JP2654808B2 - Ｉｃ試験装置 - Google Patents
Ｉｃ試験装置Info
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- JP2654808B2 JP2654808B2 JP63146407A JP14640788A JP2654808B2 JP 2654808 B2 JP2654808 B2 JP 2654808B2 JP 63146407 A JP63146407 A JP 63146407A JP 14640788 A JP14640788 A JP 14640788A JP 2654808 B2 JP2654808 B2 JP 2654808B2
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- voltage
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- measuring device
- smoothing capacitor
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Description
【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明はCMOSのように定常時に流れる電流が応動時
に流れる電流と比較して極めて小さいICを試験するIC試
験装置に関する。
に流れる電流と比較して極めて小さいICを試験するIC試
験装置に関する。
「従来の技術」 第２図に従来のIC試験装置の回路構造を示す。このIC
試験装置は被試験IC100の直流特性を試験する試験装置
であって、電圧源200から既知の直流電圧Vsを被試験IC1
00の電源端子に印加すると共に電流測定回路300で被試
験IC100に流れる電流ILに相当する電流IRを測定する回
路構造となっている。
試験装置は被試験IC100の直流特性を試験する試験装置
であって、電圧源200から既知の直流電圧Vsを被試験IC1
00の電源端子に印加すると共に電流測定回路300で被試
験IC100に流れる電流ILに相当する電流IRを測定する回
路構造となっている。
尚、電流測定装置300は電圧源200と被試験IC100の間
に直列接続した電流検出用抵抗器RMと、この抵抗器RMに
発生する電圧を取出す差動増幅器301と、AD変換器302と
によって構成することができる。また400は被試験IC100
に印加される電圧Vsを電圧源200を構成する演算増幅器2
01に帰還し、基準電圧源202から与えた入力電圧Viが被
試験IC100に正しく印加されるように演算増幅器201を動
作させるための帰還回路、500はガードアンプを示す。
に直列接続した電流検出用抵抗器RMと、この抵抗器RMに
発生する電圧を取出す差動増幅器301と、AD変換器302と
によって構成することができる。また400は被試験IC100
に印加される電圧Vsを電圧源200を構成する演算増幅器2
01に帰還し、基準電圧源202から与えた入力電圧Viが被
試験IC100に正しく印加されるように演算増幅器201を動
作させるための帰還回路、500はガードアンプを示す。
このガードアンプ500は帰還回路400で取出した被試験
IC100の印加電圧Vsをガードアンプ500に与え、ガードア
ンプ500の出力によって帰還回路400の入力線401として
用いたケーブルの外部導体501の電位を入力線401の電位
と等しくなるように駆動し、これによってケーブルの浮
遊容量、絶縁抵抗等の影響を除去して正しい印加電圧Vs
を電圧源200に帰還させるために設けられている。
IC100の印加電圧Vsをガードアンプ500に与え、ガードア
ンプ500の出力によって帰還回路400の入力線401として
用いたケーブルの外部導体501の電位を入力線401の電位
と等しくなるように駆動し、これによってケーブルの浮
遊容量、絶縁抵抗等の影響を除去して正しい印加電圧Vs
を電圧源200に帰還させるために設けられている。
また被試験IC100には並列に平滑コンデンサ600が接続
され、被試験IC100が動作することによって発生する印
加電圧の変動を平滑化している。
され、被試験IC100が動作することによって発生する印
加電圧の変動を平滑化している。
つまり被試験IC100がCMOS型のICである場合には、静
止時の電流は微少であるにもかかわらず駆動時の電流は
静止時の数1000倍程度流れる。例えばクロックの周期で
書込、読出を行なうCMOS型メモリの場合にはクロックの
周期で過渡的に電流を消費することになる。
止時の電流は微少であるにもかかわらず駆動時の電流は
静止時の数1000倍程度流れる。例えばクロックの周期で
書込、読出を行なうCMOS型メモリの場合にはクロックの
周期で過渡的に電流を消費することになる。
このようにパルス波状に電流を消費する被試験IC100
の動作中の直流特性（電源の印加電圧対消費電流の変化
特性）を測定するために、被試験IC100を接続する部分
（一般にテストヘッドと呼ぶ）に平滑コンデンサ600を
接続し、被試験IC100がパルス波状に電流を消費すると
き、平滑コンデンサ600に蓄えた電荷を放出し、過渡的
に電圧が低下することを阻止し、平滑化するようにして
いる。
の動作中の直流特性（電源の印加電圧対消費電流の変化
特性）を測定するために、被試験IC100を接続する部分
（一般にテストヘッドと呼ぶ）に平滑コンデンサ600を
接続し、被試験IC100がパルス波状に電流を消費すると
き、平滑コンデンサ600に蓄えた電荷を放出し、過渡的
に電圧が低下することを阻止し、平滑化するようにして
いる。
「発明が解決しようとする課題」 ところで平滑コンデンサ600は被試験IC100を動作させ
ながら電圧印加電流測定を行なう。いわゆるファンクシ
ョン試験を行なう場合に有効であるが、被試験IC100を
静止させた状態で電源電圧を印加し、このとき流れる電
流を測定し、この電流が許容範囲に入っているか否かを
見るスタテック試験を行なう場合には邪魔な存在とな
る。
ながら電圧印加電流測定を行なう。いわゆるファンクシ
ョン試験を行なう場合に有効であるが、被試験IC100を
静止させた状態で電源電圧を印加し、このとき流れる電
流を測定し、この電流が許容範囲に入っているか否かを
見るスタテック試験を行なう場合には邪魔な存在とな
る。
つまり被試験IC100を動作させずに電源端子に規定の
電源電圧を与え、このとき流れる電流が規定の範囲に入
っているか否かを見るスタテック試験がある。このスタ
テック試験を行なう場合、電圧源200から第３図Ａに示
すように電圧Viを与えたとき、電流測定装置300を流れ
る電流IRは被試験IC100に流れる電流ILに平滑コンデン
サ600に流れる充電電流ICLが重畳して流れる。スタテッ
ク試験では被試験IC100に流れる電流ILを測定すること
が目的であるため平滑コンデンサ600の充放電電流ICLが
ゼロに戻るのを待って電流ILの値を良否判定装置（特に
図示しない）はAD変換器302から読み取ることになる。
電源電圧を与え、このとき流れる電流が規定の範囲に入
っているか否かを見るスタテック試験がある。このスタ
テック試験を行なう場合、電圧源200から第３図Ａに示
すように電圧Viを与えたとき、電流測定装置300を流れ
る電流IRは被試験IC100に流れる電流ILに平滑コンデン
サ600に流れる充電電流ICLが重畳して流れる。スタテッ
ク試験では被試験IC100に流れる電流ILを測定すること
が目的であるため平滑コンデンサ600の充放電電流ICLが
ゼロに戻るのを待って電流ILの値を良否判定装置（特に
図示しない）はAD変換器302から読み取ることになる。
ここで、「コンデンサに直流電圧を印加したとき流れ
る電流は、次式で表され、時間の経過と共に減少し、十
分な時間が経過した後は一定値に達する。
る電流は、次式で表され、時間の経過と共に減少し、十
分な時間が経過した後は一定値に達する。
I:全電流,V:印加電圧,R:等価直列抵抗,C:静電容量,Qp:
分極電荷，γ：絶縁抵抗 第２項は吸収電流と呼ばれ、誘電体の種類と印加した
電解強度に依存する。通常は緩和時間が非常に長く、絶
縁抵抗による第３項を正確に測定することがむずかしい
ため実用的な見地から１〜２分後の全電流値と印加電圧
の比を絶縁抵抗と定義している。」（オーム社発行、電
子情報通信ハンドブック、第１分冊、516頁より）。
分極電荷，γ：絶縁抵抗 第２項は吸収電流と呼ばれ、誘電体の種類と印加した
電解強度に依存する。通常は緩和時間が非常に長く、絶
縁抵抗による第３項を正確に測定することがむずかしい
ため実用的な見地から１〜２分後の全電流値と印加電圧
の比を絶縁抵抗と定義している。」（オーム社発行、電
子情報通信ハンドブック、第１分冊、516頁より）。
このようにコンデンサに流れる充放電電流が安定する
までの時間は長いため被試験IC100に流れる電流ILを正
確に測定しようとすると、待ち時間が長くなり、試験に
要する時間が長くなって多くのICを試験する場合にこれ
が障害となっている。
までの時間は長いため被試験IC100に流れる電流ILを正
確に測定しようとすると、待ち時間が長くなり、試験に
要する時間が長くなって多くのICを試験する場合にこれ
が障害となっている。
「課題を解決するための手段」 この発明では被試験ICに流れる電流を測定する第１電
流測定装置を具備し、被試験ICの電圧印加電流特性を試
験するIC試験装置において、 被試験ICの電源端子に電圧を印加したとき平滑コンデ
ンサに流れる充放電電流と等価な充放電電流を発生させ
る擬似回路と、 この擬似回路で発生する充放電電流を測定する第２電
流測定装置と、 第１電流測定装置を第２電流測定装置の測定結果を減
算し被試験ICに流れる電流値を求める演算手段と、 を付加した構造としたものである。
流測定装置を具備し、被試験ICの電圧印加電流特性を試
験するIC試験装置において、 被試験ICの電源端子に電圧を印加したとき平滑コンデ
ンサに流れる充放電電流と等価な充放電電流を発生させ
る擬似回路と、 この擬似回路で発生する充放電電流を測定する第２電
流測定装置と、 第１電流測定装置を第２電流測定装置の測定結果を減
算し被試験ICに流れる電流値を求める演算手段と、 を付加した構造としたものである。
「作 用」 この発明の構成によれば平滑コンデンサに流れる充放
電電流と等価電流を発生する擬似回路を設け、この擬似
回路で発生する充放電電流を第２電流測定装置で測定
し、この測定値を第１電流測定装置の測定値から減算す
ることにより第１電流測定装置で測定した電流値から平
滑コンデンサに流れる充放電電流の値を、除去すること
ができ、よって平滑コンデンサの充放電電流が流れてい
る期間でも被試験ICを流れる電流値を正確に求めること
ができる。
電電流と等価電流を発生する擬似回路を設け、この擬似
回路で発生する充放電電流を第２電流測定装置で測定
し、この測定値を第１電流測定装置の測定値から減算す
ることにより第１電流測定装置で測定した電流値から平
滑コンデンサに流れる充放電電流の値を、除去すること
ができ、よって平滑コンデンサの充放電電流が流れてい
る期間でも被試験ICを流れる電流値を正確に求めること
ができる。
「実施例」 第１図にこの発明の一実施例を示す。
第１図において、第２図と対応する部分には同一符号
を付して示す。
を付して示す。
つまり電圧源200から第１電流測定装置300を通じて被
試験IC100に所望の電圧を印加する点、 被試験IC100に並列に平滑コンデンサ600を接続してい
る点、 被試験IC100に印加される電圧Vsを帰還回路400を通じ
て電圧源200に帰還し、印加電圧Vsが入力電圧Viと等し
くなるように制御する点、 帰還回路400で取出した印加電圧Vsをガードアンプ500
に入力し、ガードアンプ500によって帰還回路400の入力
線401を構成する同軸ケーブルの外部導体の電位を入力
線401と同一電位に保ち、同軸ケーブルの浮遊容量、絶
縁抵抗の影響を除去する点は第２図で説明した従来のも
のと同じである。
試験IC100に所望の電圧を印加する点、 被試験IC100に並列に平滑コンデンサ600を接続してい
る点、 被試験IC100に印加される電圧Vsを帰還回路400を通じ
て電圧源200に帰還し、印加電圧Vsが入力電圧Viと等し
くなるように制御する点、 帰還回路400で取出した印加電圧Vsをガードアンプ500
に入力し、ガードアンプ500によって帰還回路400の入力
線401を構成する同軸ケーブルの外部導体の電位を入力
線401と同一電位に保ち、同軸ケーブルの浮遊容量、絶
縁抵抗の影響を除去する点は第２図で説明した従来のも
のと同じである。
この発明の特徴とする点は、電圧源200から被試験IC1
00に所定の電源電圧を与えたとき、平滑コンデンサ600
に流れる充放電電流ICLと等価な充放電電流Ｉ′CLを発
生する擬似回路700を設けた点と、この擬似回路700に発
生する充放電電流Ｉ′CLを測定する第２電流測定装置80
0を設けた点である。
00に所定の電源電圧を与えたとき、平滑コンデンサ600
に流れる充放電電流ICLと等価な充放電電流Ｉ′CLを発
生する擬似回路700を設けた点と、この擬似回路700に発
生する充放電電流Ｉ′CLを測定する第２電流測定装置80
0を設けた点である。
擬似回路700は例えば同軸ケーブルの外部導体501に平
滑コンデンサ600と同じコンデンサ701を接続して構成す
ることができる。
滑コンデンサ600と同じコンデンサ701を接続して構成す
ることができる。
第２電流測定装置800は第１電流測定装置300と同様に
ガードアンプ500の出力側に直列接続した電流検出用抵
抗器RMと、この電流検出用抵抗器RM′に発生する電圧を
取出す差動増幅器801とによって構成することができ
る。
ガードアンプ500の出力側に直列接続した電流検出用抵
抗器RMと、この電流検出用抵抗器RM′に発生する電圧を
取出す差動増幅器801とによって構成することができ
る。
第１電流測定装置300と第２電流測定装置800の測定出
力信号は減算手段900を構成する差動増幅器に与え被測
定IC100に流れる電流ILと平滑コンデンサ600の充電電流
ICLの和の電流IL＋ICLから擬似回路700に流れる電流
Ｉ′CLを減算する。
力信号は減算手段900を構成する差動増幅器に与え被測
定IC100に流れる電流ILと平滑コンデンサ600の充電電流
ICLの和の電流IL＋ICLから擬似回路700に流れる電流
Ｉ′CLを減算する。
擬似回路700に用いたコンデンサ701を平滑コンデンサ
600と同じ容量で然も同一素材で作られたコンデンサを
用いることにより擬似回路700で発生する充放電電流は
平滑コンデンサ600の充放電電流と同等とすることがで
きる。
600と同じ容量で然も同一素材で作られたコンデンサを
用いることにより擬似回路700で発生する充放電電流は
平滑コンデンサ600の充放電電流と同等とすることがで
きる。
この結果減算手段900から出力される信号は被試験IC1
00に流れる電流ILと等価となる。
00に流れる電流ILと等価となる。
減算手段900の出力はAD変換器302でAD変換して送り出
すことにより、例えばコンピュータから成る判定装置に
取込まれ、比較判定されて良否の判定が行なわれる。
すことにより、例えばコンピュータから成る判定装置に
取込まれ、比較判定されて良否の判定が行なわれる。
「発明の効果」 以上説明したように、この発明によれば擬似回路700
で平滑コンデンサ600に流れる充放電電流と等価な電流
を発生させ、この充放電電流の値を第１電流測定装置の
測定結果から減算することにより、平滑コンデンサ600
の充放電電流値を除去することができる。
で平滑コンデンサ600に流れる充放電電流と等価な電流
を発生させ、この充放電電流の値を第１電流測定装置の
測定結果から減算することにより、平滑コンデンサ600
の充放電電流値を除去することができる。
よって平滑コンデンサ600に充放電電流が流れている
期間でも被試験IC100に流れる電流ILを正確に求めるこ
とができ、この結果被試験IC100に電源電圧を印加した
直後に被試験IC100に流れる電流ILを測定することがで
き、試験に要する時間は短かくすることができる。
期間でも被試験IC100に流れる電流ILを正確に求めるこ
とができ、この結果被試験IC100に電源電圧を印加した
直後に被試験IC100に流れる電流ILを測定することがで
き、試験に要する時間は短かくすることができる。
「変形実施例」 上述では擬似回路700をガードアンプ500で駆動する構
造を説明したが、必ずしもガードアンプ500を用いる必
要はなく、ガードアンプ500とは別に擬似回路700を駆動
する専用のバッファアンプを設けてもよい。
造を説明したが、必ずしもガードアンプ500を用いる必
要はなく、ガードアンプ500とは別に擬似回路700を駆動
する専用のバッファアンプを設けてもよい。
また上述では擬似回路700を構成するコンデンサ701を
平滑コンデンサ600の容量と同一に選定した場合を説明
したが、第２電流測定回路800の出力側に利得調整回路
を挿入すればコンデンサ701の容量と平滑コンデンサ600
の容量は必ずしも一致させる必要はない。
平滑コンデンサ600の容量と同一に選定した場合を説明
したが、第２電流測定回路800の出力側に利得調整回路
を挿入すればコンデンサ701の容量と平滑コンデンサ600
の容量は必ずしも一致させる必要はない。
第１図はこの発明の一実施例を説明するための接続図、
第２図は従来の技術を説明するための接続図、第３図は
従来の技術の動作を説明するための波形図である。 100……被試験IC、200……電圧源、300……第１電流測
定装置、400……帰還回路、500……ガードアンプ、600
……平滑コンデンサ、700……擬似回路、800……第２電
流測定装置、900……演算手段。
第２図は従来の技術を説明するための接続図、第３図は
従来の技術の動作を説明するための波形図である。 100……被試験IC、200……電圧源、300……第１電流測
定装置、400……帰還回路、500……ガードアンプ、600
……平滑コンデンサ、700……擬似回路、800……第２電
流測定装置、900……演算手段。
Claims (1)
- 【請求項１】A.被試験ICに所定の電源電圧を印加する電
圧源と、 B.この電圧源から上記被試験ICに流れる電流を測定する
第１電流測定装置と、 C.上記被試験ICが動作することによって発生する上記被
試験ICに印加される電圧の脈動を平滑化する平滑コンデ
ンサと、 D.被試験ICの動作を停止させた状態で被試験ICの電源端
子に電圧を印加したとき上記平滑コンデンサに流れる充
放電電流と等価な電流を発生させる擬似回路と、 E.この擬似回路で発生する充放電電流を測定する第２電
流測定装置と、 F.上記第１電流測定装置とこの第２電流測定装置の測定
結果を減算し上記被試験ICに流れる電流値を求める演算
手段と、 から成るIC試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63146407A JP2654808B2 (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | Ｉｃ試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63146407A JP2654808B2 (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | Ｉｃ試験装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH022953A JPH022953A (ja) | 1990-01-08 |
| JP2654808B2 true JP2654808B2 (ja) | 1997-09-17 |
Family
ID=15407002
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63146407A Expired - Lifetime JP2654808B2 (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | Ｉｃ試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2654808B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4925630B2 (ja) | 2005-09-06 | 2012-05-09 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置および試験方法 |
| JP5565326B2 (ja) * | 2011-01-19 | 2014-08-06 | 株式会社村田製作所 | 電子部品の特性測定方法及び特性測定装置 |
| JP5606974B2 (ja) * | 2011-03-22 | 2014-10-15 | 株式会社アルバック | 漏洩電流測定方法および漏洩電流測定装置 |
-
1988
- 1988-06-13 JP JP63146407A patent/JP2654808B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH022953A (ja) | 1990-01-08 |
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