JP2690657B2 - レイアウトパターン発生装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、マスクＲ０Ｍ内蔵Ｌ
ＳＩへＲＯＭデータを書き込むために用いられるレイア
ウトパターンを発生するレイアウトパターン発生装置に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】通常、ＲＯＭ製造に際しては、論理
「１」を書込むためにこの論理「１」を書込むのに必要
な露光用のマスクを製造しなければならず、このマスク
を製造するために真理値データよりマスク製造の座標値
を算出して出力するレイアウトパターン発生装置を必要
としている。

【０００３】つまり、図５に示すように論理「１」の真
理値データｆの右側に、論理「１」が有るか否かを順次
検索して行く場合に、論理「１」の真理値データｆの右
に論理「１」の真理値データｇが存在すると判定された
場合、始点ｆ１からデータｆの下部右端設定ポイントｆ
２を読込むことなく、データｇの下部左端設定ポイント
ｇ１を読込み、ついで上部左端設定ポイントｇ４を読込
み、ついで上部左端設定ポイントｆ４を読込み、ついで
始点ｆ１を読込み、全５点を読込んで領域Ｍを設定し、
データｆとｇとの間隙Ｎを取込む処理をする。その後
に、つぎのデータｇの各ポイントｇ１，ｇ２，ｇ３，ｇ
４，ｇ１を読込んで領域Ｐを設定していた。これによれ
ば、データｆに対応する矩形領域，間隙Ｎに対応する矩
形領域，データｇに対応する矩形領域を個々に読込む処
理と異なり、データｆとともに間隙Ｎが読込めるので、
その分作業が楽となる。

【０００４】図２０は、従来のレイアウトパターン発生
装置をより具体的に説明するための入出力関連図であ
る。図２０において、２０１は本装置の入力となる真理
値データ、２０６は出力となる補正済レイアウトパター
ンである。２０７は本レイアウトパターン発生装置とし
てのマスクＲＯＭレイアウトパターン補正装置である。

【０００５】図２１は、従来のレイアウトパターン発生
装置の機能ブロック図である。図２１において、２０２
は真理値データ２０１の読み込みを行なう真理値データ
読み込み手段、２１３は真理値データ２０１に対応する
レイアウトパターンの座標データを算出する座標データ
算出手段、２１４はレイアウトパターンの補正を行い補
正済レイアウトパターン２０６を作成するレイアウトパ
ターン補正手段、２１５は座標データ算出手段２１３で
算出された座標データを記憶する座標データ記憶部であ
る。

【０００６】図２２は真理値データの例であり、図２３
は論理「１」の真理値データに対してのみレイアウトパ
ターンの座標を算出したレイアウトパターンの例であ
る。また図２４はレイアウトパターンの補正を行った後
の補正済レイアウトパターンの例であり、図２５はこの
従来のレイアウトパターン発生装置の動作を示すフロー
チャートである。

【０００７】次に図２０〜図２５を参照してこの従来例
の動作について説明する。最初に、真理値データ読み込
み手段２０２によって真理値データの読み込みを行う
（ステップＮ１）。真理値データとはＲＯＭデータを論
理「１」と論理「０」の２進数のデータに変換し、レイ
アウトパターン上のメモリセルアレイに対応する様に並
び換えたものである。論理「１」の真理値データに対し
てマスクＲＯＭ上に作画すべき矩形の座標データを座標
データ算出手段２１３によって算出し、レイアウトパタ
ーンを作成する（ステップＮ２）。次にレイアウトパタ
ーン補正手段２１４はレイアウトパターンの各矩形に対
して、上下左右に隣接する矩形が有るか否かの検索を行
う（ステップＮ３）。隣接する矩形が有る場合、レイア
ウトパターン補正手段２１４はレイアウトパターンの補
正を行い補正済レイアウトパターンを作成する（ステッ
プＮ４）。隣接する矩形が無い場合、レイアウトパター
ンの補正を行わない。ここで、レイアウトパターンの補
正とは、隣接する矩形間にあるすき間（ギャップ）を埋
めるように矩形の座標データを算出し直すことである
（図２４）。

【０００８】図２６は、従来のレイアウトパターン発生
装置の機能ブロック図である。図２６において、１は本
レイアウトパターン発生装置の入力となる真理値デー
タ、４は座標値データ、１２は本装置の出力となる補正
済みレイアウトパターンデータ、１２４は真理値データ
の読み込み手段、１２５は矩形（真理値データ＝
「１」）の周辺に隣接する矩形が有るか検索する真理値
データ検索手段、１２６はレイアウトパターンの補正処
理を行いレイアウトパターンデータを作成するレイアウ
トパターン作成手段である。

【０００９】図２７は、真理値データの例である。図２
８は、レイアウトパターンの処理を行った後のレイアウ
トパターンの例である。図２８において、１５ａは光透
過パターン、１５ｂが光しゃ断パターンであり、このパ
ターンに従って、素子に焼付けが行われる。

【００１０】図２９は、従来のレイアウトパターン発生
装置の動作を示すフローチャートである。図２９におい
て、最初に真理値データの読み込みを行う（ステップ１
２７）。真理値データとは、マスクＲＯＭ内蔵ＬＳＩ内
に書き込むＲＯＭデータ（１６進数）を「１」と「０」
の２進数のデータに変換し、レイアウトパターン上のメ
モリセルアレイに対応する様に並び換えたものである。
ここで、真理値データの終わりならば処理を終了する。
（ステップ１２８）。

【００１１】読み込んだ真理値データが、矩形を発生す
るデータか否かを判定する（ステップ１２９）。真理値
データが矩形を発生するデータ（真理値データ＝
「１」）の場合、レイアウトパターンデータの補正処理
を行うため、座標値データを算出する処理に進み、矩形
を発生しないデータ（真理値データ＝「０」）の場合、
真理値データの読み込み処理に戻る。

【００１２】矩形を発生するデータの上，右上，右側に
隣接する矩形（真理値データ＝「１」が有るか検索する
（ステップ１３０）。上，右上，右側の全てに隣接する
矩形が有る場合、上，右上，右側の矩形の隙間が埋まる
ようにレイアウトパターンの補正処理を行い（ステップ
１３１）、補正済みレイアウトパターンを作成する。
上，右上，右側のいずれか１つでも隣接する矩形が無い
場合、次の検索処理を行う。ここでレイアウトパターン
の補正処理とは、隣接する矩形間にある隙間（ギャッ
プ）を埋めるように矩形の座標値データを算出すること
である（図２８）。

【００１３】矩形を発生するデータの右側に隣接する矩
形が有るかどうかを検索する（ステップ１３２）。右側
に隣接する矩形が有る場合、右側の矩形の隙間が埋まる
ようにレイアウトパターンの補正処理を行い、（ステッ
プ１３３）、補正済みレイアウトパターン１２を作成す
る。右側に隣接する矩形が無い場合、次の検索処理を行
う。

【００１４】矩形を発生するデータの下，右下側に隣接
する矩形が有るかどうかを検索する（ステップ１３
４）。下，右下側の全てに隣接する矩形が有る場合、上
側に隣接する矩形が有るかどうかを検索する（ステップ
１３５）。ここで、上側に隣接する矩形が有る場合、
上，下側の矩形の隙間が埋まるようにレイアウトパター
ンの補正処理を行い（ステップ１３６）、上側に隣接す
る矩形が無い場合、下側の矩形の隙間が埋まるようにレ
イアウトパターンの補正処理を行い（ステップ１３
７）、補正済みレイアウトパターン１２を作成する。
下，右下側のいずれか隣接する矩形が無ければ、次の検
索処理を行う。

【００１５】矩形を発生するデータの上側に隣接する矩
形が有るかどうかを検索する（ステップ１３８）。上側
に隣接する矩形が有る場合、上側の矩形の隙間が埋まる
ようにレイアウトパターンの補正処理を行い（ステップ
１３９）、補正済みレイアウトパターンを作成する。上
側に隣接する矩形が無い場合、次の処理を行う。

【００１６】矩形を発生するデータの上，右，右上，右
下，下側に隣接する矩形が無い場合、レイアウトパター
ンの補正処理を行わず、レイアウトパターンを作成する
（ステップ１４０）。

【００１７】以上の隣接する矩形を検索し、矩形の座標
値データを算出する処理を真理値データ１つ１つに対し
て行い真理値データの終わりまで繰り返し行う。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】従来のレイアウトパタ
ーン発生装置は以上のように構成されているので、隣接
の論理「１」のデータｆとｇとの間隙Ｎを取込むとして
も、レイアウトパターンは論理「１」の真理値データに
対応して一つ一つ座標データが作成される。つまり、個
々のデータｆ，ｇについてはやはり座標データを作成す
る処理を行わなければならない。マスクＲＯＭＬＳＩの
ようなＲＯＭ容量の膨大なものでは、論理「１」の真理
値データの一つ一つに対して座標データを作成している
とレイアウトパターンのデータ量が膨大になり処理に多
くのディスク容量を必要とし、即ち処理に使用するディ
スク容量が不足し、また、処理に時間がかかるという問
題点があった。

【００１９】この発明は、上記のような問題点を解消す
るためになされたもので、レイアウトパターン作成時に
補正処理を考慮（補正された矩形どうしを組み合わせ、
１つの図形にする処理を考慮）した多角形でレイアウト
パターンを作成することにより、つまり、隣接の論理
「１」のデータｆとｇを合せた矩形の領域を、ポイント
ｆ１，ｇ２，ｇ３，ｆ４，ｆ１と読込むことにより、レ
イアウトパターンのデータ量を削減することのできるレ
イアウトパターン発生装置を得ることを目的とする。

【００２０】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係るレ
イアウトパターン発生装置は、レイアウトパターン上の
メモリセルアレイに対応するようにＲＯＭデータを並び
換えた論理「１」又は「０」の真理値データを読み込む
真理値データ読み込み手段２０２と、同じ値の真理値デ
ータを隣接するもの同志でグループ化する真理値データ
グループ化手段２０３と、上記グループ化した真理値デ
ータ毎にレイアウトパターン上の座標値データを算出し
てレイアウトパターンを作成する座標値データ算出手段
２０４とを備えたものである。

【００２１】請求項２の発明に係るレイアウトパターン
発生装置は、レイアウトパターン上のメモリセルアレイ
に対応するようにＲＯＭデータを並び換えた論理「１」
の真理値データの読み込みを行なう真理値データ読み込
み手段２と、上記論理「１」の真理値データの上側方向
又は下側方向又は左側方向又は右側方向に論理「１」の
データが存在するか否かを順次判別して行き、論理
「１」のデータが存在すれば、これを同一グループとみ
なしてグループ化する真理値データグループ化手段３
と、マスク上に作画すべきレイアウトパターンの座標値
を算出する座標値データ算出手段５と、グループ化され
た論理「１」の真理値データの全体の外周を決定する外
枠座標値データ抽出手段８を含むレイアウトパターン作
成手段７とを備えたものである。

【００２２】請求項３の発明に係るレイアウトパターン
発生装置は、レイアウトパターンの補正処理においては
データのグループ化を縦方向又は横方向のみにしたもの
である。

【００２３】請求項４の発明に係るレイアウトパターン
発生装置は、真理値データグループ化手段３によりグル
ープ化された論理「１」の真理値データの全体の中に論
理「０」のデータが存在するか否かを判別する中抜きデ
ータ検索手段９をレイアウトパターン作成手段７に備
え、この中抜きデータ検索手段９で論理「０」のデータ
が存在すると判別されたときに上記真理値データグルー
プ化手段３により論理「０」の真理値データの上側方向
又は下側方向又は左側方向又は右側方向に論理「０」の
データが存在するか否かを順次判別して行き、論理
「０」のデータが存在すれば、これを同一グループとみ
なしてグループ化するようにし、このグループ化された
論理「０」の真理値データの全体の外周を決定する中抜
き座標値データ抽出手段１０を上記レイアウトパターン
作成手段７に備えたものである。

【００２４】

【作用】請求項１の発明において、論理「１」又は
「０」の真理値データは隣接するもの同志でグループ化
され、このグループ化された真理値データ毎に座標値デ
ータが算出される。したがってレイアウトパターンのデ
ータ量が減少する。

【００２５】請求項２の発明において、論理「１」の真
理値データは隣接するもの同志でグループ化され、この
グループ化された真理値データ毎に座標値データが算出
される。したがってレイアウトパターンのデータ量が減
少する。

【００２６】請求項３の発明において、レイアウトパタ
ーンの補正処理は論理「１」又は「０」のデータのグル
ープ化を縦方向又は横方向のみにする。したがってレイ
アウトパターンのデータ量が減少する。

【００２７】請求項４の発明において、グループ化され
た論理「１」の真理値データの全体の中に論理「０」の
データが存在すれば、これを同一グループとみなしてグ
ループ化され、このグループ化された論理「０」の真理
値データの全体の外周が決定される。したがってレイア
ウトパターンのデータ量が減少する。

【００２８】

【実施例】実施例１．図１は請求項１の発明の一実施例
に係るレイアウトパターン発生装置の機能ブロック図で
ある。図１において、図１９に示す構成要素に対応する
ものには同一の符号を付し、その説明を省略する。図１
において、２０３は隣接した論理「１」の真理値データ
をグループ化し、グループ化済真理値データを作成する
真理値データグループ化手段、２０４はグループ化した
真理値データごとに座標データを算出して補正済レイア
ウトパターンデータを作成する座標データ算出手段、２
０５は真理値データグループ化手段２０３でグループ化
した真理値データを記憶するグループ化済真理値データ
記憶部である。

【００２９】図２はグループ化済真理値データの例であ
り、図３はグループ化した真理値データ毎に座標値を算
出して得られた補正済レイアウトパターンの例である。
図４はこの実施例の動作を示すフローチャートである。

【００３０】次に図１〜図４を参照してこの実施例の動
作について説明する。まず、真理値データ読み込み手段
２０２によって真理値データの読み込みを行なう（ステ
ップＳ１）。この処理は従来と同じである。次に真理値
データグループ化手段２０３によって論理「１」の真理
値データを隣接するもの同志でグループ化する（ステッ
プＳ２）。即ち真理値データグループ化手段２０３は論
理「１」の真理値データの上側方向又は下側方向又は左
側方向又は右側方向に論理「１」のデータが存在するか
否かを順次判別して行き、論理「１」のデータが存在す
れば、これを同一グループとみなしてグループ化する。
グループ化した真理値データの一番外側（外周部分）の
真理値データを組み合わせてレイアウトパターン上の座
標データを座標データ算出手段２０４によって算出する
ことにより、補正を考慮した多角形の補正済レイアウト
パターンを作成する（ステップＳ３）。次にグループ化
した論理「１」の真理値データ内に論理「０」の真理値
データの部分（中抜き部分）があるか否かを検索する
（ステップＳ４）。中抜き部分がある場合、中抜き部分
の座標データを座標データ算出手段２０４で算出し（ス
テップＳ５）、ステップＳ３で算出した外周部分の座標
データと中抜き部分の座標データとを合成して（ステッ
プＳ６）、補正済レイアウトパターンを再作成する。中
抜き部分が無い場合は中抜き部分に対する処理を行なわ
ない。

【００３１】実施例２．図６は、請求項２，４の発明の
一実施例に係るレイアウトパターン発生装置の機能ブロ
ック図である。図６において、１は本レイアウトパター
ン発生装置の入力となる真理値データ、２はレイアウト
パターン上のメモリセルアレイに対応するようにＲＯＭ
データを並び換えた論理「１」の真理値データの読み込
みを行なう真理値データ読み込み手段、３は矩形を発生
するデータ（真理値データ＝「１」）を隣接するものど
うしでグループ化する、即ち論理「１」の真理値データ
の上側方向又は下側方向又は左側方向又は右側方向に論
理「１」のデータが存在するか否かを順次判別して行
き、論理「１」のデータが存在すれば、これを同一グル
ープとみなしてグループ化する真理値データグループ化
手段、４は座標値を算出するための情報を格納した座標
値データ、５はマスク上に作画すべきレイアウトパター
ンの座標値を算出する座標値データ算出手段、６は算出
した座標値データをメモリ上に格納する座標値データ記
憶部、７はグループ化した真理値データからレイアウト
パターンの補正処理を考慮して、レイアウトパターンデ
ータ（多角形）を作成するレイアウトパターン作成手段
である。レイアウトパターン作成手段７において、８は
グループ化した真理値データの外周部の頂点座標を座標
値データ記憶部６から抽出する、即ちグループ化された
論理「１」の真理値データの全体の外周を決定する外枠
座標値データ抽出手段、９はグループ化した真理値デー
タ内に矩形を発生しないデータ（真理値データ＝
「０」）が有るかどうかを検索する中抜きデータ検索手
段、１０は中抜きデータ検索手段９で検索した中抜きデ
ータの座標値を座標値データ記憶部６から抽出する、即
ち中抜きデータ検索手段９で論理「０」のデータが存在
すると判定されたときに真理値データグループ化手段３
により論理「０」の真理値データの上側方向又は下側方
向又は左側方向又は右側方向に論理「０」のデータが存
在するか否かを順次判別して行き、論理「０」のデータ
が存在すれば、これを同一グループとみなしてグループ
化するようにし、このグループ化された論理「０」の真
理値データの全体の外周を決定する中抜き座標値データ
抽出手段、１１はレイアウトパターン作成の詳細手段を
示す外枠座標値データ抽出手段で作成したレイアウトパ
ターンデータと中抜き座標値データ抽出手段で作成した
レイアウトパターンデータを合成して一つのレイアウト
パターンデータを作成するレイアウトパターンデータ合
成手段、１２はレイアウトパターンデータの発生装置の
出力となる補正済みレイアウトパターンである。

【００３２】図７は、グループ化した後の真理値データ
の例である。図７において、１３は外枠座標値データを
抽出するレイアウトパターンデータの外周部分、１４は
外中抜き座標値データを抽出するレイアウトパターンデ
ータの中抜き部分である。図８は、グループ化した真理
値データごとに座標値データを抽出して作成した補正済
みレイアウトパターンの例である。

【００３３】図９は、本レイアウトパターン発生装置の
動作を示すフローチャートである。図９に従って動作を
説明する。最初に、レイアウトパターンデータ作成の前
処理としてマスク上に作画すべきレイアウトパターンの
座標値を算出し、座標値データ記憶部６に格納する（ス
テップ１５）。次に真理値データの読み込みを行う（ス
テップ１６）。この処理は、従来と同じである。ここ
で、読み込みが真理値データの終わりならば処理を終了
する（ステップ１７）。

【００３４】読み込んだ真理値データが、矩形を発生す
るデータか否かを判定する（ステップ１８）。真理値デ
ータが矩形を発生するデータ（真理値データ＝「１」）
の場合、隣接する真理値データ＝「１」をグループ化し
ながら、グループ化した真理値データの外周部のレイア
ウトパターンを作成する外枠データ作成処理に進み、矩
形を発生しないデータ（真理値データ＝「０」）の場
合、真理値データの読み込み処理に戻る。

【００３５】隣接する真理値データ＝「１」をグループ
化しながら、グループ化した真理値データごとにマスク
上に作画すべきレイアウトパターンの外周部分の座標値
データを座標値データ記憶部から抽出し、外枠レイアウ
トパターンデータを作成する（ステップ１９）。次にグ
ループ化した真理値データ＝「１」内にレイアウトパタ
ーンを発生しない真理値データ＝「０」があるかどうか
を検索する（ステップ２０）。

【００３６】レイアウトパターンを発生しないデータの
有無を示す中抜きフラグを判定する（ステップ２１）。
中抜きフラグ＝「１」の場合、中抜きデータを作成する
処理に進み、中抜きフラグ＝「０」の場合、処理済みデ
ータの削除処理に進む。中抜きフラグ＝「１」の場合、
中抜き部分の座標値データを座標値データ記憶部から抽
出し、中抜きレイアウトパターンデータを作成する（ス
テップ２２）。外枠レイアウトパターンデータと中抜き
レイアウトパターンデータを合成し、一つのレイアウト
パターンデータを作成する（ステップ２３）。中抜きデ
ータの作成処理は、グループ化した真理値データ内に中
抜きデータ（真理値データ＝「０」）が無くなるまで繰
り返し行う。

【００３７】他のグループ化した真理値データのレイア
ウトパターンデータ作成処理の妨げにならないようにレ
イアウトパターンデータ作成処理済みの真理値データを
削除する（ステップ２４）。

【００３８】以上の処理を、真理値データの終わりまで
繰り返し行う。そして、真理値データが終了すれば、本
処理が終了する。

【００３９】図１０，１１は本レイアウトパターン発生
装置の外枠データ作成処理の動作を示すフローチャート
である。図１０，１１に従って説明する。最初に、外枠
データ作成の基準となる矩形（真理値データ＝「１」）
の左下の座標値データを座標値データ記憶部６から抽出
する（ステップ２５）。この座標値データが外枠レイア
ウトパターンデータの始点の座標となる。基本となる矩
形に処理済みフラグを設定（真理値データ＝「１」を
「２」に変更）する（ステップ２６）。

【００４０】基本矩形の右，右下に隣接する矩形（真理
値データ＝「１」）があるかどうかを検索する（ステッ
プ２７）。基本矩形の右，右下に隣接する矩形がある場
合、基本矩形の右側の矩形の左下の座標を座標値データ
記憶部６から抽出し（ステップ３０）、基本矩形を右下
の矩形に移動する（ステップ３１）。この時、基本矩形
の右，右下の矩形に処理済みフラグを設定する（ステッ
プ３２）。そして、基本矩形の下，左下に隣接する矩形
があるかどうかを検索する処理に本処理を移動する。基
本矩形の右側のみに隣接する矩形がある場合、基本矩形
を右側の矩形に移動し（ステップ２８）、右側の矩形に
処理済みフラグを設定する（ステップ２９）。そして、
もう一度基本矩形の右，右下に隣接する矩形があるかど
うかを検索する処理を行う。基本矩形の右，右下に隣接
する矩形が無い場合、基本矩形の右下の座標を座標値デ
ータ記憶部６から抽出する（ステップ３３）。そして、
基本矩形の上，右上に隣接する矩形があるかどうかを検
索する処理に本処理を移動する。

【００４１】基本矩形の下，左下に隣接する矩形がある
か検索する（ステップ３４）。基本矩形の下，左下に隣
接する矩形がある場合、基本矩形の下側の矩形の左上の
座標を座標値データ記憶部６から抽出し（ステップ３
７）、基本矩形を左下の矩形に移動する（ステップ３
８）。この時、基本矩形の左，左下の矩形に処理済みフ
ラグを設定する（ステップ３９）。そして、基本矩形の
左，左上に隣接する矩形があるかどうかを検索する処理
に本処理を移動する。基本矩形の下側のみに隣接する矩
形がある場合、基本矩形を下側の矩形に移動し（ステッ
プ３５）、下側の矩形に処理済みフラグを設定する（ス
テップ３６）。そして、もう一度基本矩形の下，左下に
隣接する矩形があるか検索する処理を行う。基本矩形の
下，左下に隣接する矩形が無い場合、基本矩形の左下の
座標を抽出する（ステップ４０）。この時、抽出した座
標が始点の座標と同じかどうかを検索する（ステップ４
１）。抽出した座標と始点の座標が同じ場合、グループ
化した真理値データ内の処理済みフラグを設定した真理
値データに隣接する全ての真理値データ＝「１」に処理
済みフラグを設定し（ステップ４２）、処理を終了す
る。抽出した座標と始点の座標が違う場合、基本矩形の
右，右下に隣接する矩形があるかどうかを検索する処理
に本処理を移動する。

【００４２】基本矩形の左，左上に隣接する矩形がある
かどうかを検索する（ステップ４３）。基本矩形の左，
左上に隣接する矩形がある場合、基本矩形の左側の矩形
の右上の座標を座標値データ記憶部６から抽出し（ステ
ップ４６）、基本矩形を左上の矩形に移動する（ステッ
プ４７）。この時、基本矩形の左，左上の矩形に処理済
みフラグを設定する（ステップ４８）。そして、基本矩
形の上，右上に隣接する矩形があるかどうかを検索する
処理に本処理を移動する。基本矩形の左側のみに隣接す
る矩形がある場合、基本矩形を左側の矩形に移動し（ス
テップ４４）、左側の矩形に処理済みフラグを設定する
（ステップ４５）。そして、もう一度基本矩形の左，左
上に隣接する矩形があるかどうかを検索する処理を行
う。基本矩形の左，左上に隣接する矩形が無い場合、基
本矩形の左上の座標を座標値データ記憶部から抽出する
（ステップ４９）。そして、基本矩形の下，左下に隣接
する矩形があるかどうかを検索する処理に処理を移動す
る。

【００４３】基本矩形の上，右上に隣接する矩形がある
か検索する（ステップ５０）。基本矩形の上，右上に隣
接する矩形がある場合、基本矩形の上側の矩形の右下の
座標を座標値データ記憶部６から抽出し（ステップ５
３）、基本矩形を右上の矩形に移動する（ステップ５
４）。この時、基本矩形の上，右上の矩形に処理済みフ
ラグを設定する（ステップ５５）。そして、基本矩形の
右，右下に隣接する矩形があるかどうかを検索する処理
に本処理を移動する。基本矩形の上側のみに隣接する矩
形がある場合、基本矩形を上側の矩形に移動し（ステッ
プ５１）、上側の矩形に処理済みフラグを設定する（ス
テップ５２）。そして、もう一度基本矩形の上，右上に
隣接する矩形があるかどうかを検索する処理を行う。基
本矩形の上、右上に隣接する矩形が無い場合、基本矩形
の右上の座標を座標値データ記憶部から抽出する（ステ
ップ５６）。そして、基本矩形の左，左上に隣接する矩
形があるかどうかを検索する処理に本処理を移動する。

【００４４】以上の４タイプの検索処理（ステップ２
７，３４，４３，５０）を、抽出したレイアウトパター
ンの座標が最初に抽出したレイアウトパターンの座標と
一致するまで行う。そして、座標が一致すれば処理を終
了する。

【００４５】図１２は、レイアウトパターン発生装置の
中抜きデータ検索処理の動作を示すフローチャートであ
る。図１２に従って説明する。最初に、グループ化した
真理値データを読み込み（ステップ５７）。この時、読
み込まれた真理値データの外枠にはすべて処理済みフラ
グが設定されている。ここで真理値データが終わりか否
かを検索し（ステップ５８）、真理値データの終わりな
らば処理を終了する。

【００４６】同一Ｘ線分内の処理済みフラグ間に矩形を
発生しないデータ（真理値データ＝「０」）があるか検
索する（ステップ５９）。同一Ｘ線分内の処理済みフラ
グ間に矩形を発生しないデータがある場合、中抜きデー
タがあることを示す中抜きフラグを設定（中抜きフラグ
＝「１」）する（ステップ６０）。

【００４７】図１３，１４は、レイアウトパターン発生
装置の中抜きデータ作成処理の動作を示すフローチャー
トである。図１３，１４に従って説明する。最初に、中
抜きデータ作成の基準となる矩形（真理値データ＝
「０」）の左下の矩形の右上の座標値データを座標値デ
ータ記憶部６から抽出する（ステップ６１）。この座標
値データが中抜きレイアウトパターンデータの始点の座
標となる。基本となる矩形に処理済みフラグ設定（真理
値データ＝「０」を「２」に変更）する（ステップ６
２）。

【００４８】基本矩形の上，左上に隣接する座標値を発
生しない矩形（真理値データ＝「０」）があるかどうか
を検索する（ステップ６３）。基本矩形の上，左上、ま
たは、左上のみ隣接する矩形が無い場合、基本矩形の左
側の矩形の右上の座標を座標値データ記憶部６から抽出
し（ステップ６６）、基本矩形を左上の矩形に移動する
（ステップ６７）。この時、基本矩形の上，左上に隣接
する矩形が無い場合、基本矩形の上，左上に処理済みフ
ラグを設定し、基本矩形の左上のみ隣接する矩形が無い
場合、基本矩形の左上に処理済みフラグを設定する（ス
テップ６８）。そして、基本矩形の左，左下に隣接する
矩形があるかどうかを検索する処理に本処理を移動す
る。基本矩形の上側のみに隣接する矩形が無い場合、基
本矩形を上側の矩形に移動し（ステップ６４）、上側の
矩形に処理済みフラグを設定する（ステップ６５）。そ
して、もう一度基本矩形の上，左上に隣接する矩形があ
るかどうかを検索する処理を行う。基本矩形の上，左上
に隣接する矩形がある場合、基本矩形の左上の矩形の右
下の座標を座標値データ記憶部６から抽出する（ステッ
プ６９）。基本矩形の右，右上に隣接する矩形があるか
どうかを検索する処理に本処理を移動する。

【００４９】基本矩形の左，左下に隣接する座標値を発
生しない矩形があるかどうかを検索する（ステップ７
０）。基本矩形の左，左下、または、左下のみ隣接する
矩形が無い場合、基本矩形の下側の矩形の左上の座標を
座標値データ記憶部６から抽出し（ステップ７３）、基
本矩形を左下の矩形に移動する（ステップ７４）。この
時、基本矩形の左，左下に隣接する矩形が無い場合、基
本矩形の左，左下に処理済みフラグを設定し、基本矩形
の左下のみ隣接する矩形が無い場合、基本矩形の左下に
処理済みフラグを設定する（ステップ７５）。そして、
基本矩形の下，左下に隣接する矩形があるかどうかを検
索する処理に本処理を移動する。基本矩形の左側のみに
隣接する矩形が無い場合、基本矩形を左側の矩形に移動
し（ステップ７１）、左側の矩形に処理済みフラグを設
定する（ステップ７２）。そして、もう一度基本矩形の
左，左下に隣接する矩形があるかどうかを検索する処理
を行う。基本矩形の左，左下に隣接する矩形がある場
合、基本矩形の左下の矩形の右上の座標を座標値データ
記憶部６から抽出する（ステップ７６）。この時、抽出
した座標が始点の座標と同じかどうかを検索する（ステ
ップ７７）。抽出した座標と始点の座標が同じ場合、グ
ループ化した真理値データ内の処理済みフラグを設定し
た真理値データに隣接する全ての真理値データ＝「０」
に処理済みフラグを設定し（ステップ７８）、処理を終
了する。抽出した座標と始点の座標が違う場合、基本矩
形の上，左上に隣接する矩形があるかどうかを検索する
処理に本処理を移動する。

【００５０】基本矩形の下，右下に隣接する座標値を発
生しない矩形があるかどうかを検索する（ステップ７
９）。基本矩形の下，右下、または、右下のみ隣接する
矩形が無い場合、基本矩形の右側の矩形の左下の座標を
座標値データ記憶部６から抽出し（ステップ８２）、基
本矩形を右下の矩形に移動する（ステップ８３）。この
時、基本矩形の下，右上に隣接する矩形が無い場合、基
本矩形の下，右下に処理済みフラグを設定し、基本矩形
の右下のみ隣接する矩形が無い場合、基本矩形の右下に
処理済みフラグを設定する（ステップ８４）。そして、
基本矩形の右，右上に隣接する矩形があるかどうかを検
索する処理に本処理を移動する。基本矩形の下側のみに
隣接する矩形が無い場合、基本矩形を下側の矩形に移動
し（ステップ８０）、上側の矩形に処理済みフラグを設
定する（ステップ８１）。そして、もう一度基本矩形の
下，右下に隣接する矩形があるかどうかを検索する処理
を行う。基本矩形の下，右下に隣接する矩形がある場
合、基本矩形の右下の矩形の左上の座標を座標値データ
記憶部６から抽出する（ステップ８５）。そして、基本
矩形の左，左下に隣接する矩形があるかどうかを検索す
る処理に本処理を移動する。

【００５１】基本矩形の右，右上に隣接する座標値を発
生しない矩形があるかどうかを検索する（ステップ８
６）。基本矩形の右，右上、または、右上のみ隣接する
矩形が無い場合、基本矩形の上側の矩形の右下の座標を
座標値データ記憶部６から抽出し（ステップ８９）、基
本矩形を右上の矩形に移動する（ステップ９０）。この
時、基本矩形の右，右上に隣接する矩形が無い場合、基
本矩形の右，右上に処理済みフラグを設定し、基本矩形
の右上のみ隣接する矩形が無い場合、基本矩形の右上に
処理済みフラグを設定する（ステップ９１）。そして、
基本矩形の上，左上に隣接する矩形があるかどうかを検
索する処理に本処理を移動する。基本矩形の右側のみに
隣接する矩形が無い場合、基本矩形を右側の矩形に移動
し（ステップ８７）、右側の矩形に処理済みフラグを設
定する（ステップ８８）。そして、もう一度基本矩形の
右，右上に隣接する矩形があるかどうかを検索する処理
を行う。基本矩形の右，右上に隣接する矩形がある場
合、基本矩形の右上の矩形の左下の座標を座標値データ
記憶部６から抽出する（ステップ９２）。そして、基本
矩形の下，右下に隣接する矩形があるかどうかを検索す
る処理に本処理を移動する。

【００５２】以上の４タイプの検索処理（ステップ６
３，７０，７９，８６）を、抽出したレイアウトパター
ンの座標が最初に抽出したレイアウトパターンの座標と
一致するまで行う。そして、座標が一致すれば処理を終
了する。

【００５３】図１５は、レイアウトパターン発生装置の
外枠データと中抜きデータの合成処理の動作を示すフロ
ーチャートである。図１５に従って説明する。最初に、
中抜きレイアウトパターンデータ作成の始点の座標を読
み込む（ステップ９３）。外枠レイアウトパターンデー
タの座標値を読み込み、中抜きレイアウトパターンデー
タの始点座標が外枠レイアウトパターンデータのどの位
置にくるかを検索する（ステップ９４）。外枠データと
中抜きデータの位置が見つかれば、外枠データと中抜き
データを合成して補正処理済みレイアウトパターンデー
タを作成する（ステップ９５）。

【００５４】図１６は、ＲＯＭレイアウトパターンデー
タ作成フローの処理済みデータの削除処理の動作を示す
フローチャートである。図１６に従って説明する。最初
に、レイアウトパターンデータを作成後のグループ化済
み真理値データを読み込む（ステップ９６）。ここで、
真理値データが終わりか否かを判定し（ステップ９
７）、終わりならば処理を終了する。読み込んだ処理済
み真理値データが処理済み真理値データ（真理値データ
＝「２」）か否かを判定し（ステップ９８）、処理済み
真理値データならば真理値データをクリア（真理値デー
タ＝「０」）する（ステップ９９）。

【００５５】実施例３．なお、上記実施例では、レイア
ウトパターンの補正処理を縦方向と横方向のどちらも行
う場合について説明したが、縦方向、または、横方向の
どちらか一方のみレイアウトパターンの補正処理を行っ
てもよく、この場合も上記実施例と同様の効果を奏す
る。以下、この発明の実施例３を図について説明する。
図１７は、縦方向、または、横方向のどちらか一方のみ
レイアウトパターンの補正処理を行う請求項３の発明の
一実施例に係るレイアウトパターン発生装置の動作を示
すフローチャートである。図１７に従って説明する。最
初に、レイアウトパターンデータ作成の前処理としてマ
スク上に作画すべきレイアウトパターンの座標値を算出
し、座標値データ記憶部に格納する（ステップ１０
０）。この処理は、実施例２と同じである。

【００５６】次に真理値データの読み込みを行う（ステ
ップ１０１）。この処理は、実施例２と同じである。こ
こで、真理値データの終わりならば処理を終了する（ス
テップ１０２）。読み込んだ真理値データが、矩形を発
生するデータか否かを判定する（ステップ１０３）。こ
の処理は、実施例２と同じである。

【００５７】縦方向、または、横方向に隣接する真理値
データ＝「１」をグループ化しながら、グループ化した
真理値データごとにマスク上に作画すべきレイアウトパ
ターンデータを作成する（ステップ１０４）。レイアウ
トパターンデータ作成処理済みの真理値データを削除
（真理値データ＝「２」を真理値データ＝「０」に変
更）する（ステップ１０５）。

【００５８】以上の処理を、真理値データの終わりまで
繰り返し行う。そして、真理値データが終了すれば処理
を終了する。

【００５９】図１８は、横方向のみレイアウトパターン
の補正処理を行うレイアウトパターンデータ作成処理の
動作を示すフローチャートである。図１８に従って説明
する。最初に、基準となる矩形の左下の座標を座標値デ
ータ記憶部から抽出する（ステップ１０６）。基本矩形
の位置を記憶する（ステップ１０７）。この位置が始点
の位置となる。基本となる矩形に処理済みフラグを設定
する（ステップ１０８）。基本矩形の右側に隣接する矩
形があるかどうかを検索する（ステップ１０９）。隣接
する矩形がある場合、基本矩形を右側に移動し（ステッ
プ１１０）、右側の矩形に処理済みフラグを設定する
（ステップ１１１）。そして、もう一度基本矩形の右側
に隣接する矩形があるかどうかを検索する処理を行う。
基本矩形の右側に隣接する矩形が無い場合、基本矩形の
右下の座標を座標値データ記憶部６から抽出する（ステ
ップ１１２）。基本矩形の右上の座標を座標値データ記
憶部６から抽出する（ステップ１１３）。基本矩形を始
点の位置まで移動し（ステップ１１４）、基本矩形の左
上の座標を座標値データ記憶部６から抽出し（ステップ
１１５）、処理を終了する。

【００６０】図１９は、縦方向のみレイアウトパターン
の補正処理を行うレイアウトパターンデータ作成処理の
動作を示すフローチャートである。図１９に従って説明
する。最初に、基準となる矩形の左下の座標を座標値デ
ータ記憶部６から抽出する（ステップ１１６）。基準と
なる矩形の右下の座標を座標値データ記憶部６から抽出
する（ステップ１１７）。基本となる矩形に処理済みフ
ラグを設定する（ステップ１１８）。基本矩形の上側に
隣接する矩形があるかどうかを検索する（ステップ１１
９）。隣接する矩形がある場合、基本矩形を上側に移動
し（ステップ１２２）、右側の矩形に処理済みフラグを
設定する（ステップ１２３）。そして、もう一度基本矩
形の右上に隣接する矩形があるかどうかを検索する処理
を行う。基本矩形の上側に隣接する矩形が無い場合、基
本矩形の右上の座標を座標値データ記憶部６から抽出す
る（ステップ１２０）。基本矩形の左上の座標を座標値
データ記憶部６から抽出し（ステップ１２１）、処理を
終了する。

【００６１】

【発明の効果】以上のように請求項１〜４の発明によれ
ば、同じ値の真理値データを隣接するもの同志をグルー
プ化するとともに、グループ化した真理値データ毎に座
標データを算出し、レイアウトパターンを作成するよう
に構成したので、マスクＲＯＭ用のレイアウトパターン
が多角形として得ることができる。これによりレイアウ
トパターンのデータ量が削減でき、したがってこの処理
に使用するディスク容量が少なくて済み、また、処理時
間が短縮できるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項１の発明の一実施例に係るレイアウトパ
ターン発生装置の機能ブロック図である。

【図２】図１の実施例のレイアウトパターン発生装置に
よるグループ化済の真理値データの例を示す図である。

【図３】図１の本実施例のレイアウトパターン発生装置
による補正済レイアウトパターンの例を示す図である。

【図４】図１の実施例のレイアウトパターン発生装置の
動作を示すフローチャートである。

【図５】真理値データを検索する処理を説明するための
図である。

【図６】請求項２，４の発明の一実施例に係るレイアウ
トパターン発生装置の機能ブロック図である。

【図７】図６の実施例のレイアウトパターン発生装置に
よるグループ化済の真理値データの例を示す図である。

【図８】図６の実施例のレイアウトパターン発生装置に
よる補正済レイアウトパターンの例を示す図である。

【図９】図６の実施例のレイアウトパターン発生装置の
動作を示すフローチャートである。

【図１０】図６の実施例のレイアウトパターン発生装置
による外枠データ作成処理の動作を示すフローチャート
である。

【図１１】図１０の続きを示すフローチャートである。

【図１２】図６の実施例のレイアウトパターン発生装置
による中抜きデータ検索処理の動作を示すフローチャー
トである。

【図１３】図６の実施例のレイアウトパターン発生装置
による中抜きデータ作成処理の動作を示すフローチャー
トである。

【図１４】図１３の続きを示すフローチャートである。

【図１５】図６の実施例のレイアウトパターン発生装置
による外枠データと中抜きデータの合成処理の動作を示
すフローチャートである。

【図１６】図６の実施例のレイアウトパターン発生装置
による処理済みデータの削除処理の動作を示すフローチ
ャートである。

【図１７】縦方向、または、横方向のどちらか一方のみ
レイアウトパターンの補正処理を行う請求項３の発明の
一実施例に係るレイアウトパターン発生装置の動作を示
すフローチャートである。

