JP2662903B2 - 高感度磁場検出装置 - Google Patents
高感度磁場検出装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は例えば医療用、地下資源
探索用、等の応用が可能な直流駆動型超伝導量子干渉素
子（ＤＣ ＳＱＵＩＤ：ＤＣ Ｓｕｐｅｒｃｏｎｄｕｃ
ｔｉｎｇ Ｑｕａｎｔｕｍ Ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ
Ｄｅｖｉｃｅ）を用いた高感度磁場検出装置に関する
ものである。
探索用、等の応用が可能な直流駆動型超伝導量子干渉素
子（ＤＣ ＳＱＵＩＤ：ＤＣ Ｓｕｐｅｒｃｏｎｄｕｃ
ｔｉｎｇ Ｑｕａｎｔｕｍ Ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ
Ｄｅｖｉｃｅ）を用いた高感度磁場検出装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】図４は、従来の高感度磁場検出装置の構
成を示すブロック図である。 発振回路５から出力され
る基準信号は、振幅調整回路９で調整され、第１の電圧
電流変換回路６で電流に変換され変調用信号としてＤＣ
ＳＱＵＩＤ１に加えられる。ＤＣ ＳＱＵＩＤ１に可
変電流源８から適当なバイアス電流が供給されていると
き、ＤＣ ＳＱＵＩＤ１に鎖交する磁束は変調用信号に
より変調され、変調信号として検出され、増幅回路２で
増幅され、発振回路５からの参照信号を用いて位相検波
回路３で検波される。この位相検波回路３の出力に応じ
た検出信号が、積分回路４から出力され、第２の電圧電
流変換回路７で電流に変換され、ＤＣ ＳＱＵＩＤ１に
鎖交する磁束の変化を補償するような帰還信号として、
ＤＣ ＳＱＵＩＤ１に加えられる。
成を示すブロック図である。 発振回路５から出力され
る基準信号は、振幅調整回路９で調整され、第１の電圧
電流変換回路６で電流に変換され変調用信号としてＤＣ
ＳＱＵＩＤ１に加えられる。ＤＣ ＳＱＵＩＤ１に可
変電流源８から適当なバイアス電流が供給されていると
き、ＤＣ ＳＱＵＩＤ１に鎖交する磁束は変調用信号に
より変調され、変調信号として検出され、増幅回路２で
増幅され、発振回路５からの参照信号を用いて位相検波
回路３で検波される。この位相検波回路３の出力に応じ
た検出信号が、積分回路４から出力され、第２の電圧電
流変換回路７で電流に変換され、ＤＣ ＳＱＵＩＤ１に
鎖交する磁束の変化を補償するような帰還信号として、
ＤＣ ＳＱＵＩＤ１に加えられる。
【０００３】これらのＤＣ ＳＱＵＩＤ１を駆動するた
めの回路をＦ．Ｌ．Ｌ．（ＦｌｕｘＬｏｃｋｅｄ Ｌｏ
ｏｐ）回路装置をいう。そして、この帰還信号あるいは
検出信号を読み出すことによって磁場の測定が行える。
微小磁場の測定は、外乱磁場を除くために磁気シ一ルド
された特殊な環境の下で行なわれる。従来、以上のよう
な測定を行なうための可変電流源８と振幅調整回路９の
調整は、外乱磁場のある環境で、あるいは、磁石などの
磁性体を使いＤＣ ＳＱＵＩＤ１にノイズを加えて、増
幅回路２からの、基準信号に同期した出力の振幅や、位
相検波回路３の出力を見ながら行なっていた。
めの回路をＦ．Ｌ．Ｌ．（ＦｌｕｘＬｏｃｋｅｄ Ｌｏ
ｏｐ）回路装置をいう。そして、この帰還信号あるいは
検出信号を読み出すことによって磁場の測定が行える。
微小磁場の測定は、外乱磁場を除くために磁気シ一ルド
された特殊な環境の下で行なわれる。従来、以上のよう
な測定を行なうための可変電流源８と振幅調整回路９の
調整は、外乱磁場のある環境で、あるいは、磁石などの
磁性体を使いＤＣ ＳＱＵＩＤ１にノイズを加えて、増
幅回路２からの、基準信号に同期した出力の振幅や、位
相検波回路３の出力を見ながら行なっていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来の高
感度磁場検出装置によると、可変電流源８と振幅調整回
路９の調整は、測定する時とは違う環境で行なう必要が
あるため、最適に調整しても、環境を変えて測定すると
きには、最適状態からずれてしまう可能性がある。ま
た、ＤＣ ＳＱＵＩＤ１として、外乱磁場による影響を
相殺する事により磁気シ一ルドされた特殊な環境以外で
も動作するように開発された、平面型グラジオメ一タを
使用すると、外乱を加えても信号の変化は殆どなく、最
適な調整ができないという問題があった。
感度磁場検出装置によると、可変電流源８と振幅調整回
路９の調整は、測定する時とは違う環境で行なう必要が
あるため、最適に調整しても、環境を変えて測定すると
きには、最適状態からずれてしまう可能性がある。ま
た、ＤＣ ＳＱＵＩＤ１として、外乱磁場による影響を
相殺する事により磁気シ一ルドされた特殊な環境以外で
も動作するように開発された、平面型グラジオメ一タを
使用すると、外乱を加えても信号の変化は殆どなく、最
適な調整ができないという問題があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記のような課
題を解決するために、高感度磁場検出装置のＦ．Ｌ．
Ｌ．回路装置の一部にバイアス電流を変調用信号の調整
用基準信号となる疑似信号を、帰還変調コイルに入力す
る信号に重畳させる事ができる様にした信号切り換え回
路と、それに接続し、疑似信号や外部から入力する外部
入力端子か、疑似信号を発生する低周波発振回路の少な
くともどちらか一方を設けた。
題を解決するために、高感度磁場検出装置のＦ．Ｌ．
Ｌ．回路装置の一部にバイアス電流を変調用信号の調整
用基準信号となる疑似信号を、帰還変調コイルに入力す
る信号に重畳させる事ができる様にした信号切り換え回
路と、それに接続し、疑似信号や外部から入力する外部
入力端子か、疑似信号を発生する低周波発振回路の少な
くともどちらか一方を設けた。
【０００６】
【作用】上記のような構成によれば、バイアス電流や変
調用信号の調整時にＤＣＳＱＵＩＤに加える外乱磁場
を、ＤＣ ＳＱＵＩＤの外部からではなく、回路上の疑
似信号を使って帰還変調コイルから加えることができ
る。
調用信号の調整時にＤＣＳＱＵＩＤに加える外乱磁場
を、ＤＣ ＳＱＵＩＤの外部からではなく、回路上の疑
似信号を使って帰還変調コイルから加えることができ
る。
【０００７】
【実施例】以下に、本発明の実施例について図面を参照
して説明する。 図１は、本発明の第１の実施例を示
す、高感度磁場検出装置の構成のブロック図である。図
１において、ＤＣ ＳＱＵＩＤ１は帰還変調コイル１０
とＤＣ ＳＱＵＩＤリング１１で構成され、帰還変調コ
イル１０とＤＣ ＳＱＵＩＤリング１１は磁気的に結合
している。帰還変調コイル１０は、第１の電圧電流変換
回路６と第２の電圧電流変換回路７の出力に接続し、Ｄ
Ｃ ＳＱＵＩＤリング１１は、増幅回路２の入力と可変
電流源８の出力に接続している。
して説明する。 図１は、本発明の第１の実施例を示
す、高感度磁場検出装置の構成のブロック図である。図
１において、ＤＣ ＳＱＵＩＤ１は帰還変調コイル１０
とＤＣ ＳＱＵＩＤリング１１で構成され、帰還変調コ
イル１０とＤＣ ＳＱＵＩＤリング１１は磁気的に結合
している。帰還変調コイル１０は、第１の電圧電流変換
回路６と第２の電圧電流変換回路７の出力に接続し、Ｄ
Ｃ ＳＱＵＩＤリング１１は、増幅回路２の入力と可変
電流源８の出力に接続している。
【０００８】発振回路５は位相検波回路３と振幅調整回
路９の入力に接続し、振幅調整回路９の出力は第１の電
圧電流変換回路６の入力に接続している。位相検波回路
３の入力は増幅回路２の出力と発振回路５に別々に接続
し、出力は積分回路４に接続している。信号切り換え回
路１２は、加算回路１５と第１のスイッチ１６と第２の
スイッチ１７と第３のスイッチ１８で構成され、加算回
路１５の入力の片方は、第１のスイッチ１６と第２のス
イッチ１７と第３のスイッチ１８の片方に共通に接続し
ている。加算回路１５の入力の他方は積分回路４の出力
に接続し、出力は第２の電圧電流変換回路７の入力に接
続している。第１のスイッチ１６の他方は、低周波発振
回路１３に接続し、第２のスイッチ１７の他方は、外部
入力端子１４に接続し、第３のスイッチ１８の他方は、
グランドに接続している。
路９の入力に接続し、振幅調整回路９の出力は第１の電
圧電流変換回路６の入力に接続している。位相検波回路
３の入力は増幅回路２の出力と発振回路５に別々に接続
し、出力は積分回路４に接続している。信号切り換え回
路１２は、加算回路１５と第１のスイッチ１６と第２の
スイッチ１７と第３のスイッチ１８で構成され、加算回
路１５の入力の片方は、第１のスイッチ１６と第２のス
イッチ１７と第３のスイッチ１８の片方に共通に接続し
ている。加算回路１５の入力の他方は積分回路４の出力
に接続し、出力は第２の電圧電流変換回路７の入力に接
続している。第１のスイッチ１６の他方は、低周波発振
回路１３に接続し、第２のスイッチ１７の他方は、外部
入力端子１４に接続し、第３のスイッチ１８の他方は、
グランドに接続している。
【０００９】以上のような構成において、低周波発振回
路１３を使用した調整時の動作について説明する。第１
のスイッチ１６を閉じ第２のスイッチ１７と第３のスイ
ッチ１８を開き、積分回路４をリセット状態にして、そ
の出力を０にすると、低周波発振回路１３からの低周波
信号は、加算回路１５を通り、第２の電圧電流変換回路
７で電流に変換され、帰還変調コイル１０に入力する。
この低周波信号は、帰還変調コイル１０で磁束に変換さ
れ、ＤＣ ＳＱＵＩＤループ１１に鎖交するため、外乱
磁場がＤＣ ＳＱＵＩＤ１に加わった時と同じ効果をＤ
Ｃ ＳＱＵＩＤ１に与えるので、この状態で、増幅回路
２の出力信号か、または、位相検波回路３の出力信号
を、オシロスコ一プ等で観測しながら、その振幅が最大
になるように、可変電流源８と振幅調整回路９を調整す
ることにより、ＤＣ ＳＱＵＩＤリング１１に流すバイ
アス電流と帰還変調コイル１０に流す変調用信号を最適
な値にすることができる。
路１３を使用した調整時の動作について説明する。第１
のスイッチ１６を閉じ第２のスイッチ１７と第３のスイ
ッチ１８を開き、積分回路４をリセット状態にして、そ
の出力を０にすると、低周波発振回路１３からの低周波
信号は、加算回路１５を通り、第２の電圧電流変換回路
７で電流に変換され、帰還変調コイル１０に入力する。
この低周波信号は、帰還変調コイル１０で磁束に変換さ
れ、ＤＣ ＳＱＵＩＤループ１１に鎖交するため、外乱
磁場がＤＣ ＳＱＵＩＤ１に加わった時と同じ効果をＤ
Ｃ ＳＱＵＩＤ１に与えるので、この状態で、増幅回路
２の出力信号か、または、位相検波回路３の出力信号
を、オシロスコ一プ等で観測しながら、その振幅が最大
になるように、可変電流源８と振幅調整回路９を調整す
ることにより、ＤＣ ＳＱＵＩＤリング１１に流すバイ
アス電流と帰還変調コイル１０に流す変調用信号を最適
な値にすることができる。
【００１０】磁場の測定は、調整終了後、第１のスイッ
チ１６と第２のスイッチ１７を開き、第３のスイッチ１
８を閉じ、積分回路４のリセット状態を解除して行な
う。磁場の測定時の動作については、積分回路４の出力
が信号切り換え回路１２を介して第２の電圧電流変換回
路７に伝えられている、という点以外は、全て従来例と
同様である。
チ１６と第２のスイッチ１７を開き、第３のスイッチ１
８を閉じ、積分回路４のリセット状態を解除して行な
う。磁場の測定時の動作については、積分回路４の出力
が信号切り換え回路１２を介して第２の電圧電流変換回
路７に伝えられている、という点以外は、全て従来例と
同様である。
【００１１】また、外部入力端子１４を使用した調整時
の動作についても、始めに第１のスイッチ１６を開き、
第２のスイッチ１７を閉じ、低周波信号を、外部から、
外部入力端子１４を介して加算回路１５に入力する点以
外は、前述の動作と同様である。図２は、本発明の第２
の実施例を示す高感度磁場検出装置の構成のブロック図
である。図２において、ＤＣ ＳＱＵＩＤ１は帰還変調
コイル１０とＤＣ ＳＱＵＩＤリング１１で構成され、
帰還変調コイル１０とＤＣ ＳＱＵＩＤリング１１は磁
気的に結合している。帰還変調コイル１０は、第１の電
圧電流変換回路６と第２の電圧電流変換回路７の出力に
接続し、ＤＣ ＳＱＵＩＤリング１１は、増幅回路２の
入力と可変電流源８の出力に接続している。
の動作についても、始めに第１のスイッチ１６を開き、
第２のスイッチ１７を閉じ、低周波信号を、外部から、
外部入力端子１４を介して加算回路１５に入力する点以
外は、前述の動作と同様である。図２は、本発明の第２
の実施例を示す高感度磁場検出装置の構成のブロック図
である。図２において、ＤＣ ＳＱＵＩＤ１は帰還変調
コイル１０とＤＣ ＳＱＵＩＤリング１１で構成され、
帰還変調コイル１０とＤＣ ＳＱＵＩＤリング１１は磁
気的に結合している。帰還変調コイル１０は、第１の電
圧電流変換回路６と第２の電圧電流変換回路７の出力に
接続し、ＤＣ ＳＱＵＩＤリング１１は、増幅回路２の
入力と可変電流源８の出力に接続している。
【００１２】発振回路５は位相検波回路３と振幅調整回
路９の入力に接続し、位相検波回路３の入力は増幅回路
２の出力と発振回路５に別々に接続し、出力は積分回路
４の入力に接続している。積分回路４の出力は、第２の
電圧電流変換回路７の入力に接続している。信号切り換
え回路１２は、加算回路１５と第１のスイッチ１６と第
２のスイッチ１７と第３のスイッチ１８で構成され、加
算回路１５の入力の片方は、第１のスイッチ１６と第２
のスイッチ１７と第３のスイッチ１８の片方に共通に接
続している。加算回路１５の入力の他方は振幅調整回路
９に接続し、出力は第１の電圧電流変換回路６の入力に
接続している。第１のスイッチ１６の他方は、低周波発
振回路１３に接続し、第２のスイッチ１７の他方は、外
部入力端子１４に接続し、第３のスイッチ１８の他方
は、グランドに接続している。
路９の入力に接続し、位相検波回路３の入力は増幅回路
２の出力と発振回路５に別々に接続し、出力は積分回路
４の入力に接続している。積分回路４の出力は、第２の
電圧電流変換回路７の入力に接続している。信号切り換
え回路１２は、加算回路１５と第１のスイッチ１６と第
２のスイッチ１７と第３のスイッチ１８で構成され、加
算回路１５の入力の片方は、第１のスイッチ１６と第２
のスイッチ１７と第３のスイッチ１８の片方に共通に接
続している。加算回路１５の入力の他方は振幅調整回路
９に接続し、出力は第１の電圧電流変換回路６の入力に
接続している。第１のスイッチ１６の他方は、低周波発
振回路１３に接続し、第２のスイッチ１７の他方は、外
部入力端子１４に接続し、第３のスイッチ１８の他方
は、グランドに接続している。
【００１３】構成は以上のようであるが、その動作は、
ＤＣ ＳＱＵＩＤ１に加わる外乱磁場と同様の効果をも
たらす低周波信号が、加算回路１５において変調用信号
と加算されて帰還変調コイルに加えられるという点を除
けば、図１に示す第１の実施例の場合と同様である。図
３は、本発明の第３の実施例を示す高感度磁場検出装置
の構成のブロック図である。図３において、ＤＣ ＳＱ
ＵＩＤ１は帰還変調コイル１０とＤＣ ＳＱＵＩＤリン
グ１１で構成され、帰還変調コイル１０とＤＣ ＳＱＵ
ＩＤリング１１は磁気的に結合している。帰還変調コイ
ル１０は、第１の電圧電流変換回路６と第２の電圧電流
変換回路７と第３の電圧電流変換回路１９の出力に接続
し、ＤＣ ＳＱＵＩＤリング１１は、増幅回路２の入力
と可変電流源８の出力に接続している。発振回路５は位
相検波回路３と振幅調整回路９の入力に接続し、振幅調
整回路９の出力は第１の電圧電流変換回路６の入力に接
続し、位相検波回路３の入力は増幅回路２の出力と発振
回路５に別々に接続し、出力は積分回路４の入力に接続
している。
ＤＣ ＳＱＵＩＤ１に加わる外乱磁場と同様の効果をも
たらす低周波信号が、加算回路１５において変調用信号
と加算されて帰還変調コイルに加えられるという点を除
けば、図１に示す第１の実施例の場合と同様である。図
３は、本発明の第３の実施例を示す高感度磁場検出装置
の構成のブロック図である。図３において、ＤＣ ＳＱ
ＵＩＤ１は帰還変調コイル１０とＤＣ ＳＱＵＩＤリン
グ１１で構成され、帰還変調コイル１０とＤＣ ＳＱＵ
ＩＤリング１１は磁気的に結合している。帰還変調コイ
ル１０は、第１の電圧電流変換回路６と第２の電圧電流
変換回路７と第３の電圧電流変換回路１９の出力に接続
し、ＤＣ ＳＱＵＩＤリング１１は、増幅回路２の入力
と可変電流源８の出力に接続している。発振回路５は位
相検波回路３と振幅調整回路９の入力に接続し、振幅調
整回路９の出力は第１の電圧電流変換回路６の入力に接
続し、位相検波回路３の入力は増幅回路２の出力と発振
回路５に別々に接続し、出力は積分回路４の入力に接続
している。
【００１４】積分回路４の出力は、第２の電圧電流変換
回路７の入力に接続している。信号切り換え回路１２
は、第１のスイッチ１６と第２のスイッチ１７と第３の
スイッチ１８で構成され、第１のスイッチ１６と第２の
スイッチ１７と第３のスイッチ１８の片方は第３の電圧
電流変換回路１９の入力に接続している。第１のスイッ
チ１６の他方は、低周波発振回路１３に接続し、第２の
スイッチ１７の他方は、外部入力端子１４に接続し、第
３のスイッチ１８の他方は、グランドに接続している。
回路７の入力に接続している。信号切り換え回路１２
は、第１のスイッチ１６と第２のスイッチ１７と第３の
スイッチ１８で構成され、第１のスイッチ１６と第２の
スイッチ１７と第３のスイッチ１８の片方は第３の電圧
電流変換回路１９の入力に接続している。第１のスイッ
チ１６の他方は、低周波発振回路１３に接続し、第２の
スイッチ１７の他方は、外部入力端子１４に接続し、第
３のスイッチ１８の他方は、グランドに接続している。
【００１５】構成は以上のようであるが、その動作は、
ＤＣ ＳＱＵＩＤ１に加わる外乱磁場と同様の効果をも
たらす低周波信号が、第３の電圧電流変換回路１９で電
流に変換されて帰還変調コイルに加えられるという点を
除けば、図１に示す第１の実施例の場合と同様である。
ＤＣ ＳＱＵＩＤ１に加わる外乱磁場と同様の効果をも
たらす低周波信号が、第３の電圧電流変換回路１９で電
流に変換されて帰還変調コイルに加えられるという点を
除けば、図１に示す第１の実施例の場合と同様である。
【００１６】
【発明の効果】以上述べてきたように、本発明によれば
低周波信号を帰還変調コイルに入力できるようにするこ
とによって、調整時に必要な外乱磁場を疑似的に発生さ
せることができる。そのため、測定時と同じ環境でバイ
アス電流や変調用信号の調整ができる様になり、常に最
適状態で測定できるようになった。また、外乱磁場によ
る影響を相殺する事により磁気シ一ルドされた特殊な環
境外でも動作するように開発された、平面型グラジオメ
一タを使用したときにも、低周波信号を帰還変調コイル
に入力する信号に重畳させる事ができる様にしたため、
相殺されない調整用の外乱磁場を加えることが可能とな
り、最適な調整ができる様になった。
