JP5606974B2

JP5606974B2 - 漏洩電流測定方法および漏洩電流測定装置

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Publication number: JP5606974B2
Application number: JP2011062691A
Authority: JP
Inventors: 和弘山室; 靖知大橋; 治郎猿渡
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 2011-03-22
Filing date: 2011-03-22
Publication date: 2014-10-15
Anticipated expiration: 2031-03-22
Also published as: JP2012198113A

Description

本発明は、抵抗体における漏洩電流測定方法および漏洩電流測定装置に関するものである。

図６（ａ）は、漏洩電流の測定を実現する、従来の漏洩電流測定装置５００を示す断面図である。漏洩電流測定装置５００は、２つの電極５０４で挟まれた抵抗体５０１と、電圧源５０２と、電流計５０３とが、閉ループをなすように電気的に接続してなる回路を備えている。図６（ａ）の漏洩電流測定装置５００において、抵抗体５０１の表面の離間した２つの領域に、電圧源５０２を用いて電圧を印加した場合に、回路を流れる電流を測定した結果の一例が、図６（ｂ）のグラフに示されている。グラフの横軸は電圧印加を開始してからの経過時間を示し、縦軸は回路を流れる電流を示している。回路を流れる電流は、時間とともに単調減少し、特定時間（ここでは５００［秒］）の経過後に、一定値（ここでは４［ｐＡ］）に近づく。そして、この一定値が、漏洩電流値に相当する。

図７は、図６（ｂ）のグラフに示した、抵抗体５０１を流れる電流の構成要素について、説明する図である。図７に示すように、抵抗体５０１を流れる電流Ｉ１は、充電電流Ｉ２、誘導吸収電流Ｉ３、漏洩電流Ｉ４の総和からなることが知られている。充電電流Ｉ２は、電圧の印加と同時に発生した誘導電荷による電流であり、短時間で減少する。誘導吸収電流は、電圧の印加に対して、遅れて発生した誘導電荷による電流であり、減少するのに長時間を要する。漏洩電流は、絶縁体の中を流れる電流であり、電流値は時間の経過によらず、ほぼ一定の値をとる。

一般に、抵抗体を流れる漏洩電流は、抵抗体に電圧を印加し、印加直後の過渡現象として発生する誘導吸収電流が収束するまで電圧を印加し続け、漏洩電流のみが流れる状態を準備した上で測定可能となる。したがって、漏洩電流を測定するためには、少なくとも誘導吸収電流が収束するまでの時間、電圧を印加して待ち続ける必要がある。

これに対し、誘導吸収電流の収束時間を短縮する従来の方法が、特許文献１、および特許文献２に記載されている。特許文献１によれば、漏洩電流の測定電圧よりも高い電圧を印加した後に、印加電圧を測定電圧まで降下させることにより、誘導吸収電流と逆方向の電流（逆誘導吸収電流）を発生させる。そして、この逆誘導吸収電流と、誘導吸収電流の一部を相殺させることにより、誘導吸収電流の減少を早め、収束時間を短縮することができる。また、特許文献２によれば、漏洩電流の測定電圧に交流電圧を重畳させた電圧を印加し、印加電圧を振動させることで、逆誘導吸収電流を発生させる。そして、特許文献１に記載の方法と同様にして、誘導吸収電流の収束時間を短縮することができる。

しかしながら、絶縁体等の抵抗体において、ノイズとの識別ができる程度の電流（漏洩電流）を流すためには、高い電圧を印加することが前提となる。したがって、印加電圧を漏洩電流の測定電圧よりも更に高くすることによる、特許文献１および特許文献２の方法では、より高価な高電圧源を備えた測定装置が必要となり、また、抵抗体や測定電極の絶縁破壊の生じる虞がある。

特開平１０−１１５６５１号公報特開２００２−３１１０７４号公報

本発明は、以上のような点を考慮してなされたものであり、誘導吸収電流の収束を待たずに、かつ、漏洩電流の測定電圧より高い電圧を印加せずに、抵抗体を流れる漏洩電流の測定を可能にする、漏洩電流測定方法を提供することを、第一の目的とする。

また、本発明は、誘導吸収電流の収束を待たずに、かつ、漏洩電流の測定電圧より高い電圧を印加せずに、抵抗体を流れる漏洩電流の測定を可能にする、漏洩電流測定装置を提供することを、第二の目的とする。

本発明の請求項１に係る漏洩電流測定方法は、抵抗体に電圧を印加して、該抵抗体を流れる漏洩電流を測定する、漏洩電流測定方法であって、前記抵抗体と、電圧源と、電流計とを、閉ループをなすように電気的に接続してなる第一回路において、前記抵抗体の表面の離間した２つの領域に、前記電圧源を用いて、特定時間ｔ_１の間、電圧を印加し、前記抵抗体内の電圧を印加した領域に電荷を蓄積させて、前記第一回路を流れる電流を、前記電流計を用いて測定し、前記特定時間ｔ_１の間、測定された電流の総和Ａを求める第一ステップと、前記第一回路から電圧源を除いて、前記第一ステップで用いた２つの領域を短絡させる第二回路に、前記第一回路を切り替えた後、前記第一ステップで用いた２つの領域から特定時間ｔ_２の間、電荷を放出させて、前記第二回路を流れた電流を、電流計を用いて測定し、前記特定時間ｔ_２の間、測定された電流の総和Ｂを求める第二ステップと、前記第一ステップで求めた総和Ａと前記第二ステップで求めた総和Ｂとの差分Ｃを求める第三ステップと、を順に有する、ことを特徴とする。

本発明の請求項２に係る漏洩電流測定方法は、請求項１において、前記抵抗体はバルク体である、ことを特徴とする。

本発明の請求項３に係る漏洩電流測定方法は、請求項１において、前記抵抗体は基板に載置された薄膜である、ことを特徴とする。

本発明の請求項４に係る漏洩電流測定方法は、請求項１〜３のいずれかにおいて、前記電流計は積分回路を備えている、ことを特徴とする。

本発明の請求項５に係る漏洩電流測定装置は、抵抗体に電圧を印加して、該抵抗体を流れる漏洩電流を測定する、漏洩電流測定装置であって、前記抵抗体と、電圧源と、電流計とを、閉ループをなすように電気的に接続してなる第一回路と、前記第一回路を切り替えることにより、前記第一回路から電圧源を除いて、前記抵抗体の電気的な接続に用いられる２つの領域を短絡させる第二回路と、前記第一回路を流れる電流の総和Ａ、前記第二回路を流れる電流の総和Ｂ、および該総和Ａと該総和Ｂとの差分Ｃを求める計測手段と、を備えている、ことを特徴とする。

本発明に係る漏洩電流測定方法では、第一回路を流れた電流は、抵抗体に蓄積された電荷（誘導電荷）による電流と漏洩電流とからなる。そして、第二回路を流れた電流の総和は、第一回路における電圧印加時間の長さによらず、誘導電荷による電流の総和に等しくなる。したがって、電圧印加時間を短くして、第一回路を流れた電流と第二回路を流れた電流との差分から漏洩電流を求めることが可能である。これにより、従来方法のように、誘導電荷による電流（特に誘導吸収電流）が収束するまでの間、電圧を印加して待ち続ける必要がなく、漏洩電流の測定に要する時間を短くすることができる。

また、従来方法のように、漏洩電流の測定電圧以上の電圧を印加する必要がないため、本発明に係る漏洩電流測定装置は、高電圧源を備えていない簡素な回路により構成することができる。そして、抵抗体および測定電極に絶縁破壊の生じる虞がない電圧範囲において、漏洩電流測定を行うことを可能にする。

（ａ）第一実施形態に係る、漏洩電流測定装置の回路構成を示す図である。（ｂ）第一実施形態に係る、漏洩電流測定装置の第一回路構成を示す図である。（ｃ）第一実施形態に係る、漏洩電流測定装置の第二回路構成を示す図である。（ａ）、（ｂ）第一回路および第二回路を流れる電流の時間変化を示す図である。第一回路および第二回路を流れる、電流の時間変化の測定結果を示す図である。第二実施形態に係る、漏洩電流測定装置の回路構成を示す図である。（ａ）従来の、漏洩電流測定装置の回路構成を示す図である。（ｂ）従来構成の回路を流れる、電流の時間変化の測定結果を示す図である。抵抗体を備えた回路において、流れる電流の構成要素を説明する図である。

以下、好適な実施形態に基づき、図面を参照して本発明を説明する。

＜第一実施形態＞
図１（ａ）は、第一実施形態に係る漏洩電流測定装置１００の構成について説明する図である。漏洩電流測定装置１００は、２つの電極１０４で挟まれたバルクの抵抗体１０１と、電圧源１０２と、電流計１０３と、切替器１０７と、漏洩電流の測定手段Ｍ１（Ｍ２、Ｍ３）とを有し、切替器１０７を共有する、抵抗体１０１と、電圧源１０２と、電流計１０３とからなる回路、および抵抗体１０１と、電流計１０３とからなる回路を備えている。

切替器１０７は、切替端子Ｓ０と、その接点Ｓ１およびＳ２とからなる。接点Ｓ１は電圧源１０２と電流計１０３との間に設けられ、接点Ｓ２は電流計１０３と抵抗体１０１との間に設けられる。

第一実施形態においては、測定手段Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３のうち、いずれか一つが用いられる。測定手段Ｍ１は、電流計１０３のみにより構成される。測定手段Ｍ２は、電流計１０３と、電流計１０３で測定された電流値をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器１０５とで構成される。電流計１０３とＡ／Ｄ変換器１０５とは、一方が他方に内在するように構成されてもよいし、個別に構成されてもよい。測定手段Ｍ３は、電流計１０３と、Ａ／Ｄ変換器１０５と、Ａ／Ｄ変換器１０５により変換されたデジタル信号に基づいて、電流値の総和あるいは電流値の総和同士の差分を算出するコンピュータ１０６とで構成される。電流計１０３と、Ａ／Ｄ変換器１０５と、コンピュータ１０６とは、一体で構成されてもよいし、一つが他の二つのいずれかに内在するように構成されてもよいし、個別に構成されてもよい。

図１（ａ）の切替器１０７において、切替端子Ｓ０を接点Ｓ１側に接続した場合には、図１（ｂ）に示すように、２つの電極１０４で挟まれた抵抗体１０１と、電圧源１０２と、電流計１０３とを、閉ループをなすように電気的に接続してなる第一回路Ｃ１が構成される。

また、図１（ａ）切替器１０７において、切替端子Ｓ０を接点Ｓ２側に接続した場合には、図１（ｃ）に示すように、２つの電極１０４で挟まれた抵抗体１０１と、電流計１０３とを、閉ループをなすように電気的に接続してなる第二回路Ｃ２が構成される。

なお、第一実施形態では、抵抗体１０１に対して、電極１０４を介して電圧を印加する例を示しているが、電極１０４を用いずに、抵抗体１０１の表面の離間した２つの領域に、プローブ端子等を接触させて電圧を印加してもよい。

図２（ａ）および（ｂ）は、第一回路Ｃ１または第二回路Ｃ２を流れる電流の時間変化を、定性的なグラフとして示すとともに、グラフの曲線と横軸と縦軸とで囲まれる領域を区分けして、各電流の構成比を示す図である。いずれのグラフにおいても、横軸は電圧印加を開始してからの経過時間ｔを示し、縦軸は第一回路Ｃ１または第二回路Ｃ２を流れる電流Ｉを示している。

図２（ａ）および（ｂ）を用いて、上記第一実施形態の構成を備えた漏洩電流測定装置１００により、漏洩電流を測定する方法について説明する。第一実施形態に係る漏洩電流測定方法は、第一〜第三ステップを順に有する。

まず、第一ステップとして、切替器１０７の切替端子Ｓ０を接点Ｓ１側に接続し、第一回路Ｃ１を構成する。そして、特定時間ｔ_１が経過する間において、抵抗体１０１に電圧を印加する。そして、特定時間ｔ_１が経過する間において第一回路Ｃ１を流れる電流の総和（電荷）Ａを、測定手段Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３のいずれか一つを用いて測定する。

ここで、特定時間ｔ_１が経過する間に測定した電流値Ｉを、時間ｔについて０〜ｔ_１まで積分した結果は、特定時間ｔ_１が経過する間において第一回路Ｃ１を流れた電流の総和Ａに相当する。すなわち、特定時間ｔ_１が経過する間において第一回路Ｃ１を流れた電流の総和Ａは、図２（ａ）に示すように、グラフの曲線と、ｔ軸と、直線ｔ＝０（Ｉ軸）、直線ｔ＝ｔ_１とで囲まれた領域の面積として、示すことができる。

