RU2161323C2 - Устройство и способ для пассивного совмещения оптического волокна со световодом ввода/вывода (варианты) - Google Patents

Устройство и способ для пассивного совмещения оптического волокна со световодом ввода/вывода (варианты) Download PDF

Info

Publication number
RU2161323C2
RU2161323C2 RU98112755/28A RU98112755A RU2161323C2 RU 2161323 C2 RU2161323 C2 RU 2161323C2 RU 98112755/28 A RU98112755/28 A RU 98112755/28A RU 98112755 A RU98112755 A RU 98112755A RU 2161323 C2 RU2161323 C2 RU 2161323C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
optical fiber
fiber
light guide
refractive index
planar substrate
Prior art date
Application number
RU98112755/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU98112755A (ru
Inventor
Сео Фил-Сеунг
Ли Хиунг-Дзае
Рхи Тае-Хиунг
Ким Хиоун-Соо
Йи Санг-Иун
Original Assignee
Самсунг Электроникс Ко., Лтд
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Самсунг Электроникс Ко., Лтд filed Critical Самсунг Электроникс Ко., Лтд
Publication of RU98112755A publication Critical patent/RU98112755A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2161323C2 publication Critical patent/RU2161323C2/ru

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
    • G02B6/305—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device and having an integrated mode-size expanding section, e.g. tapered waveguide

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Abstract

Изобретение используется в волоконно-оптических системах связи. Устройство содержит световод, выполненный на планарной подложке в ее продольном направлении, имеющий сердечник, установочную часть для оптического волокна, выполненную с заданной длиной на планарной подложке в ее продольном направлении, и полость, расположенную между установочной частью и сердечником световода, заполненную материалом, при облучении которого УФ-излучением показатель преломления отверждаемой части возрастает по сравнению с неотверждаемой частью, что приводит к образованию световода с расширяющимся световодом, обеспечено уменьшение потерь на стыковку оптического волокна со световодом при горизонтальных смещениях. В способе совмещения выполняют операцию разрезания оптического волокна на установочной части вблизи световода, одновременно осуществляя шлифовку поперечных сечений волокна и световода. 3 с. и 5 з.п. ф-лы, 4 ил.

Description

Изобретение относится к устройству и способу для совмещения световода и оптического волокна, в частности к устройству и способу для пассивного совмещения оптического волокна в целях стыковки со световодом ввода/вывода в интегральном оптическом устройстве, содержащем интегрированные в подложку световодные устройства с разными функциями.
Для присоединения оптического волокна к световоду можно использовать, в основном, два способа. Во-первых, можно, направив падающий свет в оптическое волокно или устройство, точно съюстировать положение оптического волокна и измерить мощность оптического излучения на выходе из световода или оптического фильтра, чтобы зафиксировать оптическое волокно и световод в таком положении, которое обеспечивает максимальную мощность оптического излучения. Этот способ известен как способ активного совмещения. Во-вторых, можно без направления света автоматически совместить оптическое волокно со световодом в целях стыковки друг с другом в соответствии с формой и структурой соединяемых частей. Этот способ известен как способ пассивного совмещения.
Способ активного совмещения обычно используется для стыковки световода с оптическим волокном. При этом для совмещения оптического волокна со световодом необходимо использовать источник света и фотодетектор. Кроме того, оптическое волокно и световод должны быть совмещены с точностью до долей микрона относительно оси совмещения, имеющей шесть степеней свободы. Недостатком такого способа совмещения является его сложность и продолжительное время.
На фиг. 1А и 1В представлены трехмерное изображение и вид сбоку, иллюстрирующие традиционный способ пассивного совмещения. Согласно этому способу формируют слой 101 световода в той части планарной подложки, на которой должно быть закреплено оптическое волокно, чтобы центр сердечника волновода и центр сердечника оптического волокна совместились, и образуют установочную часть 103 для оптического волокна, имеющую V-образную канавку. Затем выполняют канавку перпендикулярно установочной части 103 с V-образной канавкой для оптического волокна, чтобы можно было плотно прижать оптическое волокно 110 к установочной части 103, сохраняя при этом положение, параллельное световоду. Поперечное сечение оптического волокна 110 подвергают прецизионной шлифовке. Оптическое волокно 110 располагают на установочной части 103 для оптического волокна, имеющей V-образную канавку, и плотно прижимают к поперечному сечению световода. После этого оптическое волокно 110 и световод соединяют друг с другом.
Но поскольку диаметры сердечников оптического волокна и световода находятся в диапазоне нескольких микрон, при пассивном совмещении требуется очень строгое соблюдение формы и структуры стыковочной части, точное позиционирование конца оптического волокна и прецизионная шлифовка поперечного сечения оптического волокна, чтобы снизить потери на стыковку. Поэтому такое совмещение занимает продолжительное время и неэкономично.
Для решения перечисленных выше проблем в основу изобретения поставлена задача создания устройства и способа для пассивного совмещения оптического волокна со световодом ввода/вывода в интегральном оптическом устройстве.
Согласно одному аспекту предложено устройство для пассивного совмещения оптического волокна со световодом ввода/вывода в интегральном оптическом устройстве, содержащее: световод, сформированный на планарной подложке в ее продольном направлении, имеющий сердечник, который короче планарной подложки; установочную часть для оптического волокна, выполненную с заданной длиной на планарной подложке в ее продольном направлении, так что световод и оптическое волокно контактируют друг с другом, предназначенную для приема оптического волокна; и полость, расположенную между установочной частью для оптического волокна и сердечником световода, заполненную материалом, показатель преломления которого несколько возрастает при облучении УФ-лучами, в результате чего показатель преломления материала не отличается существенно от показателя преломления сердечника оптического волокна.
Полость предпочтительно имеет поперечное сечение в форме треугольника, квадрата, полукруга или многоугольника и образована способом, выбранным из группы, включающей травление кремниевой подложки, механическую прецизионную обработку и прецизионное прессование.
Согласно другому аспекту предложен способ для пассивного совмещения оптического волокна со световодом ввода/вывода в интегральном оптическом устройстве, заключающийся в том, что (а) формируют световод в виде слоя в продольном направлении на планарной подложке; (b) формируют установочную часть для оптического волокна на планарной подложке, на которой должно располагаться оптическое волокно в целях стыковки со световодом; (с) формируют полость заданного размера между установочной частью для оптического волокна и световодом; (d) размещают оптическое волокно на установочной части для оптического волокна; (е) вводят в полость материал, показатель преломления которого возрастает при облучении УФ-лучами; и (f) соединяют оптическое волокно со световодом посредством облучения материала, заполняющего полость, УФ-лучами.
На этапе (b) формирования установочной части для оптического волокна предпочтительно удаляют часть слоя световода, сформированного на планарной подложке, для формирования установочной части для оптического волокна в целях стыковки оптического волокна со световодом.
Также предложен способ пассивного совмещения оптического волокна со световодом ввода/вывода в интегральном оптическом устройстве, заключающийся в том, что (а) формируют световод в продольном направлении на планарной подложке; (b) формируют установочную часть для оптического волокна на планарной подложке, на которой должно располагаться оптическое волокно в целях его стыковки со световодом; (с) размещают оптическое волокно на установочной части для оптического волокна вблизи световода и фиксируют оптическое волокно; (d) разрезают оптическое волокно, расположенное на установочной части для оптического волокна вблизи световода, и световод, одновременно выполняя шлифовку поперечных сечений оптического волокна и световода, чтобы образовать полость заданного размера между установочной частью для оптического волокна и световодом; (е) вводят в полость материал, показатель преломления которого возрастает при облучении УФ-лучами; и (f) соединяют оптическое волокно со световодом посредством облучения материала, заполняющего канавку, УФ-лучами.
В дальнейшем изобретение поясняется описанием примеров его воплощения со ссылкой на прилагаемые чертежи, на которых
фиг. 1А и фиг. 1В изображают трехмерный вид и вид сбоку, иллюстрирующие традиционный способ пассивного совмещения;
фиг. 2А и 2В - трехмерный вид и вид сбоку, иллюстрирующие вариант устройства для пассивного совмещения оптического волокна, на котором расположено оптическое волокно, и способ согласно изобретению;
фиг. 3А и фиг. 3В - трехмерный вид и вид сбоку, иллюстрирующие другой вариант устройства и способа для пассивного совмещения оптического волокна, согласно изобретению; и
фиг. 4 - график, иллюстрирующий изменение потерь на стыковку в зависимости от радиуса поля моды и горизонтального смещения.
На фиг. 2А и 2В изображено предложенное устройство для пассивного совмещения оптического волокна, содержащее световод 240, установочную часть 210 для оптического волокна и полость 220.
Световод 240 образует светонаправляющий путь, а сердечник 200 световода сформирован на планарной подложке 230 в ее продольном направлении и имеет длину меньше длины планарной подложки 230. Световод 240 выполнен в виде световодного слоя посредством осаждения диоксида кремния на кремниевую планарную подложку 230.
Установочная часть 210 для оптического волокна - это часть, на которой размещено оптическое волокно 250. Установочная часть 210 для оптического волокна выполнена с заданной длиной вдоль планарной подложки 230, так что световод 220 и оптическое волокно 250 контактируют. Для образования установочной части 210 для оптического волокна, часть, на которой должно быть расположено оптическое волокно 250, удаляют со сформированного световода 240, а затем подложку 230 из кристаллического кремния подвергают анизотропному травлению с использованием раствора гидроксида калия (КОН), в результате чего получают установочную часть 210 для оптического волокна, имеющую форму V-образной канавки, так что центр 252 сердечника оптического волокна сходится с центром сердечника 200 световода.
Полость 220 расположена между установочной частью 210 для оптического волокна и сердечником 200 световода и заполнена материалом, например УФ-отверждаемой смолой, показатель преломления которой несколько возрастает при облучении УФ-лучами, в результате чего показатель преломления материала не отличается существенно от показателя преломления сердечника 252 оптического волокна. При этом полость 220, позволяющая принимать оптическое волокно, может иметь форму, например, треугольную, квадратную или полукруглую и может быть выполнена посредством травления кремниевой подложки, механической прецизионной обработки или методом прецизионного прессования.
На фиг. 3А и 3В показаны трехмерное изображение и вид сбоку, иллюстрирующие устройство и способ для пассивного совмещения оптического волокна в целях стыковки световода с оптическим волокном согласно другому варианту изобретения. В этом случае, как показано на фиг. 3A, после выполнения V-образной канавки на световоде, в нее помещают оптическое волокно, после чего световод и оптическое волокно одновременно разрезают в вертикальном направлении.
Как видно на фиг. 3A, после осаждения диоксида кремния на кремниевую подложку для образования световодного слоя 310, часть световодного слоя, на которой должно быть расположено оптическое волокно, удаляют. Затем кремниевую кристаллическую подложку подвергают анизотропному травлению с применением раствора гидроксида калия (КОН), в результате чего получают установочную часть 340 V-образной формы для оптического волокна, так что центр сердечника 322 оптического волокна совмещается с центром сердечника 330 световода. После этого с помощью установки 360 для резки полупроводниковых пластин, толщина диска которой равна нескольким микронам, формируют полость 350, в которую должен быть введен материал, показатель преломления которого возрастает при облучении УФ-лучами. В результате оптическое волокно и световод подвергают одновременной шлифовке.
Описанное выше устройство для пассивного совмещения оптического волокна со световодом используют следующим образом. В полость устройства для пассивного совмещения оптического волокна, т.е. между размещенным оптическим волокном и световодом, вводят материал, показатель преломления которого возрастает при УФ- облучении, например УФ-отверждаемую смолу. После этого в оптическое волокно вводят УФ-лучи. В результате часть, подвергшаяся воздействию УФ-лучей, отверждается, и показатель преломления отвержденной части возрастает по сравнению с неотвержденной частью, что приводит к образованию световода с расширяющимся сердечником. Оптимальный световод можно получить, регулируя интенсивность и время воздействия УФ-лучей. Благодаря световоду с постепенно расширяющимся сердечником, потери на стыковку оптического волокна со световодом относительно меньше подвергаются влиянию горизонтального смещения, которое представляет собой степень рассогласования между осями оптического волокна и световода.
На фиг. 4 показан график, иллюстрирующий изменение потерь на стыковку в зависимости от радиуса поля моды и горизонтального смещения. По мере того, как радиус поля моды световода возрастает за счет облучения УФ-лучами, постепенно уменьшается зависимость потерь на стыковку от горизонтального смещения. Результат применения световода с постепенно расширяющимся сердечником можно проверить следующим образом. Допустим, что поле моды оптического волокна и световода имеют гауссово распределение, а интервал и наклон между оптическим волокном и световодом равны 0, тогда потери на стыковку между оптическим волокном и световодом можно представить следующей математической зависимостью:
Figure 00000002

где w1 и w2 представляют радиусы поля моды (радиусы в степени 1/е) оптического волокна и световода, a d - горизонтальное смещение между оптическим волокном и световодом.
Следовательно, как показано на фиг.4, скорость изменения потерь на стыковку в зависимости от горизонтального смещения уменьшается по мере увеличения радиуса поля моды. В данном случае принято, что радиус поля моды световода составляет 4 мкм.
В описанном выше варианте для удобства объяснения использовалось оптическое волокно с одним сердечником, но можно использовать оптическое волокно, имеющее несколько сердечников, не ограничиваясь описанным выше вариантом.
Радиус поля моды, как правило, возрастает с увеличением диаметра сердечника. Следовательно, предложенное выполнение световода с постепенно увеличивающимся сердечником снижает зависимость потерь при стыковке от горизонтального смещения. При этом не требуется контролировать форму или структуру стыковочной части.
В частности, во втором варианте изобретения световод и оптическое волокно, имеющее один или несколько сердечников, одновременно подвергают резке перпендикулярно подложке. При этом между световодом и оптическим волокном, имеющим один или несколько сердечников, также формируют полость, в которую вводят материал, показатель преломления которого возрастает при УФ-облучении, например УФ-отверждаемая смола. С этой целью выполняют механическую прецизионную обработку после размещения оптического волокна, и дополнительная шлифовка поперечного сечения оптического волокна не требуется. Благодаря выполнению световода с постепенно расширяющимся сердечником снижаются требования к точности позиционирования оптического волокна.

