JP4621981B2 - 静圧スライド - Google Patents
静圧スライド Download PDFInfo
- Publication number
- JP4621981B2 JP4621981B2 JP2005198603A JP2005198603A JP4621981B2 JP 4621981 B2 JP4621981 B2 JP 4621981B2 JP 2005198603 A JP2005198603 A JP 2005198603A JP 2005198603 A JP2005198603 A JP 2005198603A JP 4621981 B2 JP4621981 B2 JP 4621981B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- static pressure
- slide
- opening
- hydrostatic
- slide according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
(1)機械の制御精度を高くするために各軸の位置測定分解能を向上して、高速なサーボにより駆動する作業台(スライドテーブルや旋回テーブル)を高精度に制御することや、サーボモーターの駆動指令に対して高速に追従するために、密度の小さい材料を用いて駆動する静圧スライドを軽くすることが重要である。
(2)各軸が2段や3段に重なる積み木構造となるので、構造的に剛性が低下しやすく、各軸の剛性をできるだけ高めることが必要であり、そのために静圧スライドの圧力伝達媒体の支持剛性を上げることや、ヤング率の高い材料を用いることが重要となる。
(3)環境の温度変化に影響されないようにすることも非常に重要であり、静圧スライドを用いる場合には、静圧面での無駄な発熱を押さえるために圧力伝達媒体の支持剛性を上げることや、各部材に線膨張係数の小さな材料を選ぶことが重要である。
(4)環境変化が大きくなる前に加工を終了でき、かつ高効率に加工するために加工時間を短くすることが必要であり、高速に軸を駆動するためにサーボを高速にして位置測定の高分解能に追従することと、静圧面の剛性低下や振動が発生しないように、圧力伝達媒体の支持剛性を上げることが重要である。
前記支持面に対向する第1及び第2移動面と、該第1及び第2移動面にそれぞれ設けられた第1および第2凹部と、該第1および第2凹部より小さく且つ該第1および第2凹部のそれぞれの底部間を連通する開口と、を有すブロック本体と、
前記第1および第2凹部内に配置され前記開口より大きな張り出し部を有する第1及び第2張り出し部材と、
前記開口内に配置され、前記第1及び第2張り出し部材の少なくとも一方を結合機構により結合することで、前記第1及び第2張り出し部材が前記第1および第2凹部のそれぞれの底部を挟圧した状態で前記第1及び第2張り出し部材を連結して固定する連結部材と、
前記第1及び第2張り出し部材の少なくとも一方に設けられ、前記開口に供給された圧力伝達媒体を流出し、その流量を制限する流量制限部と、
を有することを特徴とする。
21、21’、21” 本体
21a、21a’ 静圧面
21b、21b’ リセス
21c、21c’、21c” 開口
21d、21d’、21d” 油供給孔
22 パイプ
22a 孔
22b 油流入孔
23 オリフィス部材
23’、23” 流量制限部材
24 オリフィス部材
25、25’、25” 連結軸
B ボルト
C コネクタ
OR O−リング
P 蓋部材
PR 多孔体
SR スライドレール
Claims (15)
- 一対の支持面間で圧力伝達媒体の静圧により移動可能に支持される静圧スライドにおいて、
前記支持面に対向する第1及び第2移動面と、該第1及び第2移動面にそれぞれ設けられた第1および第2凹部と、該第1および第2凹部より小さく且つ該第1および第2凹部のそれぞれの底部間を連通する開口と、を有すブロック本体と、
前記第1および第2凹部内に配置され前記開口より大きな張り出し部を有する第1及び第2張り出し部材と、
前記開口内に配置され、前記第1及び第2張り出し部材の少なくとも一方を結合機構により結合することで、前記第1及び第2張り出し部材が前記第1および第2凹部のそれぞれの底部を挟圧した状態で前記第1及び第2張り出し部材を連結して固定する連結部材と、
前記第1及び第2張り出し部材の少なくとも一方に設けられ、前記開口に供給された圧力伝達媒体を流出し、その流量を制限する流量制限部と、
を有することを特徴とする静圧スライド。 - 前記第1張り出し部材と前記連結部材間に前記結合機構が設けられ、前記第2張り出し部材は前記連結部材に一体的に固定されていることを特徴とする請求項1に記載の静圧スライド。
- 前記第1および第2張り出し部材と前記連結部材間のそれぞれに、前記結合機構が設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の静圧スライド。
- 前記流量制限部は前記第1および第2張り出し部材のそれぞれに設けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の静圧スライド。
- 前記連結部材は中空のパイプであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の静圧スライド。
- 複数組の第1および第2凹部、開口、第1及び第2張り出し部材、連結部材、結合機構および流量制限部を有すことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の静圧スライド。
- さらに、前記ブロック本体は前記第1及び第2移動面の延在する方向と交差する方向に延在する第3移動面と、該第3移動面と対向する第4面とを有し、第3移動面に圧力伝達媒体を流出するよう、第3および第4凹部、開口、第3及び第4張り出し部材、連結部材、結合機構および流量制限部とを有すことを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の静圧スライド。
- 前記ブロック本体の線膨張係数が−3×10-6以上3×10-6以下であることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の静圧スライド。
- 前記ブロック本体の線膨張係数が0.5×10-6以上3×10-6以下であることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の静圧スライド。
- 前記ブロック本体はセラミックを素材として形成されていることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の静圧スライド。
- 前記セラミックは窒化珪素又はサイアロンであることを特徴とする請求項10に記載の静圧スライド。
- 前記支持面を形成した部材の線膨張係数は、−3×10-6以上3×10-6以下であることを特徴とする請求項1〜11のいずれかに記載の静圧スライド。
- 前記支持面を形成した部材の線膨張係数は、0.5×10-6以上3×10-6以下であることを特徴とする請求項1〜12のいずれかに記載の静圧スライド。
- 前記圧力伝達媒体は液体であることを特徴とする請求項1〜13のいずれかに記載の静圧スライド。
- 前記第1及び第2張り出し部材がそれぞれ前記第1及び第2移動面より突出し、摺動面の機能を持つことを特徴とする請求項1〜14のいずれかに記載の静圧スライド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005198603A JP4621981B2 (ja) | 2004-07-13 | 2005-07-07 | 静圧スライド |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004206274 | 2004-07-13 | ||
JP2005198603A JP4621981B2 (ja) | 2004-07-13 | 2005-07-07 | 静圧スライド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006052844A JP2006052844A (ja) | 2006-02-23 |
JP4621981B2 true JP4621981B2 (ja) | 2011-02-02 |
Family
ID=36030450
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005198603A Expired - Fee Related JP4621981B2 (ja) | 2004-07-13 | 2005-07-07 | 静圧スライド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4621981B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112264837B (zh) * | 2020-09-16 | 2022-09-02 | 天津大学 | 一种摇篮式五轴数控机床摆台静刚度检测装置及其方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62178030U (ja) * | 1986-04-30 | 1987-11-12 | ||
JPS6421802U (ja) * | 1987-07-30 | 1989-02-03 | ||
JPH04117212U (ja) * | 1991-03-29 | 1992-10-20 | 京セラ株式会社 | 静圧軸受装置 |
JPH07248015A (ja) * | 1994-03-10 | 1995-09-26 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | セラミックス部品と金属部品のボルト締結部構造 |
JPH10299779A (ja) * | 1997-04-25 | 1998-11-10 | Kyocera Corp | 静圧気体軸受装置 |
JP2000304048A (ja) * | 1999-02-17 | 2000-10-31 | Toto Ltd | 静圧気体軸受 |
JP2001254736A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Toto Ltd | 静圧気体軸受 |
JP2002155909A (ja) * | 2000-11-17 | 2002-05-31 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 脆性部材の接合方法 |
JP2004144188A (ja) * | 2002-10-24 | 2004-05-20 | Nippon Steel Corp | 静圧気体軸受 |
-
2005
- 2005-07-07 JP JP2005198603A patent/JP4621981B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62178030U (ja) * | 1986-04-30 | 1987-11-12 | ||
JPS6421802U (ja) * | 1987-07-30 | 1989-02-03 | ||
JPH04117212U (ja) * | 1991-03-29 | 1992-10-20 | 京セラ株式会社 | 静圧軸受装置 |
JPH07248015A (ja) * | 1994-03-10 | 1995-09-26 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | セラミックス部品と金属部品のボルト締結部構造 |
JPH10299779A (ja) * | 1997-04-25 | 1998-11-10 | Kyocera Corp | 静圧気体軸受装置 |
JP2000304048A (ja) * | 1999-02-17 | 2000-10-31 | Toto Ltd | 静圧気体軸受 |
JP2001254736A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Toto Ltd | 静圧気体軸受 |
JP2002155909A (ja) * | 2000-11-17 | 2002-05-31 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 脆性部材の接合方法 |
JP2004144188A (ja) * | 2002-10-24 | 2004-05-20 | Nippon Steel Corp | 静圧気体軸受 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006052844A (ja) | 2006-02-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4715081B2 (ja) | 加工機 | |
JP5329349B2 (ja) | 超精密工作機械 | |
JPWO2008010414A1 (ja) | 切削用振動体、振動切削ユニット、加工装置、成形金型、及び光学素子 | |
JP4875184B2 (ja) | 工具回転半径可変の工具ホルダおよび該工具を備えた工作機械ならびに前記工作機械を用いた加工方法 | |
US11384790B2 (en) | Flexural pivot | |
JPWO2007091425A1 (ja) | 切削用振動体、加工装置、成形金型、及び光学素子 | |
US8047104B2 (en) | Vibration body for cutting, vibration cutting unit, processing apparatus, molding die and optical element | |
US20070228879A1 (en) | Cutting device, processing apparatus, molding die, optical element and cutting method | |
JP4621981B2 (ja) | 静圧スライド | |
JP4203109B2 (ja) | 振動制御用質量体 | |
JP4276277B2 (ja) | 流体軸受構造および流体軸受の組立方法 | |
JP2006029395A (ja) | 静圧スライド | |
JP4899375B2 (ja) | 切削工具、加工装置、及び切削加工方法 | |
US7168358B2 (en) | Static pressure sliding block | |
TWI681837B (zh) | 工具機 | |
JP4893177B2 (ja) | 切削用振動体、振動切削ユニット、及び加工装置 | |
CN210121787U (zh) | 具有动态力平衡功能的快刀伺服装置 | |
JP4083205B1 (ja) | 振動制御用質量体 | |
JP2017172631A (ja) | リニアブレーキの支持方法、リニアブレーキ組付体及びリニアブレーキアダプタ | |
JPH0516167B2 (ja) | ||
JP4692071B2 (ja) | 振動切削装置、成形金型、及び光学素子 | |
JP2007152466A (ja) | 切削用振動体、振動切削ユニット、加工装置、成形金型、及び光学素子 | |
JPH08118187A (ja) | 工作機械の送りねじ装置 | |
JP4771052B2 (ja) | 振動切削装置、成形金型、及び光学素子 | |
JPH042382B2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080704 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100928 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101004 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101017 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131112 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |