JP2725997B2 - マニホールドバルブ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はマニホールドバルブに関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体製造装置等のファクトリ
ーオートメーション装置には、アクチュータを駆動する
マニホールドバルブが多数使用されている。マニホール
ドバルブは複数のバルブブロックを連結することにより
構成され、各バルブブロックには給排ポート，給気通路
及び排気通路が設けられている。そして、各バルブブロ
ックを連結した状態では各バルブブロックの給気通路同
士及び排気通路同士がそれぞれ連通し、共通の給気通路
及び排気通路が形成されている。この共通の給気通路に
は外部コンプレッサからの圧縮エアが供給されるように
なっている。又、給排ポートにはエアシリンダ等の空圧
機器が接続されている。この給排ポートから排気された
エアは共通の排気通路を介して外部に排気されるように
なっている。

【０００３】前記バルブブロックにはスプール孔が形成
され、スプール孔は前記給排ポート，給気通路及び排気
通路に連通されている。又、スプール孔にはスプールが
移動可能に収容され、このスプールを２つの切換位置に
切り換えることにより、給排ポートを給気通路又は排気
通路に選択的に連通させるようになっている。

【０００４】しかし、あるバルブブロックで高圧の空気
を給排ポートから連通路を介して排気通路に排気した場
合、その高圧の空気が排気通路を流通して前記バルブブ
ロック以外のバルブブロックの連通路に逆流し、マニホ
ールドバルブが作動不良を起こす原因となる。

【０００５】そこで、実開平３─４４２８０号公報に示
すマニホールド用ガスケットが提案されている。このマ
ニホールド用ガケットは弾性材製のガスケット本体に空
気を流通させるための貫通孔を形成している。又、ガス
ケット本体には常時前記貫通孔を閉鎖し、弾性変形する
ことにより貫通孔を連通させる片持ち板状の可動弁体が
一体形成されている。

【０００６】このように構成されたマニホールド用ガス
ケットを、マニホールドバルブを構成する各バルブブロ
ックの連通路と排気通路との間に配設した場合、連通路
から排気通路に向かって流れる空気によりマニホールド
用ガスケットの可動弁体が弾性変形する。即ち、マニホ
ールド用ガスケットは連通路から排気通路に向かって流
れる空気のみを流通させ、排気通路から連通路に逆流す
る空気を遮断するようになっている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、あるバ
ルブブロックにおいて空気が排気通路に排気され、その
排気の終了する直前に他のバルブブロックから空気が排
気通路に排気される場合がある。即ち、あるバルブブロ
ックの排気する空気が低圧になった時に他のバルブブブ
ロックから前記空気より高圧の空気が排気される。

【０００８】又、あるバルブブロックでは低圧の空気を
給排ポートから連通路を介して排気通路に排気し、他の
バルブブロックでは高圧の空気を給排ポートから連通路
を介して排気通路に排気する場合もある。

【０００９】これらの場合、低圧の空気を排気するバル
ブブロックにおけるマニホールド用ガスケットの可動弁
体が開弁するため、排気通路を流通する他のバルブブロ
ックから排気された高圧の空気が低圧の空気を排気する
バルブブロックの連通路に逆流する。

【００１０】即ち、マニホールド用ガスケットの可動弁
体は弾性材製のガスケット本体に一体形成された片持ち
板状であるため、可動弁体の閉弁動作が遅くなる。従っ
て、可動弁体が連通路から排気通路に流れる低圧の空気
により弾性変形している時、排気通路に高圧の空気が流
れてもすぐには連通路と排気通路を遮断することができ
ず、低圧の空気を排気するバルブブロックの連通路に高
圧の空気が逆流するという問題点があった。

【００１１】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたものであって、第１の目的は、コイルスプリングと
弁体とにより、排気通路から連通路に空気が逆流するの
を確実に防止することができるマニホールドバルブを提
供することにある。

【００１２】又、本発明の第２の目的は、コイルスプリ
ング及び弁体の個数を減らし、バルブブロックを構成す
る部品の点数を減らすことができるマニホールドバルブ
を提供することにある。