また、特定時間ｔ_１が経過する間に、電流は時間の経過とともに単調減少し、一定値に近づく。これは、第一回路を流れる電流のうち、充電電流および誘導吸収電流が収束して、漏洩電流のみが顕在化した状態を示している。したがって、この一定値は漏洩電流値に相当する。漏洩電流は時間に依存しない一定電流であるため、図２（ａ）の点線で示される。したがって、図２（ａ）に示す点線とｔ軸と、直線ｔ＝０と、直線ｔ＝ｔ_１とで囲まれた領域の面積が、第一回路Ｃ１を流れた電流の総和Ａのうち、漏洩電流の総和（電荷）Ｃに相当する。

また、グラフの曲線と、点線と、直線ｔ＝０と、直線ｔ＝ｔ_１とで囲まれた領域の面積は、第一回路Ｃ１を流れた電流の総和Ａのうち、漏洩電流の総和Ｃを除いた、充電電流および誘導吸収電流の総和Ｄに相当する。

次に、第二ステップとして、特定時間ｔ_１が経過する時点において、切替器１０７の切替端子Ｓ０を接点Ｓ２側に接続し、第二回路Ｃ２を構成する。そして、抵抗体１０１を挟む電極１０４間を短絡させ、第一ステップにおいて蓄積した電荷を放出させる。ここで、第二ステップに切り替えた時点から電荷を放出し終えた時点までの特定時間ｔ_２において、第二回路Ｃ２を流れた電流の総和（電荷）Ｂを、測定手段Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３のいずれか一つを用いて測定する。

ここで、特定時間ｔ_２が経過する間に測定した電流値を時間ｔについてｔ_１〜（ｔ_１＋ｔ_２）まで積分した結果は、特定時間ｔ_２が経過する間に、第二回路Ｃ２を流れた電流の総和Ｂに相当する。すなわち、特定時間ｔ_２が経過する間に、第二回路Ｃ２を流れた電流の総和Ｂは、図２（ａ）に示すように、グラフの曲線と、ｔ軸と、直線ｔ＝ｔ_１、直線ｔ＝（ｔ_１＋ｔ_２）とで囲まれた領域の面積として、示すことができる。

第二ステップにおいて第二回路を流れる電流は、第一ステップにおいて、第一回路の抵抗体１０１に蓄積した誘導電荷によるものである。したがって、第二ステップにおいて第二回路を流れる電流の総和Ｂは、第一ステップにおいて第一回路を流れた電流のうち、誘導電荷による電流の総和Ｄに等しい（Ｂ＝Ｄ）。そのため、図２（ａ）から明らかなように、第三ステップとして、測定手段Ｍ、Ｍ２、Ｍ３のいずれか一つを用いて、第一ステップで求めた総和Ａと第二ステップで求めた総和Ｂとの差分Ｃ（＝Ａ−Ｂ＝Ａ−Ｄ）を求めることにより、漏洩電流の総和（電荷）が求まる。そしてさらに、差分Ｃを、漏洩電流が流れた特定時間ｔ_１で割ることにより、漏洩電流を求めることができる。

図２（ａ）では、第一回路Ｃ１において電圧を印加する特定時間ｔ_１を、抵抗体に蓄積された電荷（誘導電荷）による電流が収束する時間に設定していた。しかしながら、第二回路Ｃ２を流れた電流の総和Ｂは、第一回路Ｃ１における電圧印加時間の長さによらず、誘導電荷による電流の総和Ｄに等しくなる。したがって、図２（ｂ）に示すように、特定時間ｔ_１を、誘導電荷による電流が収束する時間より短く設定しても、上述の第一〜第三ステップを経て、漏洩電流を求めることができる。

そして、特定時間ｔ_１を短く設定することにより、第一ステップにおいて抵抗体１０１に蓄積される電荷の総和が小さくなるため、第二ステップにおいて、電荷の放出に要する特定時間ｔ_２を短くすることができる。

特定時間ｔ_１を誘導吸収電流が収束する時間よりも短く設定した場合の、第一回路Ｃ１または第二回路Ｃ２を流れる電流を測定した結果の一例が、図３に示されている。ここで用いた抵抗体１０１のサンプルは、従来方法による図６（ｂ）で用いたサンプルと同一である。

図３では、特定時間ｔ_１を８０［秒］として、第一実施形態に係る漏洩電流測定を行っている。測定の結果、得られた漏洩電流値は４［ｐＡ］であり、図６（ｂ）で得られた結果と一致している。同じ抵抗体のサンプルを流れる漏洩電流の測定に、従来の方法では５００［秒］かかるのに対し、第一実施形態に係る漏洩電流測定方法では８０［秒］しか、かからないことになる。

したがって、第一実施形態の構成によれば、従来方法のように、誘導電荷による電流（特に誘導吸収電流）が収束するまでの間、電圧を印加して待ち続ける必要がなく、漏洩電流の測定に要する時間を短くすることができる。

また、従来方法のように、漏洩電流の測定電圧以上の電圧を印加する必要がないため、第一実施形態に係る漏洩電流測定装置は、高電圧源を備えていない簡素な回路により構成することができる。そして、抵抗体および測定電極に絶縁破壊の生じる虞がない電圧範囲において、漏洩電流測定を行うことができる。

なお、第一実施形態では、第一回路Ｃ１と第二回路Ｃ２との切替器１０７が備えられることを必須の構成としていたが、例えば、第一回路Ｃ１と第二回路Ｃ２は個別に設けられ、各ステップに応じて、抵抗体１０１をそれぞれの回路に取付けるような構成としてもよい。

＜第二実施形態＞
図４は、第二実施形態に係る漏洩電流測定装置２００と、それに付設される漏洩電流の測定手段Ｍ１（Ｍ２、Ｍ３）との構成について説明する図である。抵抗体２０１が基板２０８上に載置された薄膜であり、２つの電極２０４が、抵抗体２０１の同一面上に離間して設けられた構成が、第一実施形態と異なる。ここで、基板２０８は、抵抗体２０１よりも高い抵抗を有するものとする。その他の構成は、第一実施形態と同様である。

第二実施形態の構成を備えた漏洩電流測定装置２００により、漏洩電流を測定する方法について説明する。第二実施形態に係る漏洩電流測定方法も、第一実施形態と同様の第一〜第三ステップを順に有する。

すなわち、第一ステップとして、切替器２０７の切替端子Ｓ０を接点Ｓ１側に接続し、第一回路Ｃ１を構成する。そして、特定時間ｔ_１が経過する間において、抵抗体２０１に電圧を印加する。そして、特定時間ｔ_１が経過する間に第一回路Ｃ１を流れる電流の総和（電荷）Ａを、測定手段Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３のいずれか一つを用いて測定する。

測定手段Ｍ１は、電流計２０３のみにより構成される。測定手段Ｍ２は、電流計２０３と、電流計２０３で測定された電流値をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器２０５とで構成される。電流計２０３とＡ／Ｄ変換器２０５とは、一方が他方に内在するように構成されてもよいし、個別に構成されてもよい。測定手段Ｍ３は、電流計２０３と、Ａ／Ｄ変換器２０５と、Ａ／Ｄ変換器２０５により変換されたデジタル信号に基づいて、電流値の総和あるいは電流値の総和同士の差分を算出するコンピュータ２０６とで構成される。電流計２０３と、Ａ／Ｄ変換器２０５と、コンピュータ２０６とは、一体で構成されてもよいし、一つが他の二つのいずれかに内在するように構成されてもよいし、個別に構成されてもよい。

次に、第二ステップとして、特定時間ｔ_１が経過する時点において、切替器２０７の切替端子Ｓ０を接点Ｓ２側に接続し、第二回路Ｃ２を構成する。そして、抵抗体２０１を挟む電極２０４間を短絡させ、第一ステップにおいて蓄積した電荷を放出させる。ここで、第二ステップに切り替えた時点から電荷を放出し終えた時点までの特定時間ｔ_２において、第二回路Ｃ２を流れた電流の総和（電荷）Ｂを、測定手段Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３のうち、いずれか一つを用いて測定する。

そして、第三ステップとして、測定手段Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３のうち、いずれか一つを用いて、第一ステップで求めた総和Ａと第二ステップで求めた総和Ｂとの差分Ｃ（＝Ａ−Ｂ）を求めることにより、漏洩電流により流れた電流の総和（電荷）が求まる。そしてさらに、差分Ｃを、漏洩電流が流れた特定時間ｔ_１で割ることにより、漏洩電流を求めることができる。

第二回路Ｃ２を流れた電流の総和Ｂは、第一回路Ｃ１における電圧印加時間の長さによらず、誘導電荷による電流の総和に等しくなる。したがって、特定時間ｔ_１を、誘導電荷による電流が収束する時間より短く設定しても、上述の第一〜第三ステップを経て、漏洩電流を求めることができる。

そして、特定時間ｔ_１を短く設定することにより、第一ステップにおいて抵抗体２０１に蓄積される電荷の総和が小さくなるため、第二ステップにおいて、電荷の放出に要する特定時間ｔ_２を短くすることができる。

したがって、第二実施形態の構成によれば、従来方法のように、誘導電荷による電流（特に誘導吸収電流）が収束するまでの間、電圧を印加して待ち続ける必要がなく、漏洩電流の測定に要する時間を短くすることができる。

なお、第一実施形態および第二実施形態では、計測した電流値をデジタル値に変換して、コンピュータを用いて積分することにより、電荷および電荷の差を求める方法を一例として説明しているが、アナログ回路のみを用いて電荷および電荷の差を求めてもよい。

本発明は、抵抗体を流れる漏洩電流を測定する場合に対し、広く適用することが出来る。

１００、２００、３００・・・漏洩電流測定装置、１０１、２０１、３０１・・・抵抗体
１０２、２０２、３０２・・・電圧源、１０３、２０３、３０３・・・電流計、１０４、２０４、３０４・・・電極、Ａ、Ｂ・・・総和、Ｃ・・・差分、Ｃ１・・・第一回路、Ｃ２・・・第二回路、ｔ_１、ｔ_２・・・特定時間。

Claims

抵抗体に電圧を印加して、該抵抗体を流れる漏洩電流を測定する、漏洩電流測定方法であって、
前記抵抗体と、電圧源と、電流計とを、閉ループをなすように電気的に接続してなる第一回路において、
前記抵抗体の表面の離間した２つの領域に、前記電圧源を用いて、特定時間ｔ_１の間、電圧を印加し、
前記抵抗体内の電圧を印加した領域に電荷を蓄積させて、前記第一回路を流れる電流を、前記電流計を用いて測定し、前記特定時間ｔ_１の間、測定された電流の総和Ａを求める第一ステップと、
前記第一回路から電圧源を除いて、前記第一ステップで用いた２つの領域を短絡させる第二回路に、前記第一回路を切り替えた後、
前記第一ステップで用いた２つの領域から特定時間ｔ_２の間、電荷を放出させて、前記第二回路を流れた電流を、電流計を用いて測定し、前記特定時間ｔ_２の間、測定された電流の総和Ｂを求める第二ステップと、
前記第一ステップで求めた総和Ａと前記第二ステップで求めた総和Ｂとの差分Ｃを求める第三ステップと、を順に有する、ことを特徴とする漏洩電流測定方法。
前記抵抗体はバルク体である、ことを特徴とする請求項１に記載の漏洩電流測定方法。
前記抵抗体は基板に載置された薄膜である、ことを特徴とする請求項１に記載の漏洩電流測定方法。
前記電流計は、積分回路を備えている、ことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の漏洩電流測定方法。
抵抗体に電圧を印加して、該抵抗体を流れる漏洩電流を測定する、漏洩電流測定装置であって、
前記抵抗体と、電圧源と、電流計とを、閉ループをなすように電気的に接続してなる第一回路と、
前記第一回路を切り替えることにより、前記第一回路から電圧源を除いて、前記抵抗体の電気的な接続に用いられる２つの領域を短絡させる第二回路と、
前記第一回路を流れる電流の総和Ａ、前記第二回路を流れる電流の総和Ｂ、および該総和Ａと該総和Ｂとの差分Ｃを求める計測手段と、を備えている、ことを特徴とする漏洩電流測定装置。