JP2563038B2 - Continuous tray transfer device in heating furnace - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は電子部品類の熱処理や熱
加工に好適な熱処理炉におけるトレイ連続搬送装置に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a tray continuous transfer device in a heat treatment furnace suitable for heat treatment and thermal processing of electronic parts.

【０００２】[0002]

【従来の技術及びその技術的課題】微細ないし超微細加
工を施したＩＣやＬＣＤの基板類や電子部品・部分品の
製造工程においては、高いクリーン度が要求され、たと
えば、上記被処理物を熱処理、焼成、乾燥したりする場
合には、雰囲気中に塵埃をわずかでも発生させないこと
が肝要である。しかし、従来の連続加熱炉においては被
処理物を収容したトレイの移送手段としてベルトコンベ
ア式やプッシュロッド式などが採用しており、このため
摺動部が不可避的に存在し、搬送手段の要素同士、ある
いは搬送手段とトレイとの摺動によって摩耗粉が発生
し、その摩耗粉によって雰囲気が乱されたり汚損された
りし、品質の良好な電子部品類を高能率で製造できない
という問題があった。金属粉末の焼結に関しては、トレ
イを炉内で順次多段に積み上げてプレスしつつ加熱する
ようにした炉が知られているが、この先行技術は、縦型
炉内を通過したのちプッシャーでトレイを横送りし、チ
ェーンコンベアによって下降されたトレイをプッシャー
にて炉外に送出するようにしていたため、やはり摺動に
起因する摩耗粉が発生し、雰囲気を汚損するため電子部
品類の加熱処理には全く不適であった。2. Description of the Related Art A high degree of cleanliness is required in the manufacturing process of IC or LCD substrates or electronic parts / parts that have been subjected to fine or ultra-fine processing. In the case of heat treatment, firing, and drying, it is important that even a slight amount of dust is not generated in the atmosphere. However, in the conventional continuous heating furnace, a belt conveyor type or a push rod type is adopted as a transfer means for the trays containing the objects to be processed, so that the sliding part is inevitably present and the element of the transfer means is There was a problem that abrasion powder was generated by sliding between each other or between the transport means and the tray, and the atmosphere was disturbed or polluted by the abrasion powder, and it was not possible to efficiently manufacture good-quality electronic components. . Regarding the sintering of metal powder, a furnace is known in which trays are sequentially stacked in a furnace in multiple stages and heated while pressing, but this prior art is that the trays are pushed by a pusher after passing through a vertical furnace. Since the tray was moved laterally and the tray lowered by the chain conveyor was sent out of the furnace by the pusher, abrasion powder was also generated due to sliding, and the atmosphere was polluted. Was totally unsuitable.

【０００３】本発明は前記のような問題点を解消するた
めに創案されたもので、その目的とするところは、摺動
とそれに起因する塵埃の発生を防止しきわめてクリーン
な雰囲気にて能率よく電子部品類の熱処理や熱加工を行
うことができ、さらにトレイを効率よく使用することが
できると共に、被処理物のローダおよびアンローダに伴
うトレイの冷却(外部への熱放散)を低減し、省エネルギ
ーを実現することができる加熱炉用のトレイ搬送装置を
提供することにある。The present invention was devised to solve the above-mentioned problems, and its purpose is to prevent sliding and generation of dust due to the sliding and to efficiently operate in an extremely clean atmosphere. Heat treatment and heat processing of electronic parts can be performed, the tray can be used efficiently, and cooling of the tray (heat dissipation to the outside) associated with the loader and unloader of the object to be processed is reduced to save energy. It is an object of the present invention to provide a tray transfer device for a heating furnace that can realize the above.

【０００４】[0004]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、左右にローダ口とアンローダ口を有する炉内
に、被処理物を装入したトレイを順次積載上昇させる上
昇エレベータ機構と、トレイを順次下降させる下降エレ
ベータ機構を並列状に配置する一方、炉内の上部には、
前記両エレベータ機構とクロスする関係に配置され、上
昇エレベータ機構で上昇された最上位のトレイを受支
し、これを相対摺動なしに下降エレベータ機構へと移送
して下降エレベータ機構の最上位のトレイの上に受支さ
せるトレイ昇降切換え機構を設け、炉体の下部には、前
記両エレベータ機構とクロスする関係に配置され、被処
理物をセットしたトレイをローダ口から炉内に移動して
上昇エレベータ機構へと移送させるとともに、下降エレ
ベータ機構で送られてきた積載最下位のトレイをアンロ
ーダ口へ搬出し、さらに、アンローダ口において被処理
物を分離して空になったトレイを下降させ再び炉内低域
を通ってローダ口へと逆送するウオーキングビーム式の
トレイ循環送り機構を設けた構成としている。In order to achieve the above object, the present invention provides a lifting elevator mechanism for sequentially stacking and raising trays loaded with objects to be processed in a furnace having left and right loader ports and unloader ports. While the descending elevator mechanisms for sequentially descending the trays are arranged in parallel, in the upper part of the furnace,
The uppermost tray, which is arranged in a crossing relationship with both the elevator mechanisms and receives the uppermost tray raised by the ascending elevator mechanism, transfers it to the descending elevator mechanism without relative sliding and moves the uppermost tray of the descending elevator mechanism. A tray elevating and lowering switching mechanism for supporting the tray is provided, and the tray is placed in the lower part of the furnace body in a crossing relationship with both the elevator mechanisms. While transferring to the ascending elevator mechanism, the tray at the bottom of the stack sent by the descending elevator mechanism is carried out to the unloader port, and at the unloader port, the object to be processed is separated and the empty tray is lowered and again. It is equipped with a walking beam type tray circulation feed mechanism that feeds back to the loader port through the low region of the furnace.

【０００５】[0005]

【実施例】以下本発明の実施例を添付図面に基いて説明
する。図１ないし図３は本発明によるトレイ連続搬送装
置を用いた加熱炉の概要を示しており、図４は本発明で
使用するトレイの一例を示している。Ａは断熱材などで
構築された炉体であり、基床Ｇに設けたフレームＦによ
って所要高さレベルに支持され、内壁には図示しないが
ヒータが配置され、所定の雰囲気が導入されることで雰
囲気加熱を行うようになっている。この炉体Ａはトレイ
Ｔが少なくとも平行状に２列互いに干渉しあわないで位
置し、高さ方向に所定段数積み上げられ得る容積を有し
ている。そして、炉体Ａの下部側壁にはローダ口ａとア
ンローダ口ａ’とが対設されている。トレイＴは、被処
理物Ｗ(たとえばＩＣやＬＣＤの基板など)を受載する治
具であり、アルミナ、窒化珪素など機械的強度が高くか
つ熱容量の大きな材料で矩形状に構成され、加熱雰囲気
が各部に流通しかつ安定して多段積載を行えるようにす
るため、各隅部には所要高さのピンｔが設けられてい
る。トレイＴは、底側のピンｔに対応する位置に袋穴状
ないしこれに類する凹部が設けられていてもよい。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. 1 to 3 show an outline of a heating furnace using a tray continuous transfer device according to the present invention, and FIG. 4 shows an example of a tray used in the present invention. A is a furnace body constructed of a heat insulating material or the like, and is supported at a required height level by a frame F provided on a base floor G, and a heater (not shown) is arranged on the inner wall to introduce a predetermined atmosphere. It is designed to heat the atmosphere. In this furnace body A, the trays T are positioned in parallel at least in two rows so as not to interfere with each other, and have a volume capable of being stacked in a predetermined number of stages in the height direction. A loader port a and an unloader port a ′ are provided on the lower side wall of the furnace body A so as to face each other. The tray T is a jig for receiving an object to be processed W (for example, a substrate of IC or LCD), and is made of a material having high mechanical strength and a large heat capacity, such as alumina and silicon nitride, and has a rectangular shape. In order to circulate to each part and to perform stable multi-stage loading, a pin t having a required height is provided at each corner. The tray T may be provided with a bag hole-shaped or similar recess at a position corresponding to the pin t on the bottom side.

【０００６】Ｕは上昇エレベータ機構であり、ローダ口
ａに近い領域に配置されている。Ｄは下降エレベータ機
構であり、アンローダ口ａ’に近い領域に上昇エレベー
タ機構Ｕと並列状に配置されている。Ｓはローダ口ａと
アンローダ口ａ’の領域において前記両エレベータ機構
とクロスする関係に配置されたトレイ循環送り機構であ
り、Ｖは炉体の上部領域において前記両エレベータ機構
とクロスする関係に配置されたトレイ昇降切換え機構で
ある。Reference numeral U denotes a lift elevator mechanism, which is arranged in a region near the loader port a. D is a descending elevator mechanism, which is arranged in parallel with the ascending elevator mechanism U in a region near the unloader port a '. S is a tray circulation feeding mechanism arranged in a crossing relationship with both elevator mechanisms in the region of the loader port a and unloader port a ', and V is arranged in a crossing relation with both elevator mechanisms in the upper region of the furnace body. This is a tray lifting / lowering switching mechanism.