【００１３】更に、第３の目的は、コイルスプリング及
び弁体のバルブブロックへの組付作業を容易に行うこと
ができるマニホールドバルブを提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め、請求項１記載の発明は、バルブブロックにスプール
孔を形成するとともに、該スプール孔にスプールを移動
可能に収容し、前記スプール孔に給排ポート，給気通路
及び連通路をそれぞれ接続するとともに、該連通路に排
気通路を接続し、前記スプールの切換移動により給排ポ
ートを給気通路又は連通路に選択的に連通させ、複数の
バルブブロックを連結して各バルブブロックの給気通路
及び排気通路を連通させるマニホールドバルブにおい
て、前記バルブブロックに複数の給排ポート及び複数の
連通路を設けるとともに、バルブブロックには前記各連
通路を合流させる合流通路を形成し、この合流通路を排
気通路に連通し、合流通路と排気通路との間にコイルス
プリングを配設するとともに、そのコイルスプリングの
押圧力により常には合流通路と排気通路とを遮断し、合
流通路から排気通路に向かって流れる空気の圧力により
コイルスプリングの押圧力に抗して移動した時には合流
通路と排気通路とを連通させる弁体を設けた。

【００１５】請求項２記載の発明は、バルブブロックに
スプール孔を形成するとともに、該スプール孔にスプー
ルを移動可能に収容し、前記スプール孔に給排ポート，
給気通路及び連通路をそれぞれ接続するとともに、該連
通路に排気通路を接続し、前記スプールの切換移動によ
り給排ポートを給気通路又は連通路に選択的に連通さ
せ、複数のバルブブロックを連結して各バルブブロック
の給気通路及び排気通路を連通させるマニホールドバル
ブにおいて、前記各バルブブロックの連通路と排気通路
との間にコイルスプリングを配設するとともに、そのコ
イルスプリングの押圧力により常には連通路と排気通路
とを遮断し、連通路から排気通路に向かって流れる空気
の圧力によりコイルスプリングの押圧力に抗して移動し
た時には連通路と排気通路とを連通させる弁体を設け、
前記バルブブロックを、スプール孔が形成されたスプー
ルブロックと、排気通路が形成された排気ブロックとか
ら構成し、排気ブロックとスプールブロックとの対向面
にて連通路を形成し、その排気ブロックの前記対向面か
ら連通路と排気通路との間にコイルスプリングを介して
弁体を挿入し、更に前記弁体に当接するように弁座を圧
入した。

【００１６】

【００１７】

【作用】従って、請求項１及び請求項２の発明では、ス
プールが切り換えられて給排ポートと連通路が連通され
ると、空気が給排ポートから連通路に流入し、連通路内
を排気通路側に向かって流れる。そして、その空気の圧
力が弁体の連通路側にかかり、弁体はコイルスプリング
の押圧力に抗して移動する。この移動により連通路と排
気通路が連通して連通路内の空気が排気通路に排気され
る。この時、排気通路内に連通路から排気された空気よ
り高圧の空気が流れると、その高圧の空気の圧力が弁体
の排気通路側にかかり、弁体は連通路と排気通路とを遮
断する位置に戻る。この弁体はコイルスプリングにより
常に連通路と排気通路とを遮断する方向に押圧されてい
るため、高圧の空気の圧力が弁体の排気通路側にかかる
と、弁体は素早く連通路と排気通路とを遮断する位置に
戻る。

【００１８】特に、請求項１の発明では、バルブブロッ
クに複数の連通路が設けられ、その各連通路を合流させ
る合流通路が排気通路に連通される。従って、連通路が
複数あるにも拘わらず合流通路と排気通路との間にコイ
ルスプリングと弁体とがそれぞれ一つだけ配設される。

【００１９】請求項２の発明では、排気ブロックのスプ
ールブロックとの対向面から連通路と排気通路との間に
コイルスプリングを介して弁体が挿入されるとともに、
弁座が圧入される。そして、排気ブロックとスプールブ
ロックとを接合することにより、連通路と排気通路との
間にコイルスプリング，弁体及び弁座が組み付けられた
バルブブロックが形成される。

【００２０】

【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図１〜
図４に従って説明する。図１に示すように、マニホール
ドバルブとしてのマニホールド電磁弁１は複数の電磁弁
本体としてのバルブブロック２と、その複数のバルブブ
ロック２に並設された給排気ブロック３と、給排気ブロ
ック３及びバルブブロック２を両端から挟むように設け
られた一対のエンドブロック４とから構成されている。
そして、これら各ブロック２，３，４は、各ブロック
２，３，４の境界部分にそれぞれ上方からキー５を挿入
することにより互いに連結されている。即ち、各キー５
を差し込んだり抜いたりすることにより隣接する各ブロ
ック２，３，４の連結及び連結解除ができるようになっ
ている。又、前記給排気ブロック３の一側面には空気を
供給するための給気ポート６及び空気を排気するための
排気ポート７が開口している。この給気ポート６は図示
しないコンプレッサに接続され、コンプレッサから圧縮
エアが供給されるようになっている。又、前記排気ポー
ト７は図示しない消音器に接続され、消音器により排気
音を消音した後に外部に排気するようになっている。

