JP2615833B2 - Optical disc master manufacturing method - Google Patents
Optical disc master manufacturing methodInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光ディスク原盤製造方法および装置に関す
る。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing a master optical disc.
光ディスク原盤の中に入れられるプリフォーマット部
は一定のパワーを持つ露光レーザビームを変調すること
により行われている。The pre-formatting section to be placed in the master optical disc is performed by modulating an exposure laser beam having a constant power.
第６図は従来のプリフォーマット部露光レーザビーム
の変調パターンの一例を示した状態図である。変調パタ
ーンは長いピットからなるセクターマークピット部４′
を露光するレーザパワー光13と短いピットからなるプリ
ピット部６を露光するレーザパワー光14から作られてい
る。これらのパターンで露光レーザビームをon−offす
ることによってガラス原盤上に塗布されたレジストを露
光することによりプリフォーマット部５′を形成してい
た。FIG. 6 is a state diagram showing an example of a conventional modulation pattern of a preformat portion exposure laser beam. The modulation pattern is a sector mark pit portion 4 'composed of long pits.
And a laser power light 14 for exposing the pre-pit 6 composed of short pits. The pre-format portion 5 'is formed by exposing the resist applied on the glass master by turning the exposure laser beam on and off with these patterns.
このような従来の露光レーザビームの変調法ではレー
ザパワーを一定にして露光しているためレジスト上に形
成されたプリフォーマットパターンの形がセクターマー
ク部とプリピット部で変わってしまう。特に第７図に示
すようにセクターマーク部４′のパターン幅はプリピッ
ト部６のパターン幅に比べて広くなってしまう。In such a conventional exposure laser beam modulation method, since exposure is performed with a constant laser power, the shape of a preformat pattern formed on a resist changes between a sector mark portion and a prepit portion. In particular, as shown in FIG. 7, the pattern width of the sector mark portion 4 'becomes wider than the pattern width of the pre-pit portion 6.
しかしながら、このような上述した従来の光ディスク
原盤製造方法および装置はプリピット部のパターン幅に
比しセクターマークピット部のパターン幅が広くなるた
めプリフォーマット信号の品質が劣化されるという欠点
があった。However, such a conventional method and apparatus for manufacturing an optical disc master described above has a drawback that the pattern width of the sector mark pit portion is wider than the pattern width of the prepit portion, so that the quality of the preformat signal is deteriorated.
本発明の光ディスク原盤製造方法および装置は、プリ
フォーマットを露光するレーザビームのセクターマーク
ピット部を露光する時間に比べ充分短いパルス列によっ
て露光し等価的に露光パワーを低下させてレジスト上に
パターンを形成する方法とセクターマークピット部の露
光に必要なパルス列を発生する制御回路を有して構成さ
れる。The method and apparatus for manufacturing an optical disc master according to the present invention form a pattern on a resist by exposing with a pulse train that is sufficiently short compared to the time for exposing a sector mark pit portion of a laser beam for exposing a preformat, reducing the exposure power equivalently. And a control circuit for generating a pulse train required for exposing the sector mark pit portion.
次に、本発明の実施例について、図面を参照して説明
する。Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
第１図は本発明の一実施例を示す状態図、第２図は第
１図に示す実施例で形成されるピットの形状を示す形状
図である。FIG. 1 is a state diagram showing one embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a shape diagram showing the shape of a pit formed in the embodiment shown in FIG.
第１図に示す光ディスク原盤製造方法は、セクターマ
ークピット部４を露光するためのレーザパワー光１と、
プリピット部６を露光するためのレーザパワー光２とを
含んたプリフォーマット露光レーザパワー光で構成され
ている。The method for manufacturing an optical disk master shown in FIG. 1 includes a laser power beam 1 for exposing a sector mark pit portion 4;
It is composed of a preformat exposure laser power light including a laser power light 2 for exposing the prepit portion 6.
レーザパワー光１によりレーザビームが変調され露光
ビーム状態３で示すようにビームスポットが重なった状
態で露光され等価的に露光パワーが減少したことにな
る。この状態のレジストを現像することによってセクタ
ーマークピット部４が形成される。レーザパワー光１の
パルス幅とパルス間隔を選択することによりセクターマ
ークピット部４とプリピット部６のパターン幅がほぼ等
しいプリフォーマット部５を形成することができる。The laser beam is modulated by the laser power light 1 and the exposure is performed in a state where the beam spots overlap as shown in the exposure beam state 3, and the exposure power is equivalently reduced. By developing the resist in this state, the sector mark pit portion 4 is formed. By selecting the pulse width and pulse interval of the laser power light 1, the preformat portion 5 in which the pattern width of the sector mark pit portion 4 and the pattern width of the prepit portion 6 are substantially equal can be formed.
次に、前述したパルス発生回路を有する光ディスク原
盤製造装置の実施例について説明する。Next, an embodiment of an optical disk master manufacturing apparatus having the above-described pulse generation circuit will be described.
第４図は本発明の他の実施例を示すブロック図であ
り、光ディスク原盤製造装置の露光ビーム変調用制御回
路のブロックダイアグラムである。第５図は第４図に示
す各部でのパルス波形を模式的に示した波形図である。FIG. 4 is a block diagram showing another embodiment of the present invention, and is a block diagram of an exposure beam modulation control circuit of the optical disk master manufacturing apparatus. FIG. 5 is a waveform diagram schematically showing a pulse waveform at each section shown in FIG.
