JP2714286B2 - Metal vapor laser equipment - Google Patents
Metal vapor laser equipmentInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は金属蒸気レーザー装置に
係り、特に金属蒸気をレーザー媒体とし、放電状態を良
好にしてレーザー発振出力、効率等を向上するように構
成した金属蒸気レーザー装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a metal vapor laser apparatus, and more particularly to a metal vapor laser apparatus using a metal vapor as a laser medium to improve a laser discharge output and efficiency by improving a discharge state.
【0002】[0002]
【従来の技術】現在、産業上で利用されている代表的な
金属蒸気レーザー装置として、レーザーによるウラン濃
縮技術に用いられる銅蒸気レーザー装置があげられる。2. Description of the Related Art As a typical metal vapor laser apparatus currently used in industry, there is a copper vapor laser apparatus used for uranium enrichment technology by laser.
【0003】従来の金属蒸気レーザー装置の構成と動作
原理を図6を用いて説明する。図6において、符号1で
示す発振管の中心部には、セラミック材等の耐熱、耐電
性の炉芯管2が放電管として収容されている。この炉芯
管2の両端部には陽電極3および陰電極4が対向して設
置され、これら電極3,4はそれぞれ電極支持フランジ
5,6によって支持され、この電極3,4間に形成され
る放電空間7においてパルス二極放電が行われる。炉芯
管2内の底部には金属蒸気を発生するための例えば銅,
金,等の粒子状の金属蒸気源8が配置される。The configuration and operation principle of a conventional metal vapor laser device will be described with reference to FIG. In FIG. 6, a heat-resistant and electric-resistant furnace core tube 2 made of a ceramic material or the like is accommodated as a discharge tube in the center of the oscillation tube indicated by reference numeral 1. A positive electrode 3 and a negative electrode 4 are provided at both ends of the furnace core tube 2 so as to face each other. The electrodes 3 and 4 are supported by electrode support flanges 5 and 6, respectively, and are formed between the electrodes 3 and 4. In the discharge space 7, a pulse bipolar discharge is performed. For example, copper for generating metal vapor is provided at the bottom of the furnace core tube 2.
A metal vapor source 8 in the form of particles such as gold is disposed.
【0004】また、炉芯管2の外周囲にはアルミナファ
イバー等の材料からなる断熱材9が設けられ、その断熱
材9を所定位置に固定、保護するために、石英等で形成
した保護管10が断熱材9の外周囲に設けられている。保
護管10の外周囲には真空断熱層12を有して長尺の外部真
空容器11が設けられている。真空断熱層12は排気装置13
に接続している。外部真空容器11と電極支持フランジ4
との間にはブレーク管14が設けられている。Further, a heat insulating material 9 made of a material such as alumina fiber is provided around the outer periphery of the furnace core tube 2, and a protective tube made of quartz or the like is used to fix and protect the heat insulating material 9 at a predetermined position. 10 is provided around the outer periphery of the heat insulating material 9. A long external vacuum vessel 11 having a vacuum heat insulating layer 12 is provided around the outer periphery of the protective tube 10. Vacuum insulation layer 12 is exhaust device 13
Connected to External vacuum vessel 11 and electrode support flange 4
A break pipe 14 is provided between the two.
【0005】ブレーク管14は陽電極と陰電極4とを絶縁
するために外部真空容器11の端部、つまり通常陰極4側
に設置されている。電極支持フランジ5,6にはブルー
スター管24,25が接続されている。ブルースター管24,
25の端部にはウィンドウ19,20が取り付けられており、
ウィンドウ19,20の前方には出力ミラー22及び全反射ミ
ラー23が配置されている。[0005] The break tube 14 is provided at the end of the external vacuum vessel 11, that is, usually on the cathode 4 side, for insulating the positive electrode and the negative electrode 4. Brewster tubes 24, 25 are connected to the electrode support flanges 5, 6, respectively. Brewster tube 24,
Windows 19 and 20 are attached to the end of 25,
An output mirror 22 and a total reflection mirror 23 are arranged in front of the windows 19 and 20.
【0006】レーザー発振を行う操作は、まず排気装置
13を作動させブルースター管24を介して放電空間7内を
排気し、続いて、バッファガス供給源15からブルースタ
ー管25を介して放電空間7内にNe(ネオン)等のガス
を導入し、内部を一定圧力に保持する。[0006] The operation for performing the laser oscillation is, first, an exhaust device.
13 is operated to evacuate the discharge space 7 through the Brewster tube 24, and then a gas such as Ne (neon) is introduced into the discharge space 7 from the buffer gas supply source 15 through the Brewster tube 25. The inside is kept at a constant pressure.
【0007】この状態で高圧電源16、パルス回路17、パ
ルスドライブ電源18を起動すると、陽電極3と陰電極4
の間にパルス状高電圧が印加されて放電空間において放
電プラズマが形成される。この放電により炉芯管2にお
かれた蒸気源8が蒸発し、その蒸発原子は、プラズマ中
の電子が衝突して高いエネルギー準位に励起された後、
低準位に遷移する際に所定波長のレーザー光が発生す
る。放電空間7で発生したレーザー光はブルースター管
24,25に取り付けられたウィンドウ19,20を通過し、さ
らにレーザー光共振器21を構成する出力ミラー22、およ
び全反射ミラー23で繰り返し反射する間に増幅され、出
力ミラー22から出射される。When the high-voltage power supply 16, the pulse circuit 17, and the pulse drive power supply 18 are started in this state, the positive electrode 3 and the negative electrode 4 are activated.
During this period, a pulsed high voltage is applied to form a discharge plasma in the discharge space. This discharge causes the vapor source 8 placed in the furnace tube 2 to evaporate, and the evaporated atoms are excited to a high energy level by collision of electrons in the plasma.
At the time of transition to the low level, laser light of a predetermined wavelength is generated. The laser light generated in the discharge space 7 is a Brewster tube
The light passes through the windows 19 and 20 attached to the reference numerals 24 and 25, and is amplified while being repeatedly reflected by the output mirror 22 and the total reflection mirror 23 constituting the laser optical resonator 21, and is emitted from the output mirror 22.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】図2および図3は一般
的な金属蒸気レーザー装置の発振管のブレーク管両端に
印加される電圧と放電電流の波形を示したものである。
電圧のピークは約20〜25kvで約 100nsecの立ち上がり時
間で到達し、電流のピークは約1500〜2000Aで約150nse
cの立ち上がり時間で到達する。図4はこのような放電
が行われた場合、従来の金属蒸気レーザー装置の発振管
に加わる電界強度が最も高い位置を示したものである。
ブレーク管14と炉芯管2の間には上記の電圧に近い約20
〜25kvが加わっていたことが推定される。また、図5
(A),(B)は発振管1中の放電パス(流路)を示す
図である。この発振管径方向に加わる強い電界により、
図5(A)で示す本来の放電電流のパスに加え、図5
(B)で示す断熱材9と保護管10との隙間あるいは断熱
材9と炉芯管2の隙間を流れる放電が加わる。このよう
にして金属蒸気を励起するための有効放電パスに注入さ
れる放電エネルギー成分が減少し、レーザー発振出力が
低下する課題がある。また、同時に炉芯管2および断熱
材9に加わる電界強度が著しく高いため、これら構成物
の寿命が短くなる課題がある。[SUMMARY OF THE INVENTION FIGS. 2 and 3 Ru der what voltage applied to break pipe ends of oscillating tube common metal vapor laser apparatus and showing a waveform of the discharge current.
The voltage peak reaches at about 20 to 25 kv with a rise time of about 100 nsec, and the current peak reaches about 1500 to 2000 A at about 150 nse.
It reaches at the rise time of c. FIG. 4 shows a position where the electric field intensity applied to the oscillation tube of the conventional metal vapor laser device is highest when such a discharge is performed .
Between the break pipe 14 and the furnace core pipe 2, approximately 20
It is estimated that ~ 25kv was added. FIG.
3A and 3B are views showing a discharge path (flow path) in the oscillation tube 1. FIG . Due to the strong electric field applied in the radial direction of the oscillation tube,
In addition to the original discharge current path shown in FIG.
The discharge flowing in the gap between the heat insulating material 9 and the protection tube 10 or the gap between the heat insulating material 9 and the furnace core tube 2 shown in FIG. Thus, there is a problem that the discharge energy component injected into the effective discharge path for exciting the metal vapor is reduced, and the laser oscillation output is reduced. At the same time, since the electric field strength applied to the furnace core tube 2 and the heat insulating material 9 is extremely high, there is a problem that the life of these components is shortened.
【0009】本発明は上記課題を解決するためになされ
たもので、レーザー発振管に局所電界により異常放電が
発生して寿命が短くなるのを防止して、長寿命で安定な
レーザー出力性能が得られる金属蒸気レーザー装置を提
供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is possible to prevent the occurrence of an abnormal discharge due to a local electric field in a laser oscillation tube to shorten the life thereof, thereby achieving a long life and stable laser output performance. An object of the present invention is to provide an obtained metal vapor laser device.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明は金属蒸気を発生
する金属蒸気源が配置された炉芯管と、この炉芯管の外
周囲に設けられた断熱材と、前記炉芯管の両端に設置さ
れた一対の電極と、前記断熱材の外周囲に保護管を介し
て設けられた外部真空容器およびブレーク管と、前記電
極を支持しかつ前記外部真空容器の両端部に接続された
電極支持フランジと、この電極支持フランジに取着され
たブルースター管と、このブルースター管に取り付けら
れたレーザー光取り出し用ウィンドウとを具備し、前記
外部真空容器は前記外部真空容器の左右がほぼ同じ長さ
に中央部から二分割された第1の短尺真空容器および第
2の短尺真空容器によって構成され、前記外部真空容器
の中央部に前記ブレーク管を配置してなることを特徴と
する。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a furnace core tube in which a metal vapor source for generating metal vapor is disposed, a heat insulating material provided around the furnace core tube, and both ends of the furnace core tube. A pair of electrodes installed on the outside, an external vacuum vessel and a break pipe provided around the outer periphery of the heat insulating material via a protective tube, and electrodes supporting the electrodes and connected to both ends of the external vacuum vessel. A supporting flange, a Brewster tube attached to the electrode supporting flange, and a laser light extraction window attached to the Brewster tube, wherein the outer vacuum vessel has substantially the same left and right sides as the outer vacuum vessel. length
The first short vacuum vessel divided into two from the central part
The external vacuum vessel,
Characterized in that the break pipe is arranged at the center of the.
【0011】[0011]
【作用】ブレーク管近傍の電界を低減するためには放電
プラズマの電位に近くなるような位置にブレーク管を設
置することが有効となる。前述した図2および図3で示
したような放電を発生させた場合、ブレーク管の位置を
発振管の外部真空容器端部から中央よりに変更したとす
ると、(1)式で表されるように、課題となっていたブ
レーク管と炉芯管の間に加わる電圧Vp は、ブレーク管
両端に加わる電圧Vから発振管のインダクタンスLによ
る電圧低下とプラズマ抵抗Rによる電圧低下の作用を受
けて減少した値となる。 Vp=V−( L・dI/dt−RI )・α…(1) α: ブレーク位置により決まる定数 I: 放電電流 一例として、ブレーク管を発振管の外部真空容器中央部
に設置した場合、上記(1)式中のαは最大値 (0.5)と
なり、このとき発振管のインダクタンスLを 700nH、放
電プラズマの抵抗を10Ω、ブレーク管両端に加わる電圧
Vのピーク値を25kv、放電電流Iのピーク値を2000A、
立ち上がり時間を 150nsecと仮定すると、発振管のイン
ダクタンスLによる電圧低下とプラズマ抵抗Rによる電
圧低下の大きさは14.6kvと計算でき、ブレーク管と炉芯
管の間に加わる電圧Vp は10.4kvとなる。反面、従来通
りのブレーク位置の場合、(1)式中の定数αはほとん
ど0となるため、Vp 値はV値(25kv)に近くなることを
考慮すると、その効果が十分に期待できる。In order to reduce the electric field near the break tube, it is effective to install the break tube at a position close to the potential of the discharge plasma. When the discharge as shown in FIGS. 2 and 3 is generated, assuming that the position of the break tube is changed from the end of the external vacuum vessel of the oscillation tube to the center, the expression (1) is obtained. In addition, the voltage Vp applied between the break tube and the furnace core tube, which has been a problem, decreases from the voltage V applied to both ends of the break tube due to the voltage drop due to the inductance L of the oscillation tube and the voltage drop due to the plasma resistance R. Value. Vp = V− (L · dI / dt−RI) · α (1) α: constant determined by the break position I: discharge current As an example, when the break tube is installed at the center of the external vacuum vessel of the oscillation tube, In equation (1), α is the maximum value (0.5). At this time, the inductance L of the oscillation tube is 700 nH, the resistance of the discharge plasma is 10 Ω, the peak value of the voltage V applied to both ends of the break tube is 25 kv, and the peak value of the discharge current I is Value 2000A,
Assuming that the rise time is 150 nsec, the magnitude of the voltage drop due to the oscillation tube inductance L and the voltage drop due to the plasma resistance R can be calculated as 14.6 kv, and the voltage Vp applied between the break tube and the furnace core tube is 10.4 kv. . On the other hand, in the case of the conventional break position, since the constant α in the equation (1) is almost 0, the effect can be expected sufficiently when considering that the Vp value approaches the V value (25 kv).
【0012】[0012]
【実施例】図1を参照しながら本発明に係る金属蒸気レ
ーザー装置の一実施例を説明する。なお、図6と同一部
分には同一符号を付す。図1において、符号1で示す発
振管を構成する中心部にはセラミック材等の耐熱、耐電
性の炉芯管2が放電管として配置されている。この炉芯
管2の両端部には陽電極3および陰電極4が対抗して設
置され、これら電極3,4はそれぞれ電極支持フランジ
5,6によって支持され、この電極3,4間に形成され
る放電空間7においてはパルス二極放電が行われる。炉
芯管2の内の底部には金属蒸気を発生するための例えば
銅,金等の粒子状の金属蒸気源8が配置されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a metal vapor laser device according to the present invention will be described with reference to FIG. The same parts as those in FIG. 6 are denoted by the same reference numerals. In FIG. 1, a heat-resistant and electric-resistant furnace core tube 2 made of a ceramic material or the like is disposed as a discharge tube in the center of the oscillation tube indicated by reference numeral 1. A positive electrode 3 and a negative electrode 4 are installed at both ends of the furnace core tube 2 to face each other. The electrodes 3 and 4 are supported by electrode support flanges 5 and 6, respectively, and are formed between the electrodes 3 and 4. In the discharge space 7, a pulse bipolar discharge is performed. A metal vapor source 8 in the form of particles, such as copper or gold, for generating metal vapor is disposed at the bottom of the furnace core tube 2.
【0013】また、炉芯管2の外周面にはアルミナファ
イバー等の材料から成る断熱材9が設けられ、その断熱
材9を所定位置に固定および保護するために、石英等で
形成した保護管10が断熱材9の外周囲に設けられてい
る。保護管10の外周囲には中央部にブレーク管14が配置
されており、このブレーク管14の両側に左右がほぼ同じ
長さに中央部から二分割された第1および第2の短尺真
空容器11a,11bが設けられている。これらの短尺真空
器11a,11bによって示した外部真空容器11を構成す
る。ブレーク管14および第1および第2の短尺真空容器
11a,11bの下面には真空断熱層12が形成され、真空断
熱層12は排気装置13に接続して減圧が保たれる。第1お
よび第2の短縮真空容器11a,11bの外側端には電極支
持フランジ5,6を介してブルースター管24,25が接続
され、これらブルースター管24,25にはそれぞれウィン
ドウ19,20が取り付けられている。ウィンドウ19,20の
前方には出力ミラーおよび全反射ミラー23が配置されて
いる。また、第1および第2の短尺真空容器11a,11b
の内側端にはパルス回路17が接続され、パルス回路17に
は高圧電源16と、パルスドライブ電源18が接続されてい
る。A heat insulating material 9 made of a material such as alumina fiber is provided on the outer peripheral surface of the furnace core tube 2, and a protective tube made of quartz or the like is used to fix and protect the heat insulating material 9 at a predetermined position. 10 is provided around the outer periphery of the heat insulating material 9. A break pipe 14 is disposed at the center of the outer circumference of the protection pipe 10, and the left and right sides of the break pipe 14 are substantially the same on both sides.
First and second short vacuum vessels 11a and 11b, each of which is divided into two parts from the center in length , are provided. The external vacuum vessel 11 shown by these short vacuum devices 11a and 11b is constituted. Break tube 14 and first and second short vacuum vessels
A vacuum heat insulating layer 12 is formed on the lower surfaces of 11a and 11b, and the vacuum heat insulating layer 12 is connected to an exhaust device 13 to maintain a reduced pressure. Brewster tubes 24 and 25 are connected to the outer ends of the first and second shortened vacuum vessels 11a and 11b via electrode supporting flanges 5 and 6, respectively. These Brewster tubes 24 and 25 are connected to windows 19 and 20 respectively. Is attached. An output mirror and a total reflection mirror 23 are arranged in front of the windows 19 and 20. Also, the first and second short vacuum vessels 11a, 11b
A pulse circuit 17 is connected to the inner end of the, and a high-voltage power supply 16 and a pulse drive power supply 18 are connected to the pulse circuit 17.
【0014】しかして、上記構成の蒸気金属レーザー装
置でレーザー発振を行う操作は、まず、排気装置13を作
動させて、ブルースター管24を通して放電空間7内を排
気し、続いて、バッファガス供給源15からブルースター
管25を通して放電空間7内にNe(ネオン)等のガスを
導入し、発振管19内部を一定圧力に保持する。In order to perform laser oscillation with the steam metal laser apparatus having the above structure, first, the exhaust device 13 is operated to exhaust the inside of the discharge space 7 through the Brewster tube 24. A gas such as Ne (neon) is introduced from the source 15 into the discharge space 7 through the Brewster tube 25 to maintain the inside of the oscillation tube 19 at a constant pressure.
【0015】この状態で高圧電源16、パルス回路17、パ
ルスドライブ電源18を起動すると、陽電極3と陰電極4
の間にパルス状高電圧が印加されて放電空間7において
放電プラズマが形成される。この放電により炉芯管2内
に配置された蒸気源8が蒸発する。その蒸発原子はプラ
ズマ中の電子が衝突して高いエネルギー順位に励起され
た後、低準位に遷移する際に所定波長のレーザー光が発
生する。放電空間7で発生したレーザー光はブルースタ
ー管24,25に取り付けられたウィンドウ19,20を通過
し、さらにレーザー光共振器21を構成する出力ミラー2
2、および全反射ミラー23で繰り返し反射する間に増幅
され、出力ミラー22から出射される。その後の作用につ
いては前述した作用の項で述べたとうりである。When the high voltage power supply 16, the pulse circuit 17, and the pulse drive power supply 18 are started in this state, the positive electrode 3 and the negative electrode 4 are activated.
During this time, a pulsed high voltage is applied to form a discharge plasma in the discharge space 7. This discharge causes the vapor source 8 arranged in the furnace core tube 2 to evaporate. After the electrons in the plasma collide with the electrons in the plasma and are excited to a higher energy level, a laser beam of a predetermined wavelength is generated when the atoms transition to a lower level. The laser light generated in the discharge space 7 passes through windows 19 and 20 attached to the Brewster tubes 24 and 25, and further forms an output mirror 2 forming a laser light resonator 21.
2, and is amplified while being repeatedly reflected by the total reflection mirror 23, and is emitted from the output mirror 22. The subsequent operation is as described in the above-mentioned operation section.
【0016】上記実施例の金属蒸気レーザー装置は従来
発振管の外部真空容器端部の陰極近傍に設置したブレー
ク管を中央部に変更したものであり、発振管の外部真空
容器を第1の短尺真空容器と第2の短尺真空容器を二分
割してブレーク管の設置位置を変更することによって電
界分布が均一となる。これによって炉心管外部に流れる
漏洩(無効)電流の抑制と内部構造物の絶縁破壊を抑制
できる。 The metal vapor laser apparatus of the above embodiment is a modification of the break line installed in the vicinity of the negative electrode of the external vacuum vessel end of a conventional oscillating tube to the central portion, the first short external vacuum vessel oscillating tube the vacuum vessel and a second short vacuum vessel was binary <br/> split conductive by changing the installation position of the break line
The field distribution becomes uniform. This flows outside the core tube
Suppress leakage (reactive) current and dielectric breakdown of internal structures
it can.
【0017】[0017]
【発明の効果】本発明によれば、ブレーク管端部と炉芯
管端部に加わる電界強度を低減するのに有効な発振管構
造となっているため、断熱材表面を流れる無効放電成分
量を減少させ、効率よく高いレーザー出力を得ることが
可能となる。また、上記の電界強度低減により、断熱材
と炉芯管の寿命を延ばすことを可能となる。According to the present invention, since the oscillation tube structure is effective for reducing the electric field strength applied to the end of the break tube and the end of the furnace core tube, the amount of ineffective discharge components flowing on the surface of the heat insulating material is reduced. And a high laser output can be efficiently obtained. In addition, the above-described reduction of the electric field strength makes it possible to extend the life of the heat insulating material and the furnace core tube.
【図1】本発明に係る金属蒸気レーザー装置の実施例を
示す断面図。FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of a metal vapor laser device according to the present invention.
【図2】一般的な金属蒸気レーザー装置における放電時
の電圧波形図。FIG. 2 is a voltage waveform diagram at the time of discharge in a general metal vapor laser device.
【図3】一般的な金属蒸気レーザー装置における放電時
の電流波形図。FIG. 3 is a current waveform diagram at the time of discharge in a general metal vapor laser device.
【図4】従来の金属蒸気レーザー装置の発振管における
電界強度が最も高くなるポイントを概略的に示す断面
図。FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a point where the electric field intensity in the oscillation tube of the conventional metal vapor laser device becomes highest.
【図5】(A)は一般的な金属蒸気レーザー装置の発振
管中で生じる正常時の放電パスを示す模式図。(B)は
同じく異常時の放電パスを示す模式図。FIG. 5A is a schematic diagram showing a normal discharge path generated in an oscillation tube of a general metal vapor laser device. (B) is a schematic diagram showing a discharge path in the case of an abnormality.
【図6】従来の金属レーザー装置を示す断面図。FIG. 6 is a sectional view showing a conventional metal laser device.
1…発振管、2…炉芯管、3…陽電極、4…陰電極、
5,6…電極支持フランジ、7…放電空間、8…金属蒸
気源、9…断熱材、10…保護管、11…外部真空容器、11
a,11b…第1および第2の短尺真空容器、12…真空断
熱層、13…排気装置、14…ブレーク管、15…バッファガ
ス供給源、16…高圧電源、17…パルス回路、18…パルス
ドライブ電源、19,20…ウィンドウ、21…レーザー光共
振器、22…出力ミラー、23…全反射ミラー、24,25…ブ
ルースター管。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Oscillation tube, 2 ... Furnace tube, 3 ... Positive electrode, 4 ... Negative electrode,
5, 6: electrode support flange, 7: discharge space, 8: metal vapor source, 9: heat insulating material, 10: protective tube, 11: external vacuum vessel, 11
a, 11b: first and second short vacuum vessels, 12: vacuum insulating layer, 13: exhaust device, 14: break tube, 15: buffer gas supply source, 16: high-voltage power supply, 17: pulse circuit, 18: pulse Drive power supply, 19, 20 ... window, 21 ... laser optical resonator, 22 ... output mirror, 23 ... total reflection mirror, 24, 25 ... Brewster tube.
Claims (1)
れた炉心管と、この炉心管の外周囲に設けられた断熱材
と、前記炉心管の両端に設置された一対の電極と、前記
断熱材の外周囲に保護管を介して設けられた外部真空容
器およびブレーク管と、前記電極を支持しかつ前記外部
真空容器の両端部に接続された電極支持フランジと、こ
の電極支持フランジに取着されたブルースター管と、こ
のブルースター管に取り付けられたレーザー光取り出し
用ウィンドウとを具備し、前記外部真空容器は前記外部
真空容器の左右がほぼ同じ長さに中央部から二分割され
た第1の短尺真空容器および第2の短尺真空容器によっ
て構成され、前記外部真空容器の中央部に前記ブレーク
管を配置してなることを特徴とする金属蒸気レーザー装
置。A core tube in which a metal vapor source for generating metal vapor is arranged; a heat insulating material provided around the core tube; a pair of electrodes provided at both ends of the core tube; An external vacuum vessel and a break pipe provided around the heat insulating material through a protective tube, an electrode supporting flange supporting the electrodes and connected to both ends of the external vacuum vessel, and an electrode supporting flange. comprising a Brewster tube is wearing, and a window for the laser beam extraction attached to the Brewster tube, the outer vacuum vessel the external
The left and right sides of the vacuum vessel are divided into two parts from the center to almost the same length.
The first short vacuum vessel and the second short vacuum vessel
And the break at the center of the external vacuum vessel
A metal vapor laser device comprising a tube arranged.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3261901A JP2714286B2 (en) | 1991-10-09 | 1991-10-09 | Metal vapor laser equipment |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3261901A JP2714286B2 (en) | 1991-10-09 | 1991-10-09 | Metal vapor laser equipment |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05102553A JPH05102553A (en) | 1993-04-23 |
JP2714286B2 true JP2714286B2 (en) | 1998-02-16 |
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