JP2604761B2 - ドライ真空ポンプ - Google Patents
ドライ真空ポンプInfo
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- JP2604761B2 JP2604761B2 JP62281048A JP28104887A JP2604761B2 JP 2604761 B2 JP2604761 B2 JP 2604761B2 JP 62281048 A JP62281048 A JP 62281048A JP 28104887 A JP28104887 A JP 28104887A JP 2604761 B2 JP2604761 B2 JP 2604761B2
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- Japan
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- oil
- chamber
- purge gas
- small
- vacuum pump
- Prior art date
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/02—Lubrication; Lubricant separation
- F04C29/026—Lubricant separation
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressor (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ドライ真空ポンプに係り、特に例えば、半
導体製造装置等に使用され、軸封部にガスパージを行う
ものに好適なドライ真空ポンプに関するものである。
導体製造装置等に使用され、軸封部にガスパージを行う
ものに好適なドライ真空ポンプに関するものである。
［従来の技術］ 従来、例えば半導体製造装置等に使用されるドライス
クリュー真空ポンプは、互いに噛み合う雌雄一対のロー
タ、ロータ軸を支持する軸受、および軸封部を収納し、
吸気口、排気口を有するケーシングと、ロータを駆動す
る増速機構を収納し潤滑油を貯溜したギヤケースとを備
え、軸封部にガスパージを行なってロータ部への油の混
入を防止している。
クリュー真空ポンプは、互いに噛み合う雌雄一対のロー
タ、ロータ軸を支持する軸受、および軸封部を収納し、
吸気口、排気口を有するケーシングと、ロータを駆動す
る増速機構を収納し潤滑油を貯溜したギヤケースとを備
え、軸封部にガスパージを行なってロータ部への油の混
入を防止している。
軸封パージガスの通り道となるギヤケース内は、強制
潤滑されて高速回転するギヤ等により発生する油の噴霧
で満たされている。パージガスの出口はギヤケースの壁
に設けられており、パージガスとともに多量の油が流出
する。そこで、出口配管にオイルセパレータを設置し
て、パージガスとともに流出する油を処理していた。
潤滑されて高速回転するギヤ等により発生する油の噴霧
で満たされている。パージガスの出口はギヤケースの壁
に設けられており、パージガスとともに多量の油が流出
する。そこで、出口配管にオイルセパレータを設置し
て、パージガスとともに流出する油を処理していた。
［発明が解決しようとする問題点］ 上記従来の装置では、ギヤケース（以下油室という）
からのパージガスの出口は、油室の壁に設けられた単な
る孔で、油室内に発生した油滴または油煙は、その出口
から直接流出していた。そこで出口配管にはオイルセパ
レータを設け、油ミストのフイルタを取り付けて油の除
去を図っているが、パージガスとともに流出する油量が
多いため、フイルタは大形のものが必要であった。
からのパージガスの出口は、油室の壁に設けられた単な
る孔で、油室内に発生した油滴または油煙は、その出口
から直接流出していた。そこで出口配管にはオイルセパ
レータを設け、油ミストのフイルタを取り付けて油の除
去を図っているが、パージガスとともに流出する油量が
多いため、フイルタは大形のものが必要であった。
本発明は、上記従来技術の問題点を解決するためにな
されたもので、ギヤケースである油室からのパージガス
の流出路を迷路化し、パージガスに含まれた油分の直接
的流出を防ぎ、油室内で初期的にある程度の油を分離，
回収することのできるドライ真空ポンプを提供すること
を、その目的とするものである。
