形を発生させる圧電振動子を配し、前記圧電振動子を駆
動させることにより前記インク流路の底部に変形を発生
させて前記インク流路に圧力変化を発生させ、前記吐出
口よりインク滴を吐出させるインクジェット記録装置に
おいて、前記流路隔離部材が単純圧縮変形及び引張変形
可能な弾性体であること、更には、（５）前記インク流
路に対応する前記圧電振動子の一つの部分を選択的に駆
動させることにより、対応する前記インク流路を形成す
る両側の流路隔離部材に単純圧縮変形及び引張変形を発
生させ、前記インク流路の圧力変化を助長することを特
徴としたものである。

以下、本発明の実施例に基づいて説明する。

第１図（ａ）、（ｂ）は２本発明によるインクジェット
記録装置の一実施例を説明するための構成図で、図（ａ
）は正面から見た斜視図、図（ｂ）は背面から見た斜視
図である８図中、１は積層圧電素子、２は流路プレート
、３はノズルプレート、４は駆動ＩＣ体、５は共通電極
、６はインク流入口、７は信号ライン、８は背向板であ
る。

構成としては電気アクチュエータとして積層圧電素子１
を用い、該積層圧電素子１は個別にアクチュエーション
可能なようにスリットが設けられている。

前記積層圧電素子１のアクチュエート部に対応して、流
路プレート２に平行流路が設けられている。該流路プレ
ート２の長手方向、延長上にノズルプレート３が配設さ
れている。該ノズルブレート３の後方には第１図（ｂ）
に示すようにインク流入口６を設け、インクは背向板８
によって形成される共通流路から各流路に給液される。

電気信号は、本発明の実施例においては、正面部に共通
電極５を設け、背面部に信号ライン７を配設し、前記積
層圧電素子１の上部に駆動ＩＣ体４を搭載して、ヘッド
の小型化を図った構成としている。

又２本発明の実施例においては、より高密度化を図る為
に前記流路プレート２の上下方向に流路を千鳥配列した
例を示す、駆動ＩＣ体は圧電素子上に直載されるので放
熱効果が良く、かつ組付は時もチップフローなどで容易
に信号ラインとの接続も可能となる。

第２図は、アクチュエータの動作を説明するための図で
、９は流路、↓０は充填剤である。

選択されたアクチュエータに電気信号が入力されると、
それに対応した流路９はＱだけ容積変化し、その変化分
だけがノズルプレートの対応オリフィスから噴射する。

Ｑは以下のように表わせられる。

Ｑ＝ｔＸ　δ　×Ｌ δ＝ｎＸｄ、、ＸＶｐ ｔ：アクチュエータの巾 δ：雷電圧Ｖｐ　ｖｏｌｔ）印加時の変位ｄ、１：厚み
方向の圧電定数 ｎ：積層枚数 Ｌ：素子の実効作動長さ 上式で、ＶＰのみを低減させるならば、積層枚数ｎ、素
子の実効作動長さＬを大きくすればよいが、該積層枚数
ｎを単に大きくすることは、スリット加工時の困難さが
あることや、又、前記素子の実効作動長さＬを単に大き
くすることは、ヘッド自体の大きさ、コンプライアンス
が大きくなり応答性などに問題が生じる。

しかし、各パラメータを最適化することで、ＩＣチップ
で駆動可能なほどの電圧の低減が可能となる。さらに、
図からも分かるように、電気信号が入力されて駆動する
アクチュエータ（両側のスリットによって形成される凸
部）は、対応する流路９のみに作用する為、隣接流路へ
の影響はなく、独立駆動が可能で実効周波数は高くなる
。又、変位することで生じる内圧増加でのアクチュエー
タ自身の変位量は、受圧面積が小さい為に極めて小さく
、高密度化しても効率は低下しない。

第３図は、アクチュエータの変化拡大図を示す。

電圧印加時の変位δの動きやすさはアクチュエータが動
く時に充填剤によって阻止するように働く力（Ｆ）と、
内圧増加分（ΔＰ）によって働く力が考えられる。ここ
で内圧増加分によって受ける力はアクチュエータが発生
する力（Ｆ、）に比べ無視できる位小さい、又、内圧増
加分ΔＰによって充填剤が変形する為、ΔＱだけ容積損
失する。

