JP2677704B2 - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JP2677704B2 JP2677704B2 JP23408490A JP23408490A JP2677704B2 JP 2677704 B2 JP2677704 B2 JP 2677704B2 JP 23408490 A JP23408490 A JP 23408490A JP 23408490 A JP23408490 A JP 23408490A JP 2677704 B2 JP2677704 B2 JP 2677704B2
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- Japan
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- magnetic
- core
- shield body
- magnetic shield
- sandwiching
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Description
【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は薄膜磁気ヘッドに関する。
「従来の技術」 薄膜磁気ヘッドは、基板上に、上下の磁性層をそれら
の間に適宜ギャップ層をあけて設け、該上下の磁性層の
間にコイルを設けるとともに、それらの上部を保護膜で
覆った構造のものであり、この薄膜磁気ヘッドに沿って
磁気媒体を移動させる際に、磁束が磁気媒体から下部磁
性層に至りそこから接触部を経て上部磁性層に至って再
び磁気媒体に戻るように流れ、このときの変化をコイル
に生じる誘起電圧変化として取り出し、これにより磁気
媒体に記録されている情報を再生したり記録したりする
ものである。
の間に適宜ギャップ層をあけて設け、該上下の磁性層の
間にコイルを設けるとともに、それらの上部を保護膜で
覆った構造のものであり、この薄膜磁気ヘッドに沿って
磁気媒体を移動させる際に、磁束が磁気媒体から下部磁
性層に至りそこから接触部を経て上部磁性層に至って再
び磁気媒体に戻るように流れ、このときの変化をコイル
に生じる誘起電圧変化として取り出し、これにより磁気
媒体に記録されている情報を再生したり記録したりする
ものである。
この種の薄膜磁気ヘッドでは、取り扱う信号電圧が微
小であることから外部雑音の影響を受け易い欠点をも
つ。このような欠点に対処するものとして、特開平２−
61812号公報に保護膜内に磁性体材料からなるシールド
体板層を設け、これらによりコイルを覆うものが提案さ
れている。
小であることから外部雑音の影響を受け易い欠点をも
つ。このような欠点に対処するものとして、特開平２−
61812号公報に保護膜内に磁性体材料からなるシールド
体板層を設け、これらによりコイルを覆うものが提案さ
れている。
「発明が解決しようとする課題」 しかしながら、上記公報に提案された技術では、単に
コイルをシールド体板層で覆ったものにすぎず、コアに
一定磁場をかけて磁性焼鈍を行う際に磁束が主にシール
ド体板層に流れるため、コアの異方性を付けることが難
しい欠点があった。
コイルをシールド体板層で覆ったものにすぎず、コアに
一定磁場をかけて磁性焼鈍を行う際に磁束が主にシール
ド体板層に流れるため、コアの異方性を付けることが難
しい欠点があった。
本発明は上記した問題点を解消せんとして成されたも
のであり、その目的は外部雑音を低減するのは勿論それ
に加えて磁気焼鈍によってコアの異方性を確実に付ける
ことができる薄膜磁気ヘッドを提供することにある。
のであり、その目的は外部雑音を低減するのは勿論それ
に加えて磁気焼鈍によってコアの異方性を確実に付ける
ことができる薄膜磁気ヘッドを提供することにある。
「課題を解決するための手段」 本発明では係る目的を達成するために、エレメントコ
イルを覆うように磁気シールド体が設けられ、該磁気シ
ールド体はコアを間に挟む部分と、コアを間に挟まない
部分とを含んだ２つの磁気シールド体構成材を備え、双
方の磁気シールド体構成材の前記コアを挟まない部分の
対向面の間隔は、磁気記録媒体対向面に平行方向の切断
面において、前記磁気シールド体構成材と前記コアとの
対向外縁の最短間隔よりも広く設定されている構成とし
た。
イルを覆うように磁気シールド体が設けられ、該磁気シ
ールド体はコアを間に挟む部分と、コアを間に挟まない
部分とを含んだ２つの磁気シールド体構成材を備え、双
方の磁気シールド体構成材の前記コアを挟まない部分の
対向面の間隔は、磁気記録媒体対向面に平行方向の切断
面において、前記磁気シールド体構成材と前記コアとの
対向外縁の最短間隔よりも広く設定されている構成とし
た。
「作用」 磁気シールド体がエレメントコイルを覆っているの
で、外部に対しエレメントコイルおよびその近傍のコア
の電磁遮蔽および静電遮蔽ができ、外部空間からの雑音
を低減できる。
で、外部に対しエレメントコイルおよびその近傍のコア
の電磁遮蔽および静電遮蔽ができ、外部空間からの雑音
を低減できる。
また、磁気シールド体はコアを間に挟む部分と、コア
を間に挟まない部分とを含んだ２つの磁気シールド体構
成材を備え、双方の磁気シールド体構成材の前記コアを
挟まない部分の対向面の間隔は、磁気記録媒体対向面に
平行方向の切断面において、前記磁気シールド体構成材
と前記コアとの対向外縁の最短間隔よりも広く設定され
ているので、コアに一定磁場をかけて磁性焼鈍を行う際
に磁気シールド体構成材がコアに積極的に磁束を導くこ
ととなり、コアに異方性を付けることができ。
を間に挟まない部分とを含んだ２つの磁気シールド体構
成材を備え、双方の磁気シールド体構成材の前記コアを
挟まない部分の対向面の間隔は、磁気記録媒体対向面に
平行方向の切断面において、前記磁気シールド体構成材
と前記コアとの対向外縁の最短間隔よりも広く設定され
ているので、コアに一定磁場をかけて磁性焼鈍を行う際
に磁気シールド体構成材がコアに積極的に磁束を導くこ
ととなり、コアに異方性を付けることができ。
「実施例」 以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。
第１図は薄膜磁気ヘッドの斜視図、第２図は第１図の
II−II線に沿う断面図である。第２図中符号１はセラミ
ック製の基板であり、その上部には絶縁層２が積層され
ている。絶縁層２の上部にはヘッドエレメント３が設け
られ、該ヘッドエレメントはアルミナ等で作られる保護
膜５で覆われている。
II−II線に沿う断面図である。第２図中符号１はセラミ
ック製の基板であり、その上部には絶縁層２が積層され
ている。絶縁層２の上部にはヘッドエレメント３が設け
られ、該ヘッドエレメントはアルミナ等で作られる保護
膜５で覆われている。
ヘッドエレメント３は、前記絶縁層２の上部に、下部
磁性層（コア）６、ギャップ層７、コイル間絶縁層８で
覆われたエレメントコイル９、上部磁性層（コア）10、
および絶縁層11がそれぞれこの順序で積層されて構成さ
れている。エレメントコイル９の略半分はコア6,10より
外方へ張り出しており、第１図および第３図に示すよう
にそこには導体層12が電気的に接続されている。導体層
12はボンデイングパッド13に接続され、該ボンデイング
パッド13の上端は外部に露出して接続端子に電気的につ
ながっている。
磁性層（コア）６、ギャップ層７、コイル間絶縁層８で
覆われたエレメントコイル９、上部磁性層（コア）10、
および絶縁層11がそれぞれこの順序で積層されて構成さ
れている。エレメントコイル９の略半分はコア6,10より
外方へ張り出しており、第１図および第３図に示すよう
にそこには導体層12が電気的に接続されている。導体層
12はボンデイングパッド13に接続され、該ボンデイング
パッド13の上端は外部に露出して接続端子に電気的につ
ながっている。
また、前記保護膜５の上面（後端面17）にはパーマロ
イ等の磁性体で作られる略円状の磁気シールド体15が、
エレメントコイル９を覆うように設けられている。さら
に、前記ヘッドエレメント３の底面には２つの走行レー
ルが設けられ、その下面は磁気記録媒体に対向する磁気
記録媒体対向面18,18とされている。
イ等の磁性体で作られる略円状の磁気シールド体15が、
エレメントコイル９を覆うように設けられている。さら
に、前記ヘッドエレメント３の底面には２つの走行レー
ルが設けられ、その下面は磁気記録媒体に対向する磁気
記録媒体対向面18,18とされている。
磁気シールド体15は、コア6,10を間に挟む部分と、コ
ア6,10を間に挟まない部分とを含んだ２つの磁気シール
ド体構成材16,16からなっている。そして、双方の磁気
シールド体構成材16,16のコア6,10を挟まない部分の対
向面の間隔l1は、磁気記録媒体対向面18に平行方向の切
断面において、磁気シールド体構成材16と前記コア6,10
との対向外縁の最短間隔l2,l3よりも広く設定されてい
る。上記構成の磁気シールド体15は、パーマロイ等の磁
性体材料がスパッタリングあるいはメッキ等の手段によ
り４μｍ〜５μｍの厚さをもつように積層されて形成さ
れる。具体的には、ウエハー製造工程において、ヘッド
エレメント３を保護するための保護膜５をスパッタリン
グによって形成し、該保護膜５の表面をラッピング研磨
して平滑化し、その上面（後端面17）にスパッタリング
等の手段によって磁性体材料を積層する。
ア6,10を間に挟まない部分とを含んだ２つの磁気シール
ド体構成材16,16からなっている。そして、双方の磁気
シールド体構成材16,16のコア6,10を挟まない部分の対
向面の間隔l1は、磁気記録媒体対向面18に平行方向の切
断面において、磁気シールド体構成材16と前記コア6,10
との対向外縁の最短間隔l2,l3よりも広く設定されてい
る。上記構成の磁気シールド体15は、パーマロイ等の磁
性体材料がスパッタリングあるいはメッキ等の手段によ
り４μｍ〜５μｍの厚さをもつように積層されて形成さ
れる。具体的には、ウエハー製造工程において、ヘッド
エレメント３を保護するための保護膜５をスパッタリン
グによって形成し、該保護膜５の表面をラッピング研磨
して平滑化し、その上面（後端面17）にスパッタリング
等の手段によって磁性体材料を積層する。
しかして、上記構造の薄膜磁気ヘッドによれば、ヘッ
ドエレメント３およびエレメントコイル９を覆うように
磁気シールド体15を設けているため、エレメントコイル
９等を外部空間に対して磁気的に遮蔽することができ、
外部磁界による雑音を低減できることからS/N比が向上
する。
ドエレメント３およびエレメントコイル９を覆うように
磁気シールド体15を設けているため、エレメントコイル
９等を外部空間に対して磁気的に遮蔽することができ、
外部磁界による雑音を低減できることからS/N比が向上
する。
また、磁気シールド体15は、コア6,10を間に挟む部分
と、コア6,10を間に挟まない部分とを含んだ２つの磁気
シールド体構成材16,16からなっており、双方の磁気シ
ールド体構成材16,16のコア6,10を挟まない部分の対向
面の間隔l1は、磁気記録媒体対向面18に平行方向の切断
面において、磁気シールド体構成材16と前記コア6,10と
の対向外縁の最短間隔l2,l3よりも広く設定されている
ので、コア6,10に一定磁場をかけて磁性焼鈍を行う際に
磁気シールド体構成材16,16がコア6,10に積極的に磁束
を導くこととなり、コア6,10に異方性を付けることがで
きる。
と、コア6,10を間に挟まない部分とを含んだ２つの磁気
シールド体構成材16,16からなっており、双方の磁気シ
ールド体構成材16,16のコア6,10を挟まない部分の対向
面の間隔l1は、磁気記録媒体対向面18に平行方向の切断
面において、磁気シールド体構成材16と前記コア6,10と
の対向外縁の最短間隔l2,l3よりも広く設定されている
ので、コア6,10に一定磁場をかけて磁性焼鈍を行う際に
磁気シールド体構成材16,16がコア6,10に積極的に磁束
を導くこととなり、コア6,10に異方性を付けることがで
きる。
「発明の効果」 以上説明したように本発明によれば、磁気シールド体
がエレメントコイルを覆っているので、外部に対しエレ
メントコイルおよびその近傍のコアの磁気遮蔽ができ、
外部磁気による雑音を低減できる。
がエレメントコイルを覆っているので、外部に対しエレ
メントコイルおよびその近傍のコアの磁気遮蔽ができ、
外部磁気による雑音を低減できる。
また、磁気シールド体は前記コアを間に挟む部分と、
前記コア間に挟まない部分とを含んだ２つの磁気シール
ド体構成材を備え、双方の磁気シールド体構成材の前記
コアを挟まない部分の対向面の間隔は、磁気記録媒体対
向面に平行方向の切断面において、前記磁気シールド体
構成材と前記コアとの対向外縁の最短間隔よりも広く設
定されているので、コアに一定磁場をかけて磁性焼鈍を
行う際に磁気シールド体構成材がコアに積極的に磁束を
導くこととなり、コアに異方性を容易に付けることがで
きる。
前記コア間に挟まない部分とを含んだ２つの磁気シール
ド体構成材を備え、双方の磁気シールド体構成材の前記
コアを挟まない部分の対向面の間隔は、磁気記録媒体対
向面に平行方向の切断面において、前記磁気シールド体
構成材と前記コアとの対向外縁の最短間隔よりも広く設
定されているので、コアに一定磁場をかけて磁性焼鈍を
行う際に磁気シールド体構成材がコアに積極的に磁束を
導くこととなり、コアに異方性を容易に付けることがで
きる。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は第１
図のII−II線に沿う断面図、第３図はヘッドエレメント
の詳細断面図である。 １……基板、３……ヘッドエレメント、５……保護膜、
６……下部磁性層（コア）、９……エレメントコイル、
10……上部磁性層（コア）、15……磁気シールド体、16
……磁気シールド体構成材、17……後端面、18……磁気
記録媒体対向面。
図のII−II線に沿う断面図、第３図はヘッドエレメント
の詳細断面図である。 １……基板、３……ヘッドエレメント、５……保護膜、
６……下部磁性層（コア）、９……エレメントコイル、
10……上部磁性層（コア）、15……磁気シールド体、16
……磁気シールド体構成材、17……後端面、18……磁気
記録媒体対向面。
Claims (1)
- 【請求項１】磁性体よりなるコアに巻かれたエレメント
コイルを覆うように磁気シールド体が設けられ、該磁気
シールド体は前記コアを間に挟む部分と、前記コアを間
に挟まない部分とを含んだ２つの磁気シールド体構成材
を備え、双方の磁気シールド体構成材の前記コアを挟ま
ない部分の対向面の間隔は、磁気記録媒体対向面に平行
方向の切断面において、前記磁気シールド体構成材と前
記コアとの対向外縁の最短間隔よりも広く設定されてい
ることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23408490A JP2677704B2 (ja) | 1990-09-04 | 1990-09-04 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23408490A JP2677704B2 (ja) | 1990-09-04 | 1990-09-04 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04114309A JPH04114309A (ja) | 1992-04-15 |
| JP2677704B2 true JP2677704B2 (ja) | 1997-11-17 |
Family
ID=16965361
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23408490A Expired - Fee Related JP2677704B2 (ja) | 1990-09-04 | 1990-09-04 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2677704B2 (ja) |
-
1990
- 1990-09-04 JP JP23408490A patent/JP2677704B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04114309A (ja) | 1992-04-15 |
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Legal Events
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| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080725 Year of fee payment: 11 |
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090725 Year of fee payment: 12 |
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| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 12 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090725 |
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| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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