JP2719759B2 - Freezing chuck and its cooling device - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】工作機械、特に平面研削盤、フラ
イス盤などのベッド上にワークを載置固定する冷凍チャ
ックの構造、その放熱および切削、研削剤の注液方法に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a structure of a freezing chuck for mounting and fixing a work on a machine tool, particularly a bed such as a surface grinder, a milling machine, etc., a heat radiation and cutting thereof, and a method of pouring an abrasive.

【０００２】[0002]

【従来の技術】液体を冷凍、凝固させて被加工物（以下
においてワークと称す）を固定するものとしては特公昭
６２−４０１３１号、実開平１−７４０３４号に開示さ
れている。前者は、固定すべきワークを冷凍枠となるキ
ャビティ内に収容し、この冷凍枠ごとワークを冷凍庫へ
投入して例えば−３０℃に冷却したのち、そのキャビテ
ィ内に液体を注入し、この液体が凍結されることによっ
てワークを固定するもである。2. Description of the Related Art Japanese Patent Publication No. Sho 62-40131 and Japanese Utility Model Laid-Open Publication No. 1-74034 disclose a method of fixing a workpiece (hereinafter referred to as a work) by freezing and solidifying a liquid. In the former, the work to be fixed is accommodated in a cavity serving as a freezing frame, the work is put into a freezer together with the freezing frame and cooled to, for example, −30 ° C., and then a liquid is injected into the cavity. The work is fixed by being frozen.

【０００３】また、後者はワークと液体を収容するキャ
ビティを設けた取付台（チャック）を使用することは前
者と同様で、そのキャビティ内にワークと水を入れ、取
付台内部に形成した熱媒体用通路に冷却媒体、例えば液
体窒素ガスを放出して凍結させことによってワークを冷
凍固定し、機械加工後はその通路に加熱媒体、例えば温
水を供給して氷を溶かし、ワークを取り出すものであ
る。The latter uses a mounting table (chuck) provided with a cavity for accommodating a work and a liquid in the same manner as the former. The work and water are put in the cavity, and a heat medium formed inside the mounting table is used. The work is frozen and fixed by releasing a cooling medium, for example, liquid nitrogen gas, into the passage for freezing and, after machining, supplying a heating medium, for example, hot water to the passage to melt the ice and take out the work. .

【０００４】一方、研削（切削）加工において加工面に
研削剤（または切削剤、以下同様）を与えて研削点の発
熱を発散させる必要があるが、上記の冷凍チャックにあ
っては研削剤が流れてワークとチャックの凍結部の温度
を上昇させてワークの保持力を低下させ、終にはワーク
の離脱を招く危険があり研削剤を使用しないのが通例で
ある。また、やむを得ず研削剤を使用する場合には第５
図に示すように、断熱性シートＳで加工面のみ露出させ
てワークＷと冷凍チャックＣ部を被覆し、研削剤がワー
ク周辺に至り氷を溶かすことのないようにする方法が採
られている。On the other hand, in the grinding (cutting) process, it is necessary to give a grinding agent (or a cutting agent, the same applies hereinafter) to a work surface to dissipate the heat generated at the grinding point. Usually, the temperature of the freezing portion of the work and the chuck is increased to reduce the holding force of the work, and eventually the work may be detached, so that no abrasive is used. In addition, when an abrasive is unavoidably used, the fifth
As shown in the figure, a method is adopted in which only the processing surface is exposed with the heat insulating sheet S to cover the work W and the freezing chuck C so that the abrasive does not reach the periphery of the work and melt the ice. .

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上記の冷凍チャックに
おいては、ワークと冷凍枠を予め所要の温度に冷却する
ための冷凍庫が必要であり、加工終了後にはワークを冷
凍枠から取り出すための加熱装置が必要で、設備費が高
価なことのみならず、多数のワークを連続加工する場合
には大きな冷却装置、加熱装置と多数の冷凍枠（ワーク
の外観寸法に応じたもの）を必要とし、経済性、作業能
率などに問題がある。In the above-mentioned refrigerating chuck, a freezer for cooling the work and the freezing frame to a required temperature in advance is required, and a heating device for taking out the work from the freezing frame after the processing is completed. Not only is equipment cost high, but also when large numbers of workpieces are continuously processed, a large cooling device, heating device and many freezing frames (depending on the external dimensions of the workpiece) are required, and There are problems with performance and work efficiency.

【０００６】また、キャビティを有し、冷媒通路に冷却
媒体Ｇおよび加熱媒体を交互に通過させる方法において
は、液体の冷却装置と加熱装置が共に必要であり、特に
液体窒素ガスは消耗され、したがって設備費およびラン
ニングコストが高価になることが問題である。また、研
削剤の使用においての断熱シートの被覆は薄いワークに
適用することができない欠点があった。In the method of having a cavity and allowing the cooling medium G and the heating medium to pass alternately through the refrigerant passage, both a liquid cooling device and a heating device are required, and in particular, liquid nitrogen gas is consumed, and The problem is that equipment costs and running costs are high. Further, there is a disadvantage that the coating of the heat insulating sheet in the use of the abrasive cannot be applied to a thin work.

【０００７】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、ペルチェ効果
を有する熱電冷却素子（以下にペルチェ素子と称す）が
その一面において冷却性能を有し、その反対側面が発熱
する性質を利用した冷凍チャックにおいて、ペルチェ素
子の裏面側に氷点下に冷却された液体を循環させてその
発熱を取り去ると共に、その冷却された液体を研削液と
しても使用することによってワークの凍結保持力を損な
うことなく良好な研削能率と研削面を得ようとするもの
である。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a refrigeration chuck utilizing the property that a thermoelectric cooling element having a Peltier effect (hereinafter referred to as a Peltier element) has a cooling performance on one side and generates heat on the opposite side. Circulating liquid cooled below the freezing point on the back side of the Peltier element to remove the heat generated, and using the cooled liquid as a grinding liquid to achieve good grinding without impairing the freezing and holding power of the work. The goal is to obtain efficiency and a ground surface.

【０００８】研削剤液は、その必要とされる性能、すな
わち冷却性能と潤滑性能を有する不凍液を冷凍機で冷却
して使用するもので、具体的にはアルカリ性水溶液とエ
チレングリコールの混合液、乳化油とエチレングリコー
ルの混合液又はメチルアルコールであり、冷凍装置で０
℃以下に冷却し、かつ、その循環系に３００メッシュの
網およびろ紙（布）を装填したろ過装置を介在させて研
削液の清浄性を保ったものである。The abrasive liquid is used by cooling an antifreeze having the required performance, that is, cooling performance and lubricating performance, with a refrigerator. Specifically, a mixed liquid of an alkaline aqueous solution and ethylene glycol, It is a mixture of oil and ethylene glycol or methyl alcohol.
The cooling of the grinding fluid is maintained at a temperature of not more than 0 ° C. and the circulation system is interposed with a filtration device equipped with a 300-mesh net and filter paper (cloth).

【０００９】[0009]

【作用】ワーク取付台に埋設したペルチェ素子は取付台
上部を急速に冷却し、ワークと取付台との間の大気中の
水分または少量滴下した水を凍結させ、取付台上のワー
クを強力に固定する。このように氷結によるチャッキン
グであるためにワークの材質を問うことなく、また、何
らの外力も加わらないため、脆性材料であっても割れ欠
け、歪みを生じることはなく固定される。また、そのワ
ークの取り外しはペルチェ素子に加える電流の極性を逆
にして取付台表面側を加熱することによりなされ、ボイ
ラーなどの加熱装置を必要としない。[Function] The Peltier element buried in the work mount rapidly cools the upper part of the mount, freezes the moisture in the air or a small amount of water dropped between the work and the mount, and strengthens the work on the mount. Fix it. As described above, since the chucking is performed by freezing, the work material is not questioned and no external force is applied. Therefore, even a brittle material is fixed without cracking or distortion. In addition, the work is removed by reversing the polarity of the current applied to the Peltier element and heating the mounting table surface side, and does not require a heating device such as a boiler.

【００１０】また、研削を行うに際して、工具とワーク
の間に生ずる研削、摩擦熱を除去するために氷点下に冷
却した研削液を送液することによって砥石寿命の延長が
図られると共に、ＳＵＳ３０４やチタン合金、セラミッ
クスおよびタングステン等の焼結材など各種の難加工材
の研削加工に適用してその加工面の性状を改善すること
ができる。また、ワーク下面に流れ落ちた冷却水で冷凍
チャックの保持力が低下することがなくなった。In grinding, the grinding wheel life is extended by sending grinding fluid cooled below freezing to remove the friction and frictional heat generated between the tool and the work. The present invention can be applied to grinding of various difficult-to-machine materials such as alloys, ceramics, and sintered materials such as tungsten to improve properties of the machined surface. Further, the holding force of the freezing chuck is not reduced by the cooling water flowing down to the lower surface of the work.

【００１１】[0011]

【実施例】以下に、本発明の一実施例を図面に基づいて
説明する。図１は本発明に係る冷凍チャックと冷却回路
の構成を示すもので、平面研削盤上に取り付けられた電
磁チャックＭの上に、ペルチェ素子を埋設した冷凍チャ
ック１がその磁力により固定されている。そのチャック
１上にワークＷが載置され、研削砥石Ｔが回転してワー
クＷ表面を研削する。液体冷却（冷凍）装置１０からポ
ンプ１１を介して圧送される冷却液は途中で分岐して一
方は送液管のノズル１１ｎから砥石ＴとワークＷとの
間、すなわち研削加工点に送水されて加工熱を除去し、
他方は冷凍チャック１の下部に穿孔された水路中を流動
してペルチェ素子を冷却し、ろ過機を経て水槽１４ａに
戻る。そして、この冷却および研削液は冷凍装置１０内
に組み込まれたＰＩＤ制御装置１３のコントロールによ
って冷凍機１４により初期設定温度に再冷却されて前記
の系内を循環する。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a configuration of a refrigeration chuck and a cooling circuit according to the present invention. A refrigeration chuck 1 in which a Peltier element is embedded is fixed on an electromagnetic chuck M mounted on a surface grinding machine by its magnetic force. . The work W is placed on the chuck 1, and the grinding wheel T rotates to grind the surface of the work W. The cooling liquid pumped from the liquid cooling (refrigeration) device 10 via the pump 11 branches on the way, and one of the coolants is fed from the nozzle 11n of the liquid sending pipe to between the grindstone T and the work W, that is, the grinding point. Removes processing heat,
The other flows through a water channel drilled in the lower part of the freezing chuck 1 to cool the Peltier element, and returns to the water tank 14a via the filter. Then, the cooling and grinding fluid is recooled to the initial set temperature by the refrigerator 14 under the control of the PID control device 13 incorporated in the refrigerator 10, and circulates in the system.

【００１２】冷凍チャック１は図２〜図４に示すよう
に、熱伝導性の良好な材料例えばアルミニューム合金か
らなる基盤２と、その上面の四辺を囲う断熱性の良好な
材料、例えば合成ゴム（ネオプレン等）またはふっ素樹
脂等からなる枠３と、その内側に敷設した適宜枚数のペ
ルチェ素子４、４と、その上面に載置した熱伝導性の良
好な材料例えば銅合金からなる取付盤６とからなり、ボ
ルト締めなどにより一体化されている。そのペルチェ素
子は直流電源５にリード線５ａを介して直列（並列でも
よい）または部分的に直列と並列を組み合わせるなどに
より接続されたものである。この取付盤６には熱電対な
どの温度センサー７がその中心近傍にまで挿入されてお
り、常に取付盤６の現在温度を測定してコントロール装
置に送りＰＩＤ制御かなされている。As shown in FIGS. 2 to 4, the refrigerating chuck 1 has a base 2 made of a material having good heat conductivity, for example, an aluminum alloy, and a material having good heat insulation surrounding the four sides of its upper surface, for example, synthetic rubber. (A neoprene or the like) or a frame 3 made of fluororesin or the like, an appropriate number of Peltier elements 4 and 4 laid inside thereof, and a mounting plate 6 made of a material having good thermal conductivity, for example, a copper alloy placed on the upper surface thereof And are integrated by bolting or the like. The Peltier element is connected to the DC power supply 5 via a lead wire 5a in series (or in parallel) or partially in combination of series and parallel. A temperature sensor 7 such as a thermocouple is inserted into the mounting panel 6 to the vicinity of the center thereof, and the current temperature of the mounting panel 6 is constantly measured and sent to a control device for PID control.

【００１３】この実施例においては、冷凍チャック１の
取付盤６をＡｌ合金で１５０×３００×２５ｍｍの寸法
とし、下記のペルチェ素子１２枚を直列につなぎ、それ
に直流電源より印加電圧１５ＶＣ、５．５アンペアの電
流が流される。この装置においてワークの着脱のための
冷却および昇温（電気極性の切り替えによる）にそれぞ
れ３０秒程度の時間を要した。In this embodiment, the mounting plate 6 of the refrigerating chuck 1 is made of Al alloy and has a size of 150 × 300 × 25 mm, and the following 12 Peltier elements are connected in series. A current of 5 amps is passed. In this apparatus, it took about 30 seconds to cool and raise the temperature (by switching the electrical polarity) for attaching and detaching the work.

【００１４】この実施例においてはペルチェ素子とし
て、アメリカのメルコア社製のもの（商品名 サーモモ
ジュール ＤＴ１０６９）を使用した。その規格は次の
通りである。 最大吸熱量５１．５Ｗ、最大電流５．５Ａ、最大電圧１
５．１Ｖ、最大温度差（真空中）６４℃、素子寸法４
０．０１×４０．０１×４．１１ｍｍ なお、取付盤の大きさ、厚さあるいはワークの質量によ
ってペルチェ素子の数を増減させる必要があるが、この
実施例においては次のような構成とした。 取付盤寸法 ペルチェ素子数 電源容量（単相２００Ｖ） １００×１００×１５ｍｍ ２ １２０Ｗ １００×１７５×１５ｍｍ ４ ２４０Ｗ １５０×１５０×１５ｍｍ ６ ３６０Ｗ １５０×３００×１５ｍｍ １２ ７２０ＷIn this embodiment, a Peltier device manufactured by Mercoa Corporation of America (trade name: Thermo Module DT1069) was used. The standard is as follows. Maximum heat absorption 51.5W, maximum current 5.5A, maximum voltage 1
5.1V, maximum temperature difference (in vacuum) 64 ° C, element size 4
0.01 × 40.01 × 4.11 mm It is necessary to increase or decrease the number of Peltier elements depending on the size and thickness of the mounting board or the mass of the work. In this embodiment, the following configuration is adopted. . Mounting board size Number of Peltier elements Power supply capacity (single-phase 200V) 100 × 100 × 15mm 2 120W 100 × 175 × 15mm 4 240W 150 × 150 × 15mm 6 360W 150 × 300 × 15mm 12 720W

【００１５】基盤２の内部には冷却水通路２ｃが縦横、
かつ、周回状に穿孔されており、そこに冷凍機によって
チャック表面の冷凍温度とほぼ同温度に冷却された冷却
液が流動して基盤２を冷却している。したがって冷却水
はその表面に接触して装着されているペルチェ素子４、
４の下面（ワークをチャッキングしているときの発熱
面）から熱を奪い、冷凍機まで運んで再冷却する。ま
た、基盤の裏面の数箇所に磁性を有する金属、例えば円
柱状の鉄部材２ｓ、２ｓが埋設されている。したがっ
て、この冷凍チャック１はその鉄部材２ｓ、２ｓによっ
て電磁チャックＭ上に容易に取り付けられる。A cooling water passage 2c is provided in the base 2 vertically and horizontally.
The cooling liquid cooled to a temperature substantially equal to the freezing temperature of the chuck surface by the refrigerator flows therein to cool the base 2. Therefore, the cooling water is applied to the Peltier element 4, which is mounted in contact with the surface,
Heat is taken from the lower surface of 4 (the heat generating surface when the workpiece is chucked), transported to a refrigerator, and recooled. Further, a metal having magnetism, for example, a columnar iron member 2s, 2s is embedded in several places on the back surface of the base. Therefore, the freezing chuck 1 is easily mounted on the electromagnetic chuck M by the iron members 2s and 2s.

【００１６】冷却液の冷却装置１０は、送水ポンプ１１
と還流する冷却液を清浄にする二段階のろ過器１２ａ、
１２ｂと水槽１４ａを伴った冷凍機１４および液体冷却
温度を制御するＰＩＤコントロール装置１３からなって
いる。第１ろ過器はステンレス線からなる金網（３００
メッシュ）を装着したものであり、第２ろ過器にはろ過
能力１〜２．５ミクロンのろ紙（布）が装着されてい
る。これによって冷却液から研削粉および脱落した砥粒
が除かれ、したがってこれらの固形物がワークを傷をつ
ける事が防がれる。The cooling device 10 for cooling liquid includes a water supply pump 11
A two-stage filter 12a for purifying the cooling liquid refluxing,
The refrigerator 14 includes a refrigerator 12b and a water tank 14a, and a PID control device 13 for controlling a liquid cooling temperature. The first filter is a wire mesh (300
The second filter is provided with filter paper (cloth) having a filtration capacity of 1 to 2.5 microns. This removes the grinding powder and the dropped abrasive grains from the coolant, thus preventing these solids from damaging the workpiece.

【００１７】研削剤を兼用する冷却液はマイナス９７℃
からマイナス３０℃の間で使用する場合にはメチルアル
コールを、また、マイナス３０℃から常温の間で使用す
るときには市販のアルカリ性水溶液からなる研削剤とエ
チレングリコールとの混合液（混合割合は１０：９０〜
９０：１０）を用いる。また、フライス加工などの切削
剤として使用する場合には切削剤としての乳化油とエチ
レングリコールの混合液（混合割合は１０：９０〜９
０：１０）を使用する。The cooling liquid which also serves as an abrasive is minus 97 ° C.
When used between −30 ° C. and room temperature, methyl alcohol is used when the temperature is between −30 ° C. and −30 ° C., and a mixture of a commercially available alkaline aqueous solution of abrasive and ethylene glycol (mixing ratio is 10: 90 ~
90:10). When used as a cutting agent for milling or the like, a mixture of emulsified oil and ethylene glycol as a cutting agent (mixing ratio is 10:90 to 9
0:10).

【００１８】前記のペルチェ素子を装着した冷凍チャッ
クの保持力は、チャック表面温度をマイナス２０℃とし
たとき、電磁チャックＭに比べて水平方向で５倍、垂直
方向で２倍であった。各種条件においての冷凍温度と固
定力の関係を調査した結果、研削加工においてはチャッ
クの冷凍温度はマイナス３０℃〜マイナス４℃の範囲で
使用することが可能であることがわかった。これ以下の
低温度領域で使用すると研削剤や大気中の水分がワーク
とチャックの間に浸透し、その間の凍結氷が成長してワ
ークを持ち上げることになり、逆に固定力が減少すると
共にワークの基準面（チャックへの取付面）の浮上によ
り加工精度を悪くする結果となる。したがって望ましく
は冷凍温度をマイナス２０℃〜マイナス８℃である。When the surface temperature of the freezer was set to minus 20 ° C., the holding force of the refrigerating chuck equipped with the Peltier element was 5 times in the horizontal direction and twice in the vertical direction as compared with the electromagnetic chuck M. As a result of investigating the relationship between the freezing temperature and the fixing force under various conditions, it was found that the freezing temperature of the chuck can be used in the range of -30 ° C to -4 ° C in grinding. When used in a low temperature range below this, the abrasive and moisture in the atmosphere penetrate between the work and the chuck, and frozen ice grows between them and lifts up the work. The machining accuracy is deteriorated by the floating of the reference surface (the surface to be attached to the chuck). Therefore, the freezing temperature is desirably −20 ° C. to −8 ° C.

【００１９】研削剤の温度はチャックの冷凍温度と同一
であることが望ましい。例えばチタン合金（Ｔｉ−４Ａ
Ｉ−６Ｖ）およびＳＵＳ３０５をＷＡ砥石で研削する場
合、マイナス２０℃に冷却した研削剤を使用したところ
砥石の摩耗量が小さくなる結果がえられているが、ＳＫ
Ｄ１１では０℃前後の研削剤の適用が研削面のＲｍａｘ
を良好にする。したがって研削剤としての温度は０℃以
下が望ましく、難削材にはより低温度のものがよいこと
がわかった。The temperature of the abrasive is desirably the same as the freezing temperature of the chuck. For example, a titanium alloy (Ti-4A)
In the case of grinding I-6V) and SUS305 with a WA grindstone, the use of an abrasive cooled to minus 20 ° C. has resulted in a decrease in the wear amount of the grindstone.
In D11, the application of the abrasive at around 0 ° C is the Rmax of the ground surface.
To be good. Therefore, it was found that the temperature as an abrasive is desirably 0 ° C. or lower, and that a material having a lower temperature is preferable for a difficult-to-cut material.

【００２０】[0020]

【発明の効果】冷凍チャックにおいて、ペルチェ効果を
有する熱電冷却素子（ペルチェ素子）を使用したので短
時間でワークを取り付け取り外しが可能になった。According to the present invention, a thermoelectric cooling element (Peltier element) having a Peltier effect is used in the freezing chuck, so that the work can be mounted and removed in a short time.

【００２１】研削加工における研削液は、ＰＩＤ制御を
適用して冷凍チャックの表面温度とほぼ同温度の冷却し
て使用しているために、研削液が原因でチャッキング部
分を解凍しワーク保持力が低下するという危険性はなく
なった。したがって、従来のようなワークおよびチャッ
クを断熱性シートで被覆して研削液の冠水を防護する等
の手段が不要になった。Since the grinding fluid used in the grinding process is cooled by using the PID control and has substantially the same temperature as the surface temperature of the freezing chuck, the chucking portion is thawed due to the grinding fluid and the work holding force is reduced. The danger of falling is gone. This eliminates the need for a conventional means for covering the work and the chuck with a heat insulating sheet to protect the grinding fluid from being flooded.

【００２２】研削剤としての冷却液が低温であるために
研削加工部の発熱を効率よく吸収除去できる。したがっ
て研削粉の砥石面への溶着が減少し、砥石の摩耗が少な
くまた、研削ワーク面の粗さ（Ｒｍａｘ）も小さくなる
効果が得らる。Since the temperature of the coolant as the abrasive is low, the heat generated in the grinding portion can be efficiently absorbed and removed. Therefore, the effect of reducing the welding of the grinding powder to the grindstone surface, reducing the wear of the grindstone, and reducing the roughness (Rmax) of the grinding work surface can be obtained.

【００２３】研削剤をメッシュおよびろ紙（布）の２段
階ろ過を行ったのでセラミックスなどの非磁性物質の微
細な研削粉も除去でき、したがって循環系の摩耗と装置
の故障を減少し、ワークの研削面を美麗にする効果が得
られる。また、フライス切削においては刃先の摩耗が減
少する。Since the abrasive is subjected to two-stage filtration of a mesh and a filter paper (cloth), fine grinding powder of non-magnetic substances such as ceramics can be removed, thereby reducing circulating system wear and equipment failure, and reducing work load. The effect of making the ground surface beautiful can be obtained. In milling, wear of the cutting edge is reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明のかかる装置の概要を示す正面図であ
る。FIG. 1 is a front view showing an outline of such an apparatus according to the present invention.

【図２】冷凍チャックの斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a freezing chuck.

【図３】取付盤を除いた状態の平面図である。FIG. 3 is a plan view in a state where a mounting board is removed.

【図４】基盤であって内部に設けた冷却水通路を点線で
示した底面図である。FIG. 4 is a bottom view in which a cooling water passage provided inside the base is indicated by a dotted line.

【図５】従来例を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 冷凍チャック ２ 基盤 ３ 枠 ４ ペルチェ素子 ５ 直流電源 ６ 取付盤 ７ 温度センサー １０ 冷凍装置 １１ 送水ポンプ １２ ろ過器 １３ ＰＩＤコントロール装置 １４ 冷凍機 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Freezing chuck 2 Base 3 Frame 4 Peltier element 5 DC power supply 6 Mounting board 7 Temperature sensor 10 Refrigeration apparatus 11 Water pump 12 Filter 13 PID control apparatus 14 Refrigerator

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】 基盤上に所定枚数のペルチェ素子を載置
し、その素子を枠体で囲い、該素子表面に接触するよう
に取付盤を重ねて締結一体化し、そのペルチェ素子を直
列または並列にて直流電源に接続し、該基盤内部に周回
させた冷却回路に０℃以下に冷却した液体を循環させ、
また同じ液体をワーク上の研削又は切削における加工部
位に注水噴霧することに特徴を有する冷凍チャック。1. A predetermined number of Peltier elements are placed on a base, the elements are surrounded by a frame, and a mounting plate is overlapped and fastened integrally so as to contact the element surface, and the Peltier elements are connected in series or in parallel. DC power source connected to the cooling circuits that were circulating in the interior base plate 0 ℃ circulates cooling liquid below by,
Further, a freezing chuck characterized in that the same liquid is injected and sprayed onto a processing portion in grinding or cutting on a work. 【請求項２】 冷凍チャックの冷却回路及び加工部位に
循環注水する冷却水の循環系にメッシュによるろ過とろ
紙（布）によるろ過装置を併設したことを特徴とする請
求項１記載の冷凍チャック。2. The refrigerating chuck according to claim 1, wherein a filtering device using a mesh and a filtering device using filter paper (cloth) are provided in the cooling circuit of the refrigerating chuck and a circulation system of the cooling water that circulates and injects water into the processing part.