されたもので、ギヤケースである油室からのパージガス
の流出路を迷路化し、パージガスに含まれた油分の直接
的流出を防ぎ、油室内で初期的にある程度の油を分離，
回収することのできるドライ真空ポンプを提供すること
を、その目的とするものである。
［問題点を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、本発明に係るドライ真空
ポンプの構成は、吸気口、排気口を有するケーシング
と、該ケーシング内に雄雌一対のロータが噛み合って形
成する作動部と、前記ケーシングに収納され、前記ロー
タを支持する軸受および作動部への油の混入を防ぐ軸封
部と、前記ロータを駆動する駆動モータおよび動力伝達
要素と、該動力伝達要素を収容し該動力伝達要素を潤滑
するための油室を形成するギヤケースとを備え、上記軸
封部にガスパージを行って、そのパージガスの流出路が
前記油室を通過するようにした、作動部に油を用いない
ドライ真空ポンプにおいて、前記油室を形成するギヤケ
ース内に、下部が油に浸り油中に開口部をもつ小室を、
前記油室からパージガスの出口までの流出路に少なくと
も２室形成し、前記油室と前記小室との間または隣接す
る小室間は、小室の壁の油面より上部に設けた通路によ
って連通するように迷路化した流出路を構成したもので
ある。
ポンプの構成は、吸気口、排気口を有するケーシング
と、該ケーシング内に雄雌一対のロータが噛み合って形
成する作動部と、前記ケーシングに収納され、前記ロー
タを支持する軸受および作動部への油の混入を防ぐ軸封
部と、前記ロータを駆動する駆動モータおよび動力伝達
要素と、該動力伝達要素を収容し該動力伝達要素を潤滑
するための油室を形成するギヤケースとを備え、上記軸
封部にガスパージを行って、そのパージガスの流出路が
前記油室を通過するようにした、作動部に油を用いない
ドライ真空ポンプにおいて、前記油室を形成するギヤケ
ース内に、下部が油に浸り油中に開口部をもつ小室を、
前記油室からパージガスの出口までの流出路に少なくと
も２室形成し、前記油室と前記小室との間または隣接す
る小室間は、小室の壁の油面より上部に設けた通路によ
って連通するように迷路化した流出路を構成したもので
ある。
なお、付記すると、上記目的は、下部が油に浸り油中
に開口部をもつ小室を、油室からパージガスの出口まで
複数個設け、その油室と小室との間または隣接する小室
間は、小室の壁の油面より上部に異なる位置に互い違い
に設けた小孔により連通させ、パージガスをこの小孔を
介して次々と各小室内を通して油室外に放出するように
することにより、達成される。
に開口部をもつ小室を、油室からパージガスの出口まで
複数個設け、その油室と小室との間または隣接する小室
間は、小室の壁の油面より上部に異なる位置に互い違い
に設けた小孔により連通させ、パージガスをこの小孔を
介して次々と各小室内を通して油室外に放出するように
することにより、達成される。
［作用］ 油室内に設けられた小室は、パージガスの流出路を迷
路の如く構成し、油を含んだパージガスが壁に当たる機
会を増やす。このため、油滴の流出がさまたげられ、油
煙は壁に当たり、滴化して油室内に留まる油の量が増す
ことになる。したがって、油室内から流出する油の量を
減少させることができる。
路の如く構成し、油を含んだパージガスが壁に当たる機
会を増やす。このため、油滴の流出がさまたげられ、油
煙は壁に当たり、滴化して油室内に留まる油の量が増す
ことになる。したがって、油室内から流出する油の量を
減少させることができる。
［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第１図および第２図を参照
して説明する。
して説明する。
第１図は、本発明の一実施例に係るドライスクリュー
真空ポンプの縦断面図、第２図は、第１図のＡ−Ａ矢視
断面図である。
真空ポンプの縦断面図、第２図は、第１図のＡ−Ａ矢視
断面図である。
図において、１は、互いに噛み合う雄雌一対のスクリ
ューロータのうちの雄ロータを示す。この雄ロータ１
は、吸気ポート２、排気ポート３を有するケーシング４
内に収納されており、そのロータ軸は軸受5,6により回
動可能に支持されている。図示されていないが、雌ロー
タも同様に雄ロータ１と平行に、軸受に支持されてケー
シング４内に収納されている。雄，雌ロータの一端に
は、互いに噛み合うタイミングギヤ7,8が嵌着されてお
り、雄，雌ロータはわずかなギヤップを保ちながら作動
室16内を非接触で噛み合いながら回転してポンプ効果を
発生する。
ューロータのうちの雄ロータを示す。この雄ロータ１
は、吸気ポート２、排気ポート３を有するケーシング４
内に収納されており、そのロータ軸は軸受5,6により回
動可能に支持されている。図示されていないが、雌ロー
タも同様に雄ロータ１と平行に、軸受に支持されてケー
シング４内に収納されている。雄，雌ロータの一端に
は、互いに噛み合うタイミングギヤ7,8が嵌着されてお
り、雄，雌ロータはわずかなギヤップを保ちながら作動
室16内を非接触で噛み合いながら回転してポンプ効果を
発生する。
このように、真空ポンプの作動部を構成する雄，雌一
対のロータは、雄ロータ側のタイミングギヤ７と噛み合
うブルギヤ９を介してモータ10により駆動される。11
は、前記ブルギヤ９、タイミングギヤ7,8等の動力伝達
要素に係る増速ギヤ部を収納するギヤケースであり、こ
のギヤケース11内の下部には潤滑油12が貯溜されてて油
室を構成している。
対のロータは、雄ロータ側のタイミングギヤ７と噛み合
うブルギヤ９を介してモータ10により駆動される。11
は、前記ブルギヤ９、タイミングギヤ7,8等の動力伝達
要素に係る増速ギヤ部を収納するギヤケースであり、こ
のギヤケース11内の下部には潤滑油12が貯溜されてて油
室を構成している。
このように、モータ10と増速機部とは、作動部である
スクリューロータを駆動する駆動装置を構成している。
スクリューロータを駆動する駆動装置を構成している。
13は、増速ギヤ部に対する給油口、14は、軸受への給
油口を示す。
油口を示す。
潤滑油12は、図示しない給油装置によりギヤケース11
から吸出され、軸受またはギヤ部に供給され再びギヤケ
ース11内に戻り循環している。
から吸出され、軸受またはギヤ部に供給され再びギヤケ
ース11内に戻り循環している。
15は、作動室16へ循環油が混入することを防ぐ軸封部
である。17は、軸封部15へのパージガス導入孔で、この
パージガス導入孔17から図示していないガス供給装置に
よりパージガスが注入される。
である。17は、軸封部15へのパージガス導入孔で、この
パージガス導入孔17から図示していないガス供給装置に
よりパージガスが注入される。
第２図に示す18は、油室に係るギヤケース11内からの
パージガスの出口配管、19は、ギヤケース11内に設けた
２重筒である。２重筒19は、下部が潤滑油12に浸り、油
中に開口部をもつ内筒19aと、この内筒19aを包囲する外
筒19bとからなり、これらの内筒19a,外筒19bは、ギヤケ
ース11内からパージガスの出口配管18までのパージガス
流出路に２室の小室を形成するものである。量筒の油面
より上部には上下互い違いの異なる位置に小孔19c,19d
が設けられている。
パージガスの出口配管、19は、ギヤケース11内に設けた
２重筒である。２重筒19は、下部が潤滑油12に浸り、油
中に開口部をもつ内筒19aと、この内筒19aを包囲する外
筒19bとからなり、これらの内筒19a,外筒19bは、ギヤケ
ース11内からパージガスの出口配管18までのパージガス
流出路に２室の小室を形成するものである。量筒の油面
より上部には上下互い違いの異なる位置に小孔19c,19d
が設けられている。
このように構成されたドライスクリュー真空ポンプに
おけるパージガス流通の作用を説明する。
おけるパージガス流通の作用を説明する。
パージガス導入孔17からケーシング４内に導入された
パージガスは、軸封部15でその流れが分れ、一方は作動
室16側、一方はギヤケース11内へと流れ、後者の流れに
よりギヤケース11内または軸受５に供給された潤滑油が
作動室16へ混入することを防止している。
パージガスは、軸封部15でその流れが分れ、一方は作動
室16側、一方はギヤケース11内へと流れ、後者の流れに
よりギヤケース11内または軸受５に供給された潤滑油が
作動室16へ混入することを防止している。
ギヤケース11内へ入ったパージガスは、ギヤケース11
内で強制潤滑されて高速回転するギヤ等により発生する
油の噴霧でミスト化し、その油煙はまず小孔19dを通っ
て内筒19aと外筒19bとで形成される小室に入る。次に、
小孔19cを通って内筒19a内部（小室）に入り、出口配管
18を通ってギヤケース11から外部へ排出される。
内で強制潤滑されて高速回転するギヤ等により発生する
油の噴霧でミスト化し、その油煙はまず小孔19dを通っ
て内筒19aと外筒19bとで形成される小室に入る。次に、
小孔19cを通って内筒19a内部（小室）に入り、出口配管
18を通ってギヤケース11から外部へ排出される。
本実施例によれば、多くの油分を含んだパージガスが
油室を構成するギヤケース11から流出する際に、その流
れは２重筒19により迷路化されて、パージガスが筒壁に
当たる際に油分は滴化し、パージガス内に噴霧状に存在
する油のかなりの量が回収されるという効果がある。ま
た、ギヤケース11内は給油され高速回転するギヤにより
油が激しく飛散しているが、パージガスは前記２重筒19
を介して外部に導かれるため、飛散した油滴が直接パー
ジガスと共に外部に流出することがない。
油室を構成するギヤケース11から流出する際に、その流
れは２重筒19により迷路化されて、パージガスが筒壁に
当たる際に油分は滴化し、パージガス内に噴霧状に存在
する油のかなりの量が回収されるという効果がある。ま
た、ギヤケース11内は給油され高速回転するギヤにより
油が激しく飛散しているが、パージガスは前記２重筒19
を介して外部に導かれるため、飛散した油滴が直接パー
ジガスと共に外部に流出することがない。
したがって、さらに油分を除去する必要がある場合に
も、外部配管上に設置するフイルタは小容量のものです
ませることができるという効果がある。
も、外部配管上に設置するフイルタは小容量のものです
ませることができるという効果がある。
なお、前述の実施例では、油室からパージガス出口ま
での流出路に形成する小室は、内筒がパージガスの出口
配管に接続する二重筒の例を説明したが、本発明はこれ
に限るものではない。小室は２室以上の複数であって三
重筒のような多重筒構成のものでもよい。また、複数の
小室の形状は限定されるものではない。要は、パージガ
スが油室から出口まで流れる過程で流路が迷路化され、
パージガスが壁に当るような複数の小室と、油室，小室
間、または隣接する小室間を連通する異なる位置に設け
た通路とがあればよい。この連通路は、パージガス流出
路を迷路化するために小孔であることが望ましいが、そ
の形状、数量は特に限定されるものではない。
での流出路に形成する小室は、内筒がパージガスの出口
配管に接続する二重筒の例を説明したが、本発明はこれ
に限るものではない。小室は２室以上の複数であって三
重筒のような多重筒構成のものでもよい。また、複数の
小室の形状は限定されるものではない。要は、パージガ
スが油室から出口まで流れる過程で流路が迷路化され、
パージガスが壁に当るような複数の小室と、油室，小室
間、または隣接する小室間を連通する異なる位置に設け
た通路とがあればよい。この連通路は、パージガス流出
路を迷路化するために小孔であることが望ましいが、そ
の形状、数量は特に限定されるものではない。
また、前述の実施例では、標準的な型式のドライスク
リュー真空ポンプの例を説明したが、同様の効果が期待
される範囲で他の作動機構を有するドライ真空ポンプに
適用しても差支えない。
リュー真空ポンプの例を説明したが、同様の効果が期待
される範囲で他の作動機構を有するドライ真空ポンプに
適用しても差支えない。
［発明の効果］ 以上詳細に説明したように、本発明によれば、ギヤケ
ースである油室からのパージガスの流出路を迷路化し、
パージガスに含まれた油分の直接的流出を防ぎ、油室内
で初期的にある程度の油を分離，回収することの可能な
ドライ真空ポンプを提供することができる。
ースである油室からのパージガスの流出路を迷路化し、
パージガスに含まれた油分の直接的流出を防ぎ、油室内
で初期的にある程度の油を分離，回収することの可能な
ドライ真空ポンプを提供することができる。
第１図は、本発明の一実施例に係るドライスクリュー真
空ポンプの縦断面図、第２図は、第１図のＡ−Ａ矢視断
面図である。 １……雄ロータ、２……吸気ポート、３……排気ポー
ト、４……ケーシング、5,6……軸受、7,8……タイミン
グギヤ、９……ブルギヤ、10……モータ、11……ギヤケ
ース、12……潤滑油、15……軸封部、16……作動室、17
……パージガス導入孔、18……出口配管、19……二重
筒、19a……内筒、19b……外筒、19c,19d……小孔。
空ポンプの縦断面図、第２図は、第１図のＡ−Ａ矢視断
面図である。 １……雄ロータ、２……吸気ポート、３……排気ポー
ト、４……ケーシング、5,6……軸受、7,8……タイミン
グギヤ、９……ブルギヤ、10……モータ、11……ギヤケ
ース、12……潤滑油、15……軸封部、16……作動室、17
……パージガス導入孔、18……出口配管、19……二重
筒、19a……内筒、19b……外筒、19c,19d……小孔。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−145475（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−134597（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭51−14721（ＪＰ，Ｂ１)
Claims (2)
- 【請求項１】吸気口、排気口を有するケーシングと、該
ケーシング内に雄雌一対のロータが噛み合って形成する
作動部と、前記ケーシングに収納され、前記ロータを支
持する軸受および作動部への油の混入を防ぐ軸封部と、
前記ロータを駆動する駆動モータおよび動力伝達要素
と、該動力伝達要素を収容し該動力伝達要素を潤滑する
ための油室を形成するギヤケースとを備え、 上記軸封部にガスパージを行って、そのパージガスの流
出路が前記油室を通過するようにした、作動部に油を用
いないドライ真空ポンプにおいて、 前記油室を形成するギヤケース内に、下部が油に浸り油
中に開口部をもつ小室を、前記油室からパージガスの出
口までの流出路に少なくとも２室形成し、前記油室と前
記小室との間または隣接する小室間は、小室の壁の油面
より上部に設けた通路によって連通するように迷路化し
た流出路を構成したことを特徴とするドライ真空ポン
プ。 - 【請求項２】特許請求の範囲第１項記載のものにおい
て、油室からパージガスの出口までの流出路に形成する
小室は、パージガス出口に接続し油中に開口する内筒
と、この内筒を包囲する外筒とからなる二重筒とし、そ
の二重筒の各個の、油面より上部に上下互い違いの位置
に通路となる小孔を設けたことを特徴とするドライ真空
ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62281048A JP2604761B2 (ja) | 1987-11-09 | 1987-11-09 | ドライ真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62281048A JP2604761B2 (ja) | 1987-11-09 | 1987-11-09 | ドライ真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01125587A JPH01125587A (ja) | 1989-05-18 |
| JP2604761B2 true JP2604761B2 (ja) | 1997-04-30 |
Family
ID=17633576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62281048A Expired - Lifetime JP2604761B2 (ja) | 1987-11-09 | 1987-11-09 | ドライ真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2604761B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112032022B (zh) * | 2020-09-10 | 2024-04-26 | 北京通嘉宏瑞科技有限公司 | 一种无死角吹扫气体的干式真空泵及其使用方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3344953A1 (de) * | 1983-12-13 | 1985-06-20 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Zweiwellen-vakuumpumpe mit getrieberaum-evakuierung |
| JPS61134597U (ja) * | 1985-02-12 | 1986-08-22 |
-
1987
- 1987-11-09 JP JP62281048A patent/JP2604761B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01125587A (ja) | 1989-05-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |