JP2668477B2 - 光導波路と光ファイバの結合方法 - Google Patents
光導波路と光ファイバの結合方法Info
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- JP2668477B2 JP2668477B2 JP4091868A JP9186892A JP2668477B2 JP 2668477 B2 JP2668477 B2 JP 2668477B2 JP 4091868 A JP4091868 A JP 4091868A JP 9186892 A JP9186892 A JP 9186892A JP 2668477 B2 JP2668477 B2 JP 2668477B2
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- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、石英光導波路と光ファ
イバとを効率良く結合する結合装置及び結合方法に関す
るものである。
イバとを効率良く結合する結合装置及び結合方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、ＬＡＮやＣＡＴＶ等の光通信シス
テムの構築が盛んになると共に、光分岐回路、光合波器
等として用いられる石英光導波路がその構成要素として
重要性を増してきた。ところで、この石英光導波路はそ
の入出力部で光ファイバと結合させる必要がある。この
結合は石英光導波路のコア部と光ファイバのコア部を精
度良く対向させることによって行われる。しかし、通常
コア部は数μｍβ至数十μｍ程度であり、簡単に結合さ
せることができない。そのため、種々の結合装置が提案
されている。
テムの構築が盛んになると共に、光分岐回路、光合波器
等として用いられる石英光導波路がその構成要素として
重要性を増してきた。ところで、この石英光導波路はそ
の入出力部で光ファイバと結合させる必要がある。この
結合は石英光導波路のコア部と光ファイバのコア部を精
度良く対向させることによって行われる。しかし、通常
コア部は数μｍβ至数十μｍ程度であり、簡単に結合さ
せることができない。そのため、種々の結合装置が提案
されている。
【０００３】この従来の結合装置の典型的なものを図６
により説明する。２１は光導波路、２２は光ファイバで
ある。光導波路２１はシリコン基板２３上にクラッド２
４を積層したものであり、クラッド２４の所定箇所にコ
ア部２５が埋設されている。光ファイバ２２はコア部２
６とその回りのクラッド２７とからなっている。この光
導波路２１と光ファイバ２２の結合を精度良く行うため
に、光導波路２１のコア部２５を基準にして凹溝２８が
形成され、この凹溝２８に光ファイバ２２の先端を押し
込み、光ファイバ２２のコア部２６と光導波路２１のコ
ア部２５が対向するようにし、接着剤等で固定したもの
である。また、この凹溝のガイドに代わり、ガイド壁を
形成したもの（特公平３−２４６４２号公報参照）や、
Ｖ溝を形成したもの（特開昭６１−１８５９９１号公報
参照）などが提案されている。
により説明する。２１は光導波路、２２は光ファイバで
ある。光導波路２１はシリコン基板２３上にクラッド２
４を積層したものであり、クラッド２４の所定箇所にコ
ア部２５が埋設されている。光ファイバ２２はコア部２
６とその回りのクラッド２７とからなっている。この光
導波路２１と光ファイバ２２の結合を精度良く行うため
に、光導波路２１のコア部２５を基準にして凹溝２８が
形成され、この凹溝２８に光ファイバ２２の先端を押し
込み、光ファイバ２２のコア部２６と光導波路２１のコ
ア部２５が対向するようにし、接着剤等で固定したもの
である。また、この凹溝のガイドに代わり、ガイド壁を
形成したもの（特公平３−２４６４２号公報参照）や、
Ｖ溝を形成したもの（特開昭６１−１８５９９１号公報
参照）などが提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来の結合装置は
いずれも光導波路にそのコア部を基準にして凹溝などの
ガイドを形成し、このガイドによって光ファイバ先端の
全体を位置決めするものである。そのため、凹溝などの
ガイドをコア部に対して精度良く設けることと、凹溝な
どのガイド内の光ファイバを接着剤などで固定する際に
ずれが生じないように細心の注意を払って調整すること
が求められる。
いずれも光導波路にそのコア部を基準にして凹溝などの
ガイドを形成し、このガイドによって光ファイバ先端の
全体を位置決めするものである。そのため、凹溝などの
ガイドをコア部に対して精度良く設けることと、凹溝な
どのガイド内の光ファイバを接着剤などで固定する際に
ずれが生じないように細心の注意を払って調整すること
が求められる。
【０００５】しかしながら、これらの注意を細心に払っ
たとしても、光ファイバ断面が真円でありコアが偏心し
ていないことを前提としているため、光導波路の凹溝な
どのガイドを精度良く形成しても、光ファイバが完全な
真円で、且つ偏心がないものでない限り光ファイバのコ
アを光導波路のコアの軸心にずれが生じるのは避けられ
ないという問題点がある。
たとしても、光ファイバ断面が真円でありコアが偏心し
ていないことを前提としているため、光導波路の凹溝な
どのガイドを精度良く形成しても、光ファイバが完全な
真円で、且つ偏心がないものでない限り光ファイバのコ
アを光導波路のコアの軸心にずれが生じるのは避けられ
ないという問題点がある。
【０００６】本発明は、従来の技術の有するこのような
問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とすると
ころは、光軸合わせのために面倒な調整を必要とせず、
石英光導波路に光ファイバを精度良く結合する結合装置
及び結合方法を提供するところにある。
問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とすると
ころは、光軸合わせのために面倒な調整を必要とせず、
石英光導波路に光ファイバを精度良く結合する結合装置
及び結合方法を提供するところにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の光導波路と光ファイバの結合方法は、石英
光導波路１の光ファイバ２との結合側端面５におけるコ
ア部４を窪ませて凹部を形成する凹部形成工程と、光フ
ァイバ２の石英光導波路１との結合側端面１０に凸部を
形成する凸部形成工程と、石英光導波路１の凹部と光フ
ァイバ２の凸部とを嵌合させて結合する凹凸結合工程と
を有するものである。
に、本発明の光導波路と光ファイバの結合方法は、石英
光導波路１の光ファイバ２との結合側端面５におけるコ
ア部４を窪ませて凹部を形成する凹部形成工程と、光フ
ァイバ２の石英光導波路１との結合側端面１０に凸部を
形成する凸部形成工程と、石英光導波路１の凹部と光フ
ァイバ２の凸部とを嵌合させて結合する凹凸結合工程と
を有するものである。
【０００８】そして、本発明の結合方法において、前記
凹部形成工程は、石英光導波路１の光ファイバ２との結
合側端面５にポジティブ型の紫外線硬化樹脂１２を塗布
し、他方の端面からコア部４に紫外線ＵＶを入射させ、
前記結合側端面５から出る紫外線ＵＶによって前記紫外
線硬化樹脂１２のコア部４に相当する部分のみを感光さ
せ、現像することにより前記感光した紫外線硬化樹脂を
除去してコア部４のみを露出させ、露出したコア部４を
エッチングして凹部６を形成した後、クラッド部８上に
残った紫外線硬化樹脂を除去する工程から成り、前記凸
部形成工程は、前記光ファイバ２の石英光導波路１との
結合側端面１０にネガティブ型の紫外線硬化樹脂１３を
塗布し、他方の端面からコア部７に紫外線ＵＶを入射さ
せ、前記結合側端面１０から出る紫外線ＵＶによって前
記紫外線硬化樹脂１３のコア部７に相当する部分のみを
感光させ、現像することにより前記感光した部分以外の
紫外線硬化樹脂を除去してクラッド部８のみを露出さ
せ、紫外線硬化樹脂の凸部を形成する工程を有すること
を特徴とするものである。また、前記凸部形成工程は、
前記光ファイバ２の石英光導波路１との結合側端面１０
にネガティブ型の紫外線硬化樹脂１３を塗布し、他方の
端面からコア部７に紫外線ＵＶを入射させ、前記結合側
端面１０から出る紫外線ＵＶによって前記紫外線硬化樹
脂１３のコア部７に相当する部分のみを感光させ、現像
することにより前記感光した部分以外の紫外線硬化樹脂
を除去してクラッド部８のみを露出させ、露出したクラ
ッド部８をエッチングして凸部を形成した後、コア部７
上に残った紫外線硬化樹脂を除去する工程とするのが好
ましい。
凹部形成工程は、石英光導波路１の光ファイバ２との結
合側端面５にポジティブ型の紫外線硬化樹脂１２を塗布
し、他方の端面からコア部４に紫外線ＵＶを入射させ、
前記結合側端面５から出る紫外線ＵＶによって前記紫外
線硬化樹脂１２のコア部４に相当する部分のみを感光さ
せ、現像することにより前記感光した紫外線硬化樹脂を
除去してコア部４のみを露出させ、露出したコア部４を
エッチングして凹部６を形成した後、クラッド部８上に
残った紫外線硬化樹脂を除去する工程から成り、前記凸
部形成工程は、前記光ファイバ２の石英光導波路１との
結合側端面１０にネガティブ型の紫外線硬化樹脂１３を
塗布し、他方の端面からコア部７に紫外線ＵＶを入射さ
せ、前記結合側端面１０から出る紫外線ＵＶによって前
記紫外線硬化樹脂１３のコア部７に相当する部分のみを
感光させ、現像することにより前記感光した部分以外の
紫外線硬化樹脂を除去してクラッド部８のみを露出さ
せ、紫外線硬化樹脂の凸部を形成する工程を有すること
を特徴とするものである。また、前記凸部形成工程は、
前記光ファイバ２の石英光導波路１との結合側端面１０
にネガティブ型の紫外線硬化樹脂１３を塗布し、他方の
端面からコア部７に紫外線ＵＶを入射させ、前記結合側
端面１０から出る紫外線ＵＶによって前記紫外線硬化樹
脂１３のコア部７に相当する部分のみを感光させ、現像
することにより前記感光した部分以外の紫外線硬化樹脂
を除去してクラッド部８のみを露出させ、露出したクラ
ッド部８をエッチングして凸部を形成した後、コア部７
上に残った紫外線硬化樹脂を除去する工程とするのが好
ましい。
【０００９】
【作用】石英光導波路１のコア部４が凹部６に形成さ
れ、光ファイバ２のコア部７が凸部に形成されているの
で、凹部６と凸部を嵌合すると、必然的にコア部同士が
対向して結合精度が上がり、簡単にずれない。
れ、光ファイバ２のコア部７が凸部に形成されているの
で、凹部６と凸部を嵌合すると、必然的にコア部同士が
対向して結合精度が上がり、簡単にずれない。
【００１０】光導波路１のコア部４を窪ませることが困
難であるとの常識を打ち破り、石英光導波路１をコア部
４を凹部６に形成する点が重要であり、そのため、端面
にポジティブ型の紫外線硬化型樹脂１２を塗布し、他方
の端面からコア部４に紫外線ＵＶを入射させ、前記結合
側端面５から出る紫外線ＵＶによって前記紫外線硬化樹
脂１２のコア部に相当する部分のみを感光させ、現像す
ることにより前記感光した紫外線硬化樹脂を除去してコ
ア部４のみを露出させた後、露出したコア部４をエッチ
ングするので、コア部４のみが窪んで凹部６が形成され
る。光ファイバ２の凸部形成工程は、石英光導波路１と
の結合側端面１０にネガティブ型の紫外線硬化樹脂１３
を塗布し、他方の端面からコア部７に紫外線ＵＶをを入
射させ、前記結合側端面１０から出る紫外線ＵＶによっ
て前記紫外線硬化樹脂１３のコア部７に相当する部分の
みを感光させ、現像すると前記感光した部分以外の紫外
線硬化樹脂が除去され、クラッド部８のみ露出するの
で、コア部７上の紫外線硬化樹脂を残したままにしてお
くと、この紫外線硬化樹脂１３で凸部が形成される。さ
らにクラッド部８をエッチングして、コア部７上に残っ
た紫外線硬化樹脂１３を除去すると、光ファイバの端面
１０にコア部のみが突出して凸部９が形成される。
難であるとの常識を打ち破り、石英光導波路１をコア部
４を凹部６に形成する点が重要であり、そのため、端面
にポジティブ型の紫外線硬化型樹脂１２を塗布し、他方
の端面からコア部４に紫外線ＵＶを入射させ、前記結合
側端面５から出る紫外線ＵＶによって前記紫外線硬化樹
脂１２のコア部に相当する部分のみを感光させ、現像す
ることにより前記感光した紫外線硬化樹脂を除去してコ
ア部４のみを露出させた後、露出したコア部４をエッチ
ングするので、コア部４のみが窪んで凹部６が形成され
る。光ファイバ２の凸部形成工程は、石英光導波路１と
の結合側端面１０にネガティブ型の紫外線硬化樹脂１３
を塗布し、他方の端面からコア部７に紫外線ＵＶをを入
射させ、前記結合側端面１０から出る紫外線ＵＶによっ
て前記紫外線硬化樹脂１３のコア部７に相当する部分の
みを感光させ、現像すると前記感光した部分以外の紫外
線硬化樹脂が除去され、クラッド部８のみ露出するの
で、コア部７上の紫外線硬化樹脂を残したままにしてお
くと、この紫外線硬化樹脂１３で凸部が形成される。さ
らにクラッド部８をエッチングして、コア部７上に残っ
た紫外線硬化樹脂１３を除去すると、光ファイバの端面
１０にコア部のみが突出して凸部９が形成される。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説
明する。図１は本発明方法による光導波路と光ファイバ
の結合状態を示す図である。
明する。図１は本発明方法による光導波路と光ファイバ
の結合状態を示す図である。
【００１２】図１において、１はたとえば１×８Ｙ分岐
石英光導波路、２は石英光ファイバである。この石英光
導波路１は１本から８本に分岐するためのものであり、
３はクラッド、４はコア部であって図示例はその結合側
端面５の一部が示されている。この結合側端面５に露出
するコア部４は凹部６に形成されている。石英光ファイ
バ２はコア部７とクラッド８とからなり、その結合側端
面１０に露出するコア部７は凸部９に形成されている。
なお、石英光導波路１の凹部６と同心の円錐台孔形状の
ガイド孔１１はシリコンなどで形成されており、石英光
ファイバ２の凸部９を凹部６に嵌合させるための予備的
なガイドとなっている。
石英光導波路、２は石英光ファイバである。この石英光
導波路１は１本から８本に分岐するためのものであり、
３はクラッド、４はコア部であって図示例はその結合側
端面５の一部が示されている。この結合側端面５に露出
するコア部４は凹部６に形成されている。石英光ファイ
バ２はコア部７とクラッド８とからなり、その結合側端
面１０に露出するコア部７は凸部９に形成されている。
なお、石英光導波路１の凹部６と同心の円錐台孔形状の
ガイド孔１１はシリコンなどで形成されており、石英光
ファイバ２の凸部９を凹部６に嵌合させるための予備的
なガイドとなっている。
【００１３】上述した石英光導波路１の凹部６に石英光
ファイバ２の凸部９を嵌合させて結合が完了するので、
コア部４，７が直接的に対向する。したがって、石英光
ファイバ２のコア部７とクラッド７との間に偏心があっ
たとしても、心がずれることがない。また、凹凸嵌合に
より結合精度が決まるようになっているので、ガイド孔
１１自体に其ほどの精度が要求されない。さらに、凹凸
嵌合という機械的結合により、少々の外力でずれること
がなく、ガイド孔１１を接着剤等で埋める際にずれる恐
れがなくなる。
ファイバ２の凸部９を嵌合させて結合が完了するので、
コア部４，７が直接的に対向する。したがって、石英光
ファイバ２のコア部７とクラッド７との間に偏心があっ
たとしても、心がずれることがない。また、凹凸嵌合に
より結合精度が決まるようになっているので、ガイド孔
１１自体に其ほどの精度が要求されない。さらに、凹凸
嵌合という機械的結合により、少々の外力でずれること
がなく、ガイド孔１１を接着剤等で埋める際にずれる恐
れがなくなる。
【００１４】つぎに、石英光導波路１の凹部形成工程を
図２により説明する。同図（ａ）において、結合側端面
５にポジティブ型の紫外線硬化樹脂１２を塗布し、他端
側からコア部４に紫外線ＵＶを入射し、紫外線硬化樹脂
１２のコア部４に相当する部分のみが紫外線ＵＶで感光
される。同図（ｂ）において、現像することにより感光
した紫外線硬化樹脂１２が除去され、コア部４の端面が
露出する。その後、紫外線硬化樹脂１２と反応しない
が、コア部の石英と反応するフッ酸等のエッチング液
で、コア部４をエッチングして凹部６を形成する。同図
（ｃ）において、残った紫外線硬化樹脂１２が除去さ
れ、所定の凹部形成工程を終える。
図２により説明する。同図（ａ）において、結合側端面
５にポジティブ型の紫外線硬化樹脂１２を塗布し、他端
側からコア部４に紫外線ＵＶを入射し、紫外線硬化樹脂
１２のコア部４に相当する部分のみが紫外線ＵＶで感光
される。同図（ｂ）において、現像することにより感光
した紫外線硬化樹脂１２が除去され、コア部４の端面が
露出する。その後、紫外線硬化樹脂１２と反応しない
が、コア部の石英と反応するフッ酸等のエッチング液
で、コア部４をエッチングして凹部６を形成する。同図
（ｃ）において、残った紫外線硬化樹脂１２が除去さ
れ、所定の凹部形成工程を終える。
【００１５】図３により、石英光導波路と同様のエッチ
ッグによる石英光ファイバ２の凸部形成工程を説明す
る。同図（ａ）において、結合側端面１０にネガティブ
型の紫外線硬化樹脂１３を塗布し、他端側からコア部７
に紫外線ＵＶを入射し、紫外線硬化樹脂１３のコア部７
に相当する部分のみが紫外線ＵＶで感光される。同図
（ｂ）において、現像することにより感光した紫外線硬
化樹脂１３以外の部分が除去され、コア部７の端面を除
くクラッド８の部分が露出する。その後、紫外線硬化樹
脂１３と反応しないが、コア部の石英と反応するフッ酸
等のエッチング液で、クラッド８をエッチングして凸部
９を形成する。同図（ｃ）において、残った紫外線硬化
樹脂１３が除去され、所定の凸部形成工程を終える。
ッグによる石英光ファイバ２の凸部形成工程を説明す
る。同図（ａ）において、結合側端面１０にネガティブ
型の紫外線硬化樹脂１３を塗布し、他端側からコア部７
に紫外線ＵＶを入射し、紫外線硬化樹脂１３のコア部７
に相当する部分のみが紫外線ＵＶで感光される。同図
（ｂ）において、現像することにより感光した紫外線硬
化樹脂１３以外の部分が除去され、コア部７の端面を除
くクラッド８の部分が露出する。その後、紫外線硬化樹
脂１３と反応しないが、コア部の石英と反応するフッ酸
等のエッチング液で、クラッド８をエッチングして凸部
９を形成する。同図（ｃ）において、残った紫外線硬化
樹脂１３が除去され、所定の凸部形成工程を終える。
【００１６】石英光ファイバ２の凸部形成工程は上記工
程に限定されるものではなく、図４はその簡便法の説明
図である。同図（ａ）に示す石英光ファイバの結合端面
１０を、コア部よりもクラッド８の方を選択的にエッチ
ングしやすいエッチング液（たとえばフッ酸６重量％、
フッ化アンモニウム３０重量％を水６４重量％５／６に
混合した水溶液）中に浸漬し、同図（ｂ）のように凸部
９を形成する。
程に限定されるものではなく、図４はその簡便法の説明
図である。同図（ａ）に示す石英光ファイバの結合端面
１０を、コア部よりもクラッド８の方を選択的にエッチ
ングしやすいエッチング液（たとえばフッ酸６重量％、
フッ化アンモニウム３０重量％を水６４重量％５／６に
混合した水溶液）中に浸漬し、同図（ｂ）のように凸部
９を形成する。
【００１７】さらに、図５は紫外線硬化樹脂自体を凸部
にする凸部形成工程を示している。同図（ａ）におい
て、石英光ファイバ２の結合側端面１０に紫外線硬化樹
脂１３を塗布し、他端側からコア部７に紫外線ＵＶを入