【図１８】上記横方向のみレイアウトパターンの補正処
理を行うレイアウトパターン補正処理の動作を示すフロ
ーチャートである。

【図１９】上記縦方向のみレイアウトパターンの補正処
理を行うレイアウトパターン補正処理の動作を示すフロ
ーチャートである。

【図２０】従来のレイアウトパターン発生装置の入出力
関連を示す図である。

【図２１】従来のレイアウトパターン発生装置の機能ブ
ロック図である。

【図２２】レイアウトパターン発生装置の入力となる真
理値データの例を示す図である。

【図２３】従来のレイアウトパターン発生装置によるレ
イアウトパターンの例を示す図である。

【図２４】従来のレイアウトパターン発生装置による補
正済レイアウトパターンの例を示す図である。

【図２５】従来のレイアウトパターン発生装置の動作を
示すフローチャートである。

【図２６】従来のレイアウトパターン発生装置の機能ブ
ロック図である。

【図２７】レイアウトパターン発生装置の入力となる真
理値データの例を示す図である。

【図２８】従来のレイアウトパターン発生装置により処
理を行った後のレイアウトパターンの例を示す図であ
る。

【図２９】従来のレイアウトパターン発生装置の動作を
示すフローチャートである。

【符号の説明】

２，２０２ 真理値データ読み込み手段 ３，２０３ 真理値データグループ化手段 ５，２０４ 座標値データ算出手段 ７ レイアウトパターン作成手段 ８ 外枠座標値データ抽出手段 ９ 中抜きデータ検出手段 １０ 中抜き座標値データ抽出手段

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 マスクＲＯＭ内蔵の大規模集積回路へＲ
   ＯＭデータを書き込むために用いられるレイアウトパタ
   ーンを発生するレイアウトパターン発生装置において、
   レイアウトパターン上のメモリセルアレイに対応するよ
   うにＲＯＭデータを並び換えた論理「１」又は「０」の
   真理値データを読み込む真理値データ読み込み手段と、
   同じ値の真理値データを隣接するもの同志でグループ化
   する真理値データグループ化手段と、上記グループ化し
   た真理値データ毎にレイアウトパターン上の座標値デー
   タを算出してレイアウトパターンを作成する座標値デー
   タ算出手段とを備えたことを特徴とするレイアウトパタ
   ーン発生装置。
2. 【請求項２】 マスクＲＯＭ内蔵の大規模集積回路へＲ
   ＯＭデータを書き込むために用いられるレイアウトパタ
   ーンを発生するレイアウトパターン発生装置において、
   レイアウトパターン上のメモリセルアレイに対応するよ
   うにＲＯＭデータを並び換えた論理「１」の真理値デー
   タの読み込みを行なう真理値データ読み込み手段と、上
   記論理「１」の真理値データの上側方向又は下側方向又
   は左側方向又は右側方向に論理「１」のデータが存在す
   るか否かを順次判別して行き、論理「１」のデータが存
   在すれば、これを同一グループとみなしてグループ化す
   る真理値データグループ化手段と、マスク上に作画すべ
   きレイアウトパターンの座標値を算出する座標値データ
   算出手段と、グループ化された論理「１」の真理値デー
   タの全体の外周を決定する外枠座標値データ抽出手段を
   含むレイアウトパターン作成手段とを備えたことを特徴
   とするレイアウトパターン発生装置。
3. 【請求項３】 マスクＲＯＭ内蔵の大規模集積回路へＲ
   ＯＭデータを書き込むために用いられるレイアウトパタ
   ーンを発生するレイアウトパターン発生装置において、
   レイアウトパターン上のメモリセルアレイに対応するよ
   うにＲＯＭデータを並び換えた論理「１」の真理値デー
   タの読み込みを行なう真理値データ読み込み手段と、上
   記論理「１」の真理値データの上側方向又は下側方向又
   は左側方向又は右側方向に論理「１」のデータが存在す
   るか否かを順次判別して行き、論理「１」のデータが存
   在すれば、これを同一グループとみなしてグループ化す
   る真理値データグループ化手段と、マスク上に作画すべ
   きレイアウトパターンの座標値を算出する座標値データ
   算出手段と、グループ化された論理「１」の真理値デー
   タの全体の外周を決定する外枠座標値データ抽出手段を
   含むレイアウトパターン作成手段とを備え、レイアウト
   パターンの補正処理においてはデータのグループ化を縦
   方向又は横方向のみにしたことを特徴とするレイアウト
   パターン発生装置。
4. 【請求項４】 マスクＲＯＭ内蔵の大規模集積回路へＲ
   ＯＭデータを書き込むために用いられるレイアウトパタ
   ーンを発生するレイアウトパターン発生装置において、
   レイアウトパターン上のメモリセルアレイに対応するよ
   うにＲＯＭデータを並び換えた論理「１」の真理値デー
   タの読み込みを行なう真理値データ読み込み手段と、上
   記論理「１」の真理値データの上側方向又は下側方向又
   は左側方向又は右側方向に論理「１」のデータが存在す
   るか否かを順次判別して行き、論理「１」のデータが存
   在すれば、これを同一グループとみなしてグループ化す
   る真理値データグループ化手段と、マスク上に作画すべ
   きレイアウトパターンの座標値を算出する座標値データ
   算出手段と、グループ化された論理「１」の真理値デー
   タの全体の外周を決定する外枠座標値データ抽出手段を
   含むレイアウトパターン作成手段とを備え、上記真理値
   データグループ化手段によりグループ化された論理
   「１」の真理値データの全体の中に論理「０」のデータ
   が存在するか否かを判別する中抜きデータ検索手段を上
   記レイアウトパターン作成手段に備え、この中抜きデー
   タ検索手段で論理「０」のデータが存在すると判別され
   たときに上記真理値データグループ化手段により論理
   「０」の真理値データの上側方向又は下側方向又は左側
   方向又は右側方向に論理「０」のデータが存在するか否
   かを順次判別して行き、論理「０」のデータが存在すれ
   ば、これを同一グループとみなしてグループ化するよう
   にし、このグループ化された論理「０」の真理値データ
   の全体の外周を決定する中抜き座標値データ抽出手段を
   上記レイアウトパターン作成手段に備えたことを特徴と
   するレイアウトパターン発生装置。