上述の阻止する力（Ｆ）は剪断応力としてアクチュエー
タと充填剤の間で作用し充填剤の弾性率が大きいと動き
ずらくなり、変位が減少するが、弾性率が小さいと、前
述のようにΔＱによって逆変形が生じるという結果とな
る。

これらの最適値は、充填剤の材質（弾性係数）及び構造
寸法で規定されるもので、一義的に決定されない。

今回、実験から充填剤としてはシリコンやポリブタジェ
ンのゴム系のものや、軟性エポキシ系のものが可撓性、
耐水性かつ接合性に優れ、適していることが分かった。

第４図は、実験的に求められる弾性率と容積変位の関係
を示す図である。この第４図からも分かるように弾性率
０．０１〜３００ｋｇ／ｍｍ２の範囲で変位容積が大き
く得られる。

第５図は１本発明の他の実施例を示すもので。

図中、１１は空洞部、１２は薄膜である。圧電体アクチ
ュエータと流路の界面に薄膜１２を設けることで前述の
充填剤１０の部分を空洞部１１として圧電体の隣接間の
電気的絶縁を可能にする。又、材質としても前記の充填
剤と同様に弾性体であることが望ましい。

第６図は、流路プレートの両側に積層圧電素子を配設し
た他の実施例を示す、電気信号入力方法として各アクチ
ュエータの電極部にスルーホール化１３された背向板８
を用い電極と接続するとともに、背向板８によって流路
も形成する。背向板８はセラミック系の材質を使用する
ことで耐触性も良く、かつ、駆動ＩＣ体４の放熱基板と
しての効果をもたせることも可能となる。かつ駆動ＩＣ
が１箇所でまとめられることで、信号処理が有利となる
。

第７図（ａ）、（ｂ）は、本発明の他の実施例を示す図
で、図（ａ）は断面図１図（ｂ）は図（ａ）のＡ部の拡
大図である。

図中、２１は積層圧電素子、２２は流路プレート、２３
はノズルプレート、２４は駆動ＩＣ体、２５は流路、２
６は供給基台、２７はインク。

２８は電極部、２９は充填材、３０は信号ラインである
。

インク２７は、前記実施例のごとく、後方から供給でな
く、流路プレート２２の上下方向から供給することで、
圧電素子２１の後方にスペースをもたせる。

駆動ＩＣ体２４は、流路プレート２２上に、信号ライン
３０として、あらかじめバターニングされているところ
に直載する。流路プレート２２は、感光性ガラスやシリ
コンウェハなどの材質を用いることで、容易に流路の溝
加工をハーフエツチングでき、かつ電極パターン形成も
スパッタなどで容易に可能である。

第８図（ａ）、（ｂ）は１本発明のさらに他の実施例を
示す図で、圧電素子の両側に流路プレートを配設したも
ので１図（ａ・）は断面図、図（ｂ）は図（ａ）のＢ部
の拡大図である０図中、３１は背向板、３２はスルーホ
ール、その他第７図の場合と同様の作用をする部分は図
の参照番号を付しである。

コスト的に高価な圧電素子２１を１つにして該圧電素子
２１の厚さ方向の両側にスリット加工でアクチュエータ
部を形威し、それに対応して流路プレート２２を設ける
。圧電素子２１を１体で使用することで、騨動源の剛性
が大きくなり、アクチュエートされた時に他への影響が
緩和される。

電気信号は、ノズルプレート２３の反対面にある。平面
上の電極部２８にスルーホール３２によって導通比され
た。背向板３１を設けることで、駆動ＩＣ体２４と直結
も可能となり信頼性の向上となる。

第９図は１本発明によるインクジェット記録装置の他の
実施例を説明するための構成図で、ヘッドの部分斜視図
である０図中、４１は吐出口板、４２は圧電振動子、４
３は基板、４４はインク流路、４５は流路隔離部材、４
６は上基板、４７はスリット、４８は接合層、４９は吐
出口である。