低周波信号を帰還変調コイルに入力できるようにするこ
とによって、調整時に必要な外乱磁場を疑似的に発生さ
せることができる。そのため、測定時と同じ環境でバイ
アス電流や変調用信号の調整ができる様になり、常に最
適状態で測定できるようになった。また、外乱磁場によ
る影響を相殺する事により磁気シ一ルドされた特殊な環
境外でも動作するように開発された、平面型グラジオメ
一タを使用したときにも、低周波信号を帰還変調コイル
に入力する信号に重畳させる事ができる様にしたため、
相殺されない調整用の外乱磁場を加えることが可能とな
り、最適な調整ができる様になった。
【図１】本発明による高感度磁場検出装置の第１の実施
例の構成を示すブロック図である。
例の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明による高感度磁場検出装置の第２の実施
例の構成を示すブロック図である。
例の構成を示すブロック図である。
【図３】本発明による高感度磁場検出装置の第３の実施
例の構成を示すブロック図である。
例の構成を示すブロック図である。
【図４】従来の高感度磁場検出装置の構成を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
１ ＤＣ ＳＱＵＩＤ ４ 積分回路 ５ 発振回路 ６ 第１の電圧電流変換回路 ７ 第２の電圧電流変換回路 ９ 振幅調整回路 １２ 信号切り替え回路 １３ 低周波発振回路 １４ 外部入力端子 １９ 第三の電圧電流変換回路
Claims (4)
- 【請求項１】 直流駆動型超伝導量子干渉素子と、この
直流駆動型超伝導量子干渉素子を駆動するためのＦ．
Ｌ．Ｌ．（Ｆｌｕｘ Ｌｏｃｋｅｄ Ｌｏｏｐ）回路装
置とからなる高感度磁場検出装置において、検出値の調
整を行うための基準信号の入力端子と、前記基準信号を
Ｆ．Ｌ．Ｌ．回路装置の内部信号に重畳させる信号切り
換え回路を有することを特徴とする高感度磁場検出装
置。 - 【請求項２】 前記基準信号を発生する低周波発振回路
を有し、前記低周波発振回路が前記入力端子に接続され
た請求項１記載の高感度磁場検出装置。 - 【請求項３】 前記Ｆ．Ｌ．Ｌ．回路装置は、前記直流
駆動型超伝導量子干渉素子の出力に接続する増幅回路
と、前記直流駆動型超伝導量子干渉素子の入力に接続す
る第１の電圧電流変換回路と、前記直流駆動型超伝導量
子干渉素子の入力に接続する第２の電圧電流変換回路
と、前記増幅回路の出力に接続する位相検波回路と、前
記第１の電圧電流変換回路に出力が接続する振幅調整回
路と、入力が前記位相検波回路に接続し出力が前記第２
の電圧電流変換回路に接続する積分回路と、前記位相検
波回路と前記振幅調整回路の両方に出力が接続する発振
回路を含み、前記信号切り替え回路が、前記振幅調整回
路と第１の電圧電流変換回路との間に設けられた請求項
１記載の高感度磁場検出装置。 - 【請求項４】 前記Ｆ．Ｌ．Ｌ．回路装置は、前記直流
駆動型超伝導量子干渉素子の出力に接続する増幅回路
と、前記直流駆動型超伝導量子干渉素子の入力に接続す
る第１の電圧電流変換回路と、前記直流駆動型超伝導量
子干渉素子の入力に接続する第２の電圧電流変換回路
と、前記増幅回路の出力に接続する位相検波回路と、前
記第１の電圧電流変換回路に出力が接続する振幅調整回
路と、入力が前記位相検波回路に接続し出力が前記第２
の電圧電流変換回路に接続する積分回路と、前記位相検
波回路と前記振幅調整回路の両方に出力が接続する発振
回路を含み、前記信号切り替え回路に接続する第３の電
圧電流変換回路が、前記直流駆動型超伝導量子干渉素子
の入力に接続するように設けられた請求項１記載の高感
度磁場検出装置。
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