JP4809667B2 - 静圧水軸受直動スライドシステム - Google Patents
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Description
このセラミック製ガイドウエイ(A)は一対のセラミック製長尺状直方体レールを上面高さを同一水平面にしてセラミック製長尺状直方体レールベース上面に平行離間して設け、これらの長尺状直方体レール間に永久磁石または電磁石を前記長尺状直方体レールベース上面に向けて設けたガイドウエイ(A)であり、
前記断面逆凸字状のスライドウエイ(B)はセラミック製ハニカム構造の長尺状直方体キャリッジベースの底面に二対のセラミック製パッドを平行離間して前記長尺状直方体レール上方に位置するよう設けるとともに、その長尺状直方体キャリッジベースの底面中央位置であって前記二対のセラミック製小径パッド間にモーターコイルをその底面が前記永久磁石または電磁石の上面に平行となるよう設けるとともに、そのモーターコイルとガイドウエイ(A)に設けた一方のセラミック製長尺状直方体レール間に長尺状直方体キャリッジベースの底面より下方に伸び長手方向側面下部であって前記セラミック製長尺状直方体レールの長手方向内側面に対向する位置に一対のセラミック製パッドを離間して設けたセラミック製キーパーを設け、これらのセラミック製パッドに水を供給する噴出孔を設けた断面逆凸字状のセラミック製スライドウエイ(B)であることを特徴とする、静圧水軸受直動スライドウエイシステムを提供するものである。
このセラミック製ガイドウエイ(A)は一対のセラミック製ハニカム構造の長尺状直方体レールを上面高さが同一水平面に位置するセラミック製ハニカム構造の長尺状直方体レールベース上面に平行離間して設け、これらの長尺状直方体レール間に永久磁石または電磁石を前記長尺状直方体レールベース上面に向けて設けたガイドウエイ(A)であり、
前記断面逆凸字状のスライドウエイ(B)はセラミック製ハニカム構造の長尺状直方体キャリッジベースの底面に二対のセラミック製パッドを平行離間して前記長尺状直方体レール上方に位置するよう設けるとともに、その長尺状直方体キャリッジベースの底面中央位置であって前記二対のセラミック製小径パッド間にモーターコイルをその底面が前記永久磁石または電磁石の上面に平行となるよう設けるとともに、そのモーターコイルとガイドウエイ(A)に設けた一方のハニカム構造のセラミック製長尺状直方体レール間に長尺状直方体キャリッジベースの底面より下方に伸び長手方向側面下部であって前記セラミック製長尺状直方体レールの長手方向内側面に対向する位置に一対のセラミック製パッドを離間して設けたセラミック製キーパーを設け、これらのセラミック製パッドに水を供給する噴出孔を設けた断面逆凸字状のセラミック製スライドウエイ(B)であることを特徴とする、静圧水軸受直動スライドウエイシステムを提供するものである。
図1は本発明の静圧水軸受直動スライドシステムを上方から見た斜視図、図2はスライドウエイシステムをスライドウエイ底面側から見た斜視図、図3はスライドウエイ底面のセラミック製パッドの配置を示す斜視図、図4はフレ−ム上に置かれた静圧水軸受直動スライドシステムの断面図、および図5は図静圧水軸受直動スライドシステムを利用したワークピース端面研削装置の正面図である。
2 ガイドウエイ
3 スライドウエイ
10 セラミック端面研削装置
21a,21b 長尺状直方体レール
23 セラミック製ハニカム構造の長尺状直方体レールベース
24 モーターコイル
31 セラミック製ハニカム構造の長尺状直方体キャリッジベース
32 キーパー
33a,33b,33c,33d,33e,33f セラミック製パッド
34 磁石
35 水噴出孔
81 水供給配管
Claims (2)
- セラミック製ガイドウエイ(A)上を断面逆凸字状のセラミック製スライドウエイ(B)がリニアモーター駆動により直動駆動する静圧水軸受スライドウエイシステムであって、
このセラミック製ガイドウエイ(A)は一対のセラミック製長尺状直方体レールを上面高さを同一水平面にしてセラミック製長尺状直方体レールベース上面に平行離間して設け、これらの長尺状直方体レール間に永久磁石または電磁石を前記長尺状直方体レールベース上面に向けて設けたガイドウエイ(A)であり、
前記断面逆凸字状のスライドウエイ(B)はセラミック製ハニカム構造の長尺状直方体キャリッジベースの底面に二対のセラミック製パッドを平行離間して前記長尺状直方体レール上方に位置するよう設けるとともに、その長尺状直方体キャリッジベースの底面中央位置であって前記二対のセラミック製小径パッド間にモーターコイルをその底面が前記永久磁石または電磁石の上面に平行となるよう設けるとともに、そのモーターコイルとガイドウエイ(A)に設けた一方のセラミック製長尺状直方体レール間に長尺状直方体キャリッジベースの底面より下方に伸び長手方向側面下部であって前記セラミック製長尺状直方体レールの長手方向内側面に対向する位置に一対のセラミック製パッドを離間して設けたセラミック製キーパーを設け、これらのセラミック製パッドに水を供給する噴出孔を設けた断面逆凸字状のセラミック製スライドウエイ(B)であることを特徴とする、静圧水軸受直動スライドウエイシステム。 - セラミック製ガイドウエイ(A)上を断面逆凸字状のセラミック製スライドウエイ(B)がリニアモーター駆動により直動駆動する静圧水軸受スライドウエイシステムであって、
このセラミック製ガイドウエイ(A)は一対のセラミック製ハニカム構造の長尺状直方体レールを上面高さが同一水平面に位置するセラミック製ハニカム構造の長尺状直方体レールベース上面に平行離間して設け、これらの長尺状直方体レール間に永久磁石または電磁石を前記長尺状直方体レールベース上面に向けて設けたガイドウエイ(A)であり、
前記断面逆凸字状のスライドウエイ(B)はセラミック製ハニカム構造の長尺状直方体キャリッジベースの底面に二対のセラミック製パッドを平行離間して前記長尺状直方体レール上方に位置するよう設けるとともに、その長尺状直方体キャリッジベースの底面中央位置であって前記二対のセラミック製小径パッド間にモーターコイルをその底面が前記永久磁石または電磁石の上面に平行となるよう設けるとともに、そのモーターコイルとガイドウエイ(A)に設けた一方のハニカム構造のセラミック製長尺状直方体レール間に長尺状直方体キャリッジベースの底面より下方に伸び長手方向側面下部であって前記セラミック製長尺状直方体レールの長手方向内側面に対向する位置に一対のセラミック製パッドを離間して設けたセラミック製キーパーを設け、これらのセラミック製パッドに水を供給する噴出孔を設けた断面逆凸字状のセラミック製スライドウエイ(B)であることを特徴とする、静圧水軸受直動スライドウエイシステム。
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