圧電振動子４２は基板４３上に接合されており、平板状
のものを実質的に分離するようにスリット４７が設けら
れている。

圧電振動子４２の上方には流路隔離部材４５が接合層４
８を介して接合され、スリット４７に対応するように配
置されている。この流路隔離部材４５はヤング率が１０
０〜１０００Ｋｇｆ／ｍｍ２程度の弾性部材で形成され
ている。流路隔離部材４５の上面は上基板４６が接合さ
れ、これによって各インク流＠４４が分離されて形成さ
れる。

インク流路４４の一端には該インク流路４４に対して吐
出口４９をもつ吐出口抜工が接合される。

また、インク流路４４の他の一端は共通液室に接続され
、さらに液溜へ連通するインク供給部に接続する。

第１０図（ａ）、（ｂ）は、ヘッドの動作説明図で。

図中、５０は駆動電極、その他第９図と同じ作用をする
部分については同一の参照番号が付しである。

第１０図（ａ）で駆動電極５０−２と共通電極間に電圧
印加すると圧電振動子４２−２は歪を生じ厚み方向（ｄ
３２方向歪）に伸長を超こし、一方、流路巾方向には縮
小をおこす（圧電振動子４２は厚み方向に分極されてい
る）、シたがって第１０図（ｂ）のように流路隔離部材
４５−２．４５−３は、圧電振動子４２の側で接合層４
８を介して。

その接合部に上基板４６の方向とインク流路４４−２内
方向へ変位が与えられるため全体に圧縮変形をする。

これにより、インク流路４４−２は流路隔離部材４５−
２．４５−３および圧電振動子４２−２で共に容積変化
（容積が急速に減少する）を得る。

この電圧印加ＯＮ時の圧力増加によってインク流路４４
−２に対応する吐出口４９より、インク滴が吐出する。

逆に、電圧印加によって圧電振動子４２−２に厚み方向
への縮小を起こすと共に、流路隔離部材４５−２．４５
−３を全体にインク流路４４−２に対し外方へ引張り変
形させておく、この状態で圧電振動子４２−２への電圧
印加を停止すると、歪エネルギーは元の状態へ復帰する
方向へ働くためインク流路４４−２では容積が急速に減
少し、この時の圧力変化でインク滴を吐出させることも
可能である。

圧電振動子４２の伸縮は、分極方向と電界方向を適当に
選択して設定すればよい。

このとき、圧電振動子４２−２の駆動によって流路隔離
部材４５−２．４５−３はインク流路４４−２に関して
変位を与え、隣接するインク流路４４−１．４４−３へ
の変位は微小である。よって隣接するインク流路間での
相互干渉は問題にならず５ｍｍ接するインク流路を同時
に駆動することも可能である。

第１１図（ａ）〜（ｃ）は、本発明の他の実施例を示す
もので、図（ａ）は基板４３の部分までスリット４７を
施した例、図（ｂ）は圧電振動子４２のスリット加工を
基板４３側より行った例、図（ｃ）は、圧電振動子のス
リット加工をしない例を各々示している。

第１２図は、ヘッドの加工方法を説明するための図であ
る。第１２図（ａ）において、基板４３に、圧電振動子
４２（厚さ０．１＝０．５ｍｍ）を接着等により接合す
る。

第１２図（ｂ）において、圧電振動子４２に切削加工等
の機械加工や、各種エツチング加工、レーザー等のビー
ム加工、放電加工、超音波加工などを単独又は組み合わ
せて適当に用いることにより、溝加工を施してスリット
４７を形成する。ここでスリット４７は圧電振動子４２
を実質的に分離していればよい、第１０図に示すように
圧電振動子４２を完全に分離しなくてもよく、第１１図
（ａ）のように基板４３の部分までスリット４７を施し
てもよい、このとき圧電振動子４２は厚み方向の両面全
面にあらかじめ電極が施されているため、この溝加工に
よって上面は分離独立して駆動電極となり、下面は共通
１を極となる。第１１図（ａ）の場合は基板４３が金属
、ＳＬ等の導電体とすることで共通電極化が図れる。

第１２図（ｃ）において、流路隔離部を接合するための
接合層４８を圧電振動子４２に形成する。

このとき、所望の液状接着剤を周知の手法１例えば、ス
ピンナーコート法、デイツプコート法、ローラーコート
法によって、圧電振動子４２の表面に塗工した後、半硬
化させておく、ここで使用する接着剤の種類は所定の接
着力が示されれば特に限定されないが、本発明において
は、とりわけ。

光硬化性樹脂接着剤が製造上の便宜から推奨されるもの
である。またドライフィルムフォトレジストのうこネー
トも利用可能である。このとき接合層４８は圧電振動子
４２の保護層として働く（さらに必要に応じて他の保護
層を形成しても良い）。

また圧電振動子に適当な表面処理及び絶縁処理を施すこ
とで接合層４８を不要とすることも可能である。

第１２図（ｄ）において、流路隔離部材４５の形成は圧
電振動子４２の溝加工と同様にも行えるが、ドライフィ
ルムフオトレジス等の感光性樹脂の利用によれば容易に
加工が可能となる。先ず上基板４６面上に設けたドライ
フィルムフォトレジストに所定のパターンを有するフォ
トマスクを重ねあわせた後、露光を行ない、現像液にて
溶解除去して流路隔離部材４５が形成される。このとき
共通液室及び吐出口部も同一パターン内に設定し同時に
形成することもでき、吐出口が不要となる。

また液状の感光性組成物ももちろん利用することができ
る。他にも、樹脂の成形加工等によって。

例えば上基板４６と一体で流路隔離部材４５および共通
液室等は形成可能である。しかし上記の技術によると容
易に加工制御できるので大変好適である。

第１２図（ｓ）において、流路隔離部材４５が配置され
た上基板４６と、圧電振動子４２および接合層４８が配
置された基板４３を接合する。これはドライフィルム間
での熱圧着等によって容易に形成可能である。また熱硬
化と紫外線による硬化の両方を兼用するのも効果的であ
る。これによってインク流路４４が完全に分離され形成
される。

第１２図（ｆ）において、吐出口板４１を接合する。圧
電振動子４２および流路隔離部材４５は変位してインク
流路４４内に圧力変化を生じさせるものであるが、吐出
口板４工との接合面においても同様な変位を生じること
は、吐出口板４１゜流路隔離部材４５あるいは接合部に
有害なストレスを発生させ不都合である。よってこのス
トレスを緩和あるいは吸収するために接合部に適当な接
着層を設けるか緩衝部材を設置する方法もとり得る。圧
電振動子４２の溝加工については、第１０図に対して第
１１図（ｂ）のように基板４３側から行ってもよい。

以上に述べたように圧電振動子はインク流路毎に実質的
に切断していることが望ましいが、加工をより簡略化す
るために、第１１図（ｃ）のように駆動電極をインク流
路毎に独立してバターニングすることにより、圧電振動
子の溝加工をせずに形成することも可能である（ただし
、特性は悪くなる）、また、圧電振動子４２は積層タイ
プのものとすることもでき、これによって低電圧駆動化
が図れる。

以上の例において、圧電振動子は流路隔壁部の片側にの
み配置したが両側に設けることによりインク流路４４の
容積変位を容易にすることも可能である。また、吐出口
板４１の配置は限定されるものではなく上基板４６の上
面としてもよいし、上述したように流路隔離部材４５の
形状を適切に設定すれば吐出口板４１の配置が不要とな
る。なお、以上説明した実施例は種々、組み合わせて設
置することが可能である。

処−一果 以上の説明から明らかなように５本発明によると、以下
のような効果がある。

（１）構成部品を単純で小量化し、かつ、加工、組立性
を容易にし、コストの低減を図る。

（２）積層構造で、分割形状にすることで駆動電圧の低
減と隣接間に影響されず、相互干渉がない為、実効駆動
周波数が低下しない。

（３）弾性係数を最適化することで、容積変位が太き（
得られ駆動電圧の低電圧化が可能となる。

（４）組立てが容易となる。また上記（３）とともに圧
電体の電極間の絶縁が可能となり、水性インクの使用が
可能となる。

（５）圧電素子上に駆動ＩＣ体を直載することで。

ヘッド本体が小形軽量化が可能となる。

（６）分離されて配置している圧電素子をソリッドステ
ートされている背向板を用いることで駆動ＩＣ体が低減
でき信頼性が向上する。

（７）平担な流路プレートに流路と電気信号ラインを一
体形成することで、組立て効率が向上する。

（８）圧電素子の両側にアクチュエート箇所を設けるこ
とで部品の低減とともに、アクチュエータの剛性が高め
られ、他への干渉が低下する。さらに駆動ＩＣ体との接
続も容易となり、組立て効率。

信頼性が向上する。

（９）高集積化したヘッドの構成が簡素化されるととも
に流路隔離部形成の加工が容易となり、さらに駆動時の
電圧印加が単純化される。

（１０）圧電振動子部と流路隔離部に効率良く変位を与
えることができ、吐出効率が向上し駆動電圧の低減化を
可”能とした。さらに駆動時の相互干渉が減少し、隣接
するインク流路部での同時１１に動が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）、（ｂ）は、本発明によるインクジェット
記録装置の構成図、第２図は、アクチュエータの動作を
説明するための図、第３図は、アクチュエータの変位拡
大図、第４図は、弾性率と容積変位の関係を示す図、第
５図は、本発明の他の実施例を示す図、第６図〜第８図
は、本発明のさらに他の実施例を示す図、第９図は、本
発明によるインクジェット記録装置の他の実施例を説明
するための構成図で、ヘッドの部分斜視図、第１０図（
ａ）、（ｂ）は、ヘッドの動作説明図、第１１図（ａ）
〜（ｃ）は、本発明の他の実施例を示す図、第１２図（
ａ）〜（ｆ）は、ヘッドの加工方法を説明するための図
である。 １・・・積層圧電素子、２・・・流路プレート、３・・
・ノズルプレート、４・・・輛動ＩＣ体、５・・・共通
電極、６・・・インク流入口、７・・・信号ライン、８
・・・背向板、４１・・・吐出口板、４２・・・圧電振
動子、４３・・・基板、４４・・・インク流路、４５・
・・流路隔離部材、４６・・・上基板、４７・・・スリ
ット、４８・・・接合層、４９・・・吐出口。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、流路の長手方向と垂直な方向に配列され、流路隔離
   部材によって区切られた多数の平行流路と、液滴噴射の
   為に該流路に接続された各ノズルと、該流路に給液する
   接続手段とを有し、前記インク流路の一部に変形を発生
   させる圧電振動子を配し、前記圧電振動子を駆動させる
   ことにより前記インク流路の底部に変形を発生させて前
   記インク流路に圧力変化を発生させ、前記吐出口よりイ
   ンク滴を吐出させるインクジェット記録装置において、
   前記圧電振動子は、圧電体にスリットを設けたものであ
   ることを特徴とするインクジェット記録装置。 ２、流路の長手方向と垂直な方向に配列され、流路隔離
   部材によって区切られた多数の平行流路と、液滴噴射の
   為に該流路に接続された各ノズルと、該流路に給液する
   接続手段とを有し、前記インク流路の一部に変形を発生
   させる圧電振動子を配し、前記圧電振動子を駆動させる
   ことにより前記インク流路の底部に変形を発生させて前
   記インク流路に圧力変化を発生させ、前記吐出口よりイ
   ンク滴を吐出させるインクジェット記録装置において、
   前記圧電振動子は、圧電体にスリットを設け、該スリッ
   ト部に弾性率が３００ｋｇ／ｍｍ＾２以下で０．０１ｋ
   ｇ／ｍｍ＾２以上の弾性体を充填することを特徴とする
   インクジェット記録装置。 ３、流路の長手方向と垂直な方向に配列され、流路隔離
   部材によって区切られた多数の平行流路と、液滴噴射の
   為に該流路に接続された各ノズルと、該流路に給液する
   接続手段とを有し、前記インク流路の一部に変形を発生
   させる圧電振動子を配し、前記圧電振動子を駆動させる
   ことにより前記インク流路の底部に変形を発生させて前
   記インク流路に圧力変化を発生させ、前記吐出口よりイ
   ンク滴を吐出させるインクジェット記録装置において、
   前記流路隔離部材が単純圧縮変形及び引張変形可能な弾
   性体であることを特徴とするインクジェット記録装置。