射し、紫外線硬化樹脂１３のコア部７に相当する部分の
みが紫外線ＵＶで感光される。同図（ｂ）において、現
像により感光した紫外線硬化樹脂１３以外の部分が除去
され、コア部７の端面を除くクラッド８の部分が露出
し、凸部９が形成される。この場合、紫外線硬化樹脂１
３の特性を適切に選択し、結合効率が低下しないように
する。
にする凸部形成工程を示している。同図（ａ）におい
て、石英光ファイバ２の結合側端面１０に紫外線硬化樹
脂１３を塗布し、他端側からコア部７に紫外線ＵＶを入
射し、紫外線硬化樹脂１３のコア部７に相当する部分の
みが紫外線ＵＶで感光される。同図（ｂ）において、現
像により感光した紫外線硬化樹脂１３以外の部分が除去
され、コア部７の端面を除くクラッド８の部分が露出
し、凸部９が形成される。この場合、紫外線硬化樹脂１
３の特性を適切に選択し、結合効率が低下しないように
する。
【００１８】そして、図１に示されるように、図２の凹
部形成工程を経た石英光導波路１と、図３又は図４の凸
部形成工程を経た石英光ファイバ２とを対向させ、ガイ
ド１１によって凹部６に凸部９を嵌合させて結合し、結
合状態のまま接着剤等で固定する。
部形成工程を経た石英光導波路１と、図３又は図４の凸
部形成工程を経た石英光ファイバ２とを対向させ、ガイ
ド１１によって凹部６に凸部９を嵌合させて結合し、結
合状態のまま接着剤等で固定する。
【００１９】
【発明の効果】本発明の結合方法は、石英光導波路１の
コア部４が凹部に形成され、光ファイバ２のコア部７が
凸部に形成され、凹部と凸部を嵌合すると、必然的にコ
ア部同士が対向して結合精度が上がるようにしたので、
面倒な光軸合わせ調整の必要がなく、光ファイバのコア
部とクラッド軸の心のずれに起因して結合精度が低下す
る恐れがなくなる。
コア部４が凹部に形成され、光ファイバ２のコア部７が
凸部に形成され、凹部と凸部を嵌合すると、必然的にコ
ア部同士が対向して結合精度が上がるようにしたので、
面倒な光軸合わせ調整の必要がなく、光ファイバのコア
部とクラッド軸の心のずれに起因して結合精度が低下す
る恐れがなくなる。
【００２０】そして、光導波路１のコア部４を窪ませる
ことが困難であるとの常識を打ち破り、石英光導波路の
凹部形成工程は、端面５にポジティブ型の紫外線硬化型
樹脂１２を塗布し、他方の端面からコア部４に紫外線Ｕ
Ｖを入射させ、前記結合側端面から出る紫外線ＵＶによ
って前記紫外線硬化樹脂１２のコア部に相当する部分の
みを感光させ、現像することにより前記感光した紫外線
硬化樹脂を除去してコア部４のみを露出させ、露出した
コア部４をエッチングして所定の凹部を形成するので、
光導波路１の凹部６の形成が精密且つ容易である。ま
た、光ファイバの凸部形成工程は、石英光導波路１との
結合側端面１０にネガティブ型の紫外線硬化樹脂１３を
塗布し、他方の端面からコア部７に紫外線ＵＶを入射さ
せ、前記結合側端面１０から出る紫外線ＵＶによって前
記紫外線硬化樹脂１３のコア部に相当する部分のみを感
光させ、現像することにより、前記感光した部分以外の
紫外線硬化樹脂を除去して、クラッド部８を露出させ、
コア部７上に紫外線硬化樹脂を残したままにしておく
と、この紫外線硬化樹脂１３で凸部が形成される。さら
にクラッド部８をエッチングして、コア部７上の紫外線
硬化樹脂１３を除去すると、光ファイバの端面１０にコ
ア部のみが突出した凸部９が形成される。いずれの方法
によっても、光ファイバ２の凸部の形成が精密且つ容易
である。
ことが困難であるとの常識を打ち破り、石英光導波路の
凹部形成工程は、端面５にポジティブ型の紫外線硬化型
樹脂１２を塗布し、他方の端面からコア部４に紫外線Ｕ
Ｖを入射させ、前記結合側端面から出る紫外線ＵＶによ
って前記紫外線硬化樹脂１２のコア部に相当する部分の
みを感光させ、現像することにより前記感光した紫外線
硬化樹脂を除去してコア部４のみを露出させ、露出した
コア部４をエッチングして所定の凹部を形成するので、
光導波路１の凹部６の形成が精密且つ容易である。ま
た、光ファイバの凸部形成工程は、石英光導波路１との
結合側端面１０にネガティブ型の紫外線硬化樹脂１３を
塗布し、他方の端面からコア部７に紫外線ＵＶを入射さ
せ、前記結合側端面１０から出る紫外線ＵＶによって前
記紫外線硬化樹脂１３のコア部に相当する部分のみを感
光させ、現像することにより、前記感光した部分以外の
紫外線硬化樹脂を除去して、クラッド部８を露出させ、
コア部７上に紫外線硬化樹脂を残したままにしておく
と、この紫外線硬化樹脂１３で凸部が形成される。さら
にクラッド部８をエッチングして、コア部７上の紫外線
硬化樹脂１３を除去すると、光ファイバの端面１０にコ
ア部のみが突出した凸部９が形成される。いずれの方法
によっても、光ファイバ２の凸部の形成が精密且つ容易
である。
【図１】本発明方法による光導波路と光ファイバの結合
状態を示す図である。
状態を示す図である。
【図２】光導波路のコア部を凹部にする凹部形成工程を
示す図である。
示す図である。
【図３】光ファイバのコア部を凸部にする凸部形成工程
を示す図である。
を示す図である。
【図４】光ファイバのコア部を凸部にする他の凸部形成
工程を示す図である。
工程を示す図である。
【図５】光ファイバのコア部を凸部にするさらに他の凸
部形成工程を示す図である。
部形成工程を示す図である。
【図６】従来の方法による光導波路と光ファイバの結合
状態を示す斜視図である。
状態を示す斜視図である。
１ 石英光導波路 ２ 石英光ファイバ ４ 石英光導波路のコア部 ５ 結合側端面 ６ 凹部 ７ 石英光ファイバのコア部 ９ 凸部 １０ 結合側端面 １２ ポジティブ型の紫外線硬化型樹脂 １３ ネガティブ型の紫外線硬化樹脂
Claims (2)
- 【請求項１】 石英光導波路１の光ファイバ２との結合
側端面５におけるコア部４を窪ませて凹部を形成する凹
部形成工程と、光ファイバ２の石英光導波路１との結合
側端面１０に凸部を形成する凸部形成工程と、石英光導
波路１の凹部と光ファイバ２の凸部とを嵌合させて結合
する凹凸結合工程とから成る光導波路と光ファイバの結
合方法であって、 前記凹部形成工程は、石英光導波路１の光ファイバ２と
の結合側端面５にポジティブ型の紫外線硬化樹脂１２を
塗布し、他方の端面からコア部４に紫外線ＵＶを入射さ
せ、前記結合側端面５から出る紫外線ＵＶによって前記
紫外線硬化樹脂１２のコア部４に相当する部分のみを感
光させ、現像することにより前記感光した紫外線硬化樹
脂を除去してコア部４のみを露出させ、露出したコア部
４をエッチングして凹部６を形成した後、クラッド部８
上に残った紫外線硬化樹脂を除去する工程から成り、前
記凸部形成工程は、前記光ファイバ２の石英光導波路１
との結合側端面１０にネガティブ型の紫外線硬化樹脂１
３を塗布し、他方の端面からコア部７に紫外線ＵＶを入
射させ、前記結合側端面１０から出る紫外線ＵＶによっ
て前記紫外線硬化樹脂１３のコア部７に相当する部分の
みを感光させ、現像することにより前記感光した部分以
外の紫外線硬化樹脂を除去してクラッド部８のみを露出
させ、紫外線硬化樹脂の凸部を形成する工程を有するこ
とを特徴とする光導波路と光ファイバの結合方法。 - 【請求項２】 前記凸部形成工程は、前記光ファイバ２
の石英光導波路１との結合側端面１０にネガティブ型の
紫外線硬化樹脂１３を塗布し、他方の端面からコア部７
に紫外線ＵＶを入射させ、前記結合側端面１０から出る
紫外線ＵＶによって前記紫外線硬化樹脂１３のコア部７
に相当する部分のみを感光させ、現像することにより前
記感光した部分以外の紫外線硬化樹脂を除去してクラッ
ド部８のみを露出させ、露出したクラッド部８をエッチ
ングして凸部を形成した後、コア部７上に残った紫外線
硬化樹脂を除去する工程からなることを特徴とする請求
項１記載の光導波路と光ファイバの結合方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4091868A JP2668477B2 (ja) | 1992-03-16 | 1992-03-16 | 光導波路と光ファイバの結合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4091868A JP2668477B2 (ja) | 1992-03-16 | 1992-03-16 | 光導波路と光ファイバの結合方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05264846A JPH05264846A (ja) | 1993-10-15 |
| JP2668477B2 true JP2668477B2 (ja) | 1997-10-27 |
Family
ID=14038540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4091868A Expired - Lifetime JP2668477B2 (ja) | 1992-03-16 | 1992-03-16 | 光導波路と光ファイバの結合方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2668477B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08179147A (ja) * | 1994-12-27 | 1996-07-12 | Nec Corp | 光結合回路とその製造方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5541430A (en) * | 1978-09-18 | 1980-03-24 | Toshiba Corp | Optical signal transmitter |
| JPS5659213A (en) * | 1979-10-19 | 1981-05-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Connecting method of optical fiber |
| JPH05173038A (ja) * | 1991-12-26 | 1993-07-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光導波路と光ファイバの接続機構 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51149635U (ja) * | 1975-05-23 | 1976-11-30 |
-
1992
- 1992-03-16 JP JP4091868A patent/JP2668477B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5541430A (en) * | 1978-09-18 | 1980-03-24 | Toshiba Corp | Optical signal transmitter |
| JPS5659213A (en) * | 1979-10-19 | 1981-05-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Connecting method of optical fiber |
| JPH05173038A (ja) * | 1991-12-26 | 1993-07-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光導波路と光ファイバの接続機構 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05264846A (ja) | 1993-10-15 |
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