JP2604761B2 - Dry vacuum pump - Google Patents
Dry vacuum pumpInfo
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/02—Lubrication; Lubricant separation
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ドライ真空ポンプに係り、特に例えば、半
導体製造装置等に使用され、軸封部にガスパージを行う
ものに好適なドライ真空ポンプに関するものである。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a dry vacuum pump, and more particularly to a dry vacuum pump suitable for use in, for example, a semiconductor manufacturing apparatus or the like and for performing gas purging on a shaft sealing portion. Things.
［従来の技術］ 従来、例えば半導体製造装置等に使用されるドライス
クリュー真空ポンプは、互いに噛み合う雌雄一対のロー
タ、ロータ軸を支持する軸受、および軸封部を収納し、
吸気口、排気口を有するケーシングと、ロータを駆動す
る増速機構を収納し潤滑油を貯溜したギヤケースとを備
え、軸封部にガスパージを行なってロータ部への油の混
入を防止している。[Prior art] Conventionally, for example, a dry screw vacuum pump used in a semiconductor manufacturing apparatus or the like houses a pair of male and female rotors meshing with each other, a bearing supporting a rotor shaft, and a shaft sealing portion,
A casing having an intake port and an exhaust port, and a gear case containing a speed increasing mechanism for driving the rotor and storing lubricating oil are provided, and a gas purge is performed on the shaft sealing portion to prevent oil from being mixed into the rotor portion. .
軸封パージガスの通り道となるギヤケース内は、強制
潤滑されて高速回転するギヤ等により発生する油の噴霧
で満たされている。パージガスの出口はギヤケースの壁
に設けられており、パージガスとともに多量の油が流出
する。そこで、出口配管にオイルセパレータを設置し
て、パージガスとともに流出する油を処理していた。The inside of the gear case, which is the passage of the shaft sealing purge gas, is filled with oil spray generated by a gear or the like which is forcibly lubricated and rotates at a high speed. The purge gas outlet is provided on the wall of the gear case, and a large amount of oil flows out together with the purge gas. Therefore, an oil separator is installed in the outlet pipe to treat the oil flowing out together with the purge gas.
［発明が解決しようとする問題点］ 上記従来の装置では、ギヤケース（以下油室という）
からのパージガスの出口は、油室の壁に設けられた単な
る孔で、油室内に発生した油滴または油煙は、その出口
から直接流出していた。そこで出口配管にはオイルセパ
レータを設け、油ミストのフイルタを取り付けて油の除
去を図っているが、パージガスとともに流出する油量が
多いため、フイルタは大形のものが必要であった。[Problems to be Solved by the Invention] In the above conventional device, a gear case (hereinafter referred to as an oil chamber) is used.
The outlet of the purge gas from was simply a hole provided in the wall of the oil chamber, and the oil droplets or smoke generated in the oil chamber flowed directly from the outlet. Therefore, an oil separator is provided in the outlet pipe, and a filter of an oil mist is attached to remove the oil. However, since a large amount of oil flows out together with the purge gas, a large filter is required.
本発明は、上記従来技術の問題点を解決するためにな
されたもので、ギヤケースである油室からのパージガス
の流出路を迷路化し、パージガスに含まれた油分の直接
的流出を防ぎ、油室内で初期的にある程度の油を分離，
回収することのできるドライ真空ポンプを提供すること
を、その目的とするものである。The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems of the related art, and has a labyrinth of an outflow path of a purge gas from an oil chamber, which is a gear case, to prevent a direct outflow of oil contained in a purge gas, and to provide an oil chamber. Initially separates some oil,
It is an object of the present invention to provide a dry vacuum pump that can be recovered.
［問題点を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、本発明に係るドライ真空
ポンプの構成は、吸気口、排気口を有するケーシング
と、該ケーシング内に雄雌一対のロータが噛み合って形
成する作動部と、前記ケーシングに収納され、前記ロー
タを支持する軸受および作動部への油の混入を防ぐ軸封
部と、前記ロータを駆動する駆動モータおよび動力伝達
要素と、該動力伝達要素を収容し該動力伝達要素を潤滑
するための油室を形成するギヤケースとを備え、上記軸
封部にガスパージを行って、そのパージガスの流出路が
前記油室を通過するようにした、作動部に油を用いない
ドライ真空ポンプにおいて、前記油室を形成するギヤケ
ース内に、下部が油に浸り油中に開口部をもつ小室を、
前記油室からパージガスの出口までの流出路に少なくと
も２室形成し、前記油室と前記小室との間または隣接す
る小室間は、小室の壁の油面より上部に設けた通路によ
って連通するように迷路化した流出路を構成したもので
ある。[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, a dry vacuum pump according to the present invention comprises a casing having an intake port and an exhaust port, and a pair of male and female rotors meshed in the casing. A shaft seal portion housed in the casing to prevent oil from entering into a bearing and an operating portion supporting the rotor and a drive motor and a power transmission element for driving the rotor; A gear case for housing an element and forming an oil chamber for lubricating the power transmission element, wherein a gas purge is performed on the shaft sealing portion so that an outflow path of the purge gas passes through the oil chamber. In a dry vacuum pump that does not use oil in the part, in a gear case forming the oil chamber, a small chamber having a lower part immersed in oil and having an opening in oil,
At least two chambers are formed in an outflow passage from the oil chamber to the outlet of the purge gas, and the space between the oil chamber and the small chamber or between adjacent small chambers is communicated by a passage provided above the oil surface of the wall of the small chamber. A maze-shaped outflow channel is constructed.
なお、付記すると、上記目的は、下部が油に浸り油中
に開口部をもつ小室を、油室からパージガスの出口まで
複数個設け、その油室と小室との間または隣接する小室
間は、小室の壁の油面より上部に異なる位置に互い違い
に設けた小孔により連通させ、パージガスをこの小孔を
介して次々と各小室内を通して油室外に放出するように
することにより、達成される。In addition, it is noted that, for the above purpose, a plurality of small chambers having a lower part immersed in oil and having an opening in oil are provided from the oil chamber to the outlet of the purge gas, and between the oil chamber and the small chamber or between adjacent small chambers, This is achieved by allowing small holes alternately provided at different positions above the oil level of the walls of the small chambers to communicate with each other, and discharging the purge gas through the small holes one after another to the outside of the oil chamber through the small holes. .
［作用］ 油室内に設けられた小室は、パージガスの流出路を迷
路の如く構成し、油を含んだパージガスが壁に当たる機
会を増やす。このため、油滴の流出がさまたげられ、油
煙は壁に当たり、滴化して油室内に留まる油の量が増す
ことになる。したがって、油室内から流出する油の量を
減少させることができる。[Operation] The small chamber provided in the oil chamber configures an outflow path of the purge gas like a maze, and increases the chance that the purge gas containing oil hits the wall. As a result, the oil droplets are prevented from flowing out, and the oil smoke hits the wall, and the amount of oil that drops and remains in the oil chamber increases. Therefore, the amount of oil flowing out of the oil chamber can be reduced.
［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第１図および第２図を参照
して説明する。[Embodiment] An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. 1 and FIG.
第１図は、本発明の一実施例に係るドライスクリュー
真空ポンプの縦断面図、第２図は、第１図のＡ−Ａ矢視
断面図である。FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a dry screw vacuum pump according to one embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG.
図において、１は、互いに噛み合う雄雌一対のスクリ
ューロータのうちの雄ロータを示す。この雄ロータ１
は、吸気ポート２、排気ポート３を有するケーシング４
内に収納されており、そのロータ軸は軸受5,6により回
動可能に支持されている。図示されていないが、雌ロー
タも同様に雄ロータ１と平行に、軸受に支持されてケー
シング４内に収納されている。雄，雌ロータの一端に
は、互いに噛み合うタイミングギヤ7,8が嵌着されてお
り、雄，雌ロータはわずかなギヤップを保ちながら作動
室16内を非接触で噛み合いながら回転してポンプ効果を
発生する。In the figure, reference numeral 1 denotes a male rotor of a pair of male and female screw rotors meshing with each other. This male rotor 1
Is a casing 4 having an intake port 2 and an exhaust port 3
The rotor shaft is rotatably supported by bearings 5 and 6. Although not shown, the female rotor is similarly accommodated in the casing 4 in parallel with the male rotor 1 while being supported by bearings. Timing gears 7 and 8 meshing with each other are fitted at one end of the male and female rotors, and the male and female rotors rotate while meshing in the working chamber 16 in a non-contact manner while maintaining a slight gap to provide a pump effect. Occur.
このように、真空ポンプの作動部を構成する雄，雌一
対のロータは、雄ロータ側のタイミングギヤ７と噛み合
うブルギヤ９を介してモータ10により駆動される。11
は、前記ブルギヤ９、タイミングギヤ7,8等の動力伝達
要素に係る増速ギヤ部を収納するギヤケースであり、こ
のギヤケース11内の下部には潤滑油12が貯溜されてて油
室を構成している。As described above, the pair of male and female rotors constituting the operating part of the vacuum pump are driven by the motor 10 via the bull gear 9 which meshes with the timing gear 7 on the male rotor side. 11
Is a gear case for accommodating a speed-increasing gear portion related to the power transmission elements such as the bull gear 9, the timing gears 7, 8, and the like. A lubricating oil 12 is stored in a lower portion of the gear case 11 to form an oil chamber. ing.
このように、モータ10と増速機部とは、作動部である
スクリューロータを駆動する駆動装置を構成している。As described above, the motor 10 and the speed increasing unit constitute a driving device that drives the screw rotor that is the operating unit.
13は、増速ギヤ部に対する給油口、14は、軸受への給
油口を示す。Reference numeral 13 denotes an oil supply port for the speed increasing gear portion, and reference numeral 14 denotes an oil supply port for the bearing.
潤滑油12は、図示しない給油装置によりギヤケース11
から吸出され、軸受またはギヤ部に供給され再びギヤケ
ース11内に戻り循環している。The lubricating oil 12 is supplied to the gear case 11 by an oiling device (not shown).
And is supplied to a bearing or a gear portion and circulates back into the gear case 11 again.
15は、作動室16へ循環油が混入することを防ぐ軸封部
である。17は、軸封部15へのパージガス導入孔で、この
パージガス導入孔17から図示していないガス供給装置に
よりパージガスが注入される。Reference numeral 15 denotes a shaft sealing portion for preventing circulating oil from entering the working chamber 16. Reference numeral 17 denotes a purge gas introduction hole to the shaft sealing portion 15. A purge gas is injected from the purge gas introduction hole 17 by a gas supply device (not shown).
第２図に示す18は、油室に係るギヤケース11内からの
パージガスの出口配管、19は、ギヤケース11内に設けた
２重筒である。２重筒19は、下部が潤滑油12に浸り、油
中に開口部をもつ内筒19aと、この内筒19aを包囲する外
筒19bとからなり、これらの内筒19a,外筒19bは、ギヤケ
ース11内からパージガスの出口配管18までのパージガス
流出路に２室の小室を形成するものである。量筒の油面
より上部には上下互い違いの異なる位置に小孔19c,19d
が設けられている。In FIG. 2, reference numeral 18 denotes an outlet pipe for purge gas from the inside of the gear case 11 relating to the oil chamber, and reference numeral 19 denotes a double cylinder provided in the gear case 11. The double cylinder 19 includes an inner cylinder 19a having a lower part immersed in the lubricating oil 12 and having an opening in the oil, and an outer cylinder 19b surrounding the inner cylinder 19a. The inner cylinder 19a and the outer cylinder 19b are Two small chambers are formed in the purge gas outflow passage from the inside of the gear case 11 to the purge gas outlet pipe 18. Small holes 19c and 19d at different positions in the vertical direction above the oil level of the measuring cylinder
Is provided.
このように構成されたドライスクリュー真空ポンプに
おけるパージガス流通の作用を説明する。The operation of the purge gas flow in the dry screw vacuum pump configured as described above will be described.
パージガス導入孔17からケーシング４内に導入された
パージガスは、軸封部15でその流れが分れ、一方は作動
室16側、一方はギヤケース11内へと流れ、後者の流れに
よりギヤケース11内または軸受５に供給された潤滑油が
作動室16へ混入することを防止している。The flow of the purge gas introduced into the casing 4 from the purge gas introduction hole 17 is separated by the shaft seal portion 15, one of which flows into the working chamber 16 and the other flows into the gear case 11, and the latter flows into the gear case 11 or Lubricating oil supplied to the bearing 5 is prevented from entering the working chamber 16.
ギヤケース11内へ入ったパージガスは、ギヤケース11
内で強制潤滑されて高速回転するギヤ等により発生する
油の噴霧でミスト化し、その油煙はまず小孔19dを通っ
て内筒19aと外筒19bとで形成される小室に入る。次に、
小孔19cを通って内筒19a内部（小室）に入り、出口配管
18を通ってギヤケース11から外部へ排出される。The purge gas that has entered the gear case 11
Mist is formed by spraying oil generated by a gear or the like that is forcibly lubricated and rotates at high speed, and the oil smoke firstly enters a small chamber formed by an inner cylinder 19a and an outer cylinder 19b through a small hole 19d. next,
Enter the inside (small chamber) of the inner cylinder 19a through the small hole 19c, and exit piping
It is discharged from the gear case 11 through 18.
本実施例によれば、多くの油分を含んだパージガスが
油室を構成するギヤケース11から流出する際に、その流
れは２重筒19により迷路化されて、パージガスが筒壁に
当たる際に油分は滴化し、パージガス内に噴霧状に存在
する油のかなりの量が回収されるという効果がある。ま
た、ギヤケース11内は給油され高速回転するギヤにより
油が激しく飛散しているが、パージガスは前記２重筒19
を介して外部に導かれるため、飛散した油滴が直接パー
ジガスと共に外部に流出することがない。According to the present embodiment, when the purge gas containing a large amount of oil flows out of the gear case 11 constituting the oil chamber, the flow is formed into a maze by the double cylinder 19, and when the purge gas hits the cylinder wall, the oil content is reduced. The effect is that a significant amount of the oil which is in the form of droplets and which is present in the form of a spray in the purge gas is recovered. In addition, the gear case 11 is supplied with oil and the gears rotating at a high speed cause the oil to be scattered violently.
The scattered oil droplets do not flow directly to the outside together with the purge gas.
したがって、さらに油分を除去する必要がある場合に
も、外部配管上に設置するフイルタは小容量のものです
ませることができるという効果がある。Therefore, even when it is necessary to further remove oil, the filter installed on the external pipe can be reduced in capacity.
なお、前述の実施例では、油室からパージガス出口ま
での流出路に形成する小室は、内筒がパージガスの出口
配管に接続する二重筒の例を説明したが、本発明はこれ
に限るものではない。小室は２室以上の複数であって三
重筒のような多重筒構成のものでもよい。また、複数の
小室の形状は限定されるものではない。要は、パージガ
スが油室から出口まで流れる過程で流路が迷路化され、
パージガスが壁に当るような複数の小室と、油室，小室
間、または隣接する小室間を連通する異なる位置に設け
た通路とがあればよい。この連通路は、パージガス流出
路を迷路化するために小孔であることが望ましいが、そ
の形状、数量は特に限定されるものではない。In the above-described embodiment, the small chamber formed in the outflow path from the oil chamber to the purge gas outlet is described as an example in which the inner cylinder is a double cylinder in which the inner cylinder is connected to the purge gas outlet pipe, but the present invention is not limited to this. is not. The plurality of small chambers may be a plurality of two or more chambers and may have a multi-cylinder configuration such as a triple cylinder. Further, the shapes of the plurality of small chambers are not limited. In short, the flow path is turned into a maze while the purge gas flows from the oil chamber to the outlet,
It suffices if there are a plurality of small chambers where the purge gas hits the wall, and passages provided at different positions communicating between the oil chambers, the small chambers, or the adjacent small chambers. This communication path is preferably a small hole in order to make the purge gas outflow path a maze, but the shape and number thereof are not particularly limited.
また、前述の実施例では、標準的な型式のドライスク
リュー真空ポンプの例を説明したが、同様の効果が期待
される範囲で他の作動機構を有するドライ真空ポンプに
適用しても差支えない。Further, in the above-described embodiment, the example of the standard type dry screw vacuum pump has been described. However, the dry screw vacuum pump having another operation mechanism may be applied as long as the same effect is expected.
［発明の効果］ 以上詳細に説明したように、本発明によれば、ギヤケ
ースである油室からのパージガスの流出路を迷路化し、
パージガスに含まれた油分の直接的流出を防ぎ、油室内
で初期的にある程度の油を分離，回収することの可能な
ドライ真空ポンプを提供することができる。[Effects of the Invention] As described in detail above, according to the present invention, the outflow path of the purge gas from the oil chamber as the gear case is formed as a maze,
It is possible to provide a dry vacuum pump capable of preventing a direct outflow of oil contained in a purge gas and capable of initially separating and collecting a certain amount of oil in an oil chamber.
第１図は、本発明の一実施例に係るドライスクリュー真
空ポンプの縦断面図、第２図は、第１図のＡ−Ａ矢視断
面図である。 １……雄ロータ、２……吸気ポート、３……排気ポー
ト、４……ケーシング、5,6……軸受、7,8……タイミン
グギヤ、９……ブルギヤ、10……モータ、11……ギヤケ
ース、12……潤滑油、15……軸封部、16……作動室、17
……パージガス導入孔、18……出口配管、19……二重
筒、19a……内筒、19b……外筒、19c,19d……小孔。FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a dry screw vacuum pump according to one embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG. 1 ... male rotor, 2 ... intake port, 3 ... exhaust port, 4 ... casing, 5,6 ... bearing, 7,8 ... timing gear, 9 ... bull gear, 10 ... motor, 11 ... ... Gear case, 12 ... Lubricant, 15 ... Shaft seal, 16 ... Working chamber, 17
… Purge gas inlet, 18… Outlet piping, 19… Double cylinder, 19a …… Inner cylinder, 19b …… Outer cylinder, 19c, 19d …… Small hole.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−145475（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−134597（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭51−14721（ＪＰ，Ｂ１) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-60-145475 (JP, A) JP-A-61-134597 (JP, U) JP-B-51-14721 (JP, B1)
Claims (2)
ケーシング内に雄雌一対のロータが噛み合って形成する
作動部と、前記ケーシングに収納され、前記ロータを支
持する軸受および作動部への油の混入を防ぐ軸封部と、
前記ロータを駆動する駆動モータおよび動力伝達要素
と、該動力伝達要素を収容し該動力伝達要素を潤滑する
ための油室を形成するギヤケースとを備え、 上記軸封部にガスパージを行って、そのパージガスの流
出路が前記油室を通過するようにした、作動部に油を用
いないドライ真空ポンプにおいて、 前記油室を形成するギヤケース内に、下部が油に浸り油
中に開口部をもつ小室を、前記油室からパージガスの出
口までの流出路に少なくとも２室形成し、前記油室と前
記小室との間または隣接する小室間は、小室の壁の油面
より上部に設けた通路によって連通するように迷路化し
た流出路を構成したことを特徴とするドライ真空ポン
プ。1. A casing having an intake port and an exhaust port, an operating part formed by meshing a pair of male and female rotors in the casing, and a bearing and an operating part housed in the casing and supporting the rotor. Shaft seal to prevent oil contamination
A drive motor and a power transmission element for driving the rotor; and a gear case that houses the power transmission element and forms an oil chamber for lubricating the power transmission element. In a dry vacuum pump that does not use oil in an operating part, an outflow path of a purge gas passes through the oil chamber. A small chamber having a lower part immersed in oil and having an opening in oil in a gear case forming the oil chamber. At least two chambers are formed in an outflow path from the oil chamber to the outlet of the purge gas, and the space between the oil chamber and the small chamber or between adjacent small chambers is communicated by a passage provided above the oil surface of the wall of the small chamber. A dry vacuum pump characterized by having a maze-formed outflow path.
て、油室からパージガスの出口までの流出路に形成する
小室は、パージガス出口に接続し油中に開口する内筒
と、この内筒を包囲する外筒とからなる二重筒とし、そ
の二重筒の各個の、油面より上部に上下互い違いの位置
に通路となる小孔を設けたことを特徴とするドライ真空
ポンプ。2. The internal cylinder according to claim 1, wherein the small chamber formed in the outflow passage from the oil chamber to the purge gas outlet is connected to the purge gas outlet and opens into the oil, A dry vacuum pump characterized in that a double cylinder comprising an outer cylinder enclosing the double cylinder, and small holes serving as passages are provided at positions alternately above and below the oil level in each of the double cylinders.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62281048A JP2604761B2 (en) | 1987-11-09 | 1987-11-09 | Dry vacuum pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62281048A JP2604761B2 (en) | 1987-11-09 | 1987-11-09 | Dry vacuum pump |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01125587A JPH01125587A (en) | 1989-05-18 |
| JP2604761B2 true JP2604761B2 (en) | 1997-04-30 |
Family
ID=17633576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62281048A Expired - Lifetime JP2604761B2 (en) | 1987-11-09 | 1987-11-09 | Dry vacuum pump |
Country Status (1)
| Country | Link |
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Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112032022B (en) * | 2020-09-10 | 2024-04-26 | 北京通嘉宏瑞科技有限公司 | Dry vacuum pump without dead angle purge gas and use method thereof |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3344953A1 (en) * | 1983-12-13 | 1985-06-20 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | TWO-SHAFT VACUUM PUMP WITH GEARBOX EVACUATION |
| JPS61134597U (en) * | 1985-02-12 | 1986-08-22 |
-
1987
- 1987-11-09 JP JP62281048A patent/JP2604761B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| JPH01125587A (en) | 1989-05-18 |
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Legal Events
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |