JP2739797B2 - Tab型半導体装置 - Google Patents
Tab型半導体装置Info
- Publication number
- JP2739797B2 JP2739797B2 JP4080171A JP8017192A JP2739797B2 JP 2739797 B2 JP2739797 B2 JP 2739797B2 JP 4080171 A JP4080171 A JP 4080171A JP 8017192 A JP8017192 A JP 8017192A JP 2739797 B2 JP2739797 B2 JP 2739797B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- type semiconductor
- tab type
- semiconductor substrate
- lead
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- Wire Bonding (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、TAB(Tape A
utomated Bonding)型半導体装置に関
する。
utomated Bonding)型半導体装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】図2は従来のTAB型半導体装置の一例
におけるチップを示す断面図である。従来のTAB型半
導体装置は図2に示すように、一面に集積回路が形成さ
れるとともにこの集積回路の入出力端子である引き出し
電極3にバンプ4が形成される半導体基板2と、このバ
ンプ4に接続されるインナーリード1を有していた。
におけるチップを示す断面図である。従来のTAB型半
導体装置は図2に示すように、一面に集積回路が形成さ
れるとともにこの集積回路の入出力端子である引き出し
電極3にバンプ4が形成される半導体基板2と、このバ
ンプ4に接続されるインナーリード1を有していた。
【0003】このバンプ4はインナーリード1と引き出
し電極3を接続させているが、インナーリード1と半導
体基板2を接触させないように凸状に形成されている。
また、このバンプ4の材質としては金,白金,チタンよ
り構成されたり、金,アルミニウムより構成されたりし
ている。
し電極3を接続させているが、インナーリード1と半導
体基板2を接触させないように凸状に形成されている。
また、このバンプ4の材質としては金,白金,チタンよ
り構成されたり、金,アルミニウムより構成されたりし
ている。
【0004】さらに、バンプ4の形成方法としては直接
半導体基板2への熱圧着や半田付けにより形成する方法
や、転写方式によるバンプ4を形成する方法がある。
半導体基板2への熱圧着や半田付けにより形成する方法
や、転写方式によるバンプ4を形成する方法がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】この従来のTAB型半
導体装置では、これらのバンプを形成する技術は複雑で
あるため、今日でも、製造上の品質管理や工期短縮の点
で多くの改善を必要としていた。
導体装置では、これらのバンプを形成する技術は複雑で
あるため、今日でも、製造上の品質管理や工期短縮の点
で多くの改善を必要としていた。
【0006】本発明の目的は、製造技術上種々の問題を
引き起すバンプを形成することなく、インナーリードと
引き出し電極とを接続することの出来るTAB型半導体
装置を提供することである。
引き起すバンプを形成することなく、インナーリードと
引き出し電極とを接続することの出来るTAB型半導体
装置を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、半導体
基板の周辺部に形成される引き出し電極に一端が接続さ
れるとともに前記半導体基板より外方に伸びるインナー
リードを有するTAB型半導体装置において、接続され
る前記インナーリードの該一端の下地である前記半導体
基板の部分が少なくとも前記引き出し電極より外側の前
記半導体基板の領域より高く突出しているTAB型半導
体装置である。
基板の周辺部に形成される引き出し電極に一端が接続さ
れるとともに前記半導体基板より外方に伸びるインナー
リードを有するTAB型半導体装置において、接続され
る前記インナーリードの該一端の下地である前記半導体
基板の部分が少なくとも前記引き出し電極より外側の前
記半導体基板の領域より高く突出しているTAB型半導
体装置である。
【0008】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【0009】図1(a)及び(b)は本発明のTAB型
半導体装置の一実施例におけるチップを示す断面図であ
る。このTAB型半導体装置は、図1(a)に示すよう
に、引き出し電極3が接続される部分にあらかじめ形成
される突出部5aを設けたことてある。それ以外は従来
例と並じである。また、この突出部5aは、半導体基板
2の面に集積回路を形成する前に選択的に半導体基板2
の面をエッチングすることにより得られる。
半導体装置の一実施例におけるチップを示す断面図であ
る。このTAB型半導体装置は、図1(a)に示すよう
に、引き出し電極3が接続される部分にあらかじめ形成
される突出部5aを設けたことてある。それ以外は従来
例と並じである。また、この突出部5aは、半導体基板
2の面に集積回路を形成する前に選択的に半導体基板2
の面をエッチングすることにより得られる。
【0010】このように突出部5aを形成することによ
り、突出部5a上の引き出し電極3にインナーリード1
を接続させる。この引き立し電極3の周囲はこの接続部
より低いため、インナーリード1は半導体基板2に接触
しない。
り、突出部5a上の引き出し電極3にインナーリード1
を接続させる。この引き立し電極3の周囲はこの接続部
より低いため、インナーリード1は半導体基板2に接触
しない。
【0011】また、図1(b)に示すように、突出部5
bを形成する際に、半導体基板2をあらかじめ選択的に
成長させて形成させても良い。この場合は、突出部の周
囲にアンダーカットが生じないので、強度的に有利であ
る。
bを形成する際に、半導体基板2をあらかじめ選択的に
成長させて形成させても良い。この場合は、突出部の周
囲にアンダーカットが生じないので、強度的に有利であ
る。
【0012】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、インナー
リードと接続する半導体基板の部分に表面より突出する
突出部を設けることによって、バンプ形成を行なう必要
がなく、インナーリードが半導体基板と接触することな
く接続出来るという効果がある。
リードと接続する半導体基板の部分に表面より突出する
突出部を設けることによって、バンプ形成を行なう必要
がなく、インナーリードが半導体基板と接触することな
く接続出来るという効果がある。
【図1】本発明のTAB型半導体装置の一実施例におけ
るチップを示す断面図である。
るチップを示す断面図である。
【図2】従来のTAB型半導体装置の一例におけるチッ
プを示す断面図である。
プを示す断面図である。
1 インナーリード 2 半導体基板 3 引き出し電極 4 バンプ 5a,5b 突出部
Claims (1)
- 【請求項1】 半導体基板の周辺部に形成される引き出
し電極に一端が接続されるとともに前記半導体基板より
外方に伸びるインナーリードを有するTAB型半導体装
置において、接続される前記インナーリードの該一端の
下地である前記半導体基板の部分が少なくとも前記引き
出し電極より外側の前記半導体基板の領域より高く突出
していることを特徴とするTAB型半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4080171A JP2739797B2 (ja) | 1992-04-02 | 1992-04-02 | Tab型半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4080171A JP2739797B2 (ja) | 1992-04-02 | 1992-04-02 | Tab型半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05308090A JPH05308090A (ja) | 1993-11-19 |
JP2739797B2 true JP2739797B2 (ja) | 1998-04-15 |
Family
ID=13710891
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4080171A Expired - Fee Related JP2739797B2 (ja) | 1992-04-02 | 1992-04-02 | Tab型半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2739797B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0322448A (ja) * | 1989-06-19 | 1991-01-30 | Nec Corp | Tab方式半導体装置用リードフレーム |
-
1992
- 1992-04-02 JP JP4080171A patent/JP2739797B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05308090A (ja) | 1993-11-19 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19971224 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |