JP2709203B2 - フルイディック流量計 - Google Patents
フルイディック流量計Info
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- JP2709203B2 JP2709203B2 JP3109062A JP10906291A JP2709203B2 JP 2709203 B2 JP2709203 B2 JP 2709203B2 JP 3109062 A JP3109062 A JP 3109062A JP 10906291 A JP10906291 A JP 10906291A JP 2709203 B2 JP2709203 B2 JP 2709203B2
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- fluid
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、噴出ノズルから流路
内に噴出されるガス等の流体の振動現象によって生じる
交番圧力波を検出して流量を検出するフルイディック流
量計に関する。
内に噴出されるガス等の流体の振動現象によって生じる
交番圧力波を検出して流量を検出するフルイディック流
量計に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般家庭等に設置され、ガスの流量を計
量するフルイディック流量計は、例えば、特開昭６３−
３１３０１８号公報、特開平１−２５０７２５号公報か
ら公知である。
量するフルイディック流量計は、例えば、特開昭６３−
３１３０１８号公報、特開平１−２５０７２５号公報か
ら公知である。
【０００３】このフルイディック流量計は、流路の上流
側流路と下流側流路とを区画する隔壁に噴出ノズルが設
けられ、この噴出ノズルから下流側流路に設けられたフ
ルイディック素子に流体を噴出すると、コアンダ効果に
よって噴出流体は、例えば右側の側壁に沿って流れる。
側流路と下流側流路とを区画する隔壁に噴出ノズルが設
けられ、この噴出ノズルから下流側流路に設けられたフ
ルイディック素子に流体を噴出すると、コアンダ効果に
よって噴出流体は、例えば右側の側壁に沿って流れる。
【０００４】この右側の側壁に流れた流体の一部は帰還
流体となり、この帰還流体の流体エネルギが噴出流体に
付与され、噴出流体が左側の側壁に沿って流れるように
なり、今度は左側の側壁に流れた流体の一部が帰還流体
となり、この帰還流体の流体エネルギが噴出流体に付与
され、噴出流体が再び右側の側壁に沿って流れるように
なる。
流体となり、この帰還流体の流体エネルギが噴出流体に
付与され、噴出流体が左側の側壁に沿って流れるように
なり、今度は左側の側壁に流れた流体の一部が帰還流体
となり、この帰還流体の流体エネルギが噴出流体に付与
され、噴出流体が再び右側の側壁に沿って流れるように
なる。
【０００５】つまり、噴出ノズルから流路内に噴出され
る流体の振動現象によって交番圧力波が生じる。この交
番圧力波を圧電膜センサによって検出し、この周波数か
ら流量を算出して流体の流量を検出している。
る流体の振動現象によって交番圧力波が生じる。この交
番圧力波を圧電膜センサによって検出し、この周波数か
ら流量を算出して流体の流量を検出している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、フルイディ
ック流量計は、ケース本体の流入口体から流入した流体
が上流側流路を介して噴出ノズルに導かれ、この噴出ノ
ズルから噴出された流体がフルイディック素子に流入す
るが、微小流量域においては流速センサの感度が悪く、
高精度な計測ができない。
ック流量計は、ケース本体の流入口体から流入した流体
が上流側流路を介して噴出ノズルに導かれ、この噴出ノ
ズルから噴出された流体がフルイディック素子に流入す
るが、微小流量域においては流速センサの感度が悪く、
高精度な計測ができない。
【０００７】そこで、前記噴出ノズルの内部に複数枚の
仕切り板を設け、上流側流路から下流側流路に向う流体
が噴出ノズルの中央部に集中するのを防止するために仕
切り板によって分流させることが行われている。
仕切り板を設け、上流側流路から下流側流路に向う流体
が噴出ノズルの中央部に集中するのを防止するために仕
切り板によって分流させることが行われている。
【０００８】このように噴出ノズルに仕切り板を設ける
と、流速センサの感度をある程度上げられるが、仕切り
板の端部が流体の流通方向に対して直角になっているた
め、流体が仕切り板の端部に当って渦流となり乱れが生
じる。このため、フルイディック素子の発振および器差
性能が悪くなるという問題がある。
と、流速センサの感度をある程度上げられるが、仕切り
板の端部が流体の流通方向に対して直角になっているた
め、流体が仕切り板の端部に当って渦流となり乱れが生
じる。このため、フルイディック素子の発振および器差
性能が悪くなるという問題がある。
【０００９】この発明は、前記事情に着目してなされた
もので、その目的とするところは、フルイディック素子
の性能への悪影響を抑制し、微小流量域においても正確
な計量ができるフルイディック流量計を提供することに
ある。
もので、その目的とするところは、フルイディック素子
の性能への悪影響を抑制し、微小流量域においても正確
な計量ができるフルイディック流量計を提供することに
ある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明は、前記目的を
達成するために、請求項１は、流路を構成する流路本体
に隔壁を設けて上流側流路と下流側流路とを区画し、こ
の隔壁に上流側流路の流体を下流側流路に噴出する噴出
ノズルを設け、この噴出ノズルの内部に複数枚の仕切り
板を前記流路本体の底面と平行に、しかも所定間隔を存
して配設するとともに、噴出ノズルの入口側に位置する
仕切り板の一端部および噴出ノズルの出口側に位置する
仕切り板の他端部に端部に向って漸次薄肉となるテーパ
部を形成したことを特徴とする。
達成するために、請求項１は、流路を構成する流路本体
に隔壁を設けて上流側流路と下流側流路とを区画し、こ
の隔壁に上流側流路の流体を下流側流路に噴出する噴出
ノズルを設け、この噴出ノズルの内部に複数枚の仕切り
板を前記流路本体の底面と平行に、しかも所定間隔を存
して配設するとともに、噴出ノズルの入口側に位置する
仕切り板の一端部および噴出ノズルの出口側に位置する
仕切り板の他端部に端部に向って漸次薄肉となるテーパ
部を形成したことを特徴とする。
【００１１】請求項２は、前記仕切り板の一端部におけ
るテーパ部を、端部に向って漸次噴出ノズルの中央部に
集中傾斜するテーパとし、噴出ノズルを通過する流体を
噴出ノズルの上下に分散させ、仕切り板の他端部におけ
るテーパ部は、端部に向って漸次噴出ノズルの上下部に
分散傾斜するテーパとし、噴出ノズルから噴出する流体
を上下に分散させることを特徴とする。請求項３は、前
記仕切り板のテーパ部は、面取りによって形成された直
線または曲線のテーパであることを特徴とする。
るテーパ部を、端部に向って漸次噴出ノズルの中央部に
集中傾斜するテーパとし、噴出ノズルを通過する流体を
噴出ノズルの上下に分散させ、仕切り板の他端部におけ
るテーパ部は、端部に向って漸次噴出ノズルの上下部に
分散傾斜するテーパとし、噴出ノズルから噴出する流体
を上下に分散させることを特徴とする。請求項３は、前
記仕切り板のテーパ部は、面取りによって形成された直
線または曲線のテーパであることを特徴とする。
【００１２】
【作用】上流側流路から噴出ノズルを介して下流側流路
に向う流体は、噴出ノズルの内部に設けられたテーパ部
を有する仕切り板によって分流される。したがって、噴
出ノズルの上下の壁に近い所は流速が遅れるが、流体を
上下に向けて壁に近い方の流速を速めることにより、噴
出ノズルの全体から均一に噴出し、フルイディック素子
に向うことになり、フルイディック素子の発振および器
差性能を向上させる。
に向う流体は、噴出ノズルの内部に設けられたテーパ部
を有する仕切り板によって分流される。したがって、噴
出ノズルの上下の壁に近い所は流速が遅れるが、流体を
上下に向けて壁に近い方の流速を速めることにより、噴
出ノズルの全体から均一に噴出し、フルイディック素子
に向うことになり、フルイディック素子の発振および器
差性能を向上させる。
【００１３】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図面に基づいて
説明する。
説明する。
【００１４】図３および図４はフルイディック流量計の
全体を示すもので、１１はケースである。このケース１
１は矩形箱状のケース本体１２と、このケース本体１２
の開口部を閉塞する蓋体１３とから構成されている。
全体を示すもので、１１はケースである。このケース１
１は矩形箱状のケース本体１２と、このケース本体１２
の開口部を閉塞する蓋体１３とから構成されている。
【００１５】ケース本体１２の上部にはガス流入口体１
４が設けられ、下部にはガス流出口体１５が設けられて
いる。ケース１１の内部における下部には後述するフル
イディック素子１７が設置され、上部には遮断弁１８が
設置されている。
４が設けられ、下部にはガス流出口体１５が設けられて
いる。ケース１１の内部における下部には後述するフル
イディック素子１７が設置され、上部には遮断弁１８が
設置されている。
【００１６】前記フルイディック素子１７について説明
すると、１９はダイキャスト等によって形成された流路
本体であり、この流路本体１９の開口部をパッキング２
０を介して蓋体２１によって閉塞することにより、流路
２２が構成されている。この流路２２は隔壁２３によっ
て区画され、上流側流路２４は前記ガス流入口体１４に
連通し、下流側流路２５は前記ガス流出口体１５に連通
している。
すると、１９はダイキャスト等によって形成された流路
本体であり、この流路本体１９の開口部をパッキング２
０を介して蓋体２１によって閉塞することにより、流路
２２が構成されている。この流路２２は隔壁２３によっ
て区画され、上流側流路２４は前記ガス流入口体１４に
連通し、下流側流路２５は前記ガス流出口体１５に連通
している。
【００１７】上流側流路２４の途中には弁座２６が設け
られ、この弁座２６には前記遮断弁１８の弁体２７が対
向している。すなわち、感震器等が異常を感知したと
き、遮断弁１８によって流路２２を遮断することができ
るように構成されている。
られ、この弁座２６には前記遮断弁１８の弁体２７が対
向している。すなわち、感震器等が異常を感知したと
き、遮断弁１８によって流路２２を遮断することができ
るように構成されている。
【００１８】前記流路本体１９の隔壁２３には噴出ノズ
ル２８が設けられている。この噴出ノズル２８は流路本
体１９の深さ方向全体に亘って開口するスリット状で、
その長手方向の開口両側縁には上流側流路２４に突出す
る突出部２８ａ，２８ｂを有し、ノズル通路長を延長さ
せている。
ル２８が設けられている。この噴出ノズル２８は流路本
体１９の深さ方向全体に亘って開口するスリット状で、
その長手方向の開口両側縁には上流側流路２４に突出す
る突出部２８ａ，２８ｂを有し、ノズル通路長を延長さ
せている。
【００１９】この噴出ノズル２８の内部には図１および
図２に示すように、複数枚の仕切り板２９が設けられて
いる。これら仕切り板２９は流路本体１９の底面に対し
て平行で、しかも等間隔に配設されている。すなわち、
流路本体１９を底面を下部、蓋体２１を上部とすると、
複数枚の仕切り板２９は上下方向に等間隔に配設されて
いる。
図２に示すように、複数枚の仕切り板２９が設けられて
いる。これら仕切り板２９は流路本体１９の底面に対し
て平行で、しかも等間隔に配設されている。すなわち、
流路本体１９を底面を下部、蓋体２１を上部とすると、
複数枚の仕切り板２９は上下方向に等間隔に配設されて
いる。
【００２０】仕切り板２９は噴出ノズル２８の内面形状
に沿って噴出ノズル２８の入口側が幅広で、出口側が狭
幅に形成されている。そして、複数枚の仕切り板２９の
うち、中央の１枚の仕切り板２９における噴出ノズル２
８の入口側に位置する端部は、両面面取りによって端部
に向って漸次薄肉となるテーパ部３０ａが形成されてい
る。
に沿って噴出ノズル２８の入口側が幅広で、出口側が狭
幅に形成されている。そして、複数枚の仕切り板２９の
うち、中央の１枚の仕切り板２９における噴出ノズル２
８の入口側に位置する端部は、両面面取りによって端部
に向って漸次薄肉となるテーパ部３０ａが形成されてい
る。
【００２１】また、前記中央の仕切り板２９の上部に配
設された仕切り板２９の噴出ノズル２８の入口側に位置
する端部は、上面側を片面面取りすることによって端部
に向って漸次薄肉となるテーパ部３０ｂが形成され、下
部に配設された仕切り板２９の噴出ノズル２８の入口側
に位置する端部は、下面側を片面面取りすることによっ
て端部に向って漸次薄肉となるテーパ部３０ｃが形成さ
れている。
設された仕切り板２９の噴出ノズル２８の入口側に位置
する端部は、上面側を片面面取りすることによって端部
に向って漸次薄肉となるテーパ部３０ｂが形成され、下
部に配設された仕切り板２９の噴出ノズル２８の入口側
に位置する端部は、下面側を片面面取りすることによっ
て端部に向って漸次薄肉となるテーパ部３０ｃが形成さ
れている。
【００２２】さらに、前記中央の１枚の仕切り板２９に
おける噴出ノズル２８の出口側に位置する端部は、両面
面取りによって端部に向って漸次薄肉となるテーパ部３
１ａが形成されている。
おける噴出ノズル２８の出口側に位置する端部は、両面
面取りによって端部に向って漸次薄肉となるテーパ部３
１ａが形成されている。
【００２３】前記中央の仕切り板２９の上部に配設され
た仕切り板２９の噴出ノズル２８の出口側に位置する端
部は、下面側を片面面取りすることよって端部に向って
漸次薄肉となるテーパ部３１ｂが形成され、下部に配設
された仕切り板２９の噴出ノズル２８の出口側に位置す
る端部は、上面側を片面面取りすることよって端部に向
って漸次薄肉となるテーパ部３１ｃが形成されている。
しかも、最上部と最下部の仕切り板２９は噴出ノズル２
８の出口側に延長しており、他の仕切り板２９よりも長
さが長く形成されている。
た仕切り板２９の噴出ノズル２８の出口側に位置する端
部は、下面側を片面面取りすることよって端部に向って
漸次薄肉となるテーパ部３１ｂが形成され、下部に配設
された仕切り板２９の噴出ノズル２８の出口側に位置す
る端部は、上面側を片面面取りすることよって端部に向
って漸次薄肉となるテーパ部３１ｃが形成されている。
しかも、最上部と最下部の仕切り板２９は噴出ノズル２
８の出口側に延長しており、他の仕切り板２９よりも長
さが長く形成されている。
【００２４】また、前記噴出ノズル２８の出口側に対向
する下流側流路２５には流体の流動方向切換安定化を図
るための第１のターゲット３３が設けられている。この
第１のターゲット３３を挟んで両側には側壁３４ａ，３
４ｂが対称的に設けられている。
する下流側流路２５には流体の流動方向切換安定化を図
るための第１のターゲット３３が設けられている。この
第１のターゲット３３を挟んで両側には側壁３４ａ，３
４ｂが対称的に設けられている。
【００２５】さらに、前記第１のターゲット３３より下
流側に位置する中央部には第２のターゲット３５が設け
られ、さらに下流側には下流側流路２５の幅方向に延長
するリターン壁３６が設けられている。そして、前記側
壁３４ａ，３４ｂの外側に帰還流路３７ａ，３７ｂが形
成され、リターン壁３６の両端外側に排出通路３８ａ，
３８ｂが設けられている。
流側に位置する中央部には第２のターゲット３５が設け
られ、さらに下流側には下流側流路２５の幅方向に延長
するリターン壁３６が設けられている。そして、前記側
壁３４ａ，３４ｂの外側に帰還流路３７ａ，３７ｂが形
成され、リターン壁３６の両端外側に排出通路３８ａ，
３８ｂが設けられている。
【００２６】したがって、下流側流路２５に噴出された
流体はコアンダ効果によって、例えば右側の側壁３４ａ
の内側に沿って流れる。この右側の側壁３４ａに流れた
流体の大部分は排出通路３８ａに向かうが、一部は帰還
流体となり、帰還通路３７ａに向かう。
流体はコアンダ効果によって、例えば右側の側壁３４ａ
の内側に沿って流れる。この右側の側壁３４ａに流れた
流体の大部分は排出通路３８ａに向かうが、一部は帰還
流体となり、帰還通路３７ａに向かう。
【００２７】この帰還流体の流体エネルギが噴出流体に
付与され、噴出流体が左側の側壁３４ｂの内側に沿って
流れるようになり、今度は左側の側壁３４ｂに流れた流
体の一部が帰還流体となり、この帰還流体の流体エネル
ギが噴出流体に付与され、噴出流体が再び右側の側壁３
４ａの内側に沿って流れるようになる。つまり、噴出ノ
ズル２８から下流側流路２５内に噴出される流体の振動
現象によって交番圧力波が生じるように構成されてい
る。
付与され、噴出流体が左側の側壁３４ｂの内側に沿って
流れるようになり、今度は左側の側壁３４ｂに流れた流
体の一部が帰還流体となり、この帰還流体の流体エネル
ギが噴出流体に付与され、噴出流体が再び右側の側壁３
４ａの内側に沿って流れるようになる。つまり、噴出ノ
ズル２８から下流側流路２５内に噴出される流体の振動
現象によって交番圧力波が生じるように構成されてい
る。
【００２８】さらに、前記噴出ノズル２８に対応する前
記流路本体１９の底部には流速センサ４０および圧電膜
センサ４１が設けられている。流速センサ４０は、セン
サ本体４２と、検出部４３とからなり、センサ本体４２
を前記流路本体１９の底部に固定し、検出部４３を噴出
ノズル２８に臨ませている。
記流路本体１９の底部には流速センサ４０および圧電膜
センサ４１が設けられている。流速センサ４０は、セン
サ本体４２と、検出部４３とからなり、センサ本体４２
を前記流路本体１９の底部に固定し、検出部４３を噴出
ノズル２８に臨ませている。
【００２９】すなわち、流速センサ４０は、微小流量域
の計測を行うために、流路が狭められて流速が最も速く
なる位置に設置されている。また、前記圧電膜センサ４
１は大流量域の計測を行うためのもので、センサ本体４
４と、圧力波導入部４５とからなり、センサ本体４４を
前記流路本体１９の底部に固定し、圧力波導入部４５は
前記噴出ノズル２８の出口側で、振動現象によって交番
圧力波の生ずる位置に開口する一対の圧力波導入口４
６，４６に連通している。
の計測を行うために、流路が狭められて流速が最も速く
なる位置に設置されている。また、前記圧電膜センサ４
１は大流量域の計測を行うためのもので、センサ本体４
４と、圧力波導入部４５とからなり、センサ本体４４を
前記流路本体１９の底部に固定し、圧力波導入部４５は
前記噴出ノズル２８の出口側で、振動現象によって交番
圧力波の生ずる位置に開口する一対の圧力波導入口４
６，４６に連通している。
【００３０】したがって、噴出ノズル２８から下流側流
路２５内に噴出される流体の振動現象によって生じる交
番圧力波、つまり噴出ノズル２８からの噴流の流動方向
の変化に起因する圧力変化は圧力波導入口４６，４６を
介して圧電膜センサ４１によって検出される。流速セン
サ４０および圧電膜センサ４１からの波形信号はその周
波数から流体流量を算出して流量表示窓に表示される。
路２５内に噴出される流体の振動現象によって生じる交
番圧力波、つまり噴出ノズル２８からの噴流の流動方向
の変化に起因する圧力変化は圧力波導入口４６，４６を
介して圧電膜センサ４１によって検出される。流速セン
サ４０および圧電膜センサ４１からの波形信号はその周
波数から流体流量を算出して流量表示窓に表示される。
【００３１】なお、前記一実施例においては、複数枚の
仕切り板のうち、中央部の仕切り板と上下の仕切り板の
テーパ部の形状を変えて流体を分散するようにしたが、
すべての仕切り板を同一形状のテーパ部に形成してもよ
く、そのテーパ部の形状を上下同一に傾斜するテーパに
してもよい。さらに、前記一実施例においては、テーパ
部を直線的な面取り加工によって形成したが、曲線的な
面取り加工であってもよい。
仕切り板のうち、中央部の仕切り板と上下の仕切り板の
テーパ部の形状を変えて流体を分散するようにしたが、
すべての仕切り板を同一形状のテーパ部に形成してもよ
く、そのテーパ部の形状を上下同一に傾斜するテーパに
してもよい。さらに、前記一実施例においては、テーパ
部を直線的な面取り加工によって形成したが、曲線的な
面取り加工であってもよい。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の請求項
１によれば、噴出ノズルの内部に複数枚の仕切り板を所
定間隔を存して配設するとともに、噴出ノズルの入口側
に位置する仕切り板の一端部および噴出ノズルの出口側
に位置する仕切り板の他端部に端部に向って漸次薄肉と
なるテーパ部を形成したことを特徴とする。したがっ
て、流体の乱れを防止でき、流体の流れが安定してフル
イディック素子の性能の向上を図ることができるという
効果がある。
１によれば、噴出ノズルの内部に複数枚の仕切り板を所
定間隔を存して配設するとともに、噴出ノズルの入口側
に位置する仕切り板の一端部および噴出ノズルの出口側
に位置する仕切り板の他端部に端部に向って漸次薄肉と
なるテーパ部を形成したことを特徴とする。したがっ
て、流体の乱れを防止でき、流体の流れが安定してフル
イディック素子の性能の向上を図ることができるという
効果がある。
【００３３】請求項２によれば、仕切り板の一端部にお
けるテーパ部を、端部に向って漸次噴出ノズルの中央部
に集中傾斜するテーパとし、噴出ノズルを通過する流体
を噴出ノズルの上下に分散させ、仕切り板の他端部にお
けるテーパ部は、端部に向って漸次噴出ノズルの上下部
に分散傾斜するテーパとし、噴出ノズルから噴出する流
体を上下に分散させることを特徴とする。したがって、
流体がテーパに沿って流れて安定するためフルイディッ
ク素子の性能を一層向上できる。
けるテーパ部を、端部に向って漸次噴出ノズルの中央部
に集中傾斜するテーパとし、噴出ノズルを通過する流体
を噴出ノズルの上下に分散させ、仕切り板の他端部にお
けるテーパ部は、端部に向って漸次噴出ノズルの上下部
に分散傾斜するテーパとし、噴出ノズルから噴出する流
体を上下に分散させることを特徴とする。したがって、
流体がテーパに沿って流れて安定するためフルイディッ
ク素子の性能を一層向上できる。
【図１】この発明の一実施例を示すフルイディック流量
計の噴出ノズルを示す分解斜視図。
計の噴出ノズルを示す分解斜視図。
【図２】同実施例の噴出ノズルの縦断側面図。
【図３】同実施例のフルイディック流量計の内部構造を
示す正面図。
示す正面図。
【図４】同実施例のフルイディック流量計の一部切欠し
た側面図。
た側面図。
１７…フルイディック素子、１９…流路本体、２２…流
路、２３…隔壁、２４…上流側流路、２５…下流側流
路、２８…噴出ノズル、２９……仕切板、３０ａ〜３０
ｃ…テーパ部、３１ａ〜３１ｃ…テーパ部。
路、２３…隔壁、２４…上流側流路、２５…下流側流
路、２８…噴出ノズル、２９……仕切板、３０ａ〜３０
ｃ…テーパ部、３１ａ〜３１ｃ…テーパ部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 一色 尚志 東京都板橋区志村１丁目２番３号 株式 会社金門製作所内 (56)参考文献 特開 平４−175612（ＪＰ，Ａ) 実開 平１−58118（ＪＰ，Ｕ)
Claims (3)
- 【請求項１】 流路を構成する流路本体に隔壁を設けて
上流側流路と下流側流路とを区画し、この隔壁に上流側
流路の流体を下流側流路に噴出する噴出ノズルを設け、
下流側流路にフルイディック素子を設けたフルイディッ
ク流量計において、前記噴出ノズルの内部に複数枚の仕
切り板を前記流路本体の底面と平行に、しかも所定間隔
を存して配設するとともに、噴出ノズルの入口側に位置
する仕切り板の一端部および噴出ノズルの出口側に位置
する仕切り板の他端部に端部に向って漸次薄肉となるテ
ーパ部を形成したことを特徴とするフルイディック流量
計。 - 【請求項２】 前記仕切り板の一端部におけるテーパ部
は、端部に向って漸次噴出ノズルの中央部に集中傾斜す
るテーパで、噴出ノズルを通過する流体を噴出ノズルの
上下に分散させ、仕切り板の他端部におけるテーパ部
は、端部に向って漸次噴出ノズルの上下部に分散傾斜す
るテーパで、噴出ノズルから噴出する流体を上下に分散
させることを特徴とする請求項１記載のフルイディック
流量計。 - 【請求項３】 前記仕切り板のテーパ部は、面取りによ
って形成された直線または曲線のテーパであることを特
徴とする請求項１または２記載のフルイディック流量
計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3109062A JP2709203B2 (ja) | 1991-05-14 | 1991-05-14 | フルイディック流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3109062A JP2709203B2 (ja) | 1991-05-14 | 1991-05-14 | フルイディック流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0593637A JPH0593637A (ja) | 1993-04-16 |
| JP2709203B2 true JP2709203B2 (ja) | 1998-02-04 |
Family
ID=14500634
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3109062A Expired - Fee Related JP2709203B2 (ja) | 1991-05-14 | 1991-05-14 | フルイディック流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2709203B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7237441B2 (en) | 2003-02-24 | 2007-07-03 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ultrasonic type fluid measurement device |
| JP4424936B2 (ja) * | 2003-07-28 | 2010-03-03 | パナソニック株式会社 | 流路における流量均一化構造および流量計測装置 |
-
1991
- 1991-05-14 JP JP3109062A patent/JP2709203B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0593637A (ja) | 1993-04-16 |
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