JP2602345Y2 - 静圧軸受装置 - Google Patents
静圧軸受装置Info
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- JP2602345Y2 JP2602345Y2 JP1991028363U JP2836391U JP2602345Y2 JP 2602345 Y2 JP2602345 Y2 JP 2602345Y2 JP 1991028363 U JP1991028363 U JP 1991028363U JP 2836391 U JP2836391 U JP 2836391U JP 2602345 Y2 JP2602345 Y2 JP 2602345Y2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、機械要素における軸受
けの中で、空気圧や水圧、油圧で保持される静圧軸受装
置の構造にするものである。
けの中で、空気圧や水圧、油圧で保持される静圧軸受装
置の構造にするものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、空気圧や水圧、油圧で保持さ
れる静圧軸受装置は、摩擦や摩耗が無く滑らかな特性が
得られることが知られている。
れる静圧軸受装置は、摩擦や摩耗が無く滑らかな特性が
得られることが知られている。
【０００３】例えば、図６に示すエアースライドは、ガ
イド軸２上で摺動体１を移動可能に支持してなり、両者
の隙間に摺動体１より空気を噴出させるようになってい
た。また、上記摺動体１は４枚のベース板をボルトで固
定したものであり、そのうちの１枚を図７、図８に示す
ように、ベース板２０には複数のポケット２１が形成さ
れており、このポケット２１には空気導通孔２４からの
空気を噴出する絞り穴２２、および田の字状の溝からな
る表面絞り２３が形成され、また、互いのベース板２０
をボルトで締結するためのボルト孔２５を有していた。
イド軸２上で摺動体１を移動可能に支持してなり、両者
の隙間に摺動体１より空気を噴出させるようになってい
た。また、上記摺動体１は４枚のベース板をボルトで固
定したものであり、そのうちの１枚を図７、図８に示す
ように、ベース板２０には複数のポケット２１が形成さ
れており、このポケット２１には空気導通孔２４からの
空気を噴出する絞り穴２２、および田の字状の溝からな
る表面絞り２３が形成され、また、互いのベース板２０
をボルトで締結するためのボルト孔２５を有していた。
【０００４】一般に静圧にて支持するためには複数個の
ポケット２１を形成し、これらの内圧を一定に保つ必要
があるが、空気導通孔２４とポケット２１の間に絞り穴
２２が形成されているため、外力により１つのポケット
２１内の圧力低下が起こっても空気導通孔２４側の圧力
低下は小量に抑えられる。したがって、他のポケット２
１の圧力低下も抑えられ、静圧による支持は継続するこ
ととなる。そのため、安定した支持をするためには、ポ
ケット２１の数量はできるだけ多く、また絞り穴２２や
表面絞り２３の形状はバランス良く揃っているものが良
い。
ポケット２１を形成し、これらの内圧を一定に保つ必要
があるが、空気導通孔２４とポケット２１の間に絞り穴
２２が形成されているため、外力により１つのポケット
２１内の圧力低下が起こっても空気導通孔２４側の圧力
低下は小量に抑えられる。したがって、他のポケット２
１の圧力低下も抑えられ、静圧による支持は継続するこ
ととなる。そのため、安定した支持をするためには、ポ
ケット２１の数量はできるだけ多く、また絞り穴２２や
表面絞り２３の形状はバランス良く揃っているものが良
い。
【０００５】また、このベース板２０は、アルミナなど
のセラミックスで一体的に形成されており、ポケット２
１の形状を製作する場合は、表面絞り２３の深さは数１
０μｍ程度と小さいことから、フライス加工やエッチン
グ、ブラスト加工（砥粒噴射による加工）等により行っ
ていた。なお、絞り穴２２は直径数１００μｍ程度と小
さく、直接加工は難しいため、絞り穴２２を形成したチ
ップを別に作成し、接着剤で固着する方法をとってい
た。
のセラミックスで一体的に形成されており、ポケット２
１の形状を製作する場合は、表面絞り２３の深さは数１
０μｍ程度と小さいことから、フライス加工やエッチン
グ、ブラスト加工（砥粒噴射による加工）等により行っ
ていた。なお、絞り穴２２は直径数１００μｍ程度と小
さく、直接加工は難しいため、絞り穴２２を形成したチ
ップを別に作成し、接着剤で固着する方法をとってい
た。
【０００６】
【考案が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
な従来の静圧軸受装置では次の課題があった。 １）ポケット２１の加工をエッチングやブラスト加工等
で行うと、±２０μｍ程度の精度が限界であり、表面絞
り２３の形状を数μｍの精度でバランス良く形成するこ
とはできなかった。そのため、偏荷重が加わったときの
部分剛性のバラツキが大きく、全体の剛性もこれに応じ
て低下してしまうという問題点があった。
な従来の静圧軸受装置では次の課題があった。 １）ポケット２１の加工をエッチングやブラスト加工等
で行うと、±２０μｍ程度の精度が限界であり、表面絞
り２３の形状を数μｍの精度でバランス良く形成するこ
とはできなかった。そのため、偏荷重が加わったときの
部分剛性のバラツキが大きく、全体の剛性もこれに応じ
て低下してしまうという問題点があった。
【０００７】２）また、ポケット２１の加工をフライス
加工にて行う場合は、非常に多くの工数がかかり、静圧
軸受装置全体のコスト高の主要因となっていた。さら
に、この場合でも加工精度は±５μｍ程度が限界であ
り、部分剛性のバラツキが大きかった。
加工にて行う場合は、非常に多くの工数がかかり、静圧
軸受装置全体のコスト高の主要因となっていた。さら
に、この場合でも加工精度は±５μｍ程度が限界であ
り、部分剛性のバラツキが大きかった。
【０００８】３）さらに、静圧軸受装置の製造工程にお
いて、ポケット２１を含むベース板２０全体は一体加工
とし、絞り穴２２は別加工して接着する方法であるた
め、多くの工程数を要しコスト高の要因であった。 ４）ポケット２１に一ヵ所でも加工不良が発生すると、
ベース板２０全体が不良となってしまい、歩留りが悪い
ものであった。
いて、ポケット２１を含むベース板２０全体は一体加工
とし、絞り穴２２は別加工して接着する方法であるた
め、多くの工程数を要しコスト高の要因であった。 ４）ポケット２１に一ヵ所でも加工不良が発生すると、
ベース板２０全体が不良となってしまい、歩留りが悪い
ものであった。
【０００９】
【課題を解決するための手段】そこで、本考案は上記課
題に鑑み、空気導通孔を備えたベース板上に、絞り穴と
これに連通する表面絞りを有し、これら絞り穴及び／又
は表面絞りをプレス成形法にて形成したセラミックスか
らなる複数のポケット部材を、各ポケット部材の絞り穴
が前記空気導通孔とそれぞれ連通するように接合し、上
記空気導通孔に供給した流体を絞り穴からガイド軸へ向
けて噴出することにより静圧流体層を形成して静圧軸受
装置を構成したものである。
題に鑑み、空気導通孔を備えたベース板上に、絞り穴と
これに連通する表面絞りを有し、これら絞り穴及び／又
は表面絞りをプレス成形法にて形成したセラミックスか
らなる複数のポケット部材を、各ポケット部材の絞り穴
が前記空気導通孔とそれぞれ連通するように接合し、上
記空気導通孔に供給した流体を絞り穴からガイド軸へ向
けて噴出することにより静圧流体層を形成して静圧軸受
装置を構成したものである。
【００１０】
【作用】本考案によれば、絞り穴とこれに連通する表面
絞りを備えたポケット部材をセラミックスによりプレス
成形法にて別体で製造するようにしたことから、量産化
を計ることが容易でコストを低減できるとともに、絞り
穴および表面絞りの形状が標準化され形状の精度を高め
ることができ、かつポケット部材の数を多くすることが
容易となるため、静圧軸受装置の剛性特性の向上や部分
剛性のバラツキを抑えることができる。
絞りを備えたポケット部材をセラミックスによりプレス
成形法にて別体で製造するようにしたことから、量産化
を計ることが容易でコストを低減できるとともに、絞り
穴および表面絞りの形状が標準化され形状の精度を高め
ることができ、かつポケット部材の数を多くすることが
容易となるため、静圧軸受装置の剛性特性の向上や部分
剛性のバラツキを抑えることができる。
【００１１】
【実施例】以下、本考案実施例を図によって説明する。
本考案の一実施例であるエアースライドは、図６に示す
ように、ガイド軸２とこのガイド軸２上で支持された摺
動体１からなり、この摺動体１より両者の隙間に空気を
噴出するようになっている。
本考案の一実施例であるエアースライドは、図６に示す
ように、ガイド軸２とこのガイド軸２上で支持された摺
動体１からなり、この摺動体１より両者の隙間に空気を
噴出するようになっている。
【００１２】上記摺動体１は４枚のベース板から構成さ
れるが、このベース板のみの斜視図を図１に示す。この
ベース板１０は、ポケット部材１１とベース板本体１５
からなり、ポケット部材１１には、絞りノズル１２およ
び表面絞り１３が形成されている。また、ベース板本体
１５には、空気導通孔１６および他のベース板１０と締
結するためのボルト孔１７が形成されている。さらに、
図２に断面を示すように、ポケット部材１１はベース板
本体１５に接着され、空気導通孔１６と絞りノズル１２
が連通するように構成されており、この空気導通孔１６
から供給した空気を絞り穴１２より噴出するようになっ
ている。
れるが、このベース板のみの斜視図を図１に示す。この
ベース板１０は、ポケット部材１１とベース板本体１５
からなり、ポケット部材１１には、絞りノズル１２およ
び表面絞り１３が形成されている。また、ベース板本体
１５には、空気導通孔１６および他のベース板１０と締
結するためのボルト孔１７が形成されている。さらに、
図２に断面を示すように、ポケット部材１１はベース板
本体１５に接着され、空気導通孔１６と絞りノズル１２
が連通するように構成されており、この空気導通孔１６
から供給した空気を絞り穴１２より噴出するようになっ
ている。
【００１３】また、他の実施例を図３（Ａ）に示すよう
に、ベース板本体１５のポケット部材１１を取り付ける
部分に凹部１８を形成しておいて、この凹部１８中にポ
ケット部材１１を接着すれば、位置決めを容易にするこ
とができる。
に、ベース板本体１５のポケット部材１１を取り付ける
部分に凹部１８を形成しておいて、この凹部１８中にポ
ケット部材１１を接着すれば、位置決めを容易にするこ
とができる。
【００１４】さらに、他の実施例を図３（Ｂ）に示すよ
うに、ベース板本体１５の空気導通孔１６を溝状として
おき、各ポケット部材１１に形成したフランジ１４の端
面同士を合わせて、上記空気導通孔１６を覆うように接
着する構造とすることもできる。この構造とすれば、ベ
ース板本体１５の製造が容易である。
うに、ベース板本体１５の空気導通孔１６を溝状として
おき、各ポケット部材１１に形成したフランジ１４の端
面同士を合わせて、上記空気導通孔１６を覆うように接
着する構造とすることもできる。この構造とすれば、ベ
ース板本体１５の製造が容易である。
【００１５】なお、上記ポケット部材１１の材質は、ア
ルミナ、ジルコニアなどのさまざまなセラミックスから
なり、セラミック原料粉末をプレス成形法によって成形
し、このとき金型の形状によって絞り穴１２や表面絞り
１３を形成すれば、容易にかつ高精度に製造できる。ま
た、ベース板本体１５についてもセラミックスとするこ
とが望ましく、比較的大型品であるから鋳込み成形を行
うが、形状が簡単であるため製造が容易である。
ルミナ、ジルコニアなどのさまざまなセラミックスから
なり、セラミック原料粉末をプレス成形法によって成形
し、このとき金型の形状によって絞り穴１２や表面絞り
１３を形成すれば、容易にかつ高精度に製造できる。ま
た、ベース板本体１５についてもセラミックスとするこ
とが望ましく、比較的大型品であるから鋳込み成形を行
うが、形状が簡単であるため製造が容易である。
【００１６】このように、ポケット部材１１を別体とし
て製造することにより、製造が容易であり、かつ高精度
とすることができるとともに、歩留りも向上できる。
て製造することにより、製造が容易であり、かつ高精度
とすることができるとともに、歩留りも向上できる。
【００１７】また、以上の実施例では図６に示す直線方
向のエアースライドについて示したが、回転方向のエア
ベアリングであっても同様の構造とすることができる。
例えば図４に示すように、絞り穴１２、表面絞り１３を
備えたポケット部材１１を扇形に形成し、各ポケット部
材１１を隣接させて円弧状に並べることによって回転軸
のスラスト方向の静圧軸受を構成することができる。ま
た、図５に示すように、絞り穴１２、表面絞り１３を備
えたポケット部材１１を曲面状（瓦形状）に形成し、各
ポケット部材１１を隣接させて円筒状に並べることによ
って、回転軸のラジアル方向の静圧軸受を構成すること
もできる。
向のエアースライドについて示したが、回転方向のエア
ベアリングであっても同様の構造とすることができる。
例えば図４に示すように、絞り穴１２、表面絞り１３を
備えたポケット部材１１を扇形に形成し、各ポケット部
材１１を隣接させて円弧状に並べることによって回転軸
のスラスト方向の静圧軸受を構成することができる。ま
た、図５に示すように、絞り穴１２、表面絞り１３を備
えたポケット部材１１を曲面状（瓦形状）に形成し、各
ポケット部材１１を隣接させて円筒状に並べることによ
って、回転軸のラジアル方向の静圧軸受を構成すること
もできる。
【００１８】実験例 ここで、本考案の静圧軸受装置として図１、図２に示す
ベース板１０を試作し、エアースライドを組み立てた。
また、比較例として図７、図８に示すベース板２０を用
いた従来のエアースライドを用意し、性能を比較する実
験を行った。いずれも、ガイド軸、摺動体はアルミナセ
ラミックスで形成し、ガイド軸断面の大きさは６０×６
０ｍｍ、摺動体の幅は１５０ｍｍで、供給空気圧を４ｋ
ｇ／ｃｍ2 としたときの摺動体上面における、各部分の
剛性の大きさを測定した。
ベース板１０を試作し、エアースライドを組み立てた。
また、比較例として図７、図８に示すベース板２０を用
いた従来のエアースライドを用意し、性能を比較する実
験を行った。いずれも、ガイド軸、摺動体はアルミナセ
ラミックスで形成し、ガイド軸断面の大きさは６０×６
０ｍｍ、摺動体の幅は１５０ｍｍで、供給空気圧を４ｋ
ｇ／ｃｍ2 としたときの摺動体上面における、各部分の
剛性の大きさを測定した。
【００１９】表１はブラスト加工にてポケットの加工を
行ったエアースライド（比較例１）の部分剛性表、表２
はフライス加工でポケットの加工を行ったエアースライ
ド（比較例２）の部分剛性表である。これらの結果よ
り、比較例１は、剛性のバラツキ（±２σ）が１．２ｋ
ｇ／μｍ以上と大きく、剛性値自体も中央で５．９６ｋ
ｇ／μｍと低かった。また、比較例２でも、剛性のバラ
ツキ（±２σ）は０．５ｋｇ／μｍ以上あり、剛性値自
体も中央で６．２６ｋｇ／μｍと低かった。
行ったエアースライド（比較例１）の部分剛性表、表２
はフライス加工でポケットの加工を行ったエアースライ
ド（比較例２）の部分剛性表である。これらの結果よ
り、比較例１は、剛性のバラツキ（±２σ）が１．２ｋ
ｇ／μｍ以上と大きく、剛性値自体も中央で５．９６ｋ
ｇ／μｍと低かった。また、比較例２でも、剛性のバラ
ツキ（±２σ）は０．５ｋｇ／μｍ以上あり、剛性値自
体も中央で６．２６ｋｇ／μｍと低かった。
【００２０】これに対し、本考案のエアースライドにお
ける部分剛性表は表３に示すように、剛性のバラツキ
（±２σ）が０．４ｋｇ／μｍ以下と小さく、剛性値も
中央で９．６６ｋｇ／μｍと高かった。
ける部分剛性表は表３に示すように、剛性のバラツキ
（±２σ）が０．４ｋｇ／μｍ以下と小さく、剛性値も
中央で９．６６ｋｇ／μｍと高かった。
【００２１】
【表１】比較例１
【００２２】
【表２】比較例２
【００２３】
【表３】本考案実施例
【００２４】次に、本考案と比較例について製造工程を
比較した。まず、比較例の製造工程は以下に示すよう
に、多くの工程が必要であり、工数（時間）も長くかか
ることがわかる。特に８．のラップ加工や、９．のポケ
ット溝入れ加工の工数が大きいウェイトをしめている。
尚、工数は全加工費を一人当たりの時間経費で割った値
である。
比較した。まず、比較例の製造工程は以下に示すよう
に、多くの工程が必要であり、工数（時間）も長くかか
ることがわかる。特に８．のラップ加工や、９．のポケ
ット溝入れ加工の工数が大きいウェイトをしめている。
尚、工数は全加工費を一人当たりの時間経費で割った値
である。
【００２５】比較例 １．セラミック原料の調合 0.48時間 ２．部材の大枠成形（ラバープレス、鋳込み成形等） 1.21 ３．乾燥 0.21 ４．生切削（不要な所を予め切削加工）（穴開け、溝入れ） 1.88 ５．焼成 1.55 ６．絞り穴チップやナットブッシュの接着・硬化 2.22 ７．研削加工（±５μｍ程度の精度まで成形） 1.32 ８．ラップ加工（±１μｍ以下の精度まで手加工） 3.24 ９．ポケット溝入れ加工（ダイヤモンドフライス加工） 4.22 １０．スライド組立 1.56 １１．計測、ラップ調整 2.45 合計 30.34
【００２６】次に本考案の加工の工程とその工数は以下
の通りである。上記の一体加工の例と比べると工数が１
／３以下と、大幅に改善されたことがわかる。
の通りである。上記の一体加工の例と比べると工数が１
／３以下と、大幅に改善されたことがわかる。
【００２７】本考案 １．セラミック原料の調合 0.48時間 ２．部材の大枠成形（鋳込み成形） 0.44 ３．乾燥 0.18 ４．絞りノズルのプレス成形 0.08 ５．焼成 1.65 ６．ナットブッシュの接着・硬化 1.68 ７．研削加工（±５μｍ程度の精度まで成形） 0.44 ８．絞りノズルの研削・ラップ・取付 0.34 ９．スライド組立 1.56 １０．計測、ラップ調整 2.45 合計 9.30
【００２８】叙上のように、本考案によれば、静圧軸受
装置の摺動体を構成する、空気導通孔を備えたベース板
上に、絞り穴とこれに連通する表面絞りを有し、これら
絞り穴及び／又は表面絞りをプレス成形法にて形成した
セラミックスからなる複数のポケット部材を、各ポケッ
ト部材の絞りが前記各空気導通孔とそれぞれ連通するよ
うに接合し、上記空気導通孔に供給した流体を絞り穴か
らガイド軸へ向けて噴出するようにしたことから、複雑
な構造をとる絞り穴および表面絞りを容易に、かつ高精
度に加工することができ、ポケット数を多くすることが
できる。そのため、静圧軸受装置の基本特性である剛性
が１．５倍以上となり部分的な剛性も安定することか
ら、負荷の大きい用途についても対応できることとな
り、超精密な測定機や加工機に使用される。また、製造
工程が短くなることから、コストを低減し、精度の高い
ものを安定して供給することが可能となるなど、多くの
効果を奏することができる。
装置の摺動体を構成する、空気導通孔を備えたベース板
上に、絞り穴とこれに連通する表面絞りを有し、これら
絞り穴及び／又は表面絞りをプレス成形法にて形成した
セラミックスからなる複数のポケット部材を、各ポケッ
ト部材の絞りが前記各空気導通孔とそれぞれ連通するよ
うに接合し、上記空気導通孔に供給した流体を絞り穴か
らガイド軸へ向けて噴出するようにしたことから、複雑
な構造をとる絞り穴および表面絞りを容易に、かつ高精
度に加工することができ、ポケット数を多くすることが
できる。そのため、静圧軸受装置の基本特性である剛性
が１．５倍以上となり部分的な剛性も安定することか
ら、負荷の大きい用途についても対応できることとな
り、超精密な測定機や加工機に使用される。また、製造
工程が短くなることから、コストを低減し、精度の高い
ものを安定して供給することが可能となるなど、多くの
効果を奏することができる。
【図１】本考案の静圧軸受装置の一実施例であるエアー
スライドを構成するベース板のみの斜視図である。
スライドを構成するベース板のみの斜視図である。
【図２】図１中のＸ−Ｘ線断面図である。
【図３】（Ａ）（Ｂ）はそれぞれ、図２に相当する本考
案の他の実施例を示す断面図である。
案の他の実施例を示す断面図である。
【図４】本考案の他の実施例であるエアーベアリングの
スラスト方向軸受を示す概略図である。
スラスト方向軸受を示す概略図である。
【図５】本考案の他の実施例であるエアーベアリングの
ラジアル方向軸受を示す概略図である。
ラジアル方向軸受を示す概略図である。
【図６】静圧軸受装置の一例であるエアースライドを示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図７】従来のエアースライドを構成するベース板のみ
の斜視図である。
の斜視図である。
【図８】図７中のＹ−Ｙ線断面図である。
１ 摺動体 ２ ガイド軸 １０ ベース板 １１ ポケット部材 １２ 絞り穴 １３ 表面絞り １５ ベース板本体 １６ 空気導通孔
Claims (1)
- 【請求項１】空気導通孔を備えたベース板上に、絞り穴
とこれに連通する表面絞りを有し、これら絞り穴及び／
又は表面絞りをプレス成形法にて形成したセラミックス
からなる複数のポケット部材を、各ポケット部材の絞り
穴が前記空気導通孔とそれぞれ連通するように接合して
なり、上記空気導通孔に供給した流体を上記絞り穴から
ガイド軸へ向けて噴出するようにしたことを特徴とする
静圧軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991028363U JP2602345Y2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 静圧軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991028363U JP2602345Y2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 静圧軸受装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04117212U JPH04117212U (ja) | 1992-10-20 |