【００２１】図２に示すように、バルブブロック２はス
プールブロック１０と排気ブロックとしての排気・パイ
ロットブロック１１とから構成されている。前記スプー
ルブロック１０には給気通路１２が形成され、排気・パ
イロットブロック１１には排気通路１３，パイロット給
気通路１４及びパイロット排気通路１５が形成されてい
る。そして、図１に示すように、複数のバルブブロック
２を連結した時には、各バルブブロック２の給気通路１
２同士，排気通路１３同士，パイロット給気通路１４同
士及びパイロット排気通路１５同士がそれぞれ連通して
共通の通路が形成される。又、複数のバルブブロック２
に給排気ブロック３を連結した時には、前記共通の給気
通路１２及びパイロット給気通路１４が給排気ブロック
３の給気ポート６に接続され、前記共通の排気通路１３
及びパイロット排気通路１５が給排気ブロック３の排気
ポート７に接続される。

【００２２】図２及び図３に示すように、スプールブロ
ック１０は主弁切換部１６と配管ベース部１７とから構
成されている。前記主弁切換部１６は切換本体部１６ａ
とその切換本体部１６ａの両端に配設された一対のパイ
ロット駆動部１６ｂとから構成されている。前記切換本
体部１６ａにはスプール孔１８が形成され、そのスプー
ル孔１８内にはスプール１９が図３の上下方向へ移動可
能に収容されている。前記各パイロット駆動部１６ｂの
スプール１９の両端に対応する位置にはピストン室Ｒ
１，Ｒ２が形成され、このピストン室Ｒ１，Ｒ２には一
対のピストン２０ａ，２０ｂが摺動可能に配設されてい
る。そして、各ピストン２０ａ，２０ｂはスプール１９
の端部に当接して該スプール１９を押圧するようになっ
ている。

【００２３】配管ベース部１７に形成された前記給気通
路１２は、主弁切換部１６のスプール孔１８に連通され
ている。又、配管ベース部１７には給気通路１２を挟ん
で第１の給排ポート２１と第２の給排ポート２２とが形
成され、各給排ポート２１，２２はスプール孔１８に連
通されている。

【００２４】スプールブロック１０の主弁切換部１６側
の一側には前記排気・パイロットブロック１１が連結さ
れている。前記排気・パイロットブロック１１は連結ベ
ース部２５と一対のパイロット弁部２６ａ，２６ｂとか
ら構成されている。又、一対のパイロット弁部２６ａ，
２６ｂは連結ベース部２５に嵌合するように形成された
本体カバーとしてのカバー２５ａにより覆われている。
連結ベース部２５には前記排気通路１３，パイロット給
気通路１４及びパイロット排気通路１５が形成されてい
る。又、連結ベース部２５のスプールブロック１０側に
は凹所が形成され、この凹所と前記スプールブロック１
０の側面とにより合流通路２７が形成されている。その
合流通路２７は排気通路１３に連通されている。又、前
記切換本体部１６ａには、合流通路２７と前記スプール
孔１８とを連通する第１の連通路２８及び第２の連通路
２９が形成されている。

【００２５】従って、スプール１９が第１の切換位置
（図３の紙面下側）に切り換えられると、第１の給排ポ
ート２１と給気通路１２とが連通するとともに、第２の
給排ポート２２が第２の連通路２９及び合流通路２７を
介して排気通路１３に連通する。即ち、給気通路１２か
ら第１の給排ポート２１側に空気が供給され、第２の給
排ポート２２側の空気が排気通路１３に排気される。
又、スプール１９が第２の切換位置（図３の紙面上側）
に切り換えられると、第２の給排ポート２２と給気通路
１２とが連通するとともに、第１の給排ポート２１が第
１の連通路２８及び合流通路２７を介して排気通路１３
に連通する。即ち、給気通路１２から第２の給排ポート
２２側に空気が供給され、第１の給排ポート２１側の空
気が排気通路１３に排気される。

【００２６】一方、連結ベース部２５に形成されたパイ
ロット給気通路１４及びパイロット排気通路１５から
は、一対のパイロット弁部２６ａ，２６ｂに向かってそ
れぞれパイロット空気供給通路３０ａ，３０ｂ及びパイ
ロット空気排気通路３１ａ，３１ｂが延びている。そし
て、パイロット空気供給通路３０ａとパイロット空気排
気通路３１ａとはパイロット弁部２６ａにて合流し、そ
の合流位置からはパイロット空気給排通路３２ａが延び
ている。パイロット空気給排通路３２ａはパイロット弁
部２６ａ，カバー２５ａ，連結ベース部２５及びパイロ
ット駆動部１６ｂを通ってピストン室Ｒ１に連通してい
る。又、パイロット空気供給通路３０ｂとパイロット空
気排気通路３１ｂとはパイロット弁部２６ｂにて合流
し、その合流位置からはパイロット空気給排通路３２ｂ
が延びている。パイロット空気給排通路３２ｂはパイロ
ット弁部２６ｂ，カバー２５ａ，連結ベース部２５，パ
イロット駆動部１６ｂを通って前記ピストン室Ｒ２に連
通している。

【００２７】パイロット弁部２６ａの内部にはソレノイ
ド３３ａを駆動源とするパイロット弁３４ａが備えら
れ、バイロット弁３４ａはパイロット空気供給通路３０
ａとパイロット空気排気通路３１ａとの合流位置に配置
されている。又、パイロット弁部２６ｂの内部にはソレ
ノイド３３ｂを駆動源とするパイロット弁３４ｂが備え
られ、パイロット弁３４ｂはパイロット空気供給通路３
０ｂとパイロット空気排気通路３１ｂとの合流位置に配
置されている。

【００２８】そして、各ソレノイド３３ａ，３３ｂの励
磁・消磁により各パイロット弁３４ａ，３４ｂが開閉制
御され、各パイロット弁３４ａ，３４ｂの開閉により前
記各ピストン室Ｒ１，Ｒ２にパイロット空気が給排され
る。更に、各ピストン室Ｒ１，Ｒ２にパイロット空気を
給排することによりスプール１９が切換移動するように
なっている。即ち、ピストン室Ｒ１にパイロット空気を
供給すると、そのパイロット空気圧によりスプール１９
が第１の切換位置に切り換えられ、ピストン室Ｒ２にパ
イロット空気を供給すると、そのパイロット空気圧によ
りスプール１９が第２の切換位置に切り換えられる。
尚、各パイロット弁３４ａ，３４ｂを開閉制御するため
の制御基板３５は、連結ベース部２５から一対のパイロ
ット弁部２６ａ，２６ｂ間に延びる取付部３６に取り付
けられている。

【００２９】図２に示すように、連結ベース部２５に
は、同連結ベース部２５の上方から下方に向かって第１
及び第２の手動パイロットスプール４０，４１が挿入さ
れている。図３に第１の手動パイロットスプール４０を
含むバルブブロック２の断面図、即ち、図２のバルブブ
ロック２を矢印Ａ−Ａ方向から見た断面図を示す。

【００３０】連結ベース部２５には上下方向に延び、パ
イロット給気通路１４に連通する連通穴４２が形成さ
れ、この連通穴４２には圧縮バネ４３を介して第１の手
動パイロットスプール４０が挿入されている。又、連通
穴４２は連結ベース部２５を通過するパイロット空気給
排通路３２ａを第１パイロット空気給排通路４４ａと第
２パイロット空気給排通路４５ａとに分割し、連通穴４
２内にて各パイロット空気給排通路４４ａ，４５ａを連
通させている。前記第１の手動パイロットスプール４０
の両端部にはそれぞれシール部材４６が設けられてい
る。

【００３１】前記第１の手動パイロットスプール４０は
圧縮バネ４３の付勢力により常には図３に示す上方位置
に配置されている。この位置では、第１及び第２のパイ
ロット空気給排通路４４ａ，４５ａが連通されるととも
に、下側のシール部材４６によりパイロット給気通路１
４と連通穴４２とが遮断されている。そして、カバー２
５ａに形成された操作孔４７から第１の手動パイロット
スプール４０を圧縮バネ４３に抗して押圧すると、上側
のシール部材４６により第１パイロット空気給排通路４
４ａと第２パイロット空気給排通路４５ａとが遮断され
る。又、下側のシール部材４６が下方に移動してパイロ
ット給気通路１４と連通穴４２とが連通する。即ち、パ
イロット給気通路１４内のパイロット空気は、パイロッ
ト弁３４ａを通過することなく連通穴４２，第１パイロ
ット空気給排通路４４ａを通ってピストン室Ｒ１に直接
供給されるようになっている。

【００３２】図４に第２の手動パイロットスプール４１
を含むバルブブロック２の断面図、即ち、図２のバルブ
ブロック２を矢印Ｂ−Ｂ方向から見た断面図を示す。連
結ベース部２５には上下方向に延び、パイロット給気通
路１４に連通する連通孔５０が形成され、この連通孔５
０には圧縮バネ５１を介して第２の手動パイロットスプ
ール４１が挿入されている。又、連通孔５０は連結ベー
ス部２５を通過するパイロット空気給排通路３２ｂを第
１パイロット空気給排通路４４ｂと第２パイロット空気
給排通路４５ｂとに分割し、連通孔５０内にて各パイロ
ット空気給排通路４４ｂ，４５ｂを連通させている。前
記第２の手動パイロットスプール４１の両端部にはそれ
ぞれシール部材５２が設けられている。

【００３３】前記第２の手動パイロットスプール４１は
圧縮バネ５１の付勢力により常には図４に示す上方位置
に配置されている。この位置では、第１及び第２のパイ
ロット空気給排通路４４ｂ，４５ｂが連通されるととも
に、下側のシール部材５２によりパイロット給気通路１
４と第１パイロット空気給排通路４４ｂとが遮断されて
いる。そして、カバー２５ａに形成された操作孔５３か
ら、第２の手動パイロットスプール４１を圧縮バネ５１
に抗して押圧すると、下側のシール部材５２が下方に移
動する。この下側のシール部材５２の移動により第１パ
イロット空気給排通路４４ｂと第２パイロット空気給排
通路４５ｂとが遮断されるとともに、パイロット給気通
路１４と第１パイロット空気給排通路４４ｂとが連通孔
５０を介して連通される。即ち、パイロット給気通路１
４内のパイロット空気は、パイロット弁３４ｂを通過す
ることなく連通孔５０，第１パイロット空気給排通路４
４ｂを通ってピストン室Ｒ２に直接供給されるようにな
っている。

【００３４】一方、図３に示すように、連結ベース部２
５の排気通路１３と合流通路２７との間には接続通路２
７ａが形成されている。その接続通路２７ａにはポペッ
ト弁５５が設けられている。接続通路２７ａの排気通路
１３側にはバネ受け５６が形成され、前記排気通路１３
にコイルスプリング５７がバネ受け５６に当接した状態
で収容されている。前記コイルスプリング５７の他端に
は樹脂，金属等の剛性を有する材質により構成された弁
体５８が配設されている。即ち、この弁体５８は空気の
圧力等により変形することがない。その弁体５８のコイ
ルスプリング５７の反対側からは弁座５９が圧入され、
同弁座５９が接続通路２７ａに固定されている。そし
て、弁体５８がコイルスプリング５７の押圧力により常
に弁座５９に押しつけられるようになっている。

【００３５】即ち、弁体５８は常には排気通路１３と合
流通路２７とを遮断している。又、弁体５８の合流通路
２７側に所定値以上の空気圧がかかるとコイルスプリン
グ５７の押圧力に抗して移動する。この移動により排気
通路１３と合流通路２７とが連通し、空気が合流通路２
７から排気通路１３に流れるようになっている。

【００３６】次に、上記のように構成されたマニホール
ド電磁弁１の作用を説明する。コイルスプリング５７及
び弁体５８をバルブブロック２に組み付けるには、スプ
ールブロック１０と排気・パイロットブロック１１とが
分離した状態で、排気・パイロットブロック１１の合流
通路２７を構成する凹所側から接続通路２７ａにコイル
スプリング５７を介して弁体５８を挿入する。そして、
弁体５８と反対側のコイルスプリング５７の端部をバネ
受け５６に当接させる。更に、前記凹所から接続通路２
７ａに弁座５８を前記弁体５８に当接するように圧入さ
せ、排気・パイロットブロック１１とスプールブロック
１０とを連結すればバルブブロック２にコイルスプリン
グ５７及び弁体５８が組み付けられる。

【００３７】次に、図３に示すように、ソレノイド３３
ａを励磁してパイロット弁３４ａを開弁すると、パイロ
ット給気通路１４内のパイロット空気がパイロット空気
供給通路３０ａ，パイロット空気給排通路３２ａを通っ
てピストン室Ｒ１に供給される。そして、ピストン室Ｒ
１に供給されたパイロット空気の空気圧によりスプール
１９が第１の切換位置に切り換えられ、給気通路１２と
第１の給排ポート２１とが連通し、第１の給気ポート２
１から空気がエアシリンダ等の空圧機器に供給される。

【００３８】又、スプール１９が第１の切換位置に切り
換えられたことにより、第２の給排ポート２２と第２の
連通路２９とが連通し、第２の給排ポート２２から第２
の連通路２９を介して合流通路２７に空気が流通する。
この空気の空気圧が合流通路２７と排気通路１３との間
に設けられたポペット弁５５の弁体５８にかかると、弁
体５８がコイルスプリング５７の押圧力に抗して移動す
る。この弁体５８の移動により合流通路２７と排気通路
１３とが連通し、合流通路２７内の空気が排気通路１３
に排気される。

【００３９】一方、ソレノイド３３ｂを励磁してパイロ
ット弁３４ｂを開弁すると、パイロット給気通路１４内
のパイロット空気がパイロット空気供給通路３０ｂ，パ
イロット空気給排通路３２ｂを通ってピストン室Ｒ２に
供給される。ピストン室Ｒ２に供給されたパイロット空
気の空気圧によりスプール１９が第２の切換位置に切り
換えられ、給気通路１２と第２の給排ポート２２とが連
通し、第２の給気ポート２２から空気がエアシリンダ等
の空圧機器に供給される。

【００４０】又、スプール１９が第２の切換位置に切り
換えられたことにより、第１の給排ポート２１と第１の
連通路２８とが連通し、第１の給排ポート２１から第１
の連通路２８を介して合流通路２７に空気が流通する。
そして、前記と同様に合流通路２７内の空気圧により弁
体５８が移動し、合流通路２７内の空気が排気通路１３
に排気される。このように各ソレノイド３３ａ，３３ｂ
を選択的に励磁することにより例えばエアシリンダの一
方の室と他方の室に空気を給排し、そのエアシリンダを
駆動することができる。

【００４１】尚、各ソレノイド３３ａ，３３ｂに電源が
供給されていない場合において、試験的にスプール１９
等の作動が正確に行われているか否かを確認するには、
第１の手動パイロットスプール４０及び第２の手動パイ
ロットスプール４１を操作する。

【００４２】即ち、連結ベース部２５に形成された第１
の手動パイロットスプール４０を手動により押し下げる
と、上側のシール部材４６が連結ベース部２５における
第１のパイロット空気給排通路４４ａと第２のパイロッ
ト空気給排通路４５ａとの間に移動する。そして、上側
のシール部材４６が第１のパイロット空気給排通路４４
ａと第２のパイロット空気給排通路４５ａを遮断する。
又、第１の手動パイロットスプール４０の押し下げによ
り下側のシール部材４６が下方に移動し、パイロット給
気通路１４と連通穴４２とが連通する。そして、パイロ
ット給気通路１４内の空気が連通穴４２及び第１のパイ
ロット空気給排通路４４ａを介してピストン室Ｒ１に直
接供給される。この場合、パイロット弁３４ａの開閉に
関係なくスプール１９が第１の切換位置に切り換えられ
る。

【００４３】又、図４に示すように、連結ベース部２５
に形成された第２の手動パイロットスプール４１を手動
により押し下げると、下側のシール部材５２が下方に移
動する。そして、下側のシール部材５２により連結ベー
ス部２５における第１のパイロット空気給排通路４４ｂ
と第２のパイロット空気給排通路４５ｂとを遮断され
る。又、第２の手動パイロットスプール４１の押し下げ
によりパイロット給気通路１４と連通孔５０とが連通す
る。そして、パイロット給気通路１４内の空気が連通孔
５０及び第１のパイロット空気給排通路４４ｂを介して
ピストン室Ｒ２に直接供給される。この場合、パイロッ
ト弁３４ｂの開閉に関係なくスプール１９が第２の切換
位置に切り換えられる。

【００４４】又、各バルブブロック２から排気通路１３
に排気された空気は、各バルブブロック２を連結した時
に各バルブブロック２の排気通路１３同士が連通して形
成された共通の通路を流通した後、給排気ブロック３の
排気ポート７を介して外部に排気される。

【００４５】次に、あるバルブブロック２において空気
が連結ベース部２５の合流通路２７に流入すると、その
空気の圧力により弁体５８がコイルスプリング５７に抗
して移動する。そして、その弁体５８の移動により合流
通路２７と排気通路１３とが連通して空気が排気通路１
３に排気され、この排気の終了直前には排気通路１３に
排気される空気が低圧となる。この時、他のバルブブロ
ック２から空気が排気通路１３に排気されると、前記排
気終了直前のバルブブロック２から排気される空気より
高圧の空気が共通の排気通路１３に流通する。そして、
その空気の圧力が排気終了直前のバルブブロック２の弁
体５８にかかると、弁体５８は合流通路２７と排気通路
１３とを遮断する方向に素早く移動する。即ち、弁体５
８はコイルスプリング５７により常に合流通路２７と排
気通路１３とを遮断する方向に積極的に押圧されている
ため、閉弁動作が素早く行われて合流通路２７への空気
の逆流が防止される。

【００４６】以上詳述したように本実施例では、合流通
路２７と排気通路１３とを連通遮断する弁体５８を剛性
の高い材質により構成するとともに、その弁体５８をコ
イルスプリング５７により常に合流通路２７と排気通路
１３とを遮断する方向に積極的に押圧している。そのた
め、低圧の空気を排気通路に排気するために弁体５８が
開弁している時に、共通の排気通路１３に高圧の空気が
流れても弁体５８は従来と異なり素早く合流通路２７と
排気通路１３とを遮断する。従って、合流通路２７に高
圧の空気が逆流するのを確実に防止することができる。

【００４７】又、第１及び第２の連通路２８，２９を合
流通路２７に連通させ、その合流通路２７と排気通路１
３とを連通する接続通路２７ａにポペット弁５５を設け
た。そのため、連通路が２つあるにも拘わらずポペット
弁５５を一つ設けるだけでよく、バルブブロック２を構
成する部品の点数を減らすことができる。

【００４８】更に、バルブブロック２をスプールブロッ
ク１０と排気・パイロットブロック１１とから構成し、
コイルスプリング５７，弁体５８及び弁座５９を排気・
パイロットブロック１１から開口する通路へ順次組み付
けるようになっている。従って、コイルスプリング５７
及び弁体５８のバルブブロック２への組付作業を容易に
行うことができる。

【００４９】又、本実施例では、複数のバルブブロック
２，給排気ブロック３及びエンドブロック４の境界部分
にそれぞれ上方からキー５を挿入することにより各ブロ
ック２，３，４を互いに連結した。従って、キー５の頭
部がマニホールド電磁弁１の上側に見えるため、各ブロ
ック２，３，４の境界部分にキー５が挿入されているが
どうか確認し易くなる。

【００５０】更に、本実施例では、パイロット空気給排
通路３２ａ，３２ｂをパイロット弁部２６ａ，２６ｂ，
カバー２５ａ，連結ベース部２５及びパイロット駆動部
１６ｂを通過するように形成した。そのため、パイロッ
ト弁部２６ａ，２６ｂ，カバー２５ａ，連結ベース部２
５及びパイロット駆動部１６ｂにパイロット空気給排通
路３２ａ，３２ｂを構成する通路を形成し、それら各部
２６ａ，２６ｂ，２５ａ，２５，１６ｂを連結すること
によりパイロット空気給排通路３２ａ，３２ｂが形成さ
れる。従って、バルブブロック２にパイロット空気給排
通路３２ａ，３２ｂを形成し易くなる。

【００５１】尚、本発明は上記実施例に限定されるもの
ではなく、例えば以下のように変更して具体化してもよ
い。 （１）本実施例では、パイロット式電磁弁のバルブブロ
ック２を例示したが、バルブブロック２をソレノイドの
電磁力によりスプール１９を直接切り換える電磁弁とし
てもよい。この場合も実施例と同様に空気の逆流を防止
することができる。

【００５２】（２）本実施例では、第１及び第２の連通
路２８，２９を合流通路２７に連通し、合流通路２７と
排気通路１３とを連通する接続通路２７ａにポペット弁
５５を設けたが、本発明はこれに限定されない。即ち、
第１及び第２の連通路２８，２９を直接排気通路１３に
接続し、その各連通路２８，２９と排気通路１３との接
続部分にそれぞれポペット弁５５を設けてもよい。この
場合も実施例と同様に空気の逆流を防止することができ
る。

【００５３】（３）スプールブロック１０と排気・パイ
ロットブロック１１とを一体形成してもよい。この場
合、コイルスプリング５７及び弁体５８を排気通路１３
側から接続通路２７ａに挿入すればよい。

【００５４】

【００５５】

【００５６】

【発明の効果】以上詳述したように請求項１及び請求項
２記載の発明では、弁体が連通路と排気通路とを連通さ
せる位置にあっても、高圧の空気の圧力が弁体の排気通
路側にかかると、弁体は素早く連通路と排気通路とを遮
断する位置に戻る。従って、排気通路を流れる空気が連
通路に逆流するのを確実に防止することができる。

【００５７】特に、請求項１記載の発明では、複数の連
通路を合流通路により合流させ、その合流通路と排気通
路との間にコイルスプリングと弁体を配設した。そのた
め、連通路が複数あるにも拘わらず、コイルスプリング
と弁体を一つ配設するだけでよく、コイルスプリング及
び弁体の個数を減らすことができる。その結果、バルブ
ブロックを構成する部品の点数を減らすことができる。

【００５８】請求項２記載の発明では、バルブブロック
をスプールブロックと排気ブロックとから構成したた
め、連通路と排気通路との間にコイルスプリングと弁体
を組み付け易くなる。従って、コイルスプリング及び弁
体のバルブブロックへの組付作業を容易に行うことがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施例のマニホールドバルブを示す斜視図で
ある。

【図２】バルブブロックを示す斜視図である。

【図３】図２のバルブブロックを矢印Ａ−Ａ方向から見
た断面図である。

【図４】図２のバルブブロックを矢印Ｂ−Ｂ方向から見
た断面図である。

【符号の説明】

１…マニホールドバルブとしてのマニホールド電磁弁、
１０…スプールブロック、１１…排気ブロックとしての
排気・パイロットブロック、１２…供給通路、１３…排
気通路、１８…スプール孔、１９…スプール、２１…第
１の給排ポート、２２…第２の給排ポート、２７…合流
通路、２８…第１の連通路、２９…第２の連通路、５７
…コイルスプリング、５８…弁体。

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 バルブブロック（２）にスプール孔（１
   ８）を形成するとともに、該スプール孔（１８）にスプ
   ール（１９）を移動可能に収容し、前記スプール孔（１
   ８）に給排ポート（２１，２２），給気通路（１２）及
   び連通路（２７，２８，２９）をそれぞれ接続するとと
   もに、該連通路（２７，２８，２９）に排気通路（１
   ３）を接続し、前記スプール（１９）の切換移動により
   給排ポート（２１，２２）を給気通路（１２）又は連通
   路（２７，２８，２９）に選択的に連通させ、複数のバ
   ルブブロック（２）を連結して各バルブブロック（２）
   の給気通路（１２）及び排気通路（１３）を連通させる
   マニホールドバルブにおいて、前記バルブブロック（２）に複数の給排ポート（２１，
   ２２）及び複数の連通路（２８，２９）を設けるととも
   に、バルブブロック（２）には前記各連通路（２８，２
   ９）を合流させる合流通路（２７）を形成し、この合流
   通路（２７）を排気通路（１３）に連通し、合流通路
   （２７） と排気通路（１３）の間にコイルスプリング
   （５７）を配設するとともに、そのコイルスプリング
   （５７）の押圧力により常には合流通路（２７）と排気
   通路（１３）とを遮断し、合流通路（２７）から排気通
   路（１３）に向かって流れる空気の圧力によりコイルス
   プリング（５７）の押圧力に抗して移動した時には合流
   通路（２７）と排気通路（１３）とを連通させる弁体
   （５８）を設けたマニホールドバルブ。
2. 【請求項２】 バルブブロック（２）にスプール孔（１
   ８）を形成するとともに、該スプール孔（１８）にスプ
   ール（１９）を移動可能に収容し、前記スプール孔（１
   ８）に給排ポート（２１，２２），給気通路（１２）及
   び連通路（２７，２８，２９）をそれぞれ接続するとと
   もに、該連通路（２７，２８，２９）に排気通路（１
   ３）を接続し、前記スプール（１９）の切換移動により
   給排ポート（２１，２２）を給気通路（１２）又は連通
   路（２７，２８，２９）に選択的に連通させ、複数のバ
   ルブブロック（２）を連結して各バルブブロック（２）
   の給気通路（１２）及び排気通路（１３）を連通させる
   マニホールドバルブにおいて、 前記各バルブブロック（２）の連通路（２７，２８，２
   ９）と排気通路（１３ ）との間にコイルスプリング（５
   ７）を配設するとともに、そのコイルスプリング（５
   ７）の押圧力により常には連通路（２７，２８，２９）
   と排気通路（１３）とを遮断し、連通路（２７，２８，
   ２９）から排気通路（１３）に向かって流れる空気の圧
   力によりコイルスプリング（５７）の押圧力に抗して移
   動した時には連通路（２７，２８，２９）と排気通路
   （１３）とを連通させる弁体（５８）を設け、前記バル
   ブブロック（２）を、スプール孔（１８）が形成された
   スプールブロック（１０）と、排気通路（１３）が形成
   された排気ブロック（１１）とから構成し、排気ブロッ
   ク（１１）とスプールブロック（１０）との対向面にて
   連通路（２７，２８，２９）を形成し、その排気ブロッ
   ク（１１）の前記対向面から連通路（２７，２８，２
   ９）と排気通路（１３）との間にコイルスプリング（５
   ７）を介して弁体（５８）を挿入し、更に前記弁体（５
   ８）に当接するように弁座（５９）を圧入したマニホー
   ルドバルブ。