JP2650838B2 - エアロゾル分解によるパラジウム及び酸化パラジウム粉末の製造法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はパラジウム及び酸化パラ
ジウム粉末の改良された製造方法に関する。特に本発明
は高い純度及び球状形態を持つ十分に緻密化された粉末
の製造方法に関する。

【０００２】発明の背景 金、銀、パラジウム、白金及びそれらの混合物又は合金
を含む貴金属は電子工業において厚膜ペーストの製造に
使用される。パラジウム及び銀の混合物は混成集積回路
用導体組成物として広く使用される。それらは金組成物
より廉価であり、大部分の誘電体及び抵抗器系と連合可
能でありそして超音波結線に適している。銀へのパラジ
ウムの添加は回路のはんだ付けに対する適合性を高め、
銀の溶融温度を誘電体焼成温度と両立し得るように高
め、そして誘電体特性の低下及び短絡を引き起こすこと
がある銀移動の問題を減らす。

【０００３】パラジウム又はパラジウム合金は多層セラ
ミックキャパシター（ＭＬＣｓ）用電極材料として使用
される。多層セラミックキャパシターの内部電極用に意
図する厚膜インキの金属成分の性質は極めて重要であ
り、なぜなら金属粉末とインキの有機媒質との間、及び
インキ自身と取り囲むＭＬＣの誘電体材料との間の適合
性が要求されるからである。多層セラミックキャパシタ
ーにおける使用に適するＰｄ粉末は有機媒質中で解凝集
されて適当に分散され、そして低温焼結を最小にするた
め表面部分で少なくなければならない。

【０００４】印刷回路技術においてはより緻密でよりい
っそう正確な電子回路が要求される。この要求を満足す
るため、導線はより幅狭くそして線同志の間隔はより狭
くなってきた。これは多層セラミックキャパシターがよ
り薄く且つ細い電極を必要とする場合特に真実である。
緻密で密集した細い線を作るために必要な金属粉末は大
きさが一定で滑らかな球体に可及的近くなければならな
い。導電性金属粉末は小さい粒径、一様な粒径サイズそ
して均一な組成を持たなければならない。酸化パラジウ
ムは滑らかで緻密な球形の酸化パラジウム粒子をつくる
ことが不可能なため電子分野の応用において広く使用さ
れるに至らなかった。

【０００５】現在金属粉末の製造に使用される多くの方
法はパラジウム及び酸化パラジウム粉末の製造に適用す
ることができる。化学還元法、霧化又は微粉砕のような
物理的方法、熱分解及び電気化学的方法を使用すること
ができる。電子分野の応用に使用するパラジウム粉末は
一般に化学沈殿法を使用して製造される。パラジウム塩
例えばクロロパラジウム酸又は硝酸パラジウムが化学沈
殿パラジウム粉末及び酸化パラジウムの出発材料として
使用される。酸化パラジウムは酸性パラジウム塩溶液の
pHを水酸化パラジウムが沈殿するまで上げる溶液加水分
解によりつくられる。次いでこの物質を脱水分解及び乾
燥により酸化パラジウムに変換する。この方法はコント
ロールすることが困難であり、そして不規則な形の凝集
した粒子を生成する傾向がある。酸化パラジウムは高温
の空気中でパラジウム粉末を酸化することによってもつ
くることができる。この方法によってつくられる粉末は
低密度で極めて不均一である。

【０００６】パラジウム粉末をつくる場合、パラジウム
塩を還元剤例えばヒドラジン、ホルムアルデヒド、次亜
リン酸、ヒドロキノン、ホウ水素化ナトリウム、ギ酸及
びギ酸ナトリウムを使用して還元する。簡単な金属塩の
化学的還元によりつくられる金属粉末は調整することが
困難であり、表面積が変動し、形が不揃いでありそして
凝集する傾向がある。エアロゾル分解法は前駆体溶液の
粉末への変換を含む。この方法は小滴の生成、小滴のガ
スと共に加熱した反応器への移送、蒸発による溶媒の除
去、塩の分解による多孔質固体粒子の形成、そして次に
粒子を高密度化し十分に緻密で球形の純粋な粒子を得る
ことを含む。必要条件は小滴対小滴又は粒子対粒子の相
互作用がないこと及び小滴又は粒子と担体ガスとの間に
化学的相互作用がないことである。

【０００７】そして以下の先行技術が知られている。特
開昭６２−２４０４（特願昭６０−１３９９０４）Asad
aら、この参照例は金属塩の溶液をミスト化し、そして
ミストを金属塩の分解温度より高い温度に加熱すること
により得られる金属粉末からつくる厚膜ペーストに関す
る。この参照例は「合金」をつくるためのミスト化法の
使用を開示している。それはミストを所望の金属又は合
金の融点より少なくとも１００℃高い温度まで加熱しな
ければならないことも開示している。特公昭６３−３１
５２２(特開昭６２−１８０７)(特願昭６０−１３９９
０３)Asadaら、金属塩（一つ又は複数）を含む溶液を噴
霧して液滴をつくり、液滴を塩の分解温度より高く、金
属溶融温度より高くそして金属酸化物分解温度より高い
温度に加熱し、この場合金属は金属溶融温度より低い温
度で酸化物を形成して分解した金属粒子を融合すること
による金属粉末の製造。

【０００８】米国特許４,３９６４２０ 熱反応器中で銀及び金属塩の混合水溶液を実質的に塩の
分解温度より高くしかし個々の化合物の融点より低い壁
温度で噴霧。 Nagashimaら、「化学火炎法による金属硫酸塩の水溶液
から金属微粒子の製造」、日本化学雑誌、１２, ２２９
３〜２３００ 金属微粒子を化学火炎法により製造した。火炎温度が融
点より低い場合金属粒子は非球形であり、火炎温度が金
属の融点より十分に高い場合粒子は溶融を経て完全な球
形になった。 Katoら、「噴霧熱分解法による銀粒子の製造」、日本化
学雑誌、Ｎｏ．１２：２３４２〜４（１９８５） この参照例は噴霧熱分解による球形、非凝集銀微粒子の
製造の研究を記述している。Ａｇの融点（９６１℃）よ
り高い温度の場合粒子表面は滑らかであり、そして粒径
分布は反応体の濃度の増加と共に増加すると発表してい
る。一方、粒子の密度は反応温度がＡｇの融点より下が
る場合低下する。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】粉末生成に対してエア
ロゾル分解法適用の成功が限られる主要な問題は粒子形
成に対するコントロールの欠如である。特に、十分に緻
密な粒子を形成させるためには材料を融点より高温で処
理するべきことが要件であり、そして融点より低い作業
は不純で高密度化されていない中空型粒子を生じる傾向
があった。

【００１０】本発明は、 Ａ．パラジウム含有熱分解性化合物、好ましくは可溶性
パラジウム塩の不飽和溶液を熱揮発性溶剤中に形成さ
せ； Ｂ．不活性担体ガス中に分散させた工程Ａからの溶液の
微細な小滴から本質的になり、その小滴濃度が凝集の結
果、小滴濃度の１０％低下を生じる濃度より低いエアロ
ゾルを形成させ； Ｃ．エアロゾルをパラジウム含有化合物の分解温度を越
え、具体的には窒素中で少なくとも６００℃または空気
中で少なくとも７００℃、かつパラジウムの融点より低
い操作温度に加熱し、（１）溶剤を揮発させ、（２）パ
ラジウム含有化合物をパラジウム、酸化パラジウムまた
はそれらの混合物の微細粒子の形状に分解し、そして
（３）粒子を高密度化し；そして Ｄ．パラジウム、酸化パラジウムまたはそれらの混合物
の粒子を担体ガス、反応副生物および溶剤揮発生成物か
ら分離する； 逐次工程からなるパラジウム、酸化パラジウムまたはそ
れらの混合物の微細粒子の製造法を提供する。

【００１１】パラジウム含有化合物の溶剤に関連して本
明細書で使用する「揮発性」なる用語は溶剤が最高操作
温度に達した時、揮発及び／又は分解により完全に蒸気
又はガスに変換されることを意味する。パラジウム含有
化合物に関連して本明細書で使用する「熱分解性」なる
用語は物質が最高操作温度に達した時パラジウム金属、
酸化パラジウム又はそれらの混合物に完全に分解されそ
して副生成物を揮発させることを意味する。例えば、Ｐ
ｄ(ＮＯ₃)₂は分解されてＮＯ_xガス及びＰｄ及び／又は
ＰｄＯを形成する。

【００１２】

【発明の実施の形態】パラジウム含有化合物：本発明の
方法において、エアロゾルの形成に使用される担体ガス
に不活性である限り、可溶性パラジウム塩ならどれでも
使用可能である。適当な塩の例は、Ｐｄ（ＮＯ_３）_２、
ＰｄＳＯ_４，Ｐｄ_３（ＰＯ_４）_２などである。不溶性パ
ラジウム塩は適当ではない。パラジウム塩は、０．２モ
ル／リッター程度および塩の溶解限界点までの濃度で使
用できる。０．２モル／リッターより低い濃度または飽
和の９０％より高い濃度を使用しないことが好ましい。
本発明の方法に、パラジウム源として水溶性パラジウム
塩の使用が好ましいとはいえ、それにもかかわらずこの
方法を、水性溶媒または有機溶媒のいずれかに溶解させ
た有機パラジウム化合物のようなその他の溶媒可溶性の
パラジウム化合物を使用して能率よく実行することがで
きる。

【００１３】作業上の可変要因：本発明の方法は次の基
本的な基準を満足するかぎり広範囲の種々の作業条件下
で実行することができる。 １． エアロゾル中のパラジウム化合物の濃度は、液体
溶媒を除去する前に固体の沈殿を防ぐため供給温度にお
ける飽和濃度より低くそして好ましくは飽和濃度より少
なくとも１０％低くなければならない。 ２． エアロゾル中の小滴の濃度は、反応器中で起こる
小滴の集合があっても、小滴濃度の１０％を超える低下
を生じないように十分に低くなければならない。 ３． 反応器の温度は金属パラジウムの融点（１５５４
℃）より低くなければならない。

【００１４】パラジウム含有化合物の飽和点より下で操
作することが基本であるが、どちらかといえば本方法の
操作においてはその濃度は重要ではない。極めて低い濃
度のパラジウム化合物を使用することができる。しかし
ながら、単位時間当たりに製造可能な粒子量を最大にす
るために、より高い濃度を使用することが通常好まし
い。本発明のエアロゾルを生成させるために、小滴発生
用の常用のいずれの装置、たとえばネブライザー、Ｃｏ
ｌｌｉｓｏｎネブライザー、超音波ネブライザー、振動
オリフィスエアロゾル発生機、遠心アトマイザー、二流
体アトマイザー、電気噴霧アトマイザー等を使用しても
よい。粉末の粒子径は、発生する小滴の大きさの直接関
数である。エアロゾル中の小滴の大きさは、本発明の方
法の実施においては重要ではない。しかしながら、上述
したように、エアロゾル中の小滴濃度、すなわちエアロ
ゾルの単位容積当たりの小滴数は、粒子の粒径分布を拡
げる小滴の過度の集合、すなわち凝集を招く程大きくな
ってはならないことが重要である。

【００１５】その上、所定のエアロゾル発生機にとっ
て、パラジウム含有化合物の溶液の濃度は粒子サイズに
対して直接の影響を持つ。特に粒子サイズは濃度の三乗
根の近似の関数である。従ってパラジウム含有化合物濃
度が高い程、沈殿する金属又は金属酸化物の粒子サイズ
は大きい。粒子サイズに対するより大きなコントロール
を必要とする場合は異なるエアロゾル発生機を使用しな
ければならない。パラジウム含有化合物の溶剤に対して
そしてパラジウム含有化合物自体に対して不活性である
事実上いかなる蒸気物質も本発明の実施のための担体ガ
スとして使用することができる。適当な蒸気物質の例は
空気、窒素、酸素、水蒸気、アルゴン、ヘリウム、二酸
化炭素などである。これらの内、空気と窒素が好まし
い。本発明を実行することができる温度範囲は極めて広
くそしてパラジウム含有化合物の分解温度から上方の、
但しパラジウムの融点（１５５４℃）より低い範囲にわ
たる。本発明の方法の特異な特徴は、それを純粋なパラ
ジウム金属、酸化パラジウム（ＰｄＯ）並びにパラジウ
ム金属及び酸化パラジウムの混合物の微細粒子の製造に
等しく容易に使用できることである。

【００１６】一般に、粉末製品中の金属及び金属酸化物
の分布は作業温度の関数である。ＰｄＯの分解温度（８
７０℃）より低い低温の作業温度においてはＰｄＯが優
勢である。ＰｄＯの分解温度より高い場合Ｐｄ金属が優
勢である。２つの物質が入れ替わる温度は一部分本発明
に使用する担体ガスの如何により変化する。例えば担体
ガスが空気の場合、ＰｄＯの分解はその融点（８７０
℃）の近くで起こる。ＰｄＯからＰｄ金属への入れ替わ
りは温度が約９００℃に達するまで完了しない。一方窒
素をキャリヤーガスとして使用する場合、温度が８００
℃に達したときＰｄＯが分解しそしてＰｄ金属は緻密化
する。

【００１７】エアロゾルの加熱に使用する装置の種類は
それ自身では重要でなく、直接又は間接加熱のいずれも
使用することができる。例えば管状炉を使用することが
でき、又は燃焼炎中の直接加熱を使用することができ
る。エアロゾル加熱の速度（そしてその結果滞留時間も
同様に）は反応の速度論又は金属もしくは金属酸化物の
形態のいずれの観点からも重要でないことが本発明の利
点である。反応温度に達しそして粒子が十分に緻密化し
たらそれらをキャリヤーガス、反応副生成物及び溶媒揮
発生成物から分離し、１つ又は複数の装置例えばフィル
ター、サイクロン、静電分離器、バッグフィルター、フ
ィルターディスク、スクラバーなどで集める。反応が完
了したときのガスは担体ガス、パラジウム含有化合物の
分解生成物及び溶媒蒸気からなる。従って、Ｎ₂を担体
ガスとして使用して水性硝酸銀からパラジウム又は酸化
パラジウムをつくる場合、本発明の方法で生じる排出ガ
スは酸化窒素（１つ又は複数）、水及びＮ₂からなる。

【００１８】試験装置：この研究に使用した実験装置を
略図として図１に示す。担体ガス供給源１はＮ₂又は空
気を調節器３及び流量計５を経てエアロゾル発生機７に
供給する。溶液貯槽９はエアロゾル発生機７に反応溶液
を供給し、そこで担体ガスと反応溶液は均質に混合され
て担体ガス中に分散された反応溶液の小滴からなるエア
ロゾルが形成される。発生機７でつくられたエアロゾル
はムライト管を持つリンドバーグ炉である反応機１３を
通過し、そこでエアロゾルは加熱される。圧力を反応機
７と反応機１３との間にあるゲージ１１で監視する。加
熱したエアロゾルの温度をサーモカップル１５で測定
し、そしてエアロゾルを加熱したフィルター１７を通過
させる。次いで担体ガス及び炉中で分解反応により生じ
る揮発生成物をフィルター１７の下流側から排出され
る。

【００１９】下に記述する試験作業を実行する場合、加
圧した担体ガスをエアロゾル反応機に送り、次にエアロ
ゾルを加熱した反応機を通過させた。エアロゾル小滴を
炉中で乾燥し、反応させそして緻密化し、そして生じる
微細金属又は酸化金属粒子をフィルター上に集めた。フ
ィルターのサーモカップルはその温度を示し、これをフ
ィルターにおける水凝縮を防ぐため約６０℃に維持し
た。フィルターの目詰まりによる圧力の突然の上昇を示
すように圧力ゲージを反応機の上流に置いた。担体ガス
は最初空気であったが、しかし純粋パラジウム及び／又
は酸化パラジウムの形成のため超高純度（ＵＨＰ）窒素
を反応温度を下げるめたに使用した。金属粒子特性に与
える小滴サイズの効果を測るため２種類のエアロゾル反
応機、すなわち（１）改造したBGI Collison ＤＮ−２
５発生機および（２）ＴＳＩ−３０７６一定出力アトマ
イザーを使用した。反応温度は３００と９５０℃の間で
変化させた。滞留時間は流速及び反応温度の関数として
異なり、従って１４〜３８秒にわたった。フィルターは
ナイロン膜フィルターであった。溶液貯槽中の水性Ｐｄ
(ＮＯ₃)₂の濃度は０.５〜１.９モル／リットルであっ
た。

【００２０】本発明の方法を実証するため１３の工程試
験を実行した。これらの試験の作業条件をそれからつく
られたパラジウム及び酸化パラジウム粒子の選択した性
質と共に下の表１、表２に示す。

【００２１】

【表１】

【００２２】

【表２】

【００２３】実施例１〜７の重量損失データは空気をキ
ャリヤーガスとして使用した場合、作業温度が約５００
℃を超えると純粋なＰｄＯを得られたことを示してい
る。実施例１、３及び５でつくられた製品のＸ線回折図
（それぞれ図２、３及び４）の幅狭いピークは温度が７
００℃に上昇するとＰｄＯが緻密化されたことを示して
いる。このことはＰｄＯ粒子の表面積が減少したことに
よっても示されている（図５参照）。実施例６の製品の
Ｘ線回折ピークはＰｄＯの分解温度（８７０℃）より低
温で極めて純粋なＰｄＯ粒子がつくられたことを示して
いる（図６）。一方、作業温度が約９００℃を超えた場
合、実施例７のＸ線回折図に示されているように、（図
７参照）純粋な結晶Ｐｄ金属がつくられた。

【００２４】実施例３でつくられた粒子の透過型電子顕
微鏡（ＴＥＭ）による試験はＰｄＯ粒子が各粒子の中に
多くの小さいナノサイズの微結晶を含むことを示した。
実施例７の粒子の試験はＰｄ金属粒子が各々単結晶であ
ることを示した。キャリヤーガスとしてＮ₂を使用した
実施例９〜１３を見ると、５００〜７００℃で実行した
場合ＰｄＯ粒子がつくられ、そして８００℃及びそれよ
り高温では純粋な結晶の緻密なＰｄ金属の粒子がつくら
れていた。実施例９のＸ線回折図（図８）の幅広いピー
クはＰｄＯが多くの小さい微結晶からなることを示して
いる。一方実施例１２のＸ線回折図（図９）の幅狭いピ
ークはＰｄ金属が極めて純粋であり、そして多くの結晶
の凝集体というよりむしろ単結晶からなることを示して
いる。この観察はＰｄＯ粒子を加熱すると微結晶は合体
し、そしてＰｄ金属への分解と同時に粒子は緻密化して
単結晶を形成するという結論に導く。

【００２５】本発明によりつくられた粒子製品（実施例
２〜１３）の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）による試験は
粒子が緻密で球形であることを示した。上のデータは本
発明の方法がＰｄＯ及び金属粒子を製造する従来技術の
方法に対して極めて望ましい代替法を提供することを示
している。本発明のエアロゾル分解法でつくられた酸化
パラジウム粉末は純粋、緻密で、凝集していない、球形
であり、そして使用するエアロゾル発生機及び塩溶液の
濃度の如何により調整されたサイズを持つ。本発明の方
法によりつくった酸化パラジウム粉末は溶液加水分解又
は空気酸化によりつくられた粒子の持つ不規則な形、低
密度及び凝集を示さない。本発明のエアロゾル分解法で
つくられたパラジウム粉末は純粋、緻密で、凝集してい
ない、球形であり、そしてエアロゾルを発生機及び塩溶
液の濃度の如何により調整されたサイズを持つ。本発明
の方法によりつくられたパラジウム粉末は溶液沈殿によ
りつくられたパラジウム粒子に普通に認められる不純
物、不規則な形及び凝集を示さない。その上さらに、パ
ラジウムの融点よりかなり低い温度で十分に反応し、そ
して緻密化したパラジウム粒子がつくられた。

【００２６】本発明の方法で実施した経験から、反応系
がＰｄ（ＮＯ_３）_２に基づきそして担体ガスが空気の場
合パラジウム粒子は次の順序により形成される。 （１） エアロゾルを溶媒の蒸発温度より高温に加熱す
ると、溶媒はエアロゾル小滴から蒸発してＰｄ（Ｎ
Ｏ_３）_２の多孔質粒子を形成し、 （２） 多孔質Ｐｄ（ＮＯ_３）_２をその上さらに加熱す
ると、それらは分解して多孔質酸化パラジウム粒子を形
成し、次いでこのものは緻密化されそして結晶になり、 （３） 温度の上昇を継続すると、緻密な結晶Ｐｄの粒
子は分解して多孔質Ｐｄ金属粒子を形成し、そして （４） 反応炉内での残りの滞留時間の間に多孔質パラ
ジウム粒子は十分に緻密化されそして結晶になる。 本発明を要約すると下記のとおりである。 １） Ａ． 熱揮発性溶剤中で熱分解性パラジウム含有
化合物の不飽和溶液をつくり、 Ｂ． 不活性担体ガス中で分散された工程Ａからの溶液
の微細な小滴であって、その小滴濃度が凝集の結果小滴
濃度の１０％の低下を生じる濃度より低いものより本質
的になるエアロゾルを形成させ、 Ｃ． パラジウム含有化合物の分解温度より高いがパラ
ジウムの融点より低い操作温度にエアロゾルを加熱し、
それによって（１）溶剤を蒸発させ、（２）パラジウム
含有化合物を分解してパラジウム、酸化パラジウム又は
それらの混合物の微細粒子をつくり、そして（３）粒子
を高密度化し、そして Ｄ． パラジウム、酸化パラジウム及びそれらの混合物
の粒子を担体ガス、反応副生成物及び溶剤揮発生成物か
ら分離する、連続する段階からなるパラジウム、酸化パ
ラジウム及びそれらの混合物の微細粒子の製造法。 ２） 担体ガスが空気であり、そしてエアロゾルを４０
０〜８５０℃の温度に加熱しそして形成される粒子がＰ
ｄＯである前記第１項の方法。 ３） エアロゾルを７００〜８５０℃の温度に加熱する
前記第２項の方法。 ４） 担体ガスが空気でありそしてエアロゾルを９００
℃より高い温度に加熱しそして形成される粒子がＰｄ金
属である前記第１項の方法。 ５） 担体ガスがＮ_２でありそしてエアロゾルを４００
〜７００℃の温度に加熱しそして形成される粒子がＰｄ
Ｏである前記第１項の方法。 ６） 担体ガスがＮ_２でありそしてエアロゾルを８００
℃より高い温度に加熱しそして形成される粒子がＰｄ金
属である前記第１項の方法。 ７） パラジウム含有化合物がＰｄ（ＮＯ_３）_２である
前記第１項の方法。 ８） 熱揮発性溶剤が脱イオン水である前記第１項の方
法。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を実証する試験装置の略図。

【図２】本発明の実施例１によりつくった製品のＸ線回
折図。

【図３】本発明の実施例３によりつくった製品のＸ線回
折図。

【図４】本発明の実施例５によりつくった製品のＸ線回
折図。

【図５】粒子表面積に対する作業温度の影響を示すグラ
フ。

【図６】本発明の実施例６によりつくった製品のＸ線回
折図。

【図７】本発明の実施例７によりつくった製品のＸ線回
折図。

【図８】本発明の実施例９によりつくった製品のＸ線回
折図。

【図９】本発明の実施例１２によりつくった製品のＸ線
回折図。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (73)特許権者 593184385 ザ・ユニバーシテイ・オブ・ニユーメキ シコ ＴＨＥ ＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ ＯＦ ＮＥＷ ＭＥＸＩＣＯ アメリカ合衆国ニユーメキシコ州87131 −6003．アルバカーキ．ノースイース ト．ローマストリート（番地なし) (72)発明者 トイヴオ・タルモ・コーダス アメリカ合衆国ニユーメキシコ州87122. アルバカーキ．サンラフアエルアベニユ ー11102 (72)発明者 シヤーリー・ウイーバー・ライアンズ アメリカ合衆国カリフオルニア州94070. サンカルロス．シルバンドライブ1011 (72)発明者 ハワード・デイビツド・グリツクスマン アメリカ合衆国デラウエア州19807．ウ イルミントン．ハーレクドライブ20 (56)参考文献 特開 平５−311212（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−54704（ＪＰ，Ａ) 特公 平３−68484（ＪＰ，Ｂ２) 特公 昭63−31522（ＪＰ，Ｂ２)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ａ．可溶性のパラジウム含有熱分解性化
   合物の不飽和溶液を熱揮発性溶剤中に形成させ； Ｂ．不活性担体ガス中に分散させた工程Ａからの溶液の
   微細な小滴から本質的になり、その小滴濃度が凝集の結
   果、小滴濃度の１０％低下を生じる濃度より低いエアロ
   ゾルを形成させ； Ｃ．エアロゾルを窒素中で少なくとも６００℃または空
   気中で少なくとも７００℃の温度で、かつパラジウムの
   融点より低い操作温度に加熱し、（１）溶剤を蒸発さ
   せ、（２）パラジウム含有化合物をパラジウム、酸化パ
   ラジウムまたはそれらの混合物の微細粒子の形状に分解
   し、そして（３）粒子を高密度化し；そして Ｄ．パラジウム、酸化パラジウムまたはそれらの混合物
   の微細粒子を担体ガス、反応副生物および溶剤揮発生成
   物から分離する； 逐次工程からなるパラジウム、酸化パラジウムまたはそ
   れらの混合物の微細粒子の製造法。