JP2570095Y2 - 駆動装置 - Google Patents
駆動装置Info
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- JP2570095Y2 JP2570095Y2 JP1992008270U JP827092U JP2570095Y2 JP 2570095 Y2 JP2570095 Y2 JP 2570095Y2 JP 1992008270 U JP1992008270 U JP 1992008270U JP 827092 U JP827092 U JP 827092U JP 2570095 Y2 JP2570095 Y2 JP 2570095Y2
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は、スパッタ装置やCVD
装置等において、真空中で作動するワーク搬送機構など
の駆動装置に関するものである。
装置等において、真空中で作動するワーク搬送機構など
の駆動装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、スパッタ装置やCVD装置等の装
置はウェハなどを搬送するワーク搬送機構を持ってお
り、ワーク処理の性質上からそのワーク搬送機構は真空
中で動作させる場合がある。図7のスパッタ装置の構成
によって説明すると、スパッタ装置は真空チャンバ10
2やロードロックチャンバ103を有し、これらのチャ
ンバは真空排気機構101によって内部を真空状態とし
ている。そして、これらのチャンバ内において、ウェハ
搬送機構100によってウェハの移動が行われ各種の処
理が施される。したがって、このウェハ搬送機構100
は真空状態において駆動している。
置はウェハなどを搬送するワーク搬送機構を持ってお
り、ワーク処理の性質上からそのワーク搬送機構は真空
中で動作させる場合がある。図7のスパッタ装置の構成
によって説明すると、スパッタ装置は真空チャンバ10
2やロードロックチャンバ103を有し、これらのチャ
ンバは真空排気機構101によって内部を真空状態とし
ている。そして、これらのチャンバ内において、ウェハ
搬送機構100によってウェハの移動が行われ各種の処
理が施される。したがって、このウェハ搬送機構100
は真空状態において駆動している。
【0003】このような真空中で動作する装置では、ワ
ークに付着する不純物を避ける必要性がありワーク搬送
機構において潤滑油の使用が制限されている。このため
搬送機構の駆動装置においてトルク異常が発生し搬送ト
ラブルが発生することがある。したがって、この搬送機
構の駆動装置はメンテナンスを必ず必要としており、定
期的な部品交換やメンテナンスを早い時期に実施して搬
送トラブルの発生を予防している。
ークに付着する不純物を避ける必要性がありワーク搬送
機構において潤滑油の使用が制限されている。このため
搬送機構の駆動装置においてトルク異常が発生し搬送ト
ラブルが発生することがある。したがって、この搬送機
構の駆動装置はメンテナンスを必ず必要としており、定
期的な部品交換やメンテナンスを早い時期に実施して搬
送トラブルの発生を予防している。
【0004】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、この搬
送機構の駆動装置における定期的な部品交換やメンテナ
ンスは、実測データからメンテナンスの時期を予測して
いる例はなく、部品の実際の劣化状態や装置の稼働状態
にかかわらず早い時期に実施される。したがって、場合
によっては交換時期となっていない部品を交換したり、
不必要なメンテナンスを行うことがある。
送機構の駆動装置における定期的な部品交換やメンテナ
ンスは、実測データからメンテナンスの時期を予測して
いる例はなく、部品の実際の劣化状態や装置の稼働状態
にかかわらず早い時期に実施される。したがって、場合
によっては交換時期となっていない部品を交換したり、
不必要なメンテナンスを行うことがある。
【0005】メンテナンスや部品交換を行うには装置を
停止させなければならないので、この不必要なメンテナ
ンスや部品交換は装置の駆動率を低下させ、さらに製品
の生産率を低下させることになる。本考案は、前記従来
の不必要なメンテナンスや部品交換の問題点を解決し
て、メンテナンスや部品交換の時期の予測等の駆動装置
の監視を行うことによってメンテナンスの回数や交換部
品の削減を行い、稼働率が高く生産性の高い真空装置の
駆動装置を提供することを目的とする。
停止させなければならないので、この不必要なメンテナ
ンスや部品交換は装置の駆動率を低下させ、さらに製品
の生産率を低下させることになる。本考案は、前記従来
の不必要なメンテナンスや部品交換の問題点を解決し
て、メンテナンスや部品交換の時期の予測等の駆動装置
の監視を行うことによってメンテナンスの回数や交換部
品の削減を行い、稼働率が高く生産性の高い真空装置の
駆動装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】そのために、本考案の駆
動装置においては、真空装置に用いられる駆動装置と、
前記駆動装置のトルクを検出する手段と、前記トルクを
検出する手段により検出したトルク値及びトルク値の変
動を統計処理などのデータ処理によって監視し駆動装置
の監視を行う処理手段と、前記処理手段の結果を出力す
る出力手段とを備え、前記処理手段は、時間間隔を異に
する複数の監視区間を設定し、各監視区間毎の基準値を
記憶する記憶手段と、各監視区間におけるトルク値及び
トルク値の変動を求め前記基準値と比較を行う演算手段
を備え、この処理手段により駆動装置のメンテナンスの
時期を予測し、駆動装置の異常を判断する。
動装置においては、真空装置に用いられる駆動装置と、
前記駆動装置のトルクを検出する手段と、前記トルクを
検出する手段により検出したトルク値及びトルク値の変
動を統計処理などのデータ処理によって監視し駆動装置
の監視を行う処理手段と、前記処理手段の結果を出力す
る出力手段とを備え、前記処理手段は、時間間隔を異に
する複数の監視区間を設定し、各監視区間毎の基準値を
記憶する記憶手段と、各監視区間におけるトルク値及び
トルク値の変動を求め前記基準値と比較を行う演算手段
を備え、この処理手段により駆動装置のメンテナンスの
時期を予測し、駆動装置の異常を判断する。
【0007】
【作用】本考案によれば、前記のように駆動装置のメン
テナンスの時期を予測し、駆動装置の異常を判断してい
るので、メンテナンスや部品交換の時期を予め予測して
実施することができ、メンテナンスの回数や交換部品の
個数の削減を行って、真空装置の搬送機構の駆動装置の
稼働率を高め生産性を向上させることができる。
テナンスの時期を予測し、駆動装置の異常を判断してい
るので、メンテナンスや部品交換の時期を予め予測して
実施することができ、メンテナンスの回数や交換部品の
個数の削減を行って、真空装置の搬送機構の駆動装置の
稼働率を高め生産性を向上させることができる。
【0008】
【実施例】以下、本考案の実施例について図面を参照し
ながら詳細に説明する。図1は、本考案の駆動装置の構
成図である。モータ5とサーボユニット6からなるAC
サーボモータを使用した搬送装置を例としてその駆動装
置について説明する。
ながら詳細に説明する。図1は、本考案の駆動装置の構
成図である。モータ5とサーボユニット6からなるAC
サーボモータを使用した搬送装置を例としてその駆動装
置について説明する。
【0009】搬送装置は、高温、真空、発塵雰囲気等の
悪条件下で使用されることが多く、特に潤滑油の使用が
制限されている場合には軸受けなどにおけるの劣化の経
時変化は大きい。したがって、その変化をモニタするこ
とは装置の運転管理上重要である。本考案においては前
記の軸受けなどにおける劣化の経時変化を駆動装置のト
ルク値の変化として検出し、そのモータのトルク値の大
きさあるいはその変動を用いてメンテナンスの時期の予
測を行う。
悪条件下で使用されることが多く、特に潤滑油の使用が
制限されている場合には軸受けなどにおけるの劣化の経
時変化は大きい。したがって、その変化をモニタするこ
とは装置の運転管理上重要である。本考案においては前
記の軸受けなどにおける劣化の経時変化を駆動装置のト
ルク値の変化として検出し、そのモータのトルク値の大
きさあるいはその変動を用いてメンテナンスの時期の予
測を行う。
【0010】駆動装置はモータ5によって駆動トルクが
与えられ、そのモータ5はサーボユニット6によって位
置及び速度制御が行われる。駆動装置の発生するトルク
の大きさはモータ5又はサーボユニット6に取り付けら
れたトルク検出器10によって測定される。トルク検出
器10の検出信号は、処理装置1において信号処理され
る。処理装置1はトルク信号処理装置2とデータ処理装
置3とによって構成される。トルク信号処理装置2は、
トルク検出器の検出信号のトルク値への変換やA/D変
換を行う。処理装置1の出力信号は外部装置7、データ
表示出力装置8及び警報装置9に接続される。外部装置
7はトルク信号によって制御される装置である。データ
表示出力装置8はトルク信号の表示やメンテナンスの予
測時期の表示を行う装置である。また、警報装置9は駆
動装置の異常状態を表示する装置である。
与えられ、そのモータ5はサーボユニット6によって位
置及び速度制御が行われる。駆動装置の発生するトルク
の大きさはモータ5又はサーボユニット6に取り付けら
れたトルク検出器10によって測定される。トルク検出
器10の検出信号は、処理装置1において信号処理され
る。処理装置1はトルク信号処理装置2とデータ処理装
置3とによって構成される。トルク信号処理装置2は、
トルク検出器の検出信号のトルク値への変換やA/D変
換を行う。処理装置1の出力信号は外部装置7、データ
表示出力装置8及び警報装置9に接続される。外部装置
7はトルク信号によって制御される装置である。データ
表示出力装置8はトルク信号の表示やメンテナンスの予
測時期の表示を行う装置である。また、警報装置9は駆
動装置の異常状態を表示する装置である。
【0011】駆動装置のメンテナンスの時期の予測はデ
ータ処理装置3において行われる。図2は本考案の駆動
装置のトルク値Tとメンテナンスの予測時期t1 との関
係を示した図であり、この図を用いてメンテナンスの時
期の予測について説明する。ベアリングの磨耗や破損等
の種々の原因で搬送装置の負荷が増大すると、駆動装置
のサーボユニットは速度などを一定に保持するように制
御する。それによって、駆動装置は前記増大した負荷に
見合うようにトルク値を増加させる。このようにして、
駆動装置の発生するトルク値の大きさは使用時間ととも
に微小変化を伴いながら増加する傾向にある。図2にお
いて実線aは過去から現在時刻t1 までのトルク値の履
歴を示しており、その実線aに続く破線bは現在から先
のトルク値の予測線である。このトルク値の予測線bは
現在までのトルク値の大きさや変化を統計処理すること
によって行われる。
ータ処理装置3において行われる。図2は本考案の駆動
装置のトルク値Tとメンテナンスの予測時期t1 との関
係を示した図であり、この図を用いてメンテナンスの時
期の予測について説明する。ベアリングの磨耗や破損等
の種々の原因で搬送装置の負荷が増大すると、駆動装置
のサーボユニットは速度などを一定に保持するように制
御する。それによって、駆動装置は前記増大した負荷に
見合うようにトルク値を増加させる。このようにして、
駆動装置の発生するトルク値の大きさは使用時間ととも
に微小変化を伴いながら増加する傾向にある。図2にお
いて実線aは過去から現在時刻t1 までのトルク値の履
歴を示しており、その実線aに続く破線bは現在から先
のトルク値の予測線である。このトルク値の予測線bは
現在までのトルク値の大きさや変化を統計処理すること
によって行われる。
【0012】予めトルク値Tの正常値と異常値とを識別
するトルク値T0 (以下設定トルク値T0 という)を設
定しておき、予測したトルク値がその設定トルク値T0
を超える時点tf をメンテナンス予測時期とする。この
メンテナンス予測時期tf は図において破線のトルク値
の予測線bとトルク値T0 を示す一点鎖線cとの交差点
の横座標値として求められる。
するトルク値T0 (以下設定トルク値T0 という)を設
定しておき、予測したトルク値がその設定トルク値T0
を超える時点tf をメンテナンス予測時期とする。この
メンテナンス予測時期tf は図において破線のトルク値
の予測線bとトルク値T0 を示す一点鎖線cとの交差点
の横座標値として求められる。
【0013】次に処理装置1について説明する。前記し
たように処理装置1はトルク信号処理装置2とデータ処
理装置3とによって構成される。図4は、本考案の駆動
装置に用いる処理装置1の一構成図である。図4におい
て、図2のトルク信号処理装置2はトルク信号処理装置
20であり、アナログ処理及びAD変換部21とバッフ
ァメモリ22とで構成される。アナログ処理及びAD変
換部21はトルク検出器で検出した検出信号をトルク値
に変換するとともにデジタル信号に信号変換する。デジ
タル信号に信号変換されたトルク値はバッファメモリ2
2に一時記憶される。このアナログ処理及びAD変換部
21の信号処理及びバッファメモリ22のデータの入出
力のタイミングは、AD変換・トリガ制御部51によっ
て制御される。
たように処理装置1はトルク信号処理装置2とデータ処
理装置3とによって構成される。図4は、本考案の駆動
装置に用いる処理装置1の一構成図である。図4におい
て、図2のトルク信号処理装置2はトルク信号処理装置
20であり、アナログ処理及びAD変換部21とバッフ
ァメモリ22とで構成される。アナログ処理及びAD変
換部21はトルク検出器で検出した検出信号をトルク値
に変換するとともにデジタル信号に信号変換する。デジ
タル信号に信号変換されたトルク値はバッファメモリ2
2に一時記憶される。このアナログ処理及びAD変換部
21の信号処理及びバッファメモリ22のデータの入出
力のタイミングは、AD変換・トリガ制御部51によっ
て制御される。
【0014】また、図4において、図2のデータ処理装
置3はメインCPU31、統計処理部32、信号処理部
33の信号処理に関する部分と、ROMやRAMによっ
て構成されるメモリ40、データメモリ41のメモリに
関する部分と、AD変換・トリガ制御部51、インタフ
ェース52、キーボード制御部53、ディスプレイ制御
部54、プロッタ制御部55の制御に関する部分とによ
って構成され、それぞれの構成部分はバス30によって
接続される。インタフェース52、キーボード制御部5
3、ディスプレイ制御部54及びプロッタ制御部55
は、それぞれ外部装置71、キーボード73、ディスプ
レイ81及びプロッタ83を制御している。また、信号
処理に関する部分とメモリに関する部分と制御に関する
部分は、メインCPU31によって制御が行われる。
置3はメインCPU31、統計処理部32、信号処理部
33の信号処理に関する部分と、ROMやRAMによっ
て構成されるメモリ40、データメモリ41のメモリに
関する部分と、AD変換・トリガ制御部51、インタフ
ェース52、キーボード制御部53、ディスプレイ制御
部54、プロッタ制御部55の制御に関する部分とによ
って構成され、それぞれの構成部分はバス30によって
接続される。インタフェース52、キーボード制御部5
3、ディスプレイ制御部54及びプロッタ制御部55
は、それぞれ外部装置71、キーボード73、ディスプ
レイ81及びプロッタ83を制御している。また、信号
処理に関する部分とメモリに関する部分と制御に関する
部分は、メインCPU31によって制御が行われる。
【0015】次に、図4において信号の処理を説明す
る。まず、メンテナンス時期を予測する処理について説
明する。メインCPUの管理の下で、トルク信号処理装
置20で処理されてバッファメモリ22に一時記憶され
たトルク値は、AD変換・トリガ制御部51の制御信号
によってバス30を介してデータメモリ41に転送され
る。このデータメモリ41は、トルク値の履歴を記録す
ることになる。統計処理部32には、データメモリ41
に記録されたトルク値、メモリ40に記憶されている統
計処理によりメンテナンス時期を予測するプログラム
(以下予測プログラムという)及び設定トルク値T0 が
バス30を介して転送される。統計処理部32では、予
測プログラム及び設定トルク値T0 によりトルク値を処
理してメンテナンス予測時期tf を演算する。設定トル
ク値T0 はキーボード制御部53を介してキーボード7
3によってメモリ40のRAMなどに入力したり、RO
Mに設定することができる。RAMに入力する場合に
は、設定値の変更を容易に行うことができる。また、キ
ーボード73は表示のモード変更にも使用される。表示
モードの変更によってディスプレイ81及びプロッタ8
3には前記メンテナンス予測時期tf を表示したり、図
2に示すような予測に関するグラフ表示を行うことがで
きる。この表示モードの選択はキーボード73の入力を
メインCPUが制御することによって行われる。
る。まず、メンテナンス時期を予測する処理について説
明する。メインCPUの管理の下で、トルク信号処理装
置20で処理されてバッファメモリ22に一時記憶され
たトルク値は、AD変換・トリガ制御部51の制御信号
によってバス30を介してデータメモリ41に転送され
る。このデータメモリ41は、トルク値の履歴を記録す
ることになる。統計処理部32には、データメモリ41
に記録されたトルク値、メモリ40に記憶されている統
計処理によりメンテナンス時期を予測するプログラム
(以下予測プログラムという)及び設定トルク値T0 が
バス30を介して転送される。統計処理部32では、予
測プログラム及び設定トルク値T0 によりトルク値を処
理してメンテナンス予測時期tf を演算する。設定トル
ク値T0 はキーボード制御部53を介してキーボード7
3によってメモリ40のRAMなどに入力したり、RO
Mに設定することができる。RAMに入力する場合に
は、設定値の変更を容易に行うことができる。また、キ
ーボード73は表示のモード変更にも使用される。表示
モードの変更によってディスプレイ81及びプロッタ8
3には前記メンテナンス予測時期tf を表示したり、図
2に示すような予測に関するグラフ表示を行うことがで
きる。この表示モードの選択はキーボード73の入力を
メインCPUが制御することによって行われる。
【0016】また、表示モードの変更によってデータメ
モリ41に記録されたトルク値をディスプレイ81及び
プロッタ83に表示することができる。次に、駆動装置
の異常状態に対する対処について説明する。本考案では
トルク信号処理装置20で処理されたトルク値Tの大き
さによって駆動装置の状態を判断し、その状態に応じた
対処を行う。図3は本考案の駆動装置のトルク値Tの大
きさと対処内容との関係図である。図3において、トル
ク値TがT1 以下の場には駆動装置は正常運転をしてい
るものと判断し、それ以上のトルク値Tとなった場合は
駆動装置は異常運転をしているものと判断する。異常運
転の状態をいくつかの段階に分けて、その段階に応じて
注意信号発生、異常信号発生、装置停止などの対処を行
う。例えば、トルク値TがT1 とT2 の間では交換部品
を準備し、トルク値TがT2 とT3 の間ではメンテナン
スの実施を行い、さらにトルク値Tが上昇してT3 を超
えた場合には駆動装置を停止する。
モリ41に記録されたトルク値をディスプレイ81及び
プロッタ83に表示することができる。次に、駆動装置
の異常状態に対する対処について説明する。本考案では
トルク信号処理装置20で処理されたトルク値Tの大き
さによって駆動装置の状態を判断し、その状態に応じた
対処を行う。図3は本考案の駆動装置のトルク値Tの大
きさと対処内容との関係図である。図3において、トル
ク値TがT1 以下の場には駆動装置は正常運転をしてい
るものと判断し、それ以上のトルク値Tとなった場合は
駆動装置は異常運転をしているものと判断する。異常運
転の状態をいくつかの段階に分けて、その段階に応じて
注意信号発生、異常信号発生、装置停止などの対処を行
う。例えば、トルク値TがT1 とT2 の間では交換部品
を準備し、トルク値TがT2 とT3 の間ではメンテナン
スの実施を行い、さらにトルク値Tが上昇してT3 を超
えた場合には駆動装置を停止する。
【0017】前記の対処の信号処理を図4によって説明
する。図4において、バッファメモリ22の出力信号と
メモリ40に記録されている処理プログラムと段階を判
断するためのトルク値T1 、T2 、T3 を信号処理部3
3に入力して、バッファメモリ22の出力信号とトルク
値T1 、T2 、T3 との比較を行う。この比較結果に応
じてその処理をディスプレイ81やプロッタ83に表示
したり、外部装置71に出力される。比較の信号として
前記バッファメモリ22の出力信号に代えて、アナログ
処理及びAD変換部21の出力信号やトルク検出器の出
力信号を用いることができる。
する。図4において、バッファメモリ22の出力信号と
メモリ40に記録されている処理プログラムと段階を判
断するためのトルク値T1 、T2 、T3 を信号処理部3
3に入力して、バッファメモリ22の出力信号とトルク
値T1 、T2 、T3 との比較を行う。この比較結果に応
じてその処理をディスプレイ81やプロッタ83に表示
したり、外部装置71に出力される。比較の信号として
前記バッファメモリ22の出力信号に代えて、アナログ
処理及びAD変換部21の出力信号やトルク検出器の出
力信号を用いることができる。
【0018】前記のトルク値T1 、T2 、T3 は、はキ
ーボード制御部53を介してキーボード73によってメ
モリ40のRAMなどに入力したり、ROMに設定する
ことができる。RAMに入力する場合には、設定値の変
更を容易に行うことができる。次に、図5、6によって
メンテナンスの時期を予測する一実施例を説明する。図
5は、本考案の駆動装置のトルク値の経時変化を示す図
である。
ーボード制御部53を介してキーボード73によってメ
モリ40のRAMなどに入力したり、ROMに設定する
ことができる。RAMに入力する場合には、設定値の変
更を容易に行うことができる。次に、図5、6によって
メンテナンスの時期を予測する一実施例を説明する。図
5は、本考案の駆動装置のトルク値の経時変化を示す図
である。
【0019】図5の(a)は駆動装置のトルク値の経時
変化である。この経時変化を短期、中期及び長期等のい
くつかの時間間隔に分け、例えば図において時刻t1 ま
でを短期、時刻t2 までを中期、時刻t3 までを長期と
する。短期、中期、長期はそれぞれ図5の(b)、
(e)、(h)で表される。この時間間隔の長さは、装
置の特性や使用状況等に応じて定めることができる。例
えば、短期として一日単位、中期として月単位あるいは
数カ月単位、長期として年単位とすることができる。各
時間間隔においてトルク値は直流分と微小変動分に分け
られ、直流分は長い周期の変動傾向を示し、微小変動分
は短い周期の変動状態を示している。短期のトルク値の
経時変化の直流分は図5の(c)で示され、微小変動分
は図5の(d)で示される。また、中期のトルク値の経
時変化の直流分は図5の(f)で示され、微小変動分は
図5の(g)で示される。長期のトルク値の経時変化の
直流分は図5の(i)で示され、微小変動分は図5の
(j)で示される。
変化である。この経時変化を短期、中期及び長期等のい
くつかの時間間隔に分け、例えば図において時刻t1 ま
でを短期、時刻t2 までを中期、時刻t3 までを長期と
する。短期、中期、長期はそれぞれ図5の(b)、
(e)、(h)で表される。この時間間隔の長さは、装
置の特性や使用状況等に応じて定めることができる。例
えば、短期として一日単位、中期として月単位あるいは
数カ月単位、長期として年単位とすることができる。各
時間間隔においてトルク値は直流分と微小変動分に分け
られ、直流分は長い周期の変動傾向を示し、微小変動分
は短い周期の変動状態を示している。短期のトルク値の
経時変化の直流分は図5の(c)で示され、微小変動分
は図5の(d)で示される。また、中期のトルク値の経
時変化の直流分は図5の(f)で示され、微小変動分は
図5の(g)で示される。長期のトルク値の経時変化の
直流分は図5の(i)で示され、微小変動分は図5の
(j)で示される。
【0020】メモリ内に各時間間隔におけるトルク値の
直流分と微小変動分の変動の傾向とその値を比較値とし
て記録しておき、メンテナンス時期の予測や異常の判断
の基準とする。つまり、通常の統計手法を用いて実測値
とメモリ内の前記比較値との比較検討を行って予測値を
求めたり、トルク値が正常値の範囲にあるか否かあるい
は異常の範囲内に入っているか否かを判断する。
直流分と微小変動分の変動の傾向とその値を比較値とし
て記録しておき、メンテナンス時期の予測や異常の判断
の基準とする。つまり、通常の統計手法を用いて実測値
とメモリ内の前記比較値との比較検討を行って予測値を
求めたり、トルク値が正常値の範囲にあるか否かあるい
は異常の範囲内に入っているか否かを判断する。
【0021】図6は図4の処理装置の一実施例であり、
メンテナンスの時期を予測する構成を示すものである。
図の構成は、トルク検出器10の検出信号は信号処理部
23に入力される。この信号処理部23は図4のトルク
信号処理装置20及び信号処理部33にに対応する部分
であり、デジタル化されたトルク値及びその直流分と微
小変動分を出力する。信号処理装置23は短期用メモリ
42に接続される。この短期用メモリ42は演算処理部
34に接続されるとともに、信号処理部35を介して中
期用メモリ43に接続される。さらに、中期用メモリ4
3は演算処理部34に接続されるとともに、信号処理部
36を介して長期用メモリ44に接続され演算処理部3
4に接続される。信号処理部35及び36は入力信号を
データ圧縮して次のメモリに出力するものである。ま
た、信号処理装置23からの出力信号を直接に保存用メ
モリ45に記録してもよい。演算処理部34には各短期
用メモリ42、中期用メモリ43、長期用メモリ44及
び保存用メモリ45が接続され、その他に信号処理装置
23とメモリ46と接続されている。短期用メモリ4
2、中期用メモリ43、長期用メモリ44及び保存用メ
モリ45は、図4のデータメモリ41に対応するもので
ある。メモリ46は図4のメモリ40に対応する部分で
あり、ROMやRAMによって構成される。このメモリ
46には、メンテナンスを予測するためのデータと、ト
ルク値の異常を判断するためのデータ及びそれらの演算
をするための演算用プログラムが記録されている。メン
テナンスを予測するためのデータとしては、例えば短
期、中期及び長期のトルク値の変動の傾向やそのトルク
値、これらの期間を統合するメンテナンス予測用データ
等がある。トルク値の異常を判断するためのデータとし
ては、例えば前記の短期、中期及び長期のトルク値の変
動の傾向やそのトルク値やトルク値監視用データ等があ
る。演算処理部34はインタフェース39を介して外部
装置7、データ表示装置8及び警報装置9に接続されて
いる。
メンテナンスの時期を予測する構成を示すものである。
図の構成は、トルク検出器10の検出信号は信号処理部
23に入力される。この信号処理部23は図4のトルク
信号処理装置20及び信号処理部33にに対応する部分
であり、デジタル化されたトルク値及びその直流分と微
小変動分を出力する。信号処理装置23は短期用メモリ
42に接続される。この短期用メモリ42は演算処理部
34に接続されるとともに、信号処理部35を介して中
期用メモリ43に接続される。さらに、中期用メモリ4
3は演算処理部34に接続されるとともに、信号処理部
36を介して長期用メモリ44に接続され演算処理部3
4に接続される。信号処理部35及び36は入力信号を
データ圧縮して次のメモリに出力するものである。ま
た、信号処理装置23からの出力信号を直接に保存用メ
モリ45に記録してもよい。演算処理部34には各短期
用メモリ42、中期用メモリ43、長期用メモリ44及
び保存用メモリ45が接続され、その他に信号処理装置
23とメモリ46と接続されている。短期用メモリ4
2、中期用メモリ43、長期用メモリ44及び保存用メ
モリ45は、図4のデータメモリ41に対応するもので
ある。メモリ46は図4のメモリ40に対応する部分で
あり、ROMやRAMによって構成される。このメモリ
46には、メンテナンスを予測するためのデータと、ト
ルク値の異常を判断するためのデータ及びそれらの演算
をするための演算用プログラムが記録されている。メン
テナンスを予測するためのデータとしては、例えば短
期、中期及び長期のトルク値の変動の傾向やそのトルク
値、これらの期間を統合するメンテナンス予測用データ
等がある。トルク値の異常を判断するためのデータとし
ては、例えば前記の短期、中期及び長期のトルク値の変
動の傾向やそのトルク値やトルク値監視用データ等があ
る。演算処理部34はインタフェース39を介して外部
装置7、データ表示装置8及び警報装置9に接続されて
いる。
【0022】次に図6の実施例の信号の流れを説明す
る。トルク検出器10の検出信号は信号処理部23に入
力され、デジタル化されたトルク値及びその直流分と微
小変動分を出力する。このトルク値及びその直流分と微
小変動分は短期用メモリ42に入力され記録される。演
算処理部34は、短期用メモリ42から入力された短期
のデータとメモリ46に記録されている短期のデータと
メンテナンス予測用のデータを用いてメンテナンスの予
測及びトルク値の監視を行う。この演算結果はインタフ
ェース39を介して外部装置7、データ表示装置8及び
警報装置9に出力される。
る。トルク検出器10の検出信号は信号処理部23に入
力され、デジタル化されたトルク値及びその直流分と微
小変動分を出力する。このトルク値及びその直流分と微
小変動分は短期用メモリ42に入力され記録される。演
算処理部34は、短期用メモリ42から入力された短期
のデータとメモリ46に記録されている短期のデータと
メンテナンス予測用のデータを用いてメンテナンスの予
測及びトルク値の監視を行う。この演算結果はインタフ
