JP2626982B2 - 研磨フィルム - Google Patents
研磨フィルムInfo
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- JP2626982B2 JP2626982B2 JP62263221A JP26322187A JP2626982B2 JP 2626982 B2 JP2626982 B2 JP 2626982B2 JP 62263221 A JP62263221 A JP 62263221A JP 26322187 A JP26322187 A JP 26322187A JP 2626982 B2 JP2626982 B2 JP 2626982B2
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ポリッシング、ラッピング加工、特に、精
密機器、精密部品の仕上げ加工に使用するのに適した研
磨フィルムに関するものである。
密機器、精密部品の仕上げ加工に使用するのに適した研
磨フィルムに関するものである。
従来の技術 この種の研磨フィルムとしては、従来、プラスチック
フィルム上に、研磨材を分散させた塗料を塗布して、連
続あるいは不連続な研磨層を形成させたようなものがあ
り、この場合において、研磨層は１層にコーティングす
るのが普通であるが、特開昭61−65780号公報や実開昭6
1−178671号公報に開示されたような２層にコーティン
グすることも提案されている。
フィルム上に、研磨材を分散させた塗料を塗布して、連
続あるいは不連続な研磨層を形成させたようなものがあ
り、この場合において、研磨層は１層にコーティングす
るのが普通であるが、特開昭61−65780号公報や実開昭6
1−178671号公報に開示されたような２層にコーティン
グすることも提案されている。
発明が解決しようとする問題点 このような従来の研磨層を１層にコーティングした研
磨フィルムでは、研削力の大きいものは高精密仕上げ性
に劣り、逆に、高精度仕上げ性に優れたものは研削力が
低くいのが普通であった。すなわち、同一の研磨フィル
ムで研削力が大きく高精密仕上げ性にも優れたものはな
いので、研削工程に合わせて適当な研削特性を有する研
磨フィルムに交換して、研削作業をしているのが現状で
あった。例えば、できるだけ短時間にて所定の研削量お
よび表面粗さの研削作業を行うためには、従来、最初は
研削力の大きな＃1000の研磨フィルムを用いて表面粗さ
は所定より大きくなるが短時間にて研削量の多い研削を
行い、中間工程においては、＃4000の研磨フィルムに交
換して研削量も表面粗さも中くらいの研削を行い、最後
に、＃8000の研磨フィルムに交換して研削量は小さいが
所定の高い精密仕上げ表面粗さの得られる研削を行うよ
うにしている。このように、１つの研削作業中において
何度も研磨フィルムを交換しなければならないのでは、
不便であり、研削作業時間もそれだけ長くなり、特に、
研削作業を自動化するような場合には問題となる。
磨フィルムでは、研削力の大きいものは高精密仕上げ性
に劣り、逆に、高精度仕上げ性に優れたものは研削力が
低くいのが普通であった。すなわち、同一の研磨フィル
ムで研削力が大きく高精密仕上げ性にも優れたものはな
いので、研削工程に合わせて適当な研削特性を有する研
磨フィルムに交換して、研削作業をしているのが現状で
あった。例えば、できるだけ短時間にて所定の研削量お
よび表面粗さの研削作業を行うためには、従来、最初は
研削力の大きな＃1000の研磨フィルムを用いて表面粗さ
は所定より大きくなるが短時間にて研削量の多い研削を
行い、中間工程においては、＃4000の研磨フィルムに交
換して研削量も表面粗さも中くらいの研削を行い、最後
に、＃8000の研磨フィルムに交換して研削量は小さいが
所定の高い精密仕上げ表面粗さの得られる研削を行うよ
うにしている。このように、１つの研削作業中において
何度も研磨フィルムを交換しなければならないのでは、
不便であり、研削作業時間もそれだけ長くなり、特に、
研削作業を自動化するような場合には問題となる。
また、前述の特開昭61−65780号公報や実開昭61−178
671号公報に開示されたような２層コーティング研磨層
を有する研磨布も、特にこのような問題点の解決に向け
られたものではなかった。
671号公報に開示されたような２層コーティング研磨層
を有する研磨布も、特にこのような問題点の解決に向け
られたものではなかった。
本発明の目的は、このような従来の問題点を解消しう
る研磨フィルムを提供することである。
る研磨フィルムを提供することである。
問題点を解決するための手段 本発明の第一の特徴によれば、研磨フィルムは、フィ
ルム基体上に、研削特性の異なる少なくとも２つの研磨
層を重ねて有し、前記研磨層の各々は、同一のバインダ
ー樹脂中に同一の砥粒を異なる濃度にて分散させてな
る。
ルム基体上に、研削特性の異なる少なくとも２つの研磨
層を重ねて有し、前記研磨層の各々は、同一のバインダ
ー樹脂中に同一の砥粒を異なる濃度にて分散させてな
る。
本発明の第二の特徴によれば、研磨フィルムは、フィ
ルム基体上に、研削特性の異なる少なくとも２つの研磨
層を重ねて有し、前記研磨層の各々は、異なるバインダ
ー樹脂中に、同一の砥粒を同一の砥粒濃度にて分散させ
てなる。
ルム基体上に、研削特性の異なる少なくとも２つの研磨
層を重ねて有し、前記研磨層の各々は、異なるバインダ
ー樹脂中に、同一の砥粒を同一の砥粒濃度にて分散させ
てなる。
実施例 次に、添付図面に基づいて、本発明の実施例につい
て、本発明をより詳細に説明する。
て、本発明をより詳細に説明する。
第１図は、本発明の一実施例として研磨フィルムの一
部を示す断面図であり、この実施例の研磨フィルムは、
プラスチックフィルム１の上に、バインダー樹脂３中に
砥粒３を分散させてなる第１の研磨層と、バインダー樹
脂５中に砥粒４を分散させてなる第２の研磨層とを重ね
て連続的にコーティングしたものである。第２図は、本
発明の別の実施例の研磨フィルムの一部を示す断面図で
あり、この実施例の研磨フィルムは、第１の研磨層と第
２の研磨層とを不連続または島状に形成した以外は、第
１図の実施例のものと同一である。第３図は、本発明の
さらに別の実施例の研磨フィルムの一部を示す断面図で
あり、この実施例の研磨フィルムは、第１の研磨層を不
連続または島状に形成した以外は、第１図の実施例の研
磨フィルムと同じである。
部を示す断面図であり、この実施例の研磨フィルムは、
プラスチックフィルム１の上に、バインダー樹脂３中に
砥粒３を分散させてなる第１の研磨層と、バインダー樹
脂５中に砥粒４を分散させてなる第２の研磨層とを重ね
て連続的にコーティングしたものである。第２図は、本
発明の別の実施例の研磨フィルムの一部を示す断面図で
あり、この実施例の研磨フィルムは、第１の研磨層と第
２の研磨層とを不連続または島状に形成した以外は、第
１図の実施例のものと同一である。第３図は、本発明の
さらに別の実施例の研磨フィルムの一部を示す断面図で
あり、この実施例の研磨フィルムは、第１の研磨層を不
連続または島状に形成した以外は、第１図の実施例の研
磨フィルムと同じである。
さらにまた、第４図、第５図および第６図は、それぞ
れ、本発明の別の実施例の研磨フィルムの一部を示す断
面図であり、プラスチックフィルム１の裏面に粘着層６
および離型紙７を設けた以外は、第１図、第２図および
第３図の実施例の研磨フィルムとそれぞれ同様の構造を
有するものである。また、これら研磨フィルムは、テー
プシート、ディスク状等任意の形に加工して使用できる
ものである。
れ、本発明の別の実施例の研磨フィルムの一部を示す断
面図であり、プラスチックフィルム１の裏面に粘着層６
および離型紙７を設けた以外は、第１図、第２図および
第３図の実施例の研磨フィルムとそれぞれ同様の構造を
有するものである。また、これら研磨フィルムは、テー
プシート、ディスク状等任意の形に加工して使用できる
ものである。
第１図から第６図にその構造を示した各実施例におい
て、第１の研磨層は、ワークの仕上り表面粗さは大きい
が、研削力が高いものとされており、第２の研磨層は、
研削力は低いがワークの仕上げ表面粗さは小さくなるよ
うなものとされている。すなわち、第１の研磨層では、
高い研削量が得られ、第２の研磨層では、精密研磨仕上
げが行えるようなものとされている。
て、第１の研磨層は、ワークの仕上り表面粗さは大きい
が、研削力が高いものとされており、第２の研磨層は、
研削力は低いがワークの仕上げ表面粗さは小さくなるよ
うなものとされている。すなわち、第１の研磨層では、
高い研削量が得られ、第２の研磨層では、精密研磨仕上
げが行えるようなものとされている。
第１の研磨層および第２の研磨層に前述したような研
削特性を与えるためには、本発明によれば、次のような
方法を採りうる。
削特性を与えるためには、本発明によれば、次のような
方法を採りうる。
先ず、第１の研磨層と第２の研磨層とに同一の砥粒を
用いるとして、次の２つの組合せがある。
用いるとして、次の２つの組合せがある。
（Ａ）バインダー樹脂を第１の研磨層と第２の研磨層と
で同じとする場合 第１の研磨層の砥粒濃度と第２の研磨層の砥粒濃度と
を異ならせ、例えば、第１の研磨層の砥粒濃度を臨界砥
粒濃度（Critical Grain Volume Concentration:CGVC）
とし、第２の研磨層の砥粒濃度をその臨界砥粒濃度以下
または以上とする。
で同じとする場合 第１の研磨層の砥粒濃度と第２の研磨層の砥粒濃度と
を異ならせ、例えば、第１の研磨層の砥粒濃度を臨界砥
粒濃度（Critical Grain Volume Concentration:CGVC）
とし、第２の研磨層の砥粒濃度をその臨界砥粒濃度以下
または以上とする。
（Ｂ）砥粒濃度を第１の研磨層と第２の研磨層とで同じ
とする場合 第１の研磨層のバインダー樹脂と第２の研磨層のバイ
ンダー樹脂とを異ならせ、例えば、第１の研磨層のバイ
ンダー樹脂は、第２の研磨層のバインダー樹脂より抗張
力が高く、破断伸びの低いものとする。主として、第１
の研磨層のバインダー樹脂は、熱硬化性樹脂とし、第２
の研磨層のバインダー樹脂は、熱可塑性樹脂とする。
とする場合 第１の研磨層のバインダー樹脂と第２の研磨層のバイ
ンダー樹脂とを異ならせ、例えば、第１の研磨層のバイ
ンダー樹脂は、第２の研磨層のバインダー樹脂より抗張
力が高く、破断伸びの低いものとする。主として、第１
の研磨層のバインダー樹脂は、熱硬化性樹脂とし、第２
の研磨層のバインダー樹脂は、熱可塑性樹脂とする。
前述したような本発明の研磨フィルムにおいて、使用
できる砥粒としては、ダイヤモンド、アルミナ、シリコ
ンカーバイド、チッ化ホウ素、酸化クロム、酸化鉄、酸
化ケイ素、水酸化アルミニウム等がある。
できる砥粒としては、ダイヤモンド、アルミナ、シリコ
ンカーバイド、チッ化ホウ素、酸化クロム、酸化鉄、酸
化ケイ素、水酸化アルミニウム等がある。
また、バインダー樹脂としては、熱硬化性樹脂および
熱可塑性樹脂が使用でき、熱硬化性樹脂としては、２液
硬化型ウレタン、１液硬化型ウレタン樹脂、エポキシ・
ポリアミド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂等、100℃以
下で反応（架橋＝硬化）するものが適している。熱可塑
性樹脂としては、各種アクリル樹脂、ビニル系樹脂、セ
ルロース系樹脂、エポキシ樹脂、エステル系樹脂等が使
用でき、また、ゴム系樹脂であるウレタンエラストマ
ー、ニトリルゴム、シリコーンゴム、アクリルゴム、エ
チレン酢ビゴム、フッ素ゴム等も使用できる。
熱可塑性樹脂が使用でき、熱硬化性樹脂としては、２液
硬化型ウレタン、１液硬化型ウレタン樹脂、エポキシ・
ポリアミド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂等、100℃以
下で反応（架橋＝硬化）するものが適している。熱可塑
性樹脂としては、各種アクリル樹脂、ビニル系樹脂、セ
ルロース系樹脂、エポキシ樹脂、エステル系樹脂等が使
用でき、また、ゴム系樹脂であるウレタンエラストマ
ー、ニトリルゴム、シリコーンゴム、アクリルゴム、エ
チレン酢ビゴム、フッ素ゴム等も使用できる。
フィルム基体であるプラスチックフィルムとしては、
ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド、ポリカーボ
ネイトおよびそれらを表面処理したもの、その他合成
紙、不織布等を使用することができる。
ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド、ポリカーボ
ネイトおよびそれらを表面処理したもの、その他合成
紙、不織布等を使用することができる。
次に、本発明の具体的実験例について説明する。
具体的実験例（１） この実験例は、本発明による研磨フィルムを試作実験
するため、各研磨層のバインダー樹脂を同じものとし、
各研磨層の砥粒濃度を異ならせた場合の例であり、先
ず、次の表１および２に示すような組成の塗工剤を準備
する。
するため、各研磨層のバインダー樹脂を同じものとし、
各研磨層の砥粒濃度を異ならせた場合の例であり、先
ず、次の表１および２に示すような組成の塗工剤を準備
する。
但し、数値は、重量部を示し、IRM8−20は、ダイヤモン
ドパウダー（東名ダイヤモンド製粒径d50＝11.4μｍ）
であり、この場合の砥粒濃度は、表１の組成では、砥粒
／樹脂＝3.3/1であり、表２の組成では、砥粒／樹脂＝
2.0である。
ドパウダー（東名ダイヤモンド製粒径d50＝11.4μｍ）
であり、この場合の砥粒濃度は、表１の組成では、砥粒
／樹脂＝3.3/1であり、表２の組成では、砥粒／樹脂＝
2.0である。
表２の組成の塗工剤をメイヤーバーコーター、グラビ
ヤコーター、リバースロールコーター、ナイフコーター
等で、75μｍ厚さのポリエチレンテレフタレートフィル
ム上に、10μｍ〜100μｍの厚さに塗布し第２の研磨層
を形成し、その後、表１組成の塗工剤をその第２の研磨
層の上に同様の方法で10μｍ〜100μｍの厚さに塗布し
て第１の研磨層を形成して、研磨シートを製造した。こ
の場合において、第１の研磨層の厚さと、第２の研磨層
との厚さは、その研磨フィルムの使用目的に応じて適当
に選定する必要があり、特に、第１の研磨層は、その第
１の研磨層による目的の研削工程の完了時に丁度、摩滅
消滅したその下の第２の研磨層が表に表れるような厚さ
に選定する必要がある。その研磨シートを用いて、圧力
140g/cm2、回転数200rpm、ワーク回転数125rpmで、アル
ミを研磨し、一定時間毎に研磨されたアルミの表面粗さ
および体積を測定した。このときに測定された研磨特
性、すなわち、研磨時間対累積研削量の関係および研削
時間対表面粗さの関係を第７図に示している。この第７
図に示された関係から明らかなように、10分間の研削に
よる累積研削量は、160（×10-4cm3）であり、表面粗さ
は、0.20（μRa）であった。
ヤコーター、リバースロールコーター、ナイフコーター
等で、75μｍ厚さのポリエチレンテレフタレートフィル
ム上に、10μｍ〜100μｍの厚さに塗布し第２の研磨層
を形成し、その後、表１組成の塗工剤をその第２の研磨
層の上に同様の方法で10μｍ〜100μｍの厚さに塗布し
て第１の研磨層を形成して、研磨シートを製造した。こ
の場合において、第１の研磨層の厚さと、第２の研磨層
との厚さは、その研磨フィルムの使用目的に応じて適当
に選定する必要があり、特に、第１の研磨層は、その第
１の研磨層による目的の研削工程の完了時に丁度、摩滅
消滅したその下の第２の研磨層が表に表れるような厚さ
に選定する必要がある。その研磨シートを用いて、圧力
140g/cm2、回転数200rpm、ワーク回転数125rpmで、アル
ミを研磨し、一定時間毎に研磨されたアルミの表面粗さ
および体積を測定した。このときに測定された研磨特
性、すなわち、研磨時間対累積研削量の関係および研削
時間対表面粗さの関係を第７図に示している。この第７
図に示された関係から明らかなように、10分間の研削に
よる累積研削量は、160（×10-4cm3）であり、表面粗さ
は、0.20（μRa）であった。
比較実験例（１） 一方、前述した本発明による具体的実験例（１）の研
磨フィルムとの作用効果を確認するために、これと比較
しうる従来の如き研磨層が１層のみの研磨フィルムを作
製するため、表１の組成の塗工液を用いて１層の研磨層
のみを有する研磨フィルムと、表２の組成の塗工液を用
いて１層の研磨層のみを有する研磨フィルムとを製造
し、具体的実験例（１）と同様の実験測定を行った。こ
のときの、表１の組成の塗工液で研磨層を形成した研磨
フィルムの研削時間対累積研削量の関係および研削時間
対表面粗さの関係を、第８図に示し、表２の組成の塗工
液で研磨層を形成した研磨フィルムの研削時間対累積研
削量の関係および研削時間対表面粗さの関係を、第９図
に示している。これら第８図および第９図から明らかな
ように、表１の組成の塗工液で形成した研磨層のみを有
する研磨フィルムで10分間研磨した場合には、累積研削
量は、210（×10-4cm3）で、表面粗さは、0.25（μRa）
であった。これを、具体的実験例（１）のものと比較す
ると、累積研削量は、多いが、仕上り面の表面粗さは大
きくなってしまうことが分かる。一方、表２の組成の塗
工液で形成した研磨層のみを有する研磨フィルムで10分
間研磨した場合には、累積研削量は、140（×10-4cm3）
で、表面粗さは、0.10（μRa）であった。これを、具体
的実験例（１）のものと比較すると、仕上り表面粗さは
小さいが、累積研削量が少なくなってしまうことが分か
る。従って、具体的実験例（１）の研磨フィルムと同程
度の累積研削量を得るためには、第１の研磨層だけで
は、表面粗さが大きすぎてしまい、第２の研磨層のみで
は、研削時間が10分間以上かかってしまうことになる。
磨フィルムとの作用効果を確認するために、これと比較
しうる従来の如き研磨層が１層のみの研磨フィルムを作
製するため、表１の組成の塗工液を用いて１層の研磨層
のみを有する研磨フィルムと、表２の組成の塗工液を用
いて１層の研磨層のみを有する研磨フィルムとを製造
し、具体的実験例（１）と同様の実験測定を行った。こ
のときの、表１の組成の塗工液で研磨層を形成した研磨
フィルムの研削時間対累積研削量の関係および研削時間
対表面粗さの関係を、第８図に示し、表２の組成の塗工
液で研磨層を形成した研磨フィルムの研削時間対累積研
削量の関係および研削時間対表面粗さの関係を、第９図
に示している。これら第８図および第９図から明らかな
ように、表１の組成の塗工液で形成した研磨層のみを有
する研磨フィルムで10分間研磨した場合には、累積研削
量は、210（×10-4cm3）で、表面粗さは、0.25（μRa）
であった。これを、具体的実験例（１）のものと比較す
ると、累積研削量は、多いが、仕上り面の表面粗さは大
きくなってしまうことが分かる。一方、表２の組成の塗
工液で形成した研磨層のみを有する研磨フィルムで10分
間研磨した場合には、累積研削量は、140（×10-4cm3）
で、表面粗さは、0.10（μRa）であった。これを、具体
的実験例（１）のものと比較すると、仕上り表面粗さは
小さいが、累積研削量が少なくなってしまうことが分か
る。従って、具体的実験例（１）の研磨フィルムと同程
度の累積研削量を得るためには、第１の研磨層だけで
は、表面粗さが大きすぎてしまい、第２の研磨層のみで
は、研削時間が10分間以上かかってしまうことになる。
具体的実験例（２） この実験例は、本発明による研磨フィルムを試作実験
するため、各研磨層の砥粒濃度を同じものとし、各研磨
層のバインダー樹脂を異ならせた場合の例であり、先
ず、次の表３および４に示すような組成の塗工剤を準備
する。
するため、各研磨層の砥粒濃度を同じものとし、各研磨
層のバインダー樹脂を異ならせた場合の例であり、先
ず、次の表３および４に示すような組成の塗工剤を準備
する。
但し、数値は、重量部を示し、IRM8−20は、ダイヤモン
ドパウダー（東名ダイヤモンド製粒径d50＝11.4μｍ）
であり、この場合の砥粒濃度は、表３および４の組成に
おいて共に、同じく、砥粒／樹脂＝2.0/1である。
ドパウダー（東名ダイヤモンド製粒径d50＝11.4μｍ）
であり、この場合の砥粒濃度は、表３および４の組成に
おいて共に、同じく、砥粒／樹脂＝2.0/1である。
表４の組成の塗工剤をメイヤーバーコーター、グラビ
ヤコーター、リバースロールコーター、ナイフコーター
等で、75μｍ厚さのポリエチレンテレフタレートフィル
ム上に、10μｍ〜100μｍの厚さに塗布し第２の研磨層
を形成し、その後、表３の組成の塗工剤をその第２の研
磨層の上に同様の方法で10μｍ〜100μｍの厚さに塗布
して第１の研磨層を形成して、研磨シートを製造した。
この場合形成された第１の研磨層の塗膜物性は、抗張力
が300kg/cm2、破断伸びが１％であり、第２の研磨層の
塗膜物性は、抗張力が10kg/cm2、破断伸びが300％であ
った。このような研磨シートを用いて、圧力140g/cm2、
回転数200rpm、ワーク回転数125rpmで、アルミを研磨
し、一定時間毎に研磨されたアルミの表面粗さおよび体
積を測定した。このときに測定された研磨特性、すなわ
ち、研削時間対累積研削量の関係および研削時間対表面
粗さの関係を第10図に示している。この第10図に示され
た関係から明らかなように、10分間の研削による累積研
削量は、100×（10-4cm3）であり、表面粗さは、0.03
（μRa）であった。
ヤコーター、リバースロールコーター、ナイフコーター
等で、75μｍ厚さのポリエチレンテレフタレートフィル
ム上に、10μｍ〜100μｍの厚さに塗布し第２の研磨層
を形成し、その後、表３の組成の塗工剤をその第２の研
磨層の上に同様の方法で10μｍ〜100μｍの厚さに塗布
して第１の研磨層を形成して、研磨シートを製造した。
この場合形成された第１の研磨層の塗膜物性は、抗張力
が300kg/cm2、破断伸びが１％であり、第２の研磨層の
塗膜物性は、抗張力が10kg/cm2、破断伸びが300％であ
った。このような研磨シートを用いて、圧力140g/cm2、
回転数200rpm、ワーク回転数125rpmで、アルミを研磨
し、一定時間毎に研磨されたアルミの表面粗さおよび体
積を測定した。このときに測定された研磨特性、すなわ
ち、研削時間対累積研削量の関係および研削時間対表面
粗さの関係を第10図に示している。この第10図に示され
た関係から明らかなように、10分間の研削による累積研
削量は、100×（10-4cm3）であり、表面粗さは、0.03
（μRa）であった。
比較実験例（２） 一方、前述した本発明による具体的実験例（２）の研
磨フィルムとの作用効果を確認するために、これと比較
しうる従来の如き研磨層が１層のみの研磨フィルムを作
製するため、表３の組成の塗工液を用いて１層の研磨層
のみを有する研磨フィルムと、表４の組成の塗工液を用
いて１層の研磨層のみを有する研磨フィルムとを製造
し、具体的実験例（２）と同様の実験測定を行った。こ
のときの、表１の組成の塗工液で研磨層を形成した研磨
フィルムの研削時間対累積研削量の関係および研削時間
対表面粗さの関係を、第11図に示し、表４の組成の塗工
液で研磨層を形成した研磨フィルムの研削時間対累積研
削量の関係および研削時間対表面粗さの関係を、第12図
に示している。これら第11図および第12図から明らかな
ように、表３の組成の塗工液で形成した研磨層のみを有
する研磨フィルムで10分間研磨した場合には、累積研削
量は、150（×10-4cm3）で、表面粗さは、0.09（μRa）
であった。これを、具体的実験例（２）のものと比較す
ると、累積研削量は、多いが、仕上り面の表面粗さは大
きくなってしまうことが分かる。一方、表４の組成の塗
工液で形成した研磨層のみを有する研磨フィルムで10分
間研磨した場合には、累積研削量は、45（×10-4cm3）
で、表面粗さは、0.02（μRa）であった。これを、具体
的実験例（２）のものと比較すると、仕上り表面粗さは
小さいが、累積研削量が少なくなってしまうことが分か
る。従って、具体的実験例（１）の研磨フィルムと同程
度の累積研削量を得るためには、第１の研磨層だけで
は、表面粗さが大きすぎてしまい、第２の研磨層のみで
は、研削時間が10分間以上かかってしまうことになる。
磨フィルムとの作用効果を確認するために、これと比較
しうる従来の如き研磨層が１層のみの研磨フィルムを作
製するため、表３の組成の塗工液を用いて１層の研磨層
のみを有する研磨フィルムと、表４の組成の塗工液を用
いて１層の研磨層のみを有する研磨フィルムとを製造
し、具体的実験例（２）と同様の実験測定を行った。こ
のときの、表１の組成の塗工液で研磨層を形成した研磨
フィルムの研削時間対累積研削量の関係および研削時間
対表面粗さの関係を、第11図に示し、表４の組成の塗工
液で研磨層を形成した研磨フィルムの研削時間対累積研
削量の関係および研削時間対表面粗さの関係を、第12図
に示している。これら第11図および第12図から明らかな
ように、表３の組成の塗工液で形成した研磨層のみを有
する研磨フィルムで10分間研磨した場合には、累積研削
量は、150（×10-4cm3）で、表面粗さは、0.09（μRa）
であった。これを、具体的実験例（２）のものと比較す
ると、累積研削量は、多いが、仕上り面の表面粗さは大
きくなってしまうことが分かる。一方、表４の組成の塗
工液で形成した研磨層のみを有する研磨フィルムで10分
間研磨した場合には、累積研削量は、45（×10-4cm3）
で、表面粗さは、0.02（μRa）であった。これを、具体
的実験例（２）のものと比較すると、仕上り表面粗さは
小さいが、累積研削量が少なくなってしまうことが分か
る。従って、具体的実験例（１）の研磨フィルムと同程
度の累積研削量を得るためには、第１の研磨層だけで
は、表面粗さが大きすぎてしまい、第２の研磨層のみで
は、研削時間が10分間以上かかってしまうことになる。
その他の具体的実験例およびその比較実験例を次に列
挙する。なお、これらの実験条件は、実験例（１）と同
じである。
挙する。なお、これらの実験条件は、実験例（１）と同
じである。
具体的実験例（３） ワークの種類：チッ化ケイ素 砥粒の種類:IRM8−20 第１の研磨層の組成： バインダー樹脂の種類:VAGH＝100 Ｃ−Ｌ＝10 砥粒濃度:50vol％ 第２の研磨層の組成： バインダー樹脂の種類:VAGH＝100 Ｃ−Ｌ＝10 砥粒濃度:10vol％ 測定結果： 10分間の累積研削量:80×10-4cm3 表面粗さ:0.09μRa 比較実験例（３） （Ａ） ワークの種類：チッ化ケイ素 砥粒の種類:IRM8−20 単一研磨層の組成： バインダー樹脂の種類:VAGH＝100 Ｃ−Ｌ＝10 砥粒濃度:50vol％ 測定結果： 10分間の累積研削量:100×10-4cm3 表面粗さ:0.28μRa （Ｂ） ワークの種類：チッ化ケイ素 砥粒の種類:IRM8−20 単一研磨層の組成： バインダー樹脂の種類:VAGH＝100 Ｃ−Ｌ＝10 砥粒濃度:10vol％ 測定結果： 10分間の累積研削量:50×10-4cm3 表面粗さ:0.08μRa 具体的実験例（４） ワークの種類：ポリメチルメタクリレート 砥粒の種類:WA1500（昭和電工製） 第１の研磨層の組成： バインダー樹脂の種類:VAGH＝100 Ｃ−Ｌ＝10 砥粒濃度:50vol％ 第２の研磨層の組成： バインダー樹脂の種類:VAGH＝100 Ｃ−Ｌ＝10 砥粒濃度:10vol％ 測定結果： 10分間の累積研削量:180×10-4cm3 表面粗さ:0.20μRa 比較実験例（４） （Ａ） ワークの種類：ポリメチルメタクリレート 砥粒の種類:WA1500 単一研磨層の組成： バインダー樹脂の種類:VAGH＝100 Ｃ−Ｌ＝10 砥粒濃度:50vol％ 測定結果： 10分間の累積研削量:210×10-4cm3 表面粗さ:0.25μRa （Ｂ） ワークの種類：ポリメチルメタクリレート 砥粒の種類:WA1500 単一研磨層の組成： バインダー樹脂の種類:VAGH＝100 Ｃ−Ｌ＝10 砥粒濃度:10vol％ 測定結果： 10分間の累積研削量:90×10-4cm3 表面粗さ:0.18μRa 具体的実験例（５） ワークの種類：チッ化ケイ素 砥粒の種類:IRM8−20 第１の研磨層の組成： バインダー樹脂の種類:VAGH＝100 Ｃ−Ｌ＝10 砥粒濃度:50vol％ 第２の研磨層の組成： バインダー樹脂の種類:N2304 砥粒濃度:50vol％ 測定結果： 10分間の累積研削量:70×10-4cm3 表面粗さ:0.08μRa 比較実験例（５） （Ａ） ワークの種類：チッ化ケイ素 砥粒の種類:IRM8−20 単一研磨層の組成： バインダー樹脂の種類:VAGH＝100 Ｃ−Ｌ＝10 砥粒濃度:50vol％ 測定結果： 10分間の累積研削量:100×10-4cm3 表面粗さ:0.28μRa （Ｂ） ワークの種類：チッ化ケイ素 砥粒の種類:IRM8−20 単一研磨層の組成： バインダー樹脂の種類:N2304 砥粒濃度:50vol％ 測定結果： 10分間の累積研削量:20×10-4cm3 表面粗さ:0.06μRa 具体的実験例（６） ワークの種類：ポリメチルメタクリレート 砥粒の種類:WA1500（昭和電工製） 第１の研磨層の組成： バインダー樹脂の種類:VAGH＝100 Ｃ−Ｌ＝10 砥粒濃度:30vol％ 第２の研磨層の組成： バインダー樹脂の種類:N2304 砥粒濃度:30vol％ 測定結果： 10分間の累積研削量:100×10-4cm3 表面粗さ:0.19μRa 比較実験例（６） （Ａ） ワークの種類：ポリメチルメタクリレート 砥粒の種類:WA1500 単一研磨層の組成： バインダー樹脂の種類:VAGH＝100 Ｃ−Ｌ＝10 砥粒濃度:30vol％ 測定結果： 10分間の累積研削量:180×10-4cm3 表面粗さ:0.22μRa （Ｂ） ワークの種類：ポリメチルメタクリレート 砥粒の種類:WA1500 単一研磨層の組成： バインダー樹脂の種類:N2304 砥粒濃度:30vol％ 測定結果： 10分間の累積研削量:70×10-4cm3 表面粗さ:0.10μRa 発明の効果 前述の説明から明らかなように、本発明による研磨フ
ィルムは、研削作業の目的に合わせて研削特性の異なる
研磨層を設けるようにすることにより、１つの研磨フィ
ルムにて所望の研削作業を短時間にて完了させることが
できる。例えば、本発明の研磨フィルムは、第１の研磨
層を研削力の高いものとし、第２の研磨層を仕上げ精度
の優れたものとしておくことにより、同一の研磨フィル
ムにて高研削と高精密仕上げを行うことができ、作業性
を著しく向上させることができる。つまり、研磨フィル
ムを交換することなく、初期に第１の研磨層にて所定の
高い研削量を達成し、丁度、第１の研磨層の摩滅消滅後
に表面に出てくる第２の研磨層にて精密仕上げ研磨を達
成することができる。
ィルムは、研削作業の目的に合わせて研削特性の異なる
研磨層を設けるようにすることにより、１つの研磨フィ
ルムにて所望の研削作業を短時間にて完了させることが
できる。例えば、本発明の研磨フィルムは、第１の研磨
層を研削力の高いものとし、第２の研磨層を仕上げ精度
の優れたものとしておくことにより、同一の研磨フィル
ムにて高研削と高精密仕上げを行うことができ、作業性
を著しく向上させることができる。つまり、研磨フィル
ムを交換することなく、初期に第１の研磨層にて所定の
高い研削量を達成し、丁度、第１の研磨層の摩滅消滅後
に表面に出てくる第２の研磨層にて精密仕上げ研磨を達
成することができる。
また、本発明の実施例の如く、研磨特性の異なる研磨
層を同一の砥粒を用いて形成するようにすれば、研磨フ
ィルムの製造工程、研磨工程（使用時）で、異なる粒径
の砥粒が不所望に混入することがなく、非常に良質の研
磨フィルムを作製することができる。また、本発明によ
って、同一の砥粒、同一のバインダー樹脂を使用する場
合には、研磨フィルムの製造工程において、第１の研磨
層、第２の研磨層の各々の塗工剤の砥粒濃度を調整する
だけで形成できるので、材料の損失量を少なくすること
ができ経済的であり、結局は安価な研磨フィルムを製造
することができる。
層を同一の砥粒を用いて形成するようにすれば、研磨フ
ィルムの製造工程、研磨工程（使用時）で、異なる粒径
の砥粒が不所望に混入することがなく、非常に良質の研
磨フィルムを作製することができる。また、本発明によ
って、同一の砥粒、同一のバインダー樹脂を使用する場
合には、研磨フィルムの製造工程において、第１の研磨
層、第２の研磨層の各々の塗工剤の砥粒濃度を調整する
だけで形成できるので、材料の損失量を少なくすること
ができ経済的であり、結局は安価な研磨フィルムを製造
することができる。
第１図から第６図は、本発明の種々な実施例の研磨フィ
ルムの一部分をそれぞれ示す断面図、第７図は、本発明
の一実施例の研磨フィルムの研磨特性の一例を示す図、
第８図および第９図は、第７図に示した研磨特性を有す
る研磨フィルムと比較対象となるような研磨フィルムの
研磨特性を示す図、第10図は、本発明の別の実施例の研
磨フィルムの研磨特性の一例を示す図、第11図および第
12図は、第10図に示した研磨特性を有する研磨フィルム
と比較対象となる研磨フィルムの研磨特性を示す図であ
る。 １……プラスチックフィルム、 ２、４……砥粒、３、５……バインダー樹脂。
ルムの一部分をそれぞれ示す断面図、第７図は、本発明
の一実施例の研磨フィルムの研磨特性の一例を示す図、
第８図および第９図は、第７図に示した研磨特性を有す
る研磨フィルムと比較対象となるような研磨フィルムの
研磨特性を示す図、第10図は、本発明の別の実施例の研
磨フィルムの研磨特性の一例を示す図、第11図および第
12図は、第10図に示した研磨特性を有する研磨フィルム
と比較対象となる研磨フィルムの研磨特性を示す図であ
る。 １……プラスチックフィルム、 ２、４……砥粒、３、５……バインダー樹脂。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 酒井 茂 東京都台東区台東１―５―１ 東京磁気 印刷株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−65780（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−218072（ＪＰ，Ａ)
Claims (5)
- 【請求項１】フィルム基体上に、研削特性の異なる少な
くとも２つの研磨層を重ねて有し、前記研磨層の各々
は、同一のバインダー樹脂中に同一の砥粒を異なる濃度
にて分散させてなることを特徴とする研磨フィルム。 - 【請求項２】前記砥粒濃度は、上層の方が大きい特許請
求の範囲第（１）項記載の研磨フィルム。 - 【請求項３】フィルム基体上に、研削特性の異なる少な
くとも２つの研磨層を重ねて有し、前記研磨層の各々
は、異なるバインダー樹脂中に、同一の砥粒を同一の砥
粒濃度にて分散させてなることを特徴とする研磨フィル
ム。 - 【請求項４】前記研磨層のうち上層の研磨層の前記バイ
ンダー樹脂は、下層の研磨層の前記バインダー樹脂よ
り、抗張力が高く破断伸びが低いものである特許請求の
範囲第（３）項記載の研磨フィルム。 - 【請求項５】前記研磨層のうち上層の研磨層の前記バイ
ンダー樹脂は、熱硬化性樹脂であり、下層の研磨層の前
記バインダー樹脂は、熱可塑性樹脂である特許請求の範
囲第（４）項記載の研磨フィルム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62263221A JP2626982B2 (ja) | 1987-10-19 | 1987-10-19 | 研磨フィルム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62263221A JP2626982B2 (ja) | 1987-10-19 | 1987-10-19 | 研磨フィルム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01109084A JPH01109084A (ja) | 1989-04-26 |
| JP2626982B2 true JP2626982B2 (ja) | 1997-07-02 |
Family
ID=17386463
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62263221A Expired - Lifetime JP2626982B2 (ja) | 1987-10-19 | 1987-10-19 | 研磨フィルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2626982B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006346853A (ja) * | 2005-06-13 | 2006-12-28 | Kwh Mirka Ab Oy | 可撓性研磨部材及びその製造方法 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5011513A (en) * | 1989-05-31 | 1991-04-30 | Norton Company | Single step, radiation curable ophthalmic fining pad |
| JP3012261B2 (ja) * | 1989-12-20 | 2000-02-21 | 住友スリーエム株式会社 | 研磨テープ |
| DE69326774T2 (de) * | 1993-06-02 | 2000-06-21 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Schleifband und verfahren zu dessen herstellung |
| US7867302B2 (en) * | 2005-02-22 | 2011-01-11 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Rapid tooling system and methods for manufacturing abrasive articles |
| US7875091B2 (en) * | 2005-02-22 | 2011-01-25 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Rapid tooling system and methods for manufacturing abrasive articles |
| US7524345B2 (en) * | 2005-02-22 | 2009-04-28 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Rapid tooling system and methods for manufacturing abrasive articles |
| JP2007326175A (ja) * | 2006-06-07 | 2007-12-20 | Nihon Micro Coating Co Ltd | クリーニングテープ及び方法 |
| CN104369118A (zh) * | 2014-09-15 | 2015-02-25 | 苏州群力防滑材料有限公司 | 一种复合研磨布 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6165780A (ja) * | 1984-09-06 | 1986-04-04 | Kouyoushiya:Kk | 研磨ベルト |
| US4644703A (en) * | 1986-03-13 | 1987-02-24 | Norton Company | Plural layered coated abrasive |
-
1987
- 1987-10-19 JP JP62263221A patent/JP2626982B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006346853A (ja) * | 2005-06-13 | 2006-12-28 | Kwh Mirka Ab Oy | 可撓性研磨部材及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01109084A (ja) | 1989-04-26 |
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