【０００７】上昇エレベータ機構Ｕは、ローダ口よりや
や上位レベルにおいて間隔的に配置されたトレイ受け具
５を有している。それらトレイ受け具５は、幅方向と長
さ方向の寸法が異なるたとえば長方形状のブロックない
し爪として構成され、長片が内方に向いた時にトレイＴ
の偶部を支え、長片がたとえば９０度回転したときにト
レイＴの支えを解除しうるようになっている。そして、
前記トレイ受け具５よりも内側の炉床ｃにはピン状また
は平行プレートなどからなる固定トレイ支え２４が立設
されており、該固定トレイ支え２４と前記トレイ受け具
５の間には、トレイＴを支えかつこれをトレイ受け具５
に向かって上昇させる昇降ヘッド７が配されている。The lift elevator mechanism U has tray receivers 5 which are arranged at intervals at a level slightly above the loader port. The tray receivers 5 are configured as, for example, rectangular blocks or claws having different width and length dimensions, and the tray T is provided when the long pieces face inward.
Of the tray T so that the support of the tray T can be released when the long piece rotates, for example, 90 degrees. And
A fixed tray support 24 formed of a pin shape or a parallel plate is erected on the hearth c inside the tray receiver 5, and a tray is provided between the fixed tray support 24 and the tray receiver 5. Supports T and attaches it to tray receiver 5
An elevating head 7 is arranged to elevate toward.

【０００８】前記トレイ受け具５は、炉体Ａの下方から
炉床ｃを貫いて炉内のローダ口レベルよりやや上まで伸
びる複数本(図面では4本)の支持ロッド５０の上端に取
付けられている。トレイ受け具５は支持ロッド５０に対
して９０度正逆回転可能となっていてもよいが、この実
施例ではトレイ受け具５は支持ロッド５０に固定され、
支持ロッド５０を回転させるようにしている。すなわ
ち、各支持ロッド５０は炉床ｃの下方に横架された横梁
ｆに中間を保持され、下端が基床に設けた軸受で支承さ
れ、軸受の近傍に回転要素としてベーベルギヤ５１が取
付けられ、駆動側のベーベルギヤ５２を図示しないロー
タリアクチュエータで一斉に駆動するようにしている。
ロータリアクチュエータは各支持ロッドごとでもよいし
２本ずつあるいは全体を一基で作動させてもよい。The tray receiver 5 is attached to the upper ends of a plurality of (four in the drawing) support rods 50 extending from the lower part of the furnace body A through the hearth c to slightly above the loader port level in the furnace. ing. The tray receiver 5 may be rotatable 90 degrees forward and backward with respect to the support rod 50, but in this embodiment, the tray receiver 5 is fixed to the support rod 50,
The support rod 50 is rotated. That is, each of the support rods 50 is held in the middle by a horizontal beam f that is laid horizontally below the hearth c, the lower end is supported by a bearing provided on the base floor, and a bevel gear 51 as a rotating element is attached near the bearing. The drive side bevel gear 52 is driven simultaneously by a rotary actuator (not shown).
The rotary actuator may be operated for each support rod, or two rotary actuators may be operated, or the entire rotary actuator may be operated as a single unit.

【０００９】昇降ヘッド７は少なくとも一対からなり、
正面側から見て前記支持ロッド５０の内側(側面側では
図２のように支持ロッド５０とほぼ同一垂直面上にあ
る）に配されている。そして昇降ヘッド７は、炉床ｃを
貫いて炉内に伸び、ローダ口の中間レベルの下降限位置
からトレイ受けロッド５の上端近傍レベルまで昇降でき
るように複数組(図面では２組)の支持シャフト７０の上
端に固定されている。２組の支持シャフト７０は横梁ｆ
を貫いて伸びて連結板７１によって結合され、その連結
板７１が昇降用アクチュエータ７２によって作動させら
れるようになっている。昇降用アクチュエータ７２は油
圧シリンダなど任意であるが、この実施例ではモータが
使用され、その出力側に連結したボールスクリュー軸７
２０が横梁ｆに軸受で保持され、ボールスクリュー軸７
２０に連結板７１に固定した雌ねじ部材７１０が螺合し
ている。The lifting head 7 comprises at least one pair,
It is arranged inside the support rod 50 when viewed from the front side (on the side surface, it is on substantially the same vertical plane as the support rod 50 as shown in FIG. 2). The elevating heads 7 extend through the hearth c into the furnace, and support a plurality of sets (two sets in the drawing) so that the elevating heads 7 can move up and down from the lower limit position of the intermediate level of the loader port to the level near the upper end of the tray receiving rod 5. It is fixed to the upper end of the shaft 70. The two sets of support shafts 70 are horizontal beams f.
And extends by passing through and are connected by a connecting plate 71, and the connecting plate 71 is operated by an elevating actuator 72. The lifting actuator 72 may be any hydraulic cylinder or the like, but in this embodiment, a motor is used and the ball screw shaft 7 connected to the output side thereof is used.
20 is held by the cross beam f by a bearing, and the ball screw shaft 7
A female screw member 710 fixed to the connecting plate 71 is screwed to the 20.

【００１０】下降エレベータ機構Ｄは前記上昇エレベー
タ機構Ｕと構成は同じであり、炉内のアンローダ口レベ
ルよりやや上のレベル間隔的に配置され、トレイＴを積
載状に支えるとともに９０度回転してトレイＴの支えを
解除しうるトレイ受け具５’と、前記トレイ受け具５’
よりも内側の炉床ｃ立設された固定トレイ支え２４’
と、該固定トレイ支え２４’と前記トレイ受け具５’の
間にあって、トレイＴを支えつつトレイ受け具’５に向
かって上昇させる昇降ヘッド７’とを備えている。 そ
れらトレイ受け具５’、固定トレイ支え２４’および昇
降ヘッド７’は構造が上昇エレベータ機構Ｕと同じであ
り、したがって、同じ部分にカンマ付きの符号を付し、
説明は省略する。The descending elevator mechanism D has the same structure as that of the ascending elevator mechanism U, is arranged at a level interval slightly above the unloader port level in the furnace, supports the tray T in a stacked state, and rotates 90 degrees. A tray receiver 5'that can release the support of the tray T and the tray receiver 5 '
Fixed tray support 24 'erected inside the hearth c inside
And an elevating head 7 ', which is located between the fixed tray support 24' and the tray receiver 5'and which raises the tray T toward the tray receiver 5 while supporting the tray T. The tray receiver 5 ′, the fixed tray support 24 ′ and the lifting head 7 ′ have the same structure as that of the lifting elevator mechanism U, and therefore, the same portions are denoted by a comma.
Description is omitted.

【００１１】次にトレイ昇降切換え機構Ｖは、前記上昇
エレベータ機構Ｕで積載された最上位のトレイを受取り
これを下降エレベータ機構Ｄに積載されている最上位の
トレイに横送りするための手段であり、上昇エレベータ
機構Ｕと下降エレベータ機構Ｄと協働してウオーキング
ビーム運動を行い、摺動を伴わずにトレイを移置するも
のである。このトレイ昇降切換え機構Ｖは、図１と図２
のように炉体天井部に近いレベルにおいて、前記上昇エ
レベータ機構Ｕおよび下降エレベータ機構Ｄと直交する
ように炉体側壁を貫通し、しかも図２のように互いの間
隔がトレイＴの幅よりも少し大きい２本の横ビーム６
０，６０と、この横ビーム６０，６０にそれぞれ固定さ
れ、トレイＴ幅寸法内に突出する寸法を持ったトレイ受
け具６，６と、２本の横ビーム６０，６０を所定のプロ
グラムに従って軸線方向に正逆移動させる駆動手段とを
有している。駆動手段は油圧シリンダなどでもよいが、
この実施例ではねじ送り方式を採用しており、炉体Ａの
外側に架台ｇを固定し、これにモータ６２で駆動回転さ
れるボールスクリューねじ６２０を横架するとともに、
ボールスクリューねじ６２０に横ビーム６０，６０の後
端と結合しためねじ部材６００を螺合している。そし
て、横ビーム６０，６０の先端側にはスライダ６０１が
設けられ、炉体Ａの外側に固定したガイドブロックｇ’
によってガイドされるようになっている。Next, the tray elevating / lowering switching mechanism V is means for receiving the uppermost tray loaded by the ascending elevator mechanism U and laterally feeding it to the uppermost tray loaded in the descending elevator mechanism D. There is a walking beam motion in cooperation with the ascending elevator mechanism U and the descending elevator mechanism D, and the tray is transferred without sliding. This tray lifting / lowering switching mechanism V is shown in FIGS.
As shown in FIG. 2, the furnace body side wall is penetrated so as to be orthogonal to the ascending elevator mechanism U and the descending elevator mechanism D at a level close to the furnace ceiling, and the mutual distance is larger than the width of the tray T as shown in FIG. Two slightly larger horizontal beams 6
0 and 60, the tray receivers 6 and 6 fixed to the transverse beams 60 and 60, respectively, and having a dimension protruding into the tray T width dimension, and the two transverse beams 60 and 60 according to a predetermined program. And a drive means for moving in the normal and reverse directions. The driving means may be a hydraulic cylinder or the like,
In this embodiment, a screw feed system is adopted, a pedestal g is fixed to the outside of the furnace body A, and a ball screw screw 620 driven and rotated by a motor 62 is horizontally mounted on the pedestal g.
A screw member 600 is screwed into the ball screw screw 620 for connecting with the rear ends of the lateral beams 60, 60. A slider 601 is provided on the tip side of the lateral beams 60, 60, and a guide block g ′ fixed to the outside of the furnace body A is provided.
To be guided by.

【００１２】次にトレイ循環送り機構Ｖは、ウオーキン
グビーム運動によりトレイを矩形状の移動軌跡を取るよ
うに搬送するものである。すなわち具体的には、被処理
物Ｗをセットしたトレイをローダ口ａから炉内に移動し
て上昇エレベータ機構Ｕへと移送させるとともに、下降
エレベータ機構Ｄで送られてきた積載最下位のトレイを
アンローダ口ａ’へ搬出し、さらに、アンローダ口ａ’
において被処理物を分離して空になったトレイを再び炉
内低域を通ってローダ口ａへと逆送するものである。こ
のトレイ循環送り機構Ｖは図１と図３および図６、図７
に示されており、昇降自在かつ軸方向進退自在な上側ロ
ッドフレーム９と、昇降自在かつ軸方向進退自在な下側
ロッドフレーム１０と、ローダ口外側にあって昇降自在
なローダ用エレベータ１１と、アンローダ口外側にあっ
て昇降自在なアンローダ用エレベータ１２とを有してい
る。Next, the tray circulation feeding mechanism V conveys the tray so as to take a rectangular movement locus by the walking beam movement. That is, specifically, the tray on which the workpiece W is set is moved from the loader port a into the furnace to be transferred to the ascending elevator mechanism U, and at the same time, the tray at the bottom of the stack sent by the descending elevator mechanism D is moved. Unloader port a ', and then unloader port a'
In (2), the tray which has been emptied by separating the object to be processed is sent back to the loader port a through the low region in the furnace again. This tray circulation feeding mechanism V is shown in FIGS. 1 and 3 and FIGS.
And an upper rod frame 9 that is vertically movable and axially retractable, a lower rod frame 10 that is vertically movable and axially retractable, and a loader elevator 11 that is outside the loader opening and vertically movable. It has an unloader elevator 12 which is located outside the unloader port and can be raised and lowered.

【００１３】まず、上側ロッドフレーム９は、ローダ口
ａとアンローダ口ａ’を貫通する２本の平行バーを有し
ている。詳細には、上側ロッドフレーム９は高さ方向で
は、前記トレイ受け具５，５’より下方のレベル、特に
下限位置における昇降ヘッド７，７、７’，７’の上面
より少し下のレベルにあり、また幅方向では図４のよう
に支持ロッド５０，５０’の内側位置にあり、かつ、平
行バーは互いの間隔がトレイの幅より小さい寸法にあ
る。平行バーは好ましくは長手方向両端部がそれぞれ横
梁によつて連結され、全体として長尺枠状に構成する。
フレームＦには上側ロッドフレーム９の平行のバーの真
下ないし下側方に２本一組のガイドブロック１３，１
３’が左右に延設され、このガイドブロック１３，１
３’に油圧式または機械式のジャッキ１４，１４’が左
右２個ずつ摺動可能に取付けられており、ジャッキ１
４，１４’の各作動ロッド１４０，１４０’は上側ロッ
ドフレーム９の各平行バーの長手方向端部ないしこれに
布設した張出し部材に連結しており、したがってジャッ
キ１４，１４’の同期作動によって上側ロッドフレーム
９は図１に示すストロークｈ(支持ヘッドの上面より少
し上に達する寸法)だけ上昇される。そして、片側の２
本のガイドブロック１３’の下側にはフレームＦに基端
が固定された２本のブラケット１５’が伸び、それら各
ブラケット１５’にはそれぞれモータ１６によって駆動
回転されるボールスクリュー軸１６０が支架され、その
ボールスクリュー軸１６０にジャッキ１４’のめねじ部
材１４１’が係合しており、したがって、上側ロッドフ
レーム９は、図１のようにローダ側の突出長さが大きい
ノーマル状態から、モータ１６の同期駆動によりストロ
ークＪだけ軸線方向に移動し得るようになっている。First, the upper rod frame 9 has two parallel bars penetrating the loader port a and the unloader port a '. In detail, in the height direction, the upper rod frame 9 is at a level lower than the tray receivers 5 and 5 ', especially at a level slightly lower than the upper surface of the lifting heads 7, 7, 7', 7'in the lower limit position. Yes, and in the width direction, they are located inside the support rods 50, 50 'as shown in FIG. 4, and the parallel bars are spaced apart from each other by a size smaller than the width of the tray. The parallel bars are preferably connected to each other at both ends in the longitudinal direction by transverse beams, and are configured as an elongated frame as a whole.
The frame F includes a pair of guide blocks 13, 1 directly below or below the parallel bars of the upper rod frame 9.
3'is extended to the left and right, and this guide block 13,1
The hydraulic or mechanical jacks 14 and 14 'are slidably mounted on the left and right sides of the jack 3'.
Each of the actuating rods 140, 140 'of 4, 14' is connected to the longitudinal end of each parallel bar of the upper rod frame 9 or to the overhanging member laid on it, so that by the synchronous actuation of the jacks 14, 14 'the upper side. The rod frame 9 is lifted by the stroke h shown in FIG. 1 (a size that reaches a little above the upper surface of the support head). And 2 on one side
Two brackets 15 'whose base ends are fixed to the frame F extend below the guide block 13' of the book, and a ball screw shaft 160 driven and rotated by a motor 16 is supported on each bracket 15 '. The female screw member 141 ′ of the jack 14 ′ is engaged with the ball screw shaft 160, so that the upper rod frame 9 moves from the normal state in which the protruding length on the loader side is large as shown in FIG. By the synchronous drive of 16, the stroke J can be moved in the axial direction.

【００１４】下側ロッドフレーム１０も同様にローダ口
ａとアンローダ口ａ’を貫通した２本の平行バーを有
し、好ましくは長尺枠状をなしている。この下側ロッド
フレーム１０は高さ方向では前記昇降ヘッド７，７’よ
りも下方のレベル、特に固定トレイ受け２４，２４’の
中間レベルにあり、また幅方向では図２のように固定ト
レイ受け２４，２４’の内側にある。下側ロッドフレー
ム１０の平行バーの直下または下側方(いずれも前記ガ
イドブロック１３，１３’よりも内側)には、フレーム
Ｆから２本一組のガイドブロック１７，１７’が左右に
延設され、それらガイドブロック１７，１７’に油圧式
または機械式のジャッキ１８，１８’が左右２個ずつ摺
動可能に取付けられており、ジャッキ１８，１８’の各
作動ロッド１８０，１８０’は下側ロッドフレーム１０
の各平行バーの長手方向端部に連結しており、したがっ
てジャッキ１８，１８’の同期作動によって下側ロッド
フレーム１０は図１に示すストロークｈ(固定トレイ受
けの上端より少し上のレベルに到る寸法)だけ上昇され
る。そして、片側の２本のガイドブロック１７の下に
は、フレームＦに基端が支持された２本のブラケット１
５が伸び、それらブラケットにそれぞれモータ１９の出
力部と連結したボールスクリュー軸１９０が横架され、
そのボールスクリュー軸１９０にジャッキ１８のめねじ
部材１８１が係合している。したがって、下側ロッドフ
レーム１０は、２つのモータ１９の同期駆動によって、
図１のようにアンローダ側の突出長さが大きいノーマル
状態から、ストロークＪだけ軸線方向に移動し得るよう
になっている。Similarly, the lower rod frame 10 also has two parallel bars penetrating the loader port a and the unloader port a ', and preferably has an elongated frame shape. The lower rod frame 10 is at a level lower than the elevating heads 7 and 7'in the height direction, particularly at an intermediate level between the fixed tray receivers 24 and 24 ', and in the width direction as shown in FIG. It is inside 24, 24 '. Directly below or below the parallel bars of the lower rod frame 10 (both inside the guide blocks 13 and 13 '), a set of two guide blocks 17 and 17' extending from the frame F to the left and right. Two hydraulic or mechanical jacks 18 and 18 'are slidably mounted on the guide blocks 17 and 17' so as to be slidable on the left and right, respectively. Side rod frame 10
Connected to the longitudinal ends of each of the parallel bars, so that the synchronous actuation of the jacks 18, 18 'causes the lower rod frame 10 to reach the stroke h shown in FIG. 1 (to a level slightly above the upper end of the fixed tray receiver). Height). Under the two guide blocks 17 on one side, the two brackets 1 whose base ends are supported by the frame F are provided.
5 extends, and a ball screw shaft 190 connected to the output portion of the motor 19 is horizontally mounted on these brackets,
The female screw member 181 of the jack 18 is engaged with the ball screw shaft 190. Therefore, the lower rod frame 10 is driven by the synchronous drive of the two motors 19.
As shown in FIG. 1, it is possible to move in the axial direction by the stroke J from the normal state in which the protrusion length on the unloader side is large.

【００１５】ローダ用エレベータ１１は、上側ロッドフ
レーム９および下側ロッドフレーム１０と交合できるよ
うに上側ロッドフレーム９よりも間隔が広い平行な２本
のフオーク状部材から構成されている。そして、ローダ
用エレベータ１１は後部に雌ねじ部材１１０を有し、そ
の雌ねじ部材１１０は、基床に立設されるかあるいはブ
ラケット１５をつなぐ連結部材から立設された支柱２０
に回転可能に縦架したボールスクリューねじ軸２１０に
螺合され、ボールスクリューねじ軸２１０をモータ２１
で駆動することによって昇降されるようになっている。
上記駆動系は２本のフォーク状部材にそれぞれ設けられ
てもよいし、２本のフォーク状部材の後端が梁材で結ば
れているときには１つで足りる。ローダ用エレベータ１
１は、常態において下側ロッドフレーム１０の左端部と
近接した位置でかつ下側ロッドフレーム１０の上面より
わずかに高いレベルにおかれ、前記モータ２１の駆動に
よって上側ロッドフレーム９の上面よりわずかに高いレ
ベルに移行するストロークｋが設定される。The loader elevator 11 is composed of two parallel fork-shaped members that are wider than the upper rod frame 9 so as to be able to intersect with the upper rod frame 9 and the lower rod frame 10. The loader elevator 11 has a female screw member 110 at the rear portion thereof, and the female screw member 110 is erected on the base floor or a column 20 that is erected from a connecting member that connects the brackets 15.
The ball screw screw shaft 210 is rotatably mounted vertically and is screwed onto the ball screw screw shaft 210.
It can be moved up and down by driving with.
The drive system may be provided on each of the two fork-shaped members, or one drive system is sufficient when the rear ends of the two fork-shaped members are connected by a beam member. Elevator for loader 1
In the normal state, 1 is located at a position close to the left end portion of the lower rod frame 10 and at a level slightly higher than the upper surface of the lower rod frame 10, and is slightly driven from the upper surface of the upper rod frame 9 by driving the motor 21. The stroke k for shifting to a higher level is set.

【００１６】アンローダ用エレベータ１２も同様に上側
ロッドフレーム９よりも間隔が広い２本の平行なフォー
ク状部材から構成されており、後部の雌ねじ部材１１
０’が支柱２０’に回転可能に縦架したボールスクリュ
ーねじ軸２１０’に螺合され、ボールスクリューねじ軸
２１０’をモータ２１’で駆動することによって昇降さ
れるようになっている。このアンローダ用エレベータ１
２は、常態において上側ロッドフレーム９の右端部と近
接した位置でかつ上側ロッドフレーム９の上面よりわず
かに高いレベルにおかれ、前記モータ２１’の駆動によ
って下側ロッドフレーム１０’の上面よりわずかに高い
レベルに移行するストロークｋ’が設定される。Similarly, the unloader elevator 12 is also composed of two parallel fork-shaped members having a wider space than the upper rod frame 9, and the female screw member 11 at the rear portion.
0'is screwed onto a ball screw screw shaft 210 'vertically rotatably mounted on a column 20', and is moved up and down by driving the ball screw screw shaft 210 'with a motor 21'. This unloader elevator 1
2 is located at a position close to the right end portion of the upper rod frame 9 and in a level slightly higher than the upper surface of the upper rod frame 9 in a normal state, and is slightly lower than the upper surface of the lower rod frame 10 'by the drive of the motor 21'. A stroke k'that shifts to a higher level is set.

【００１７】前記ローダ用エレベータ１１の近傍にはロ
ボット式などによる自動ローダー装置が配置され、トレ
イＴに被処理物をセットするようになっており、また、
アンローダ用エレベータ１２の近傍にはロボット式など
のによる自動アンローダ装置が配置され、熱処理や熱加
工を終えた被処理物をトレイＴから取り出すようになっ
ている。なお、ローダ用エレベータ１１とアンローダ用
エレベータ１２の昇降手段、および上側ロッドフレーム
９と下側ロッドフレーム１０の軸線方向移動手段は実施
例のようにボールスクリュー式に限定されず、油圧シリ
ンダ式などであってもよい。また、上昇エレベータ機構
Ｕと下降エレベータ機構Ｄの間は、トレイ昇降切換え機
構Ｖの下部領域からトレイ循環送り機構Ｓの上部領域ま
で壁によって仕切られていてもよい。An automatic loader device such as a robot type is arranged near the loader elevator 11 to set an object to be processed on the tray T.
In the vicinity of the unloader elevator 12, an automatic unloader device such as a robot type is arranged to take out the object to be processed, which has been subjected to the heat treatment or the thermal processing, from the tray T. The lifting means for the elevator 11 for the loader and the elevator 12 for the unloader, and the axial moving means for the upper rod frame 9 and the lower rod frame 10 are not limited to the ball screw type as in the embodiment, but may be a hydraulic cylinder type or the like. It may be. Further, a space between the ascending elevator mechanism U and the descending elevator mechanism D may be partitioned by a wall from a lower region of the tray elevating / lowering switching mechanism V to an upper region of the tray circulation feeding mechanism S.

【００１８】[0018]

【実施例の作用】次に実施例の動作と作用を説明する
と、基板で代表される被処理物を熱処理したり熱加工す
るには、トレイ循環送り機構Ｓと上昇エレベータ機構Ｕ
と下降エレベータ機構Ｄおよびトレイ昇降切換え機構Ｖ
を連携作動させるものである。図８は本発明におけるト
レイＴの移動系統を示しており、ローダ口ａで被処理物
をセットされたトレイは、上昇エレベータ機構Ｕに横送
りされ、ここで上昇・支持される。この動作が継続する
ことによってトレイは各偶部のピンｔを介して順次高さ
方向に積載されて上昇してゆく。その間に炉体に配され
たヒータと炉内に導入された雰囲気によって被処理物は
加熱される。各トレイＴがピンｔによってＸ方向とＹ方
向に隙間を有するため雰囲気が自由に流通することがで
き、被処理物は均一加熱される。Operation of the Embodiment Next, the operation and operation of the embodiment will be described. In order to heat-treat or heat-process an object represented by a substrate, the tray circulation feeding mechanism S and the lifting elevator mechanism U are used.
And descending elevator mechanism D and tray lifting / lowering switching mechanism V
Is to work together. FIG. 8 shows a moving system of the tray T in the present invention. The tray on which the object to be processed is set at the loader port a is laterally fed to the lifting elevator mechanism U and is lifted / supported there. By continuing this operation, the trays are sequentially stacked in the height direction via the pins t of the respective even parts and lifted. Meanwhile, the object to be processed is heated by the heater arranged in the furnace body and the atmosphere introduced into the furnace. Since each tray T has a gap in the X direction and the Y direction due to the pin t, the atmosphere can freely flow and the object to be processed is uniformly heated.

【００１９】そしてトレイが所定の高さまで達すると、
最上位のトレイはトレイ昇降切換え機構によりこれと相
対摺動なしに横送りされ、下降エレベータ機構Ｄで支え
られる。この動作が繰り返されることによってトレイは
下降エレベータ機構Ｄの最上位のトレイの上に移置さ
れ、炉内を順次下降し、その間に被処理物は加熱あるい
は冷却される。そしてその間、炉の下方では、下降エレ
ベータ機構Ｄの最下位のトレイがトレイ循環送り機構Ｓ
に移置され、トレイ循環送り機構Ｓの構成要素と相対摺
動なしにアンローダ口ａ’に横送りされ、被処理物がト
レイから取り出される。空になったトレイは、トレイ循
環送り機構Ｓによって、アンローダ口ａ’の下部域に下
降され、次いで上昇エレベータ機構Ｕおよび下降エレベ
ータ機構Ｄの各作動域より下の炉内を逆送りされ、アン
ローダ口ａ’の下部域に到り、ここで上昇させられ、ト
レイに次の被処理物がセットされる。When the tray reaches a predetermined height,
The uppermost tray is laterally fed by the tray lifting / lowering switching mechanism without sliding relative to it, and is supported by the descending elevator mechanism D. By repeating this operation, the tray is transferred onto the uppermost tray of the descending elevator mechanism D and sequentially descends in the furnace, during which the object to be processed is heated or cooled. In the meantime, below the furnace, the lowermost tray of the descending elevator mechanism D is the tray circulation feeding mechanism S.
Is transferred to the unloader port a ′ without sliding relative to the components of the tray circulating / feeding mechanism S, and the object to be processed is taken out from the tray. The emptied tray is lowered to the lower area of the unloader port a ′ by the tray circulation feeding mechanism S, and then is fed back in the furnace below the respective operating areas of the ascending elevator mechanism U and the descending elevator mechanism D, and the unloader is operated. It reaches the lower area of the mouth a'and is raised there, and the next object to be processed is set on the tray.

【００２０】詳しく説明すると、トレイ循環送り機構Ｓ
の動作は図９から図１３に示されている。図９は初期状
態であり、上側ロッドフレーム９はローダ側に突出し、
下側ロッドフレーム１０はアンローダ側に突出し、ロー
ダ用エレベータ１１とアンローダ用エレベータ１２はい
ずれも下降位置にある。このときにはトレイＴ１はロー
ダ側の上側ロッドフレームの上に載置されており、トレ
イＴ２は下降エレベータ機構Ｄの昇降ヘッド７’によっ
て受支されている。また、トレイＴ３は１０の上面より
も少し上にあるアンローダ用エレベータ１２によって受
支されている。トレイＴ４は下降エレベータ機構Ｄの下
の固定トレイ受け２４’によって受支されており、トレ
イＴ５は上昇エレベータ機構Ｕの下の固定トレイ受け２
４によって受支されている。但し、上昇エレベータ機構
Ｕの昇降ヘッド７は持ち上げが完了しているためトレイ
はない。More specifically, the tray circulation feeding mechanism S
The operation of is shown in FIGS. FIG. 9 shows the initial state, in which the upper rod frame 9 projects toward the loader side,
The lower rod frame 10 projects toward the unloader side, and the loader elevator 11 and the unloader elevator 12 are both in the lowered position. At this time, the tray T1 is placed on the upper rod frame on the loader side, and the tray T2 is supported by the elevating head 7'of the descending elevator mechanism D. The tray T3 is supported by the unloader elevator 12 which is slightly above the upper surface of the tray 10. The tray T4 is supported by a fixed tray receiver 24 'below the descending elevator mechanism D, and the tray T5 is fixed tray receiver 2 below the ascending elevator mechanism U.
It is supported by 4. However, since the lifting head 7 of the lifting elevator mechanism U has been lifted, there is no tray.

【００２１】この状態から次に、シリンダ１４，１４’
を作動するとともに、シリンダ１８，１８’を作動すれ
ば、図１０のように、上側ロッドフレームと下側ロッド
フレーム１０はそれぞれストロークｈ，ｈ’だけ上昇す
る。これによって、上側ロッドフレームは下降限にある
昇降ヘッド７，昇降ヘッド７’の上面レベルよりも上
に、また下側ロッドフレーム１０は固定トレイ受け２
４，２４’の上端およびアンローダ用エレベータ１２の
上面よりも上のレベルにそれぞれ平行移動する。このた
め、トレイＴ１は上側ロッドフレームで受支されたまま
上昇し、トレイＴ２は昇降ヘッド７’から持ち上げられ
る。また、トレイＴ３はアンローダ用エレベータ１２か
ら持ち上げられ、トレイＴ４，Ｔ５は固定トレイ受け２
４，２４’から持ち上げられる。From this state, next, the cylinders 14 and 14 '
When the cylinders 18 and 18 'are operated, the upper rod frame and the lower rod frame 10 are moved up by strokes h and h', respectively, as shown in FIG. As a result, the upper rod frame is above the upper level of the lifting head 7 and the lifting head 7 ′ at the lower limit, and the lower rod frame 10 is the fixed tray receiver 2.
The upper and lower ends of 4, 24 ′ and the upper surface of the unloader elevator 12 are respectively translated to a level higher than that. Therefore, the tray T1 is lifted while being supported by the upper rod frame, and the tray T2 is lifted from the elevating head 7 '. The tray T3 is lifted from the unloader elevator 12, and the trays T4 and T5 are fixed tray receivers 2.
Lifted from 4, 24 '.

【００２２】次に、モータ１６とモータ１９を駆動すれ
ば、図１１のように、上側ロッドフレームはストローク
Ｊだけアンローダ側に移動し、下側ロッドフレーム１０
は同じくストロークＪだけアンローダ側に移動する。こ
れによって、上側ロッドフレームの移動に伴い、トレイ
Ｔ１はローダ口ａを通って昇降ヘッド７の直上位置まで
移動され、トレイＴ２は炉内からアンローダ口ａ’を通
ってアンローダ用エレベータ１２の直上に移動される。
また、下側ロッドフレーム１０の移動に伴って、トレイ
Ｔ３はアンローダ口ａ’の底に近い部位から炉内に進入
して固定トレイ受け２４’の直上に到り、それまで固定
トレイ受け２４’の直上にあったトレイＴ４は固定トレ
イ２４の直上に到り、固定トレイ受け２４の直上にあっ
たトレイＴ５はローダ口ａの底に近い部位から炉外に出
てローダ用エレベータ１１の直上に到る。そしてこの上
側ロッドフレーム，下側ロッドフレーム１０の移動に続
いて、モータ２１’の駆動によりアンローダ用エレベー
タ１２がストロークｋだけ上昇する。Next, when the motor 16 and the motor 19 are driven, the upper rod frame moves to the unloader side by the stroke J as shown in FIG. 11, and the lower rod frame 10
Also moves stroke J to the unloader side. As a result, with the movement of the upper rod frame, the tray T1 is moved to a position directly above the elevating head 7 through the loader port a, and the tray T2 is moved from inside the furnace to a position directly above the unloader elevator 12 through the unloader port a '. Be moved.
In addition, with the movement of the lower rod frame 10, the tray T3 enters the furnace from a portion near the bottom of the unloader port a'and reaches directly above the fixed tray receiver 24 ', until then, the fixed tray receiver 24'. The tray T4 immediately above the fixed tray 24 reaches directly above the fixed tray 24, and the tray T5 immediately above the fixed tray receiver 24 goes out of the furnace from a portion near the bottom of the loader port a and directly above the loader elevator 11. Arrive Following the movement of the upper rod frame and the lower rod frame 10, the motor 21 'drives the unloader elevator 12 to move up by a stroke k.

【００２３】次にシリンダ１４，１４’とシリンダ１
８，１８’をそれぞれ後退側に作動すれば、上側ロッド
フレーム９と下側ロッドフレーム１０は、図１２のよう
にストロークｈだけおのおの下降する。それにより、上
側ロッドフレーム９上のトレイＴ１は下降して昇降ヘッ
ド７に受支され、トレイＴ２はアンローダ用エレベータ
１２に受支される。また、下側ロッドフレーム１０で受
支されていたトレイＴ３は固定トレイ受け２４’に受支
され、トレイＴ４は固定トレイ受け２４に受支され、ト
レイＴ５はローダ用エレベータ１１に受支される。この
状態になったときに、アンローダ用エレベータ１２に受
支されたトレイＴ２から被処理物が取り出される。そし
て上昇エレベータ機構Ｕが作動する。これで、固定トレ
イ受け２４に受支されたトレイＴ４を上昇させ、同時に
下降エレベータ機構Ｄが作動して下降側の最下位のトレ
イを上側ロッドフレームに下降させる。したがって、ト
レイＴ１は図１２の状態からなくなり、昇降ヘッド７’
にはトレイが受支されることになる。これらトレイの昇
降については後に述べる。Next, the cylinders 14 and 14 'and the cylinder 1
When 8 and 18 'are respectively moved backward, the upper rod frame 9 and the lower rod frame 10 are respectively lowered by the stroke h as shown in FIG. As a result, the tray T1 on the upper rod frame 9 descends and is supported by the elevating head 7, and the tray T2 is supported by the unloader elevator 12. The tray T3 supported by the lower rod frame 10 is supported by the fixed tray receiver 24 ', the tray T4 is supported by the fixed tray receiver 24, and the tray T5 is supported by the loader elevator 11. . In this state, the object to be processed is taken out from the tray T2 supported by the unloader elevator 12. Then, the lift elevator mechanism U operates. As a result, the tray T4 supported by the fixed tray receiver 24 is raised, and at the same time, the lowering elevator mechanism D is operated to lower the lowermost tray on the lowering side to the upper rod frame. Therefore, the tray T1 disappears from the state shown in FIG.
The tray will be supported. The raising and lowering of these trays will be described later.

【００２４】次いで、モータ２１が駆動されることによ
ってローダ用エレベータ１１が上昇し、空のトレイＴ５
はローダ位置まで移動される。次に、モータ１６の駆動
により上側ロッドフレームが下降位置のままローダ側に
移動し、上側ロッドフレーム９の左端部域はローダ用エ
レベータ１１と差し合わされた状態になる。次いでモー
タ２１’が作動することによってアンローダ用エレベー
タ１２が下降し、アンローダ用エレベータ１２に受支さ
れているトレイＴ２は下降する。そして最後にモータ１
９が作動し、それによって下側ロッドフレーム１０がア
ンローダ側に移動し、下側ロッドフレーム１０の右端部
域がアンローダ用エレベータ１２と差し合わされた状態
になる。この一連の動作の完了時が図１３の状態であ
り、ここでローダ用エレベータ１１で受支されているト
レイＴ５に被処理物が装入される。そして、モータ２１
の駆動によりローダ用エレベータ１１が下降限まで下降
され、それによってトレイＴ５は上側ロッドフレームの
左端部域に受支され、図９の初期状態に戻るものであ
る。上記のように処理済みの被処理物を収容したトレイ
はアンローダ口ａ’から一旦炉外に出されるが、次にア
ンローダ用エレベータ１２で下降され、下側ロッドフレ
ーム１０に乗せられ、これのウォーキングビーム運動に
よって炉内に装入され、ローダ口ａへと移送される。こ
のため、トレイはアンローダ作業の間に放熱して温度が
下がっても、ローダ域に予熱され温度が回復された状態
で送り込まれることになる。したがって、必要加熱温度
までの立上りが早くなる。また、トレイが一時的に炉外
に出るため、トレイの点検、管理が容易である。Next, the motor 21 is driven to raise the loader elevator 11 to move the empty tray T5.
Is moved to the loader position. Next, the motor 16 is driven to move the upper rod frame to the loader side while keeping the lowered position, and the left end region of the upper rod frame 9 is in a state of being combined with the loader elevator 11. Then, the motor 21 'is operated to lower the unloader elevator 12, and the tray T2 supported by the unloader elevator 12 is lowered. And finally the motor 1
9 operates, whereby the lower rod frame 10 moves to the unloader side, and the right end region of the lower rod frame 10 is in a state of being fitted with the unloader elevator 12. The state at the completion of this series of operations is the state of FIG. 13, in which the object to be processed is loaded into the tray T5 supported by the loader elevator 11. And the motor 21
The loader elevator 11 is lowered to the lower limit by the driving of the above, whereby the tray T5 is supported by the left end region of the upper rod frame and returns to the initial state of FIG. The tray containing the processed object as described above is once taken out of the furnace through the unloader port a ', but then lowered by the unloader elevator 12 and placed on the lower rod frame 10 to walk on it. It is loaded into the furnace by the beam motion and transferred to the loader port a. Therefore, even if the tray radiates heat during the operation of the unloader and the temperature thereof drops, the tray is fed into the loader area in a state where it is preheated and the temperature is recovered. Therefore, the rising to the required heating temperature is accelerated. Moreover, since the tray temporarily goes out of the furnace, it is easy to inspect and manage the tray.

【００２５】各サイクルにおいて、図１１の状態からト
レイＴ１を上昇エレベータ機構Ｕで上昇させる工程は、
図１４(a)ないし(d)に示されている。図１４（ａ）の状
態ではトレイＴ１は仮想線で示す下降限位置の昇降ヘッ
ド７によって受支されている。そしてこのとき前サイク
ルで押し上げられた先行トレイＴ６は４個のトレイ受け
具５によってピン位置より外側が受支されている。この
状態から昇降用アクチュエータ７２を駆動すれば、支持
シャフト７０が所定ストロークｘだけ上昇することによ
って昇降ヘッド７およびこれに受支されているトレイＴ
１が実線のように上昇する。それにより、トレイ受け具
５で受支されている先行トレイＴ６はトレイＴ１のピン
ｔで押圧されるため、トレイ受け具５から微小な量だけ
持ち上げられ、受支が解除される。この状態でアクチュ
エータが作動することにより支持ロッド５０が図１４
（ｂ）のように回転し、トレイＴ１の上昇を妨げないよ
うにトレイ受け具５はトレイ幅の外方に罷動する。In each cycle, the step of raising the tray T1 from the state of FIG. 11 by the raising elevator mechanism U is as follows.
This is shown in FIGS. 14 (a) to 14 (d). In the state of FIG. 14A, the tray T1 is supported by the elevating head 7 at the lower limit position shown by the phantom line. At this time, the preceding tray T6 pushed up in the previous cycle is supported by the four tray receivers 5 outside the pin position. When the raising / lowering actuator 72 is driven from this state, the supporting shaft 70 rises by a predetermined stroke x, whereby the raising / lowering head 7 and the tray T supported by the raising / lowering head 7.
1 rises like the solid line. As a result, the preceding tray T6 supported by the tray receiver 5 is pressed by the pin t of the tray T1, and is lifted from the tray receiver 5 by a minute amount, and the support is released. When the actuator operates in this state, the support rod 50 moves to the position shown in FIG.
The tray receiver 5 rotates as shown in (b) and swings outward of the tray width so as not to prevent the tray T1 from rising.

【００２６】これを確認すると昇降用アクチュエータ７
２が作動し、昇降ヘッド７は図１４（ｃ）のようにトレ
イ受け具５の受支面より微小な高さレベルに達するスト
ロークｙだけ上昇される。次いで、図１４（ｄ）のよう
に、アクチュエータの作動によって支持ロッド５０が逆
回転し、トレイ受け具５がトレイ幅内に突入し、再びト
レイ受支機能を持つ態勢になる。そしてこれを確認する
と、昇降用アクチュエータ７２は逆方向に駆動され、そ
れによって昇降ヘッド７はｘ＋ｙのストロークだけ下降
して下限位置に戻り、次のトレイを待つ。これが図９の
状態である。以下上記動作が繰り返されることによっ
て、トレイは順次トレイ受け具５に積載され、炉内を上
昇するものである。When this is confirmed, the lifting actuator 7
2 operates, and the elevating head 7 is raised by a stroke y reaching a minute height level from the receiving and supporting surface of the tray receiver 5 as shown in FIG. Next, as shown in FIG. 14D, the support rod 50 is reversely rotated by the operation of the actuator, the tray receiver 5 is thrust into the tray width, and the tray receiving function is again established. When this is confirmed, the elevating actuator 72 is driven in the reverse direction, whereby the elevating head 7 descends by the stroke of x + y and returns to the lower limit position, and waits for the next tray. This is the state shown in FIG. By repeating the above operation, the trays are sequentially loaded on the tray receiver 5 and rise in the furnace.

【００２７】上記のようにトレイが上昇されるの併行し
て、下降側では処理の終わった最下位のトレイが下降エ
レベータ機構Ｄのトレイ受け具５’から昇降ヘッド７’
に移される。この下降行程でのトレイ受け具５’と昇降
ヘッド７’の動きは上昇行程と逆に図１４の（ｄ）から
（ａ）の過程を経る(但し回転は逆方向)。まず、昇降用
アクチュエータ７２’が作動して昇降ヘッド７’はｘ＋
ｙのストロークだけ上昇し、それによって最下位のトレ
イを押し上げ、積載トレイを受支する。そしてこの状態
でトレイ受け具５’は罷動され、受支機能が解除され
る。次いで昇降用アクチュエータ７２’が逆転駆動さ
れ、昇降ヘッド７’はストロークｙだけ下降する。これ
で積載トレイ群は全体が下がり、最下位のトレイが図１
４のレベルに到る。これを確認してトレイ受け具５’は
逆方向に回転させられ、最下位のトレイの一段上のトレ
イの底と近接するように長片が突出し、受支機能が復活
する。この状態で昇降用アクチュエータ７２’によって
昇降ヘッド７’は再度ｘストロークだけ降下し、下限位
置に戻る。それにより最下位のトレイは図８のように循
環移送レベルにおいて昇降ヘッド７’で支えられたトレ
イＴ２となる。一方最下位よりも上位のトレイ群はトレ
イ受け具５’によって積載状に受支される。As the trays are raised as described above, the lowermost processed tray on the descending side is the tray receiving member 5'of the descending elevator mechanism D to the elevating head 7 '.
Moved to. Contrary to the ascending stroke, the movements of the tray receiving member 5'and the elevating head 7'during this descending stroke go through the steps from (d) to (a) of FIG. 14 (however, the rotation is in the opposite direction). First, the lifting actuator 72 'is activated to move the lifting head 7'to x +.
It moves up by a stroke of y, thereby pushing up the bottom tray and receiving the stacking tray. Then, in this state, the tray receiving member 5'is swung and the receiving and supporting function is released. Then, the lifting actuator 72 'is driven in reverse, and the lifting head 7'is lowered by the stroke y. With this, the whole stacking tray group is lowered, and the lowest tray is shown in Fig. 1.
Level 4 is reached. When this is confirmed, the tray receiver 5'is rotated in the opposite direction, the long piece projects so as to be close to the bottom of the tray above the lowermost tray, and the receiving and supporting function is restored. In this state, the elevating actuator 72 'lowers the elevating head 7'again by x strokes and returns to the lower limit position. As a result, the lowest tray becomes the tray T2 supported by the lifting head 7'at the circulating transfer level as shown in FIG. On the other hand, the tray group higher than the lowest order is supported by the tray receiver 5'in a stack.

【００２８】上記のようにトレイは上昇エレベータ機構
Ｕによって順次積載移送され、炉内上部に到るとトレイ
昇降切換え機構Ｖにより下降エレベータ機構Ｄに移され
る。図１５ないし図２５はこの動作を示している。図１
５と図１６は下降側の最下位のトレイがトレイ受け具
５’で受支された状態であり、この段階ではトレイ受け
具６は上昇エレベータ機構Ｕの領域にある。次の乗り換
えを行う際には、モータ６２により２本の横ビーム６を
図１５のように右方に移動させ、トレイ受け具６を下降
エレベータ機構Ｄの領域に移動させる。 次いで前述の
ようにトレイＴ１を上昇させるべく積載トレイ群がスト
ロークｘ＋ｙだけ上昇する(図１８の状態)。それによっ
て最上位のトレイＴ７は図１７、図１８のように横ビー
ム６０とほぼ同じレベルに到る。この状態で次にモータ
６２が駆動し、図１９と図２０のように、トレイ受け具
６は最上位のトレイＴ７と次位のトレイＴ８との間の端
部空隙を通って最上位のトレイＴ７の部位に到る。トレ
イ受け具６は受支部がトレイ幅内側に伸びるがトレイ底
とは接触しない。As described above, the trays are sequentially loaded and transferred by the ascending elevator mechanism U, and when they reach the upper part of the furnace, they are moved to the descending elevator mechanism D by the tray elevating / lowering switching mechanism V. 15 to 25 show this operation. FIG.
5 and 16 show a state in which the lowermost tray on the descending side is supported by the tray receiver 5 ', and at this stage, the tray receiver 6 is in the area of the lifting elevator mechanism U. When performing the next transfer, the two horizontal beams 6 are moved to the right by the motor 62 as shown in FIG. 15, and the tray receiver 6 is moved to the area of the descending elevator mechanism D. Next, as described above, the stacking tray group is lifted by the stroke x + y to lift the tray T1 (state of FIG. 18). As a result, the uppermost tray T7 reaches almost the same level as the horizontal beam 60 as shown in FIGS. In this state, the motor 62 is driven next, and the tray receiver 6 passes through the end gap between the uppermost tray T7 and the next tray T8, as shown in FIGS. Reach the T7 site. The tray receiver 6 has a receiving portion extending inward of the tray width, but does not contact the tray bottom.

【００２９】次いで、図２２のように昇降ヘッド７がス
トロークｘ＋ｙだけ下降すると、次位以下のトレイはト
レイ受け具５によって受支されるが、最上位のトレイＴ
７の下にはトレイ受け具６が張出しているため、最上位
のトレイＴ７は図２１、図２２のようにトレイ受け具６
で受支される。これを確認すると、モータ６２が駆動し
て横ビーム６０が右方に移動し、それにより最上位のト
レイＴ７はトレイ受け具６で受支されたまま、これと相
対摺動なしに図２３のように下降エレベータ機構Ｄの直
上に移動する。すると、前記のように下降エレベータ機
構Ｄでは前述のように昇降ヘッド７’がストロークｘ＋
ｙだけ上昇するため、トレイ受け具６で受支されている
最上位のトレイＴ７は、図２４のように下降側の最上位
のトレイＴ９のピンｔにより押し上げられ、トレイ受け
具６の受支が解除される。この状態で次にモータ６２が
駆動して横ビーム６０が左方に移動し、トレイ受け具６
は上昇エレベータ機構Ｕ側に退避する。そして、下降エ
レベータ機構Ｄの昇降ヘッド７’が下降することによ
り、最上位のトレイＴ７は図２５のように下降側のトレ
イ群の最上位に積載されたかたちで下降エレベータ機構
Ｄのトレイ受け具５’に支持される。したがって、トレ
イは上昇エレベータ機構Ｕと下降エレベータ機構Ｄおよ
びトレイ昇降切換え機構Ｖとで創成されるウォーキング
ビーム運動によって無摺動で昇降が切り替えられ、摺動
による塵埃の発生、雰囲気汚損が防止されるものであ
る。なお、場合によっては、トレイの乗り換えはトレイ
の昇降行程と別に行ってもよい。Next, as shown in FIG. 22, when the elevating head 7 descends by the stroke x + y, the trays below the next tray are supported by the tray receiver 5, but the uppermost tray T.
Since the tray receiver 6 projects below the tray 7, the uppermost tray T7 has the tray receiver 6 as shown in FIGS.
Received in. When this is confirmed, the motor 62 is driven to move the lateral beam 60 to the right, whereby the uppermost tray T7 remains supported by the tray receiver 6 and does not slide relative thereto. Thus, it moves to a position just above the descending elevator mechanism D. Then, as described above, in the descending elevator mechanism D, the elevating head 7'has the stroke x + as described above.
Since it moves up by y, the uppermost tray T7 supported by the tray receiver 6 is pushed up by the pin t of the uppermost tray T9 on the descending side as shown in FIG. Is released. In this state, the motor 62 is driven next to move the lateral beam 60 to the left, and the tray receiver 6
Is retracted to the ascending elevator mechanism U side. Then, the elevating head 7 ′ of the descending elevator mechanism D descends, so that the uppermost tray T7 is stacked on the uppermost of the descending tray group as shown in FIG. Supported by 5 '. Therefore, the tray can be switched up and down without sliding by the walking beam motion created by the ascending elevator mechanism U, the descending elevator mechanism D, and the tray elevating and lowering switching mechanism V, and dust and atmospheric pollution due to sliding can be prevented. It is a thing. Depending on the case, the transfer of the tray may be performed separately from the lifting / lowering process of the tray.

【００３０】[0030]

【発明の効果】以上説明した本発明によるときには、ト
レイを単にエレベータ方式で上昇、下降させるだけでな
く、上昇域の最上部でトレイをエレベータ動作を利用し
て受支し、そのまま相対摺動なしに下降域の最上部へと
横移動させ、下降エレベータのエレベータ動作を利用し
て受支を解除し、下降域の最上位トレイに積載するた
め、昇降の切換え移送に伴う摺動が生じない。また、ロ
ーダとアンローダにおいても、ウオーキングビーム方式
でアンローダ側へのトレイの送出、ローダ側へのトレイ
装入が行われるため、この工程でも摺動が生じず、した
がって、炉内をクリーンな雰囲気状態に保たせて処理を
行うことができる。さらに、アンローダされたトレイが
アンローダ口から再び炉内の下部を通ってローダ側に送
られる循環方式のため、トレイの使用数を少なくするこ
とができるとともに、アンローダによるトレイの熱放散
が最少限に止められ、予熱された状態でのローダが可能
であるため、適切な省エネルギを図ることができるとい
う優れた効果が得られる。According to the present invention described above, not only the tray is lifted and lowered by the elevator system, but the tray is supported by the elevator operation at the uppermost part of the lifted area without any relative sliding. Since it is laterally moved to the uppermost part of the descending area, the elevator operation of the descending elevator is used to release the support, and the tray is loaded on the uppermost tray in the descending area. Also, in the loader and the unloader, since the tray is sent to the unloader side and the tray is loaded into the loader side by the walking beam method, sliding does not occur even in this process, and therefore the furnace is kept in a clean atmosphere. It is possible to carry out the processing while keeping it at. Further, since the unloader tray is circulated from the unloader port to the loader side through the lower part of the furnace again, the number of trays used can be reduced and the heat dissipation of the tray by the unloader is minimized. Since the loader can be stopped and preheated, an excellent effect that appropriate energy saving can be achieved is obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明による加熱炉のトレイ搬送装置の一実施
例を示す縦断側面図である。FIG. 1 is a vertical sectional side view showing an embodiment of a tray transfer device for a heating furnace according to the present invention.

【図２】同じくその縦断正面図である。FIG. 2 is a vertical sectional front view of the same.

【図３】同じくその横断面図である。FIG. 3 is a transverse sectional view of the same.

【図４】本発明に使用するトレイの一例を示す斜視図で
ある。FIG. 4 is a perspective view showing an example of a tray used in the present invention.

【図５】図１におけるローダ側の部分的拡大図である。FIG. 5 is a partially enlarged view of the loader side in FIG.

【図６】図１におけるアンローダ側の部分的拡大図であ
る。FIG. 6 is a partially enlarged view of the unloader side in FIG.

【図７】図１におけるローダ側とアンローダ側の縦断正
面図である。FIG. 7 is a vertical sectional front view of the loader side and the unloader side in FIG.

【図８】本発明におけるトレイの移動軌跡を示す説明図
である。FIG. 8 is an explanatory diagram showing a movement path of the tray in the present invention.

【図９】本発明におけるトレイ循環機構を初期状態で示
す側面図である。FIG. 9 is a side view showing the tray circulation mechanism in the present invention in an initial state.

【図１０】本発明におけるトレイ循環機構の第１段階を
示す側面図である。FIG. 10 is a side view showing the first stage of the tray circulation mechanism in the present invention.

【図１１】本発明におけるトレイ循環機構の第２段階を
示す側面図である。FIG. 11 is a side view showing a second stage of the tray circulation mechanism in the present invention.

【図１２】本発明におけるトレイ循環機構の第３段階を
示す側面図である。FIG. 12 is a side view showing a third stage of the tray circulation mechanism in the present invention.

【図１３】本発明におけるトレイ循環機構の第４段階を
示す側面図である。FIG. 13 is a side view showing a fourth stage of the tray circulation mechanism in the present invention.

【図１４】本発明におけるトレイ上昇原理を示す説明図
である。FIG. 14 is an explanatory view showing the tray raising principle in the present invention.

【図１５】本発明におけるトレイ昇降切換えの初期状態
を示す側面図である。FIG. 15 is a side view showing an initial state of tray raising / lowering switching according to the present invention.

【図１６】同じくその正面図である。FIG. 16 is a front view of the same.

【図１７】本発明におけるトレイ昇降切換えの第１段階
を示す側面図である。FIG. 17 is a side view showing a first stage of tray up / down switching according to the present invention.

【図１８】同じくその正面図である。FIG. 18 is a front view of the same.

【図１９】本発明におけるトレイ昇降切換えの第２段階
を示す側面図である。FIG. 19 is a side view showing a second stage of tray raising / lowering switching according to the present invention.

【図２０】同じくその正面図である。FIG. 20 is a front view of the same.

【図２１】本発明におけるトレイ昇降切換えの第３段階
を示す側面図である。FIG. 21 is a side view showing a third stage of tray lifting / lowering switching according to the present invention.

【図２２】同じくその正面図である。FIG. 22 is a front view of the same.

【図２３】本発明におけるトレイ昇降切換えの第４段階
を示す側面図である。FIG. 23 is a side view showing a fourth stage of tray raising / lowering switching according to the present invention.

【図２４】本発明におけるトレイ昇降切換えの第５段階
を示す側面図である。FIG. 24 is a side view showing a fifth stage of tray raising / lowering switching according to the present invention.

【図２５】本発明におけるトレイ昇降切換えの第６段階
を示す側面図である。FIG. 25 is a side view showing a sixth stage of tray raising / lowering switching according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

Ａ 炉体 ａ ローダ口 ａ’ アンローダ口 Ｄ 下降エレベータ機構 Ｓ トレイ循環送り機構 Ｔ トレイ ｔ ピン Ｕ 上昇エレベータ機構 Ｖ トレイ昇降切換え機構 ５，５’ トレイ受け具 ６ トレイ受け具 ７，７’ 昇降ヘッド ９ 上側ロッドフレーム １０ 下側ロッドフレーム １１ ローダ側エレベータ １２ アンローダ側エレベータ ２４，２４’ 固定トレイ受け ６０ 横ビーム A furnace body a loader port a ′ unloader port D descending elevator mechanism S tray circulation feeding mechanism T tray t pin U lifting elevator mechanism V tray raising / lowering switching mechanism 5, 5 ′ tray receiver 6 tray receiver 7, 7 ′ lifting head 9 Upper rod frame 10 Lower rod frame 11 Loader side elevator 12 Unloader side elevator 24, 24 'Fixed tray receiver 60 Horizontal beam

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｈ０１Ｌ 21/22 ５１１ Ｈ０１Ｌ 21/22 ５１１Ｂ ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. ⁶ Identification code Agency reference number FI Technical display location // H01L 21/22 511 H01L 21/22 511B

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】左右にローダ口ａとアンローダ口ａ’を有
する炉内に、被処理物を装入したトレイを順次積載上昇
させる上昇エレベータ機構Ｕと、トレイを順次下降させ
る下降エレベータ機構Ｄを並列状に配置する一方、炉内
の上部には、前記両エレベータ機構とクロスする関係に
配置され、上昇エレベータ機構Ｕで上昇された最上位の
トレイを受支し、これを相対摺動なしに下降エレベータ
機構Ｄへと移送して下降エレベータ機構Ｄの最上位のト
レイの上に受支させるトレイ昇降切換え機構Ｖを設け、
炉体の下部には、前記両エレベータ機構とクロスする関
係に配置され、被処理物をセットしたトレイをローダ口
ａから炉内に移動して上昇エレベータ機構Ｕへと移送さ
せるとともに、下降エレベータ機構Ｄで送られてきた積
載最下位のトレイをアンローダ口ａ’へ搬出し、さら
に、アンローダ口ａ’において被処理物を分離して空に
なったトレイを下降させ再び炉内低域を通ってローダ口
ａへと逆送するウオーキングビーム式のトレイ循環送り
機構Ｓを設けたことを特徴とする加熱炉におけるトレイ
連続搬送装置。Claims: 1. A furnace having a loader port a and an unloader port a'on the left and right is provided with a lifting elevator mechanism U for sequentially stacking and raising trays loaded with objects to be processed, and a descending elevator mechanism D for sequentially lowering the trays. While arranged in parallel, the upper part of the furnace is arranged in a cross relationship with both the elevator mechanisms, receives the uppermost tray lifted by the lifting elevator mechanism U, and supports it without relative sliding. A tray elevating and lowering switching mechanism V is provided for transferring to the descending elevator mechanism D and supporting it on the uppermost tray of the descending elevator mechanism D.
The lower part of the furnace body is arranged in a crossing relationship with both the elevator mechanisms, and the tray on which the object to be processed is set is moved from the loader port a into the furnace to be transferred to the ascending elevator mechanism U and the descending elevator mechanism. The tray at the bottom of the stack sent in D is carried out to the unloader port a ', and further, the empty tray is lowered by separating the object to be processed at the unloader port a'and passed through the low region in the furnace again. A tray continuous transfer device in a heating furnace, which is provided with a walking beam type tray circulation feed mechanism S that feeds back to the loader port a. 【請求項２】上昇エレベータ機構Ｕと下降エレベータ機
構Ｄが、ローダ口ａとアンローダ口ａ’よりも上位高さ
レベルの定位置においてトレイ幅内外に正逆回転可能な
トレイ受け具５，５’と、炉床上に立設された固定トレ
イ受け２４，２４’と、トレイ受け具５，５’と固定ト
レイ受け２４，２４’の間において昇降自在な昇降ヘッ
ド７，７’とを備えている請求項１に記載の加熱炉にお
けるトレイ連続搬送装置。2. The tray receivers 5, 5'wherein the ascending elevator mechanism U and the descending elevator mechanism D can rotate forward and backward in and out of the tray width at a fixed position at a level higher than the loader port a and the unloader port a '. And fixed tray receivers 24 and 24 'which are erected on the hearth, and elevating heads 7 and 7'which are vertically movable between the tray receivers 5 and 5'and the fixed tray receivers 24 and 24'. The tray continuous transfer device in the heating furnace according to claim 1. 【請求項３】トレイ昇降切換え機構Ｖが、互いの間隔を
トレイＴの幅よりも少し大きくとった２本の横ビーム６
０，６０と、この横ビーム６０，６０にそれぞれ固定さ
れ、トレイ幅寸法内に突出する長さを持ったトレイ受け
具６，６と、２本の横ビーム６０，６０を軸線方向に進
退させる駆動手段とを有し、上昇エレベータ機構Ｕで上
昇された最上位のトレイが横ビーム６０，６０の高さレ
ベルに達したときに、横ビーム６０，６０が前進してト
レイ受け具６，６が最上位のトレイの下に位置し、上昇
エレベータ機構Ｕの下降動作により最上位のトレイをト
レイ受け具６，６で受支し、ついで横ビーム６０，６０
の後退で最上位のトレイを下降エレベータ機構Ｄの直上
まで移動させ、下降エレベータ機構Ｄの上昇により最上
位のトレイをトレイ受け具６，６から浮かせ、横ビーム
６０，６０の前進移動後、下降エレベータ機構Ｄを下降
動させることによって最上位のトレイを下降エレベータ
機構で受支させるようにしている請求項１または請求項
２に記載の加熱炉におけるトレイ連続搬送装置。3. A tray elevating / lowering switching mechanism V has two lateral beams 6 each having a space therebetween which is slightly larger than the width of the tray T.
0 and 60, the tray receivers 6 and 6 fixed to the transverse beams 60 and 60, respectively, and having a length projecting within the tray width dimension, and the two transverse beams 60 and 60 are moved back and forth in the axial direction. When the uppermost tray lifted by the lifting elevator mechanism U reaches the height level of the horizontal beams 60, 60, the horizontal beams 60, 60 move forward and the tray receivers 6, 6 have driving means. Is located below the uppermost tray, and the uppermost tray is supported by the tray receivers 6 and 6 by the descending operation of the ascending elevator mechanism U, and then the horizontal beams 60 and 60 are received.
The uppermost tray is moved to just above the descending elevator mechanism D by retreating, and the uppermost tray is floated from the tray receivers 6 and 6 by the raising of the descending elevator mechanism D. After the transverse beams 60 and 60 are moved forward, the tray is lowered. The tray continuous transfer device in the heating furnace according to claim 1 or 2, wherein the lowermost tray is supported by the descending elevator mechanism by moving the elevator mechanism D downward. 【請求項４】トレイ循環送り機構Ｓが、ローダ口ａとア
ンローダ口ａ’を貫通するように配置され、軸方向進退
自在であるとともに、昇降ヘッド７，７’の高さレベル
より下位から昇降ヘッド７，７’の高さレベルより上位
の間で昇降自在な上側ロッドフレーム９と、前記上側ロ
ッドフレーム９よりも下位のローダ口ａとアンローダ口
ａ’を貫通するように配置され、軸方向進退自在である
とともに、固定トレイ受け２４，２４’の高さレベルよ
り下位から固定トレイ受け２４，２４’の高さレベルよ
り上位の間で昇降自在な下側ロッドフレーム１０と、ロ
ーダ口外側において上側ロッドフレーム９および下側ロ
ッドフレーム１０と交合可能に配置されたローダ用エレ
ベータ１１と、アンローダ口外側において上側ロッドフ
レーム９および下側ロッドフレーム１０と交合可能に配
置されたアンローダ用エレベータ１２とを有している請
求項１ないし請求項４のいずれかに記載の加熱炉におけ
るトレイ連続搬送装置。4. A tray circulating / feeding mechanism S is arranged so as to pass through a loader port a and an unloader port a ′, is movable in the axial direction, and is lifted from a level lower than the height level of the lifting heads 7 and 7 ′. It is arranged so as to pass through an upper rod frame 9 which can be raised and lowered between upper levels of the heads 7 and 7'and a loader port a and an unloader port a'which are lower than the upper rod frame 9, and which are arranged in the axial direction. On the outside of the loader port, there is a lower rod frame 10 that is movable back and forth and that is movable up and down from a level lower than the height level of the fixed tray receivers 24, 24 'to a higher level than the height level of the fixed tray receivers 24, 24'. A loader elevator 11 arranged so as to be able to intersect with the upper rod frame 9 and the lower rod frame 10, and the upper rod frame 9 and the lower rod outside the unloader port. Tray continuous conveying device in the heating furnace according to any of claims 1 to 4 and a unloader elevator 12 which is mating capable disposed a frame 10.