第４図に示す光ディスク原盤製造装置は、プリフォー
マット信号ａを発生するプリフォーマット信号発生回路
７と、プリフォーマット信号ａの中からセクターマーク
信号ｂを取り出すセクターマーク信号分離回路８と、セ
クターマーク信号ｂのパルス幅に比べて充分狭いパルス
信号ｃを発生するパルス発生回路９と、パルス信号ｃを
セクターマーク信号ｂのみのパルス信号ｄにするための
パルス合成回路10と、プリフォーマット信号ａとパルス
信号ｄを合成しレーザーをon−offするためのパルス信
号ｅを発生するパルス合成回路11と、パルス信号ｅによ
ってレーザーをon−offする光変調素子12とを含んで構
成される。The optical disc master manufacturing apparatus shown in FIG. 4 includes a preformat signal generating circuit 7 for generating a preformat signal a, a sector mark signal separating circuit 8 for extracting a sector mark signal b from the preformat signal a, and a sector mark signal. b, a pulse generating circuit 9 for generating a pulse signal c sufficiently narrower than the pulse width of b, a pulse synthesizing circuit 10 for converting the pulse signal c into a pulse signal d of only the sector mark signal b, a preformat signal a and a pulse It comprises a pulse synthesizing circuit 11 for synthesizing a signal d to generate a pulse signal e for turning the laser on and off, and an optical modulation element 12 for turning the laser on and off by the pulse signal e.
このような回路を持つ光ディスク原盤製造装置を使用
することによって前述した光ディスク原盤製造方法を達
成することができる。By using an optical disk master manufacturing apparatus having such a circuit, the above-described optical disk master manufacturing method can be achieved.
本発明の光ディスク原盤製造方法および装置は、セク
ターマークピット部のピット形状を望ましいものにする
ことができるため、プリフォーマット信号の品質を向上
できるという効果がある。ADVANTAGE OF THE INVENTION Since the optical disk master manufacturing method and apparatus of this invention can make the pit shape of a sector mark pit part desirable, there exists an effect that the quality of a preformat signal can be improved.
第１図は本発明の一実施例を示す状態図、第２図は第１
図に示す実施例を用いて形成される露光スポットの状態
と現像後のピットの形状を示す形状図、第３図は第１図
に示す実施例で形成されるピットの形状を示す形状図、
第４図は本発明の他の実施例を示すブロック図、第５図
は第４図に示す各部の波形を示す波形図、第６図は従来
の一例を示す状態図、第７図は第６図に示す従来例で形
成されるピット形状を示す形状図である。 1,2,13,14……レーザパワー光、３……露光ビーム状
態、4,4′……セクターマークピット部、5,5′……プリ
フォーマット部、６……プリピット部、７……プリフォ
ーマット信号発生回路、８……セクターマーク信号分離
回路、９……パルス発生回路、10,11……パルス合成回
路、12……光変調素子、ａ……プリフォーマット信号、
ｂ……セクターマーク信号、c,d,e……パルス信号。FIG. 1 is a state diagram showing one embodiment of the present invention, and FIG.
FIG. 3 is a shape diagram showing a state of an exposure spot formed by using the embodiment shown in the figure and a shape of a pit after development. FIG. 3 is a shape diagram showing a shape of a pit formed in the embodiment shown in FIG.
FIG. 4 is a block diagram showing another embodiment of the present invention, FIG. 5 is a waveform diagram showing waveforms of respective parts shown in FIG. 4, FIG. 6 is a state diagram showing an example of the prior art, and FIG. FIG. 7 is a shape diagram showing a pit shape formed in the conventional example shown in FIG. 6. 1, 2, 13, 14 ... laser power light, 3 ... exposure beam state, 4, 4 '... sector mark pit section, 5, 5' ... preformat section, 6 ... prepit section, 7 ... Preformat signal generation circuit, 8: sector mark signal separation circuit, 9: pulse generation circuit, 10, 11: pulse synthesis circuit, 12: light modulation element, a: preformat signal,
b: sector mark signal, c, d, e: pulse signal.
Claims (1)
露光することによりピットの長いセクターマークピット
部とピットの短いプリピット部とからなるプリフォーマ
ット部を形成する光デイスク原盤製造方法であり、 前記セクターマーク部を形成するためのレーザビームを
断続ビームとし、この断続ビームにより前記原盤上に連
続するスポットを照射し、各々のスポットは、隣接する
スポットとその端部においてのみ重なるように前記断続
ビームのオンオフ周波数を定め、 前記プリピット部を形成するためのレーザビームを連続
ビームとした ことを特徴とする光デイスク原盤製造方法。1. A method of manufacturing an optical disc master, comprising: irradiating a laser beam onto a master optical disc to expose a laser beam; thereby forming a preformat portion including a sector mark pit portion having a long pit and a prepit portion having a short pit. A laser beam for forming a sector mark portion is an intermittent beam, and the intermittent beam is used to irradiate continuous spots on the master, and each spot overlaps an adjacent spot only at an end thereof. A method for manufacturing an optical disc master, comprising: determining an on / off frequency of a laser beam; and forming a continuous beam as a laser beam for forming the pre-pit portion.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63116135A JP2615833B2 (en) | 1988-05-12 | 1988-05-12 | Optical disc master manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP63116135A JP2615833B2 (en) | 1988-05-12 | 1988-05-12 | Optical disc master manufacturing method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01286144A JPH01286144A (en) | 1989-11-17 |
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ID=14679593
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP63116135A Expired - Lifetime JP2615833B2 (en) | 1988-05-12 | 1988-05-12 | Optical disc master manufacturing method |
Country Status (1)
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Families Citing this family (2)
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Family Cites Families (2)
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|---|---|---|---|---|
| JPH0650567B2 (en) * | 1984-12-07 | 1994-06-29 | 松下電器産業株式会社 | Signal recorder |
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-
1988
- 1988-05-12 JP JP63116135A patent/JP2615833B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| JPH01286144A (en) | 1989-11-17 |
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