ェース39を介して外部装置7、データ表示装置8及び
警報装置9に出力される。
【0023】次に、短期用メモリ42のデータは信号処
理部35においてデータ圧縮され、次の中期用メモリ4
3に入力され記録される。演算処理部34は、中期用メ
モリ42から入力された中期のデータとメモリ46に記
録されている中期のデータとメンテナンス予測用のデー
タを用いてメンテナンスの予測及びトルク値の監視を行
う。この演算結果はインタフェース39を介して外部装
置7、データ表示装置8及び警報装置9に出力される。
理部35においてデータ圧縮され、次の中期用メモリ4
3に入力され記録される。演算処理部34は、中期用メ
モリ42から入力された中期のデータとメモリ46に記
録されている中期のデータとメンテナンス予測用のデー
タを用いてメンテナンスの予測及びトルク値の監視を行
う。この演算結果はインタフェース39を介して外部装
置7、データ表示装置8及び警報装置9に出力される。
【0024】さらに、中期用メモリ43のデータは信号
処理部36においてデータ圧縮され、次の長期用メモリ
44に入力され記録される。演算処理部34は、長期用
メモリ44から入力された長期のデータとメモリ46に
記録されている長期のデータとメンテナンス予測用のデ
ータを用いてメンテナンスの予測及びトルク値の監視を
行う。この演算結果はインタフェース39を介して外部
装置7、データ表示装置8及び警報装置9に出力され
る。
処理部36においてデータ圧縮され、次の長期用メモリ
44に入力され記録される。演算処理部34は、長期用
メモリ44から入力された長期のデータとメモリ46に
記録されている長期のデータとメンテナンス予測用のデ
ータを用いてメンテナンスの予測及びトルク値の監視を
行う。この演算結果はインタフェース39を介して外部
装置7、データ表示装置8及び警報装置9に出力され
る。
【0025】また、信号処理部23の信号は直接に演算
処理部34に入力され、メモリ46に記録されているト
ルク値監視用のデータを用いて瞬間的なトルク値の監視
を行い、インタフェース39を介して外部装置7、デー
タ表示装置8及び警報装置9に出力される。保存用メモ
リ45に記録されたデータは必要に応じてデータ表示装
置8に出力することもできる。
処理部34に入力され、メモリ46に記録されているト
ルク値監視用のデータを用いて瞬間的なトルク値の監視
を行い、インタフェース39を介して外部装置7、デー
タ表示装置8及び警報装置9に出力される。保存用メモ
リ45に記録されたデータは必要に応じてデータ表示装
置8に出力することもできる。
【0026】なお、本考案は前記実施例に限定されるも
のではなく、本考案の趣旨に基づいて種々変形すること
が可能であり、それらを本考案の範囲から排除するもの
ではない。
のではなく、本考案の趣旨に基づいて種々変形すること
が可能であり、それらを本考案の範囲から排除するもの
ではない。
【0027】
【考案の効果】以上詳細に説明したように、本考案よれ
ば、駆動装置のメンテナンスの時期を予測し、駆動装置
の異常を判断しているので、メンテナンスや部品交換の
時期を予め予測して実施することができ、メンテナンス
の回数や交換部品の個数の削減を行って、真空装置の駆
動装置の稼働率を高め生産性を向上させることができ
る。
ば、駆動装置のメンテナンスの時期を予測し、駆動装置
の異常を判断しているので、メンテナンスや部品交換の
時期を予め予測して実施することができ、メンテナンス
の回数や交換部品の個数の削減を行って、真空装置の駆
動装置の稼働率を高め生産性を向上させることができ
る。
【図1】本考案の駆動装置の構成図である。
【図2】本考案の駆動装置のトルク値とメンテナンスの
予測時期との関係図である。
予測時期との関係図である。
【図3】本考案の駆動装置のトルク値と外部出力との関
係図である。
係図である。
【図4】本考案の駆動装置に用いる処理装置の一実施例
の構成図である。
の構成図である。
【図5】本考案の駆動装置のトルク値の経時変化図であ
る。
る。
【図6】本考案の駆動装置に用いる処理装置の信号の流
れ図である。
れ図である。
【図7】従来のスパッタ装置の構成図である。
1 処理装置 2 トルク信号処理装置 3 データ処理装置 5 モータ5 6 サーボユニット 7 外部装置 8 データ表示出力装置 9 警報装置 10 トルク検出器 20 トルク信号処理装置 21 アナログ処理及びAD変換部 22 バッファメモリ 23 信号処理部 30 バス 31 メインCPU 32 統計処理部 33 信号処理部 34 演算処理部 35 信号処理部 36 信号処理部 39 インタフェース 40 メモリ 41 データメモリ 42 短期用メモリ 43 中期用メモリ 44 長期用メモリ 45 保存用メモリ 46 メモリ 51 AD変換・トリガ制御部 52 インタフェース 53 キーボード制御部 54 ディスプレイ制御部 55 プロッタ制御部 71 外部装置 73 キーボード 81 ディスプレイ 83 プロッタ 100 ウェハ搬送機構 101 真空排気機構 102 真空チャンバ 103 ロードロックチャンバ T トルク値 T0 設定トルク値 tf メンテナンスの予測時期 a 過去から現在時刻t1 までのトルク値の履歴 b トルク値の予測線 c トルク値T0 を示す一点鎖線
Claims (1)
- 【請求項1】 真空装置に用いられる駆動装置と、 前記駆動装置のトルクを検出する手段と、 前記トルクを検出する手段により検出したトルク値及び
トルク値の変動を統計処理などのデータ処理によって監
視し駆動装置の監視を行う処理手段と、 前記処理手段の結果を出力する出力手段とを備え、 前記処理手段は、時間間隔を異にする複数の監視区間を
設定し、各監視区間毎の基準値を記憶する記憶手段と、
各監視区間におけるトルク値及びトルク値の変動を求め
前記基準値と比較を行う演算手段を備えたことを特徴と
する駆動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1992008270U JP2570095Y2 (ja) | 1992-02-25 | 1992-02-25 | 駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1992008270U JP2570095Y2 (ja) | 1992-02-25 | 1992-02-25 | 駆動装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0569951U JPH0569951U (ja) | 1993-09-21 |
JP2570095Y2 true JP2570095Y2 (ja) | 1998-04-28 |
Family
ID=11688479
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1992008270U Expired - Lifetime JP2570095Y2 (ja) | 1992-02-25 | 1992-02-25 | 駆動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2570095Y2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3999574B2 (ja) * | 2002-06-06 | 2007-10-31 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理システム |
WO2005024915A1 (ja) * | 2003-09-02 | 2005-03-17 | Nikon Corporation | 保守管理装置、保守管理方法、保守管理プログラム、及び情報記録媒体 |
JP5635270B2 (ja) * | 2009-02-13 | 2014-12-03 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置及び基板処理システム及び基板処理装置の表示方法及び基板処理装置のパラメータ設定方法及び記録媒体 |
JP2013170566A (ja) * | 2012-02-23 | 2013-09-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 風力発電装置の監視方法及びシステム |
WO2016157402A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及び記録媒体 |
TW201839890A (zh) * | 2017-02-13 | 2018-11-01 | 日商東京威力科創股份有限公司 | 搬送裝置﹑搬送方法及記憶媒體 |
US20220223443A1 (en) * | 2019-03-26 | 2022-07-14 | Tokyo Electron Limited | State determination device, state determination method, and computer-readable recording medium |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0661676B2 (ja) * | 1985-10-18 | 1994-08-17 | マツダ株式会社 | 穴明工具の寿命検出装置 |
JPH0665189B2 (ja) * | 1986-05-02 | 1994-08-22 | 株式会社日立メディコ | 軸受の寿命判定装置を備えたx線管 |
-
1992
- 1992-02-25 JP JP1992008270U patent/JP2570095Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0569951U (ja) | 1993-09-21 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980106 |