Claims (8)

1. Устройство для пассивного совмещения оптического волокна со световодом ввода/вывода в интегральном оптическом устройстве, содержащее световод, сформированный на планарной подложке в ее продольном направлении, имеющий сердечник, который короче планарной подложки, и установочную часть для оптического волокна, выполненную с заданной длиной на планарной подложке в ее продольном направлении так, что световод и оптическое волокно контактируют друг с другом, а также полость, размещенную между установочной частью для оптического волокна и сердечником световода, заполненную материалом, показатель преломления которого несколько возрастает при облучении УФ - лучами, в результате чего показатель преломления материала не отличается существенно от показателя преломления сердечника оптического волокна для образования световода с расширяющим сердечником.
2. Устройство для пассивного совмещения оптического волокна по п.1, отличающееся тем, что оптическое волокно имеет один или несколько сердечников.
3. Устройство для пассивного совмещения оптического волокна по п.2, отличающееся тем, что поперечное сечение полости имеет треугольную, прямоугольную, полукруглую или многоугольную форму.
4. Устройство для пассивного совмещения оптического волокна по п.1, отличающееся тем, что полость выполнена способом, выбранным из группы, включающей травление кремниевой подложки, механическую прецизионную обработку и прецизионное прессование.
5. Способ пассивного совмещения оптического волокна со световодом ввода/вывода в интегральном оптическом устройстве, включает следующие операции: (а) формируют световод в виде слоя в продольном направлении на планарной подложке, (b) формируют установочную часть для оптического волокна на планарной подложке, на которой должно размещаться оптическое волокно в целях его стыковки со световодом, (с) формируют полость заданного размера между установочной частью для оптического волокна и световодом, (d) размещают оптическое волокно на установочной части для оптического волокна, (е) вводят в полость материал, показатель преломления которого возрастает при облучении УФ - лучами, и (f) соединяют оптическое волокно со световодом посредством облучения УФ - лучами материала, заполняющего полость, в результате чего показатель преломления материала не отличается существенно от показателя преломления сердечника оптического волокна для образования световода с расширяющим сердечником.
6. Способ пассивного совмещения оптического волокна по п.5, отличающийся тем, что на этапе (b) формирования установочной части для оптического волокна удаляют часть слоя световода, сформированного на планарной подложке, для формирования установочной части для оптического волокна в целях стыковки оптического волокна со световодом.
7. Способ пассивного совмещения оптического волокна со световодом ввода/вывода в интегральном оптическом устройстве, включает следующие операции: (а) формируют световод в продольном направлении на планарной подложке, (b) формируют установочную часть для оптического волокна на планарной подложке, на которой должно быть размещаться оптическое волокно в целях его стыковки со световодом, (c) размещают оптическое волокно на установочной части для оптического волокна вблизи световода и фиксируют оптическое волокно, (d) размещают оптическое волокно, размещенное на установочной части для оптического волокна вблизи световода, и световод, одновременно выполняя шлифовку поперечных сечений оптического волокна и световода, чтобы образовать полость заданного размера между установочной частью для оптического волокна и световодом, (e) вводят в полость материал, показатель преломления которого возрастает при облучении УФ - лучами, и (f) соединяют оптическое волокно со световодом посредством облучения УФ - лучами материала, заполняющего канавку, в результате чего показатель преломления материала не отличается существенно от показателя преломления сердечника оптического волокна для образования световода с расширяющим сердечником.
8. Способ пассивного совмещения оптического волокна по п.7, отличающийся тем, что на этапе (b) формирования установочной части для оптического волокна удаляют часть слоя световода, сформированного на планарной подложке, для образования установочной части для оптического волокна в целях стыковки оптического волокна со световодом.
RU98112755/28A 1997-07-03 1998-07-02 Устройство и способ для пассивного совмещения оптического волокна со световодом ввода/вывода (варианты) RU2161323C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019970030824A KR100265789B1 (ko) 1997-07-03 1997-07-03 광섬유수동정렬방법
KR97-30824 1997-07-03

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU98112755A RU98112755A (ru) 2000-05-20
RU2161323C2 true RU2161323C2 (ru) 2000-12-27

Family

ID=19513286

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU98112755/28A RU2161323C2 (ru) 1997-07-03 1998-07-02 Устройство и способ для пассивного совмещения оптического волокна со световодом ввода/вывода (варианты)

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6157759A (ru)
JP (1) JP2958305B2 (ru)
KR (1) KR100265789B1 (ru)
DE (1) DE19829692A1 (ru)
FR (1) FR2765693A1 (ru)
GB (1) GB2326951A (ru)
RU (1) RU2161323C2 (ru)

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100277695B1 (ko) * 1998-09-12 2001-02-01 정선종 에스 오 아이 광도파로를 이용한 하이브리드 광집적회로용 기판 제조방법
EP1788416B1 (en) * 1998-09-24 2008-03-05 LG Cable & Machinery Ltd. Method for manufacturing laser diode chip
US6788853B2 (en) * 2000-06-28 2004-09-07 Shipley Company, L.L.C. Method for cleaving integrated optic waveguides to provide a smooth waveguide endface
GB2368658A (en) * 2000-10-31 2002-05-08 Mitel Semiconductor Ab Aligning optical waveguide with receiver via optical taper
JP3712934B2 (ja) * 2000-11-01 2005-11-02 株式会社日立製作所 光導波路部材、その製造方法及び光モジュール
AUPR174200A0 (en) * 2000-11-28 2000-12-21 Redfern Integrated Optics Pty Ltd Method and apparatus for attaching an optical fibre to an optical device
US6628865B2 (en) * 2000-12-15 2003-09-30 Intel Corporation Alignment of optical fibers to an etched array waveguide
KR20020077078A (ko) * 2001-03-28 2002-10-11 주식회사일진 광도파로가 구비된 소형형상요소형 광모듈
US6788847B2 (en) * 2001-04-05 2004-09-07 Luxtera, Inc. Photonic input/output port
KR100558887B1 (ko) * 2001-09-01 2006-03-10 마이크로솔루션스 주식회사 광소자 제조방법
US6850675B1 (en) 2002-02-04 2005-02-01 Siwave, Inc. Base, payload and connecting structure and methods of making the same
US6674585B1 (en) 2002-02-04 2004-01-06 Siwave, Inc. Flexure assemblies and methods of making the same
US6661955B1 (en) 2002-02-04 2003-12-09 Siwave, Inc. Kinematic and non-kinematic passive alignment assemblies and methods of making the same
US7813634B2 (en) 2005-02-28 2010-10-12 Tessera MEMS Technologies, Inc. Autofocus camera
US8971679B2 (en) 2002-08-28 2015-03-03 Optonet Inc. Apparatus and method for passive alignment of optical devices
US6853778B2 (en) * 2002-09-18 2005-02-08 Agilent Technologies, Inc. Optical module with alignment waveguide
JP4213573B2 (ja) * 2003-01-24 2009-01-21 日東電工株式会社 光導波路の製造方法および光デバイスの接続構造
KR100944310B1 (ko) 2003-01-24 2010-02-24 닛토덴코 가부시키가이샤 광 도파로의 제조 방법 및 광 디바이스의 접속 구조물
JP4048564B2 (ja) * 2004-03-31 2008-02-20 日立化成工業株式会社 光素子結合構造体及び光ファイバー構造体
TWI235857B (en) * 2004-06-01 2005-07-11 Ind Tech Res Inst Coupling structure between fiber and optical waveguide
TW201303397A (zh) * 2004-06-16 2013-01-16 Hitachi Chemical Co Ltd 光導波管型光模組以及光導波管型間距變換器
US20050284181A1 (en) * 2004-06-29 2005-12-29 Smith Terry L Method for making an optical waveguide assembly with integral alignment features
JP5250165B2 (ja) * 2005-02-23 2013-07-31 ジョージア テック リサーチ コーポレーション 端面視光検出器
US7738753B2 (en) * 2008-06-30 2010-06-15 International Business Machines Corporation CMOS compatible integrated dielectric optical waveguide coupler and fabrication
US8724937B2 (en) 2011-12-20 2014-05-13 International Business Machines Corporation Fiber to wafer interface
US8534927B1 (en) 2012-03-23 2013-09-17 International Business Machines Corporation Flexible fiber to wafer interface
US9243784B2 (en) 2012-12-20 2016-01-26 International Business Machines Corporation Semiconductor photonic package
US9400356B2 (en) 2013-03-14 2016-07-26 International Business Machines Corporation Fiber pigtail with integrated lid
US8923665B2 (en) 2013-03-15 2014-12-30 International Business Machines Corporation Material structures for front-end of the line integration of optical polarization splitters and rotators
US11886013B2 (en) 2019-06-17 2024-01-30 Aayuna Inc. Passively-aligned fiber array to waveguide configuration
CN112327420B (zh) * 2020-11-03 2022-06-28 中航光电科技股份有限公司 一种波导通过光纤对准耦合传输结构及生产工艺

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6324204A (ja) * 1986-07-17 1988-02-01 Fujitsu Ltd 光導波路の接続方法
FR2612301B1 (fr) * 1987-03-12 1991-08-23 Corning Glass Works Composant optique integre et sa fabrication
CA1300311C (en) * 1987-04-28 1992-05-05 William Buck Brod Method for treating resin in a purge vessel
US4883743A (en) * 1988-01-15 1989-11-28 E. I. Du Pont De Nemours And Company Optical fiber connector assemblies and methods of making the assemblies
US5015059A (en) * 1988-01-15 1991-05-14 E. I. Du Pont De Nemours And Company Optical fiber connector assemblies and methods of making the assemblies
FR2661516B1 (fr) * 1990-04-27 1992-06-12 Alcatel Fibres Optiques Composant d'optique integree et procede de fabrication.
US5150440A (en) * 1990-10-11 1992-09-22 E. I. Du Pont De Nemours And Company Coupling of optical fiber to optical waveguide device
JPH04204704A (ja) * 1990-11-30 1992-07-27 Hitachi Cable Ltd 光ファイバと光導波路との結合方法
US5175781A (en) * 1991-10-11 1992-12-29 United Technologies Corporation Attaching optical fibers to integrated optic chips
US5231683A (en) * 1991-10-11 1993-07-27 United Technologies Corporation Attaching optical fibers to integrated optic chips
JP3253622B2 (ja) * 1992-03-07 2002-02-04 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 光集積回路素子
US5515464A (en) * 1992-07-06 1996-05-07 Sheem Sang K Optical fiber interconnections using self-aligned core-extensions
JPH0651155A (ja) * 1992-07-28 1994-02-25 Furukawa Electric Co Ltd:The 光ファイバと光導波路の接続方法
GB2272306B (en) * 1992-11-09 1996-11-20 Fujitsu Ltd Coupling of optical parts using a refractive index imaging material
AU668648B2 (en) * 1993-05-26 1996-05-09 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Optical waveguide module and method of manufacturing the same
JP3259742B2 (ja) * 1993-06-22 2002-02-25 住友電気工業株式会社 光導波路モジュール
US5343544A (en) * 1993-07-02 1994-08-30 Minnesota Mining And Manufacturing Company Integrated optical fiber coupler and method of making same
JPH0720358A (ja) * 1993-07-05 1995-01-24 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光ファイバ付平面導光路部品およびその製造方法
US5359687A (en) * 1993-08-23 1994-10-25 Alliedsignal Inc. Polymer microstructures which facilitate fiber optic to waveguide coupling
US5357593A (en) * 1993-10-12 1994-10-18 Alliedsignal Inc. Method of attaching optical fibers to opto-electronic integrated circuits on silicon substrates
ES2160585T3 (es) * 1993-11-08 2001-11-16 Corning Inc Acoplamiento de guias de ondas opticas planas y fibras opticas de retrorreflexion reducida.
DE4344179C1 (de) * 1993-12-23 1994-10-27 Krone Ag Koppelvorrichtung zwischen einer Glasfaser und einem auf einem Substrat integrierten dielektrischen Wellenleiter
JPH0829638A (ja) * 1994-05-12 1996-02-02 Fujitsu Ltd 光導波路・光ファイバ接続構造及び光導波路・光ファイバ接続方法並びに光導波路・光ファイバ接続に使用される光導波路基板及び同基板の製造方法並びに光導波路・光ファイバ接続に使用されるファイバ基板付き光ファイバ
US5854868A (en) * 1994-06-22 1998-12-29 Fujitsu Limited Optical device and light waveguide integrated circuit
US5600745A (en) * 1996-02-08 1997-02-04 Industrial Technology Research Institute Method of automatically coupling between a fiber and an optical waveguide

Also Published As

Publication number Publication date
DE19829692A1 (de) 1999-02-11
JPH1172649A (ja) 1999-03-16
KR100265789B1 (ko) 2000-09-15
JP2958305B2 (ja) 1999-10-06
KR19990008735A (ko) 1999-02-05
GB9814360D0 (en) 1998-09-02
FR2765693A1 (fr) 1999-01-08
US6157759A (en) 2000-12-05
GB2326951A (en) 1999-01-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2161323C2 (ru) Устройство и способ для пассивного совмещения оптического волокна со световодом ввода/вывода (варианты)
US6879757B1 (en) Connection between a waveguide array and a fiber array
TWI230811B (en) Devices and methods for side-coupling optical fibers to optoelectronic components
US5357593A (en) Method of attaching optical fibers to opto-electronic integrated circuits on silicon substrates
US5121457A (en) Method for coupling laser array to optical fiber array
KR101258725B1 (ko) 얇은 ｓｏｉ ｃｍｏｓ 광 집적회로의 광대역 광 커플링
US5444805A (en) Integrated optical component
US8121450B2 (en) Coupling between free space and optical waveguide using etched coupling surfaces
EP2402805A1 (en) Optical ferrule
CA2995292C (en) Photonic chip having a monolithically integrated reflector unit and method of manufacturing a reflector unit
JP2005352453A (ja) 光ファイバ部品及び光導波路モジュール並びにこれらの製造方法
TWI671562B (zh) 透鏡狀光纖在二氧化矽ｖ型槽中的軸向對準
US11934025B2 (en) FAUs including passive alignment adhesive profiles and related methods
US20020159729A1 (en) Optical fiber array
US6976792B1 (en) Optical fiber space transformation
KR19990061766A (ko) 광섬유 및 광도파로 소자 접속 구조
Rosa et al. Self-alignment of optical fibers with optical quality end-polished silicon rib waveguides using wet chemical micromachining techniques
JP2943530B2 (ja) 光接続部品及びその製造方法
WO2023275990A1 (ja) 光導波路デバイスの製造方法及び光導波路デバイス
JP3974891B2 (ja) 光ファイバガイド、光素子モジュール
JP3329951B2 (ja) 光学素子と接続用光部品の接続構造
JPH06208039A (ja) 光導波路の接続方法および接続治具
Ngo et al. Novel U-groove channel for self-alignment of optical fibers with optical quality end-polished silicon rib waveguides using wet chemical micromachining techniques

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20070703