| JP2602345Y2 true JP2602345Y2 (ja) | 2000-01-11 |
Family
ID=31912476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991028363U Expired - Fee Related JP2602345Y2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 静圧軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2602345Y2 (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101124179B1 (ko) | 2003-04-09 | 2012-03-27 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 방법 및 장치, 그리고 디바이스 제조 방법 |
| TWI457712B (zh) | 2003-10-28 | 2014-10-21 | 尼康股份有限公司 | 照明光學裝置、投影曝光裝置、曝光方法以及元件製造方法 |
| TWI512335B (zh) | 2003-11-20 | 2015-12-11 | 尼康股份有限公司 | 光束變換元件、光學照明裝置、曝光裝置、以及曝光方法 |
| TWI360837B (en) | 2004-02-06 | 2012-03-21 | Nikon Corp | Polarization changing device, optical illumination |
| JP4621981B2 (ja) * | 2004-07-13 | 2011-02-02 | コニカミノルタオプト株式会社 | 静圧スライド |
| JP2006132605A (ja) * | 2004-11-04 | 2006-05-25 | Yokogawa Electric Corp | スライダー |
| EP1881521B1 (en) | 2005-05-12 | 2014-07-23 | Nikon Corporation | Projection optical system, exposure apparatus and exposure method |
| JP4809667B2 (ja) * | 2005-11-24 | 2011-11-09 | 株式会社岡本工作機械製作所 | 静圧水軸受直動スライドシステム |
| JP5267029B2 (ja) | 2007-10-12 | 2013-08-21 | 株式会社ニコン | 照明光学装置、露光装置及びデバイスの製造方法 |
| US8379187B2 (en) | 2007-10-24 | 2013-02-19 | Nikon Corporation | Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US9116346B2 (en) | 2007-11-06 | 2015-08-25 | Nikon Corporation | Illumination apparatus, illumination method, exposure apparatus, and device manufacturing method |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS425609Y1 (ja) * | 1964-04-30 | 1967-03-20 | ||
| JPS6237622U (ja) * | 1985-08-22 | 1987-03-05 |
-
1991
- 1991-03-29 JP JP1991028363U patent/JP2602345Y2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH04117212U (ja) | 1992-10-20 |
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