JP7361217B2 - 面外力及び屈曲振動の位相変動を軽減するための圧電ベースのマイクロアクチュエータ構成 - Google Patents
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Description
序論
PZTマイクロアクチュエータの面外運動
PZTマイクロアクチュエータの挙動に対するZ高さの影響
高性能PZTマイクロアクチュエータ
パターン化電極
圧電デバイスを製造する方法
例示的な動作コンテキストの物理的説明
拡張物及び代替物
Claims (16)
- 圧電デバイスであって、
上面及び対向する下面を集合的に有する分極した圧電材料の1つ以上の層と、
前記上面及び電源と電気的に結合される第1の電極層と、
前記下面及び前記電源と電気的に結合される第2の電極層と、を備え、
前記第1の電極層及び前記第2の電極層のうちの少なくとも1つが、材料ボイドのパターンを備えるパターン化電極として形成されて他の電極層の剛性と異なるとともに対応する電極層の剛性を生成し、
前記第1の電極層が、第1のヤング率を有する第1の材料から形成されており、
前記第2の電極層が、前記第1のヤング率とは異なる第2のヤング率を有する第2の材料から形成されている、
圧電デバイス。 - 前記圧電材料の1つ以上の層が、分極した圧電材料の複数の層を含む、請求項1に記載の圧電デバイス。
- 前記圧電材料の1つ以上の層が、分極した圧電材料の単一層からなる、請求項1に記載の圧電デバイス。
- 前記第1の電極層が、スパッタリングプロセスを使用して形成されて対応する第1の電極層剛性を生成し、前記第2の電極層が、スクリーン印刷プロセスを使用して形成されて前記第1の電極層剛性とは異なるとともに対応する第2の電極層剛性を生成する、請求項1に記載の圧電デバイス。
- 請求項1に記載の圧電デバイスを備える、ハードディスクドライブ。
- ハードディスクドライブ(HDD)であって、
スピンドル上に回転可能に取り付けられた1つ以上の記録ディスク媒体と、
アクチュエータアームと結合され、かつ前記1つ以上の記録ディスク媒体の記録ディスク媒体から読み取られ、前記記録ディスク媒体に書き込むように構成された読み取り-書き込みトランスデューサを収容するヘッドスライダと、
前記ヘッドスライダを動かして前記記録ディスク媒体の部分にアクセスするように構成された音声コイルアクチュエータと、
前記ヘッドスライダと分離するとともにサスペンション組立品のフレクシャを介して前記ヘッドスライダと機械的にリンクし、前記ヘッドスライダを回転するように駆動させて前記記録ディスク媒体の部分にアクセスするマイクロアクチュエータであって、前記マイクロアクチュエータが、
上面及び対向する下面を集合的に有する分極した圧電材料の1つ以上の層と、
前記上面及びマイクロアクチュエータ駆動回路と電気的に結合され、かつ第1の厚さを有する第1の電極層と、
前記下面及び前記マイクロアクチュエータ駆動回路と電気的に結合され、かつ前記第1の厚さとは異なる第2の厚さを有する第2の電極層と、を備える、マイクロアクチュエータと、を備え、
前記第1の厚さと前記第2の厚さとの差異は、前記ヘッドスライダに近接する前記マイクロアクチュエータの動作屈曲の方向を制御して、前記記録ディスク媒体の一つに対する前記サスペンション組立品のz高さに対応する前記マイクロアクチュエータの傾斜をオフセットさせる、ハードディスクドライブ(HDD)。 - 前記圧電材料の1つ以上の層が、分極した圧電材料の複数の層を含む、請求項6に記載のHDD。
- 前記圧電材料の1つ以上の層が、分極した圧電材料の単一層からなる、請求項6に記載のHDD。
- 前記第1の電極層及び前記第2の電極層の両方に駆動電圧を印加して、前記分極した圧電材料を駆動して、伸長及び収縮するように構成されたマイクロアクチュエータ駆動回路を更に備える、請求項6に記載のHDD。
- 前記第1の電極層が、第1のヤング率を有する第1の材料から形成されており、前記第2の電極層が、前記第1のヤング率とは異なる第2のヤング率を有する第2の材料から形成されている、請求項6に記載のHDD。
- 前記第1の電極層が、スクリーン印刷プロセスを使用して形成されて対応する第1の電極層剛性を生成し、前記第2の電極層が、スパッタリングプロセスを使用して形成されて前記第1の電極層剛性とは異なるとともに対応する第2の電極層剛性を生成する、請求項6に記載のHDD。
- 前記第1の電極層及び前記第2の電極層のうちの少なくとも1つが、材料ボイドのパターンを備えるパターン化電極として形成されて他の電極層の剛性と異なるとともに対応する電極層の剛性を生成する、請求項6に記載のHDD。
- 前記第1及び第2の厚さが、前記アクチュエータアームと前記記録ディスク媒体との間のz高さの動作変動に関連する望ましくない面外運動の変動を軽減するように集合的に構成されている、請求項6に記載のHDD。
- ハードディスクドライブ用の圧電マイクロアクチュエータを製造する方法であって、
前記圧電マイクロアクチュエータは、
上面及び対向する下面を集合的に有する分極した圧電材料の1つ以上の層と、
前記上面及と電気的に結合される第1の電極と、
前記下面と電気的に結合されるとともに、前記第1の電極と対向する第2の電極と、を備え、
前記方法は、
第1のヤング率を有する第1の材料から、前記第1の電極を材料ボイドのパターンを備えるパターン化電極として形成することと、
前記第1のヤング率とは異なる第2のヤング率を有する第2の材料から、前記第2の電極を形成することと、
前記第1の電極及び前記第2の電極の両方を電源に電気的に結合することと、
を含む、
方法。 - システムであって、
上面及び対向する下面を集合的に有する分極した圧電材料の1つ以上の層を備えるとともに、フレクシャを介してヘッドスライダに機械的に結合されている圧電マイクロアクチュエータと、
前記圧電マイクロアクチュエータの屈曲運動を制御し、前記フレクシャに関連する振動の位相変動を軽減することによって前記圧電マイクロアクチュエータの動作傾斜が前記ヘッドスライダに与える影響をオフセットする、システム。 - 圧電デバイスであって、
上面及び対向する下面を集合的に有する分極した圧電材料の1つ以上の層と、
前記上面及び電源と電気的に結合される第1の電極層であって、スパッタリングプロセスを使用して形成されて対応する第1の電極層剛性を生成する、前記第1の電極層と、
前記下面及び前記電源と電気的に結合される第2の電極層であって、スクリーン印刷プロセスを使用して形成されて前記第1の電極層剛性とは異なるとともに対応する第2の電極層剛性を生成する、前記第2の電極層と、
を備える、圧電デバイス。
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