JP2666872B2 - X線回折定性分析装置 - Google Patents
X線回折定性分析装置Info
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- JP2666872B2 JP2666872B2 JP4253774A JP25377492A JP2666872B2 JP 2666872 B2 JP2666872 B2 JP 2666872B2 JP 4253774 A JP4253774 A JP 4253774A JP 25377492 A JP25377492 A JP 25377492A JP 2666872 B2 JP2666872 B2 JP 2666872B2
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、X線回折による試料の
測定および定性分析を行なうX線回折定性分析装置に関
するものである。
測定および定性分析を行なうX線回折定性分析装置に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】X線回折測定装置においては、測定する
試料の種類や、同定したい成分が試料に含まれている主
たる成分か、微量成分か、さらには、測定装置の構成な
どによって、X線管の電圧や電流、スリット角度、走査
角度等、種々の測定条件を設定し、測定を行なう必要が
ある。この測定条件の設定は、従来、測定を行なうオペ
レータが、直接測定装置に対して行なっていた。しか
し、設定する各種の測定条件は、相互に関連しているも
のも多く、不慣れなオペレータが設定すると、各条件間
での制約が反映されず、結果として測定結果の精度が低
くなってしまう。また、測定された結果についても、オ
ペレータなどが出力波形などを見て、分析を行なってお
り、このような測定装置に不慣れな者では、分析が困難
であるという問題があった。
試料の種類や、同定したい成分が試料に含まれている主
たる成分か、微量成分か、さらには、測定装置の構成な
どによって、X線管の電圧や電流、スリット角度、走査
角度等、種々の測定条件を設定し、測定を行なう必要が
ある。この測定条件の設定は、従来、測定を行なうオペ
レータが、直接測定装置に対して行なっていた。しか
し、設定する各種の測定条件は、相互に関連しているも
のも多く、不慣れなオペレータが設定すると、各条件間
での制約が反映されず、結果として測定結果の精度が低
くなってしまう。また、測定された結果についても、オ
ペレータなどが出力波形などを見て、分析を行なってお
り、このような測定装置に不慣れな者では、分析が困難
であるという問題があった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述した問
題点を解決するためになされたもので、誰にでも容易に
測定条件の設定および測定結果の分析を行ない、精度の
よい測定を行なうことのできるX線回折定性測定装置を
提供することを目的とするものである。
題点を解決するためになされたもので、誰にでも容易に
測定条件の設定および測定結果の分析を行ない、精度の
よい測定を行なうことのできるX線回折定性測定装置を
提供することを目的とするものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、X線回折定性
分析装置において、X線回折定性分析装置において、オ
ペレータとの対話により測定条件を設定し、測定装置に
よる測定を実行し、測定結果および分析結果の表示を行
なう測定部と、測定部の問い合わせに応じ、オペレータ
による所定の入力データに基づき測定条件を導出すると
ともに測定結果の分析を行ない測定部にその導出結果と
分析結果を回答するAI分析部を有し、測定条件の設定
時には、測定部において前記入力データを受け取り、該
入力データをAI分析部に送り、AI分析部において該
入力データに基づいて測定条件を導出し、その導出結果
を測定部に通知し、測定部において測定条件を設定し、
測定結果の分析時には、測定装置によって得られた測定
結果を測定部がAI分析部に送り、AI分析部において
測定結果の分析を行い、その分析結果を測定部に通知す
ることを特徴とするものである。
分析装置において、X線回折定性分析装置において、オ
ペレータとの対話により測定条件を設定し、測定装置に
よる測定を実行し、測定結果および分析結果の表示を行
なう測定部と、測定部の問い合わせに応じ、オペレータ
による所定の入力データに基づき測定条件を導出すると
ともに測定結果の分析を行ない測定部にその導出結果と
分析結果を回答するAI分析部を有し、測定条件の設定
時には、測定部において前記入力データを受け取り、該
入力データをAI分析部に送り、AI分析部において該
入力データに基づいて測定条件を導出し、その導出結果
を測定部に通知し、測定部において測定条件を設定し、
測定結果の分析時には、測定装置によって得られた測定
結果を測定部がAI分析部に送り、AI分析部において
測定結果の分析を行い、その分析結果を測定部に通知す
ることを特徴とするものである。
【0005】
【作用】本発明によれば、測定条件の設定時には、オペ
レータとの対話により、例えば測定条件を決定する要因
について質問を提示し、その答となる入力データを受け
取り、入力されたデータをAI分析部に送り、AI分析
部においてこの入力データに基づいて測定条件を導出
し、その導出結果を測定部に通知するから、オペレータ
がシステムからの測定環境についての質問を受けて入力
した答をもとに、自動的に各測定条件間の制約を考慮し
た適切な測定条件を設定することができる。自動的に設
定された測定条件は、オペレータとの対話により、修正
することができる。また、設定された測定条件を基に、
測定装置において、試料の測定を行ない、測定結果をA
I分析部において自動的に分析し、測定結果の分析結果
を得ることができる。
レータとの対話により、例えば測定条件を決定する要因
について質問を提示し、その答となる入力データを受け
取り、入力されたデータをAI分析部に送り、AI分析
部においてこの入力データに基づいて測定条件を導出
し、その導出結果を測定部に通知するから、オペレータ
がシステムからの測定環境についての質問を受けて入力
した答をもとに、自動的に各測定条件間の制約を考慮し
た適切な測定条件を設定することができる。自動的に設
定された測定条件は、オペレータとの対話により、修正
することができる。また、設定された測定条件を基に、
測定装置において、試料の測定を行ない、測定結果をA
I分析部において自動的に分析し、測定結果の分析結果
を得ることができる。
【0006】
【実施例】図1は、本発明のX線回折定性分析装置の一
実施例を示すブロック図である。図中、1は測定部、2
はAI分析部、3は知識ベース、4は測定装置、5は入
出力部である。
実施例を示すブロック図である。図中、1は測定部、2
はAI分析部、3は知識ベース、4は測定装置、5は入
出力部である。
【0007】測定部1は、AI分析部2、測定装置4、
入出力部5に接続されており、測定条件の設定、試料の
測定結果および測定結果に対する分析結果の表示等を行
なう。AI分析部2に対しては、オペレータから入力さ
れた測定環境に関する質問の答え、および、測定装置に
おいて測定されたデータを送信し、測定条件の導出結果
および測定結果の分析結果を受け取る。また、測定装置
4に対しては、設定した測定条件を送信し、測定結果を
受け取る。さらに、入出力部5を介してオペレータとの
対話を行ない、測定条件設定時には、測定環境に関する
質問を表示させ、その答を得るとともに、AI分析部2
から送られてくる測定条件を表示させ、各測定条件の修
正を可能としている。また、測定結果や、測定結果の分
析結果の表示を行なう。
入出力部5に接続されており、測定条件の設定、試料の
測定結果および測定結果に対する分析結果の表示等を行
なう。AI分析部2に対しては、オペレータから入力さ
れた測定環境に関する質問の答え、および、測定装置に
おいて測定されたデータを送信し、測定条件の導出結果
および測定結果の分析結果を受け取る。また、測定装置
4に対しては、設定した測定条件を送信し、測定結果を
受け取る。さらに、入出力部5を介してオペレータとの
対話を行ない、測定条件設定時には、測定環境に関する
質問を表示させ、その答を得るとともに、AI分析部2
から送られてくる測定条件を表示させ、各測定条件の修
正を可能としている。また、測定結果や、測定結果の分
析結果の表示を行なう。
【0008】AI分析部2は、測定部1から送られてく
る質問に対応して動作し、知識ベース3を用いて質問に
対して推論を行ない、得られた答えを測定部1に送信す
る。測定条件の設定時には、測定部1より送られてくる
オペレータの質問に対する答えの入力データを基に推論
を行ない、得られた測定条件を測定部1に送信する。ま
た、分析時には、測定結果を基に知識ベース3を用いて
推論を行ない、分析結果を測定部1に送信する。知識ベ
ース3には、X線定性分析に関する測定条件の知識デー
タが格納されており、AI分析部2により検索される。
る質問に対応して動作し、知識ベース3を用いて質問に
対して推論を行ない、得られた答えを測定部1に送信す
る。測定条件の設定時には、測定部1より送られてくる
オペレータの質問に対する答えの入力データを基に推論
を行ない、得られた測定条件を測定部1に送信する。ま
た、分析時には、測定結果を基に知識ベース3を用いて
推論を行ない、分析結果を測定部1に送信する。知識ベ
ース3には、X線定性分析に関する測定条件の知識デー
タが格納されており、AI分析部2により検索される。
【0009】本発明のX線定性分析装置の一実施例の動
作について説明する。図2は、本発明のX線定性分析装
置の一実施例の動作を説明するためのフローチャートで
ある。S11において、まず、測定条件の設定をAI分
析部2を用いて自動的に行なうか、各測定条件の項目を
マニュアルにより設定するかを決める。AI分析部2を
用いて自動的に行なう場合には、S12において、ウィ
ンドウを利用しながら測定環境に関するいくつかの質問
をオペレータに提示し、その質問に対する答えを入力し
てもらう。S13において、入力された答えは、AI分
析部2で推論され、測定条件が設定されて入出力部5に
表示される。S14において、表示された条件で測定す
るか否かをオペレータが判断し、表示されている条件で
は測定しない場合には、S11に戻り、測定条件の設定
方法の選択からやり直す。また、S11において、マニ
ュアルによる測定条件の設定が選択された場合は、S1
5において、従来通り、マニュアルにより、各測定条件
の設定を行なう。測定条件の設定が終了すると、S16
において、測定を行ない、S17において、測定結果の
診断を行なう。S18において、診断の結果、測定のや
り直しが必要と判断される場合には、S11へ戻り、測
定条件の設定方法の選択からやり直す。S18におい
て、測定結果が適当と認められれば、測定を終了する。
作について説明する。図2は、本発明のX線定性分析装
置の一実施例の動作を説明するためのフローチャートで
ある。S11において、まず、測定条件の設定をAI分
析部2を用いて自動的に行なうか、各測定条件の項目を
マニュアルにより設定するかを決める。AI分析部2を
用いて自動的に行なう場合には、S12において、ウィ
ンドウを利用しながら測定環境に関するいくつかの質問
をオペレータに提示し、その質問に対する答えを入力し
てもらう。S13において、入力された答えは、AI分
析部2で推論され、測定条件が設定されて入出力部5に
表示される。S14において、表示された条件で測定す
るか否かをオペレータが判断し、表示されている条件で
は測定しない場合には、S11に戻り、測定条件の設定
方法の選択からやり直す。また、S11において、マニ
ュアルによる測定条件の設定が選択された場合は、S1
5において、従来通り、マニュアルにより、各測定条件
の設定を行なう。測定条件の設定が終了すると、S16
において、測定を行ない、S17において、測定結果の
診断を行なう。S18において、診断の結果、測定のや
り直しが必要と判断される場合には、S11へ戻り、測
定条件の設定方法の選択からやり直す。S18におい
て、測定結果が適当と認められれば、測定を終了する。
【0010】図3は、測定環境入力の動作を説明するた
めのフローチャートである。このフローチャートは、図
2におけるS12に相当する動作を示している。まず、
S21において、提示する質問の決定を行なう。ここで
は、それまでの質問に対して答えた内容をもとに、次に
提示する質問を決める。また、もう質問の必要がないと
決定する場合もある。S22では、S21で決定された
質問の有無を判断し、質問の提示を行なう場合には、S
23へ進み、提示しない場合は、質問を終了する。S2
3では、S21で決定された質問をオペレータに対して
提示する。そして、S24において、オペレータによる
質問に対する答えを得る。そして、S21に戻り、答え
た内容をもとに、次の質問の決定を行なう。S23にお
いて、質問が終了したと判断された場合には、図2のS
13において、オペレータにより入力された質問に対す
る答えに基づいて推論を行ない、適切な測定条件の設定
を行なって、入出力部5に表示する。
めのフローチャートである。このフローチャートは、図
2におけるS12に相当する動作を示している。まず、
S21において、提示する質問の決定を行なう。ここで
は、それまでの質問に対して答えた内容をもとに、次に
提示する質問を決める。また、もう質問の必要がないと
決定する場合もある。S22では、S21で決定された
質問の有無を判断し、質問の提示を行なう場合には、S
23へ進み、提示しない場合は、質問を終了する。S2
3では、S21で決定された質問をオペレータに対して
提示する。そして、S24において、オペレータによる
質問に対する答えを得る。そして、S21に戻り、答え
た内容をもとに、次の質問の決定を行なう。S23にお
いて、質問が終了したと判断された場合には、図2のS
13において、オペレータにより入力された質問に対す
る答えに基づいて推論を行ない、適切な測定条件の設定
を行なって、入出力部5に表示する。
【0011】以下、上述の処理を具体的に説明する。図
4乃至図13は、具体的な操作の説明図である。図2お
よび図3に示した各ステップと対応づけて説明する。図
4は、S11における測定条件の設定方法の選択画面を
示している。本発明のX線回折定性分析装置を起動する
と、測定条件設定方法の選択画面になる。画面下部のガ
イダンスウィンドウには、「測定条件の設定方法を選択
して下さい。AI設定にしますか、マニュアルにします
か?」と表示されるとともに、画面には、「AI設定」
と、「マニュアル設定」の項目が表示され、どちらかを
オペレータが選択する。選択の方法は、キーボード上の
「↑」「↓」キーで選択し、リターンキーで確定した
り、または、マウスなどのポインティングデバイスを用
いて選択するように構成することもできる。この選択方
法は、以下の各項目の選択にも同様に用いることができ
る。この画面において、「AI設定」を選択すると、A
I分析部を用いた測定条件の設定処理に移行する。
4乃至図13は、具体的な操作の説明図である。図2お
よび図3に示した各ステップと対応づけて説明する。図
4は、S11における測定条件の設定方法の選択画面を
示している。本発明のX線回折定性分析装置を起動する
と、測定条件設定方法の選択画面になる。画面下部のガ
イダンスウィンドウには、「測定条件の設定方法を選択
して下さい。AI設定にしますか、マニュアルにします
か?」と表示されるとともに、画面には、「AI設定」
と、「マニュアル設定」の項目が表示され、どちらかを
オペレータが選択する。選択の方法は、キーボード上の
「↑」「↓」キーで選択し、リターンキーで確定した
り、または、マウスなどのポインティングデバイスを用
いて選択するように構成することもできる。この選択方
法は、以下の各項目の選択にも同様に用いることができ
る。この画面において、「AI設定」を選択すると、A
I分析部を用いた測定条件の設定処理に移行する。
【0012】図5は、AI測定条件設定時の初期画面で
ある。画面下部のガイダンスウィンドウには、「AI測
定条件設定を行ないます」と表示され、設定される測定
条件の一覧が表示される。表示されている測定条件は、 1.スキャンモード 2.高角度(deg) 3.低角度(deg) 4.積分時間(sec) 5.走査速度(deg/min) 6.フルスケール(kcps) 7.コメント 8.データファイル番号 9.ゴニオメータの駆動軸 10.固定軸および角度(deg) 11.管球のターゲット 12.管電圧(kV) 13.管電流(mA) 14.発散スリット(deg) 15.空気散乱防止スリット(deg) 16.検出スリット(mm) である。この他の項目を設けてもよい。この初期画面の
表示後、測定条件の設定のための質問の提示画面にな
る。選択された項目は、反転表示やブリンク表示、また
は、表示色を変更するなど適宜の方法により表示され
る。この初期画面においては、何も行なわないので、こ
の画面を表示せずに、次の質問の提示画面に移行するこ
ともできる。
ある。画面下部のガイダンスウィンドウには、「AI測
定条件設定を行ないます」と表示され、設定される測定
条件の一覧が表示される。表示されている測定条件は、 1.スキャンモード 2.高角度(deg) 3.低角度(deg) 4.積分時間(sec) 5.走査速度(deg/min) 6.フルスケール(kcps) 7.コメント 8.データファイル番号 9.ゴニオメータの駆動軸 10.固定軸および角度(deg) 11.管球のターゲット 12.管電圧(kV) 13.管電流(mA) 14.発散スリット(deg) 15.空気散乱防止スリット(deg) 16.検出スリット(mm) である。この他の項目を設けてもよい。この初期画面の
表示後、測定条件の設定のための質問の提示画面にな
る。選択された項目は、反転表示やブリンク表示、また
は、表示色を変更するなど適宜の方法により表示され
る。この初期画面においては、何も行なわないので、こ
の画面を表示せずに、次の質問の提示画面に移行するこ
ともできる。
【0013】次に、図2のS12および図3に示した測
定条件の設定のための質問の提示を行なう。まず、図6
に示すように、測定試料の種類の選択についての質問が
図3のS21で選択され、S23において、図6に示す
ように表示される。図示されているように、質問は1つ
のウィンドウとして表示される。S24においては、図
6に示すように表示された測定試料の一覧から、適当な
ものをオペレータが選択する。ここでは、「鉄鋼、非鉄
金属」が選択されている。測定試料の種類の選択が終了
すると、S21に戻り、次の質問として、X線強度の予
想についての質問が選択され、S23において表示され
る。この質問のときの画面を図7に示す。選択枝とし
て、「強い」、「普通」、「弱い」、「わからない」の
4つが用意されており、オペレータがこの内の1つを選
択する。ここでは、「強い」が選択されている。さら
に、同定したい成分についての質問がなされる。この質
問のときの画面を図8に示す。選択枝として、「主成
分」、「微量成分」、「指定しない」の3つが用意され
ており、オペレータがこの内の1つを選択する。さらに
質問が続き、モノクロメーターを使用しているか否かが
質問される。この時の画面は、図9に示しており、「使
用」、「未使用」の2つの選択枝よりオペレータが選択
することになる。この場合には、「使用」を選択してい
る。この質問までで測定条件が設定可能となるので、S
21において、提示する質問がない旨が決定され、S2
2において質問項目の終了が判定され、測定環境の入力
動作が終了する。
定条件の設定のための質問の提示を行なう。まず、図6
に示すように、測定試料の種類の選択についての質問が
図3のS21で選択され、S23において、図6に示す
ように表示される。図示されているように、質問は1つ
のウィンドウとして表示される。S24においては、図
6に示すように表示された測定試料の一覧から、適当な
ものをオペレータが選択する。ここでは、「鉄鋼、非鉄
金属」が選択されている。測定試料の種類の選択が終了
すると、S21に戻り、次の質問として、X線強度の予
想についての質問が選択され、S23において表示され
る。この質問のときの画面を図7に示す。選択枝とし
て、「強い」、「普通」、「弱い」、「わからない」の
4つが用意されており、オペレータがこの内の1つを選
択する。ここでは、「強い」が選択されている。さら
に、同定したい成分についての質問がなされる。この質
問のときの画面を図8に示す。選択枝として、「主成
分」、「微量成分」、「指定しない」の3つが用意され
ており、オペレータがこの内の1つを選択する。さらに
質問が続き、モノクロメーターを使用しているか否かが
質問される。この時の画面は、図9に示しており、「使
用」、「未使用」の2つの選択枝よりオペレータが選択
することになる。この場合には、「使用」を選択してい
る。この質問までで測定条件が設定可能となるので、S
21において、提示する質問がない旨が決定され、S2
2において質問項目の終了が判定され、測定環境の入力
動作が終了する。
【0014】このようにして、質問に対してオペレータ
が答えることにより、測定環境を入力することができ
る。上述の具体例では、以下のような試料を測定すると
きの条件設定を行なったことになる。 測定試料の種類:鉄鋼、非鉄金属 X線強度の予想:強い 同定したい成分:主成分 モノクロメーター:使用 このように、質問は必ずしも図5に示した測定条件の各
項目に対応するものではない。例えば、測定試料の種類
を決定すると、選択された測定試料の種類に対応して、
管電流や、発散スリットの角度、測定角度等、複数の測
定項目が変更され、設定されることになる。また、質問
は、常時同じというわけではなく、質問に対する答えに
より、次の質問が変更される。各質問には、「わからな
い」や、「指定しない」等の答えも用意されており、不
慣れなオペレータや、未知の試料などに対して対応でき
るようにしている。これらの答えを選択した場合には、
各測定条件は、予め設定されている条件を選択すること
ができる。この予め設定する条件は、AI分析部2を介
して知識ベース3を修正する構成を付加することにより
実現することができる。
が答えることにより、測定環境を入力することができ
る。上述の具体例では、以下のような試料を測定すると
きの条件設定を行なったことになる。 測定試料の種類:鉄鋼、非鉄金属 X線強度の予想:強い 同定したい成分:主成分 モノクロメーター:使用 このように、質問は必ずしも図5に示した測定条件の各
項目に対応するものではない。例えば、測定試料の種類
を決定すると、選択された測定試料の種類に対応して、
管電流や、発散スリットの角度、測定角度等、複数の測
定項目が変更され、設定されることになる。また、質問
は、常時同じというわけではなく、質問に対する答えに
より、次の質問が変更される。各質問には、「わからな
い」や、「指定しない」等の答えも用意されており、不
慣れなオペレータや、未知の試料などに対して対応でき
るようにしている。これらの答えを選択した場合には、
各測定条件は、予め設定されている条件を選択すること
ができる。この予め設定する条件は、AI分析部2を介
して知識ベース3を修正する構成を付加することにより
実現することができる。
【0015】上述のように、質問に答えることにより、
測定条件に対する推論が行なわれる。図10は、推論に
よって設定された測定条件の表示例である。表示された
測定条件を確認後、設定された測定条件で測定を行なう
か否かを指示する。表示されているウィンドウ内の選択
枝「1.測定する」、「2.条件を修正する」、「3.
やり直す」のうちから1つを選択する。選択の方法は、
上述の質問に対する答えの入力と同様に、カーソルやポ
インティングデバイスで選択する方法や、選択枝の数字
をキーボードより入力する方法により選択してもよい。
「1.測定する」を選択すると、実際の測定が開始され
る。「2.条件を修正する」を選択すると、表示されて
いる各測定条件の値を画面上で修正することができる。
また、「3.やり直す」を選択すると、図4に示した測
定条件の設定方法の選択画面または図6以降に示した質
問の画面に戻り、設定をやり直すことができる。
測定条件に対する推論が行なわれる。図10は、推論に
よって設定された測定条件の表示例である。表示された
測定条件を確認後、設定された測定条件で測定を行なう
か否かを指示する。表示されているウィンドウ内の選択
枝「1.測定する」、「2.条件を修正する」、「3.
やり直す」のうちから1つを選択する。選択の方法は、
上述の質問に対する答えの入力と同様に、カーソルやポ
インティングデバイスで選択する方法や、選択枝の数字
をキーボードより入力する方法により選択してもよい。
「1.測定する」を選択すると、実際の測定が開始され
る。「2.条件を修正する」を選択すると、表示されて
いる各測定条件の値を画面上で修正することができる。
また、「3.やり直す」を選択すると、図4に示した測
定条件の設定方法の選択画面または図6以降に示した質
問の画面に戻り、設定をやり直すことができる。
【0016】図4に示した測定条件の設定方法の選択画
面において、「マニュアル設定」を選択したり、また
は、図10における測定条件の表示画面で「2.条件を
修正する」を選択した場合には、図5と同様の測定条件
の一覧の画面において、各測定条件の項目に対して入力
または修正を行なうことができる。入力または修正を行
なう測定条件の項目の選択は、カーソルキーや、ポイン
ティングデバイスを用いて行なうことができる。また、
各項目に設定すべき値は、キーボード等を用いて入力す
ることができる。「マニュアル設定」の場合、各項目の
値は、空欄にしておくこともできるし、予め定められた
値を表示し、必要な項目のみ修正するように構成するこ
ともできる。
面において、「マニュアル設定」を選択したり、また
は、図10における測定条件の表示画面で「2.条件を
修正する」を選択した場合には、図5と同様の測定条件
の一覧の画面において、各測定条件の項目に対して入力
または修正を行なうことができる。入力または修正を行
なう測定条件の項目の選択は、カーソルキーや、ポイン
ティングデバイスを用いて行なうことができる。また、
各項目に設定すべき値は、キーボード等を用いて入力す
ることができる。「マニュアル設定」の場合、各項目の
値は、空欄にしておくこともできるし、予め定められた
値を表示し、必要な項目のみ修正するように構成するこ
ともできる。
【0017】図10における測定条件の表示画面におい
て、「1.測定する」が選択されると、図2のS16の
ステップに移行し、設定された測定条件を用いて、測定
装置において、実際に測定が行なわれる。測定が終了す
ると、測定結果の確認画面を表示し、図2のS17にお
いて、測定結果の診断を行なう。なお、測定開始後、測
定の実行を中断したり、中断した測定の再開、および測
定の中止は、特定の入力、例えば、キーボード上のプロ
グラムファンクションキー等により行なうことができ
る。測定を中止した場合には、図4に示した測定条件の
設定方法の選択画面に戻る。
て、「1.測定する」が選択されると、図2のS16の
ステップに移行し、設定された測定条件を用いて、測定
装置において、実際に測定が行なわれる。測定が終了す
ると、測定結果の確認画面を表示し、図2のS17にお
いて、測定結果の診断を行なう。なお、測定開始後、測
定の実行を中断したり、中断した測定の再開、および測
定の中止は、特定の入力、例えば、キーボード上のプロ
グラムファンクションキー等により行なうことができ
る。測定を中止した場合には、図4に示した測定条件の
設定方法の選択画面に戻る。
【0018】図11は、測定結果の確認画面の一例であ
る。画面の下半分には、測定結果のグラフが表示される
が、図11では、グラフの図示を省略している。上半分
は、測定結果の良否を推論するための質問の提示と、答
えの入力を行なう領域である。測定条件の設定の場合と
同様に、いくつかの質問に対してオペレータが答えを入
力し、入力された答えを基に、推論を行なって測定デー
タの良否を判定する。図11では、「確認できるピーク
本数は何本ありますか?」という質問を提示し、その答
えとなる選択枝として、「1.3本未満」、「2.3本
以上」の2つを用意しており、どちらかを選択すること
になる。
る。画面の下半分には、測定結果のグラフが表示される
が、図11では、グラフの図示を省略している。上半分
は、測定結果の良否を推論するための質問の提示と、答
えの入力を行なう領域である。測定条件の設定の場合と
同様に、いくつかの質問に対してオペレータが答えを入
力し、入力された答えを基に、推論を行なって測定デー
タの良否を判定する。図11では、「確認できるピーク
本数は何本ありますか?」という質問を提示し、その答
えとなる選択枝として、「1.3本未満」、「2.3本
以上」の2つを用意しており、どちらかを選択すること
になる。
【0019】測定結果に関する質問に対しての答えの入
力が終了すると、入力された答えのデータに基づき推論
が行なわれる。推論の結果、測定結果がそのままでよい
ときには、「再測定は必要でない」旨の表示がなされ
る。推論の結果、測定条件が悪く、よい結果が得られて
いないと判断される場合には、オペレータに対して判定
結果の表示と、その処置方法を表示する。図12は、推
論の結果、測定角度範囲が狭すぎると判定された場合の
表示例である。「測定角度範囲が狭すぎます」という判
定結果と、「測定角度範囲を広げてください」という処
置方法を表示している。そして、何かキーを押すと図1
3の画面になるので、再測定を行なうか否かの選択を行
い、再測定を行う場合には、図4に示した測定条件の設
定方法の選択画面に戻り、再び測定条件の設定から始め
て測定を実行することができる。
力が終了すると、入力された答えのデータに基づき推論
が行なわれる。推論の結果、測定結果がそのままでよい
ときには、「再測定は必要でない」旨の表示がなされ
る。推論の結果、測定条件が悪く、よい結果が得られて
いないと判断される場合には、オペレータに対して判定
結果の表示と、その処置方法を表示する。図12は、推
論の結果、測定角度範囲が狭すぎると判定された場合の
表示例である。「測定角度範囲が狭すぎます」という判
定結果と、「測定角度範囲を広げてください」という処
置方法を表示している。そして、何かキーを押すと図1
3の画面になるので、再測定を行なうか否かの選択を行
い、再測定を行う場合には、図4に示した測定条件の設
定方法の選択画面に戻り、再び測定条件の設定から始め
て測定を実行することができる。
【0020】図12、図13は、この例では、別の画面
として説明したが、同一画面内に表示してもよい。ま
た、図11乃至図13の質問応答および推論結果の表示
の画面は、測定結果の表示部分とは別のウィンドウとし
て表示してもよい。また、上述の測定結果の分析処理
は、測定条件についての判断を行なっているが、この他
に測定結果から自動的にピークなどの特徴を抽出し、抽
出した特徴を基に推論を行なって、試料の分析結果を表
示するように構成することもできる。
として説明したが、同一画面内に表示してもよい。ま
た、図11乃至図13の質問応答および推論結果の表示
の画面は、測定結果の表示部分とは別のウィンドウとし
て表示してもよい。また、上述の測定結果の分析処理
は、測定条件についての判断を行なっているが、この他
に測定結果から自動的にピークなどの特徴を抽出し、抽
出した特徴を基に推論を行なって、試料の分析結果を表
示するように構成することもできる。
【0021】測定により得られた結果や、そのときに用
いた測定条件などは、ファイルとして保存することが可
能である。また、プリンタや、プロッタなどに出力する
こともできる。このほか、測定装置の更正を行なうこと
もできる。
いた測定条件などは、ファイルとして保存することが可
能である。また、プリンタや、プロッタなどに出力する
こともできる。このほか、測定装置の更正を行なうこと
もできる。
【0022】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、いくつかの質問に答える形で測定条件を設定
することができるから、誰にでも容易に測定条件の設定
および測定結果の分析を行なうことができる。また、相
互に関連した測定条件の各項目を自動的に設定し、さら
に、得られた測定結果についてチェックを行なうことが
できるので、確度の高い測定結果を得ることができ、良
好な定性分析の結果を得ることができるという効果があ
る。
によれば、いくつかの質問に答える形で測定条件を設定
することができるから、誰にでも容易に測定条件の設定
および測定結果の分析を行なうことができる。また、相
互に関連した測定条件の各項目を自動的に設定し、さら
に、得られた測定結果についてチェックを行なうことが
できるので、確度の高い測定結果を得ることができ、良
好な定性分析の結果を得ることができるという効果があ
る。
【図1】本発明のX線回折定性分析装置の一実施例を示
すブロック図である。
すブロック図である。
【図2】本発明のX線定性分析装置の一実施例の動作を
説明するためのフローチャートである。
説明するためのフローチャートである。
【図3】測定環境入力の動作を説明するためのフローチ
ャートである。
ャートである。
【図4】〜
【図13】具体的な操作の説明図である。
1 測定部 2 AI分析部 3 知識ベース 4 測定装置 5 入出力部
Claims (1)
- 【請求項1】 X線回折定性分析装置において、オペレ
ータとの対話により測定条件を設定し、測定装置による
測定を実行し、測定結果および分析結果の表示を行なう
測定部と、測定部の問い合わせに応じ、オペレータによ
る所定の入力データに基づき測定条件を導出するととも
に測定結果の分析を行ない測定部にその導出結果と分析
結果を回答するAI分析部を有し、測定条件の設定時に
は、測定部において前記入力データを受け取り、該入力
データをAI分析部に送り、AI分析部において該入力
データに基づいて測定条件を導出し、その導出結果を測
定部に通知し、測定部において測定条件を設定し、測定
結果の分析時には、測定装置によって得られた測定結果
を測定部がAI分析部に送り、AI分析部において測定
結果の分析を行い、その分析結果を測定部に通知するこ
とを特徴とするX線回折定性分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4253774A JP2666872B2 (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | X線回折定性分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4253774A JP2666872B2 (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | X線回折定性分析装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8080390A Division JPH08278264A (ja) | 1996-04-03 | 1996-04-03 | X線回折定性分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0674923A JPH0674923A (ja) | 1994-03-18 |
JP2666872B2 true JP2666872B2 (ja) | 1997-10-22 |
Family
ID=17255961
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4253774A Expired - Lifetime JP2666872B2 (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | X線回折定性分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2666872B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3525513B2 (ja) * | 1994-09-30 | 2004-05-10 | 株式会社島津製作所 | 分析装置 |
JP4859019B2 (ja) * | 2005-07-06 | 2012-01-18 | 株式会社リガク | X線回折装置 |
JP4658003B2 (ja) * | 2006-08-29 | 2011-03-23 | 株式会社リガク | X線分析装置 |
JP5959057B2 (ja) * | 2011-11-29 | 2016-08-02 | 株式会社リガク | X線分析装置 |
GB2497170B (en) | 2011-11-29 | 2018-02-21 | Rigaku Denki Co Ltd | X-ray analysis apparatus |
JP6377582B2 (ja) * | 2015-08-06 | 2018-08-22 | 株式会社リガク | X線分析の操作ガイドシステム、操作ガイド方法、及び操作ガイドプログラム |
US10976272B2 (en) | 2017-03-30 | 2021-04-13 | Rigaku Corporation | X-ray analysis assistance device and x-ray analysis device |
JP6785916B1 (ja) * | 2019-05-28 | 2020-11-18 | 株式会社オービック | 設定実行装置、設定実行方法および設定実行プログラム |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01214746A (ja) * | 1988-02-24 | 1989-08-29 | Rigaku Denki Kk | X線回折装置の異常診断装置 |
JPH0269080A (ja) * | 1988-09-03 | 1990-03-08 | Fuji Electric Co Ltd | 照明技術支援装置 |
-
1992
- 1992-08-28 JP JP4253774A patent/JP2666872B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0674923A (ja) | 1